JPH0736417B2 - ウエハーの位置決め装置 - Google Patents
ウエハーの位置決め装置Info
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- JPH0736417B2 JPH0736417B2 JP1276438A JP27643889A JPH0736417B2 JP H0736417 B2 JPH0736417 B2 JP H0736417B2 JP 1276438 A JP1276438 A JP 1276438A JP 27643889 A JP27643889 A JP 27643889A JP H0736417 B2 JPH0736417 B2 JP H0736417B2
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- H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
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Description
【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、半導体ウエハーの加工処理工程等で使用さ
れ、ウエハーの一部に形成された切欠き部（オリエンテ
ーシヨンフラツトやノツチ）を基準にして、ウエハーの
位置決めを行うウエハーの位置決め装置に関する。
れ、ウエハーの一部に形成された切欠き部（オリエンテ
ーシヨンフラツトやノツチ）を基準にして、ウエハーの
位置決めを行うウエハーの位置決め装置に関する。
〈従来の技術〉 半導体ウエハーを加工或は測定処理する場合、ウエハー
は通常、棚状のカセツトに入れられ、そのカセツトから
搬送装置により、ウエハーが一枚づつ取出され、処理装
置のステージに載置される。カセツト内のウエハーの切
欠き部位置はランダムであり、処理装置では、ウエハー
の縁部の切欠き部が基準となつて位置決めされるため、
切欠き部を一定の位置（例えば、ステージ正面の一定位
置）にするように、ウエハーをステージ上に載置する必
要がある。
は通常、棚状のカセツトに入れられ、そのカセツトから
搬送装置により、ウエハーが一枚づつ取出され、処理装
置のステージに載置される。カセツト内のウエハーの切
欠き部位置はランダムであり、処理装置では、ウエハー
の縁部の切欠き部が基準となつて位置決めされるため、
切欠き部を一定の位置（例えば、ステージ正面の一定位
置）にするように、ウエハーをステージ上に載置する必
要がある。
このため、カセツトから取出されたウエハーは、搬送装
置により一旦、位置決め装置に載せられ、ウエハーの切
欠き部を基準とした正確な位置に載せ変えた後、処理装
置のステージ上に載置される。
置により一旦、位置決め装置に載せられ、ウエハーの切
欠き部を基準とした正確な位置に載せ変えた後、処理装
置のステージ上に載置される。
このような工程で使用されるウエハーの位置決め装置
は、従来一般に、ウエハーを回転可能に支持すると共
に、ウエハーの周縁部にゴムローラを押し当て、ゴムロ
ーラを回転駆動することによりウエハーを回し、ウエハ
ーの切欠き部がゴムローラの箇所又は光センサー等の箇
所に達した時、ウエハーの回転を停止し、位置決めする
構造である（例えば、特開昭54-16984号公報参照）。
は、従来一般に、ウエハーを回転可能に支持すると共
に、ウエハーの周縁部にゴムローラを押し当て、ゴムロ
ーラを回転駆動することによりウエハーを回し、ウエハ
ーの切欠き部がゴムローラの箇所又は光センサー等の箇
所に達した時、ウエハーの回転を停止し、位置決めする
構造である（例えば、特開昭54-16984号公報参照）。
〈発明が解決しようとする課題〉 従つて、ウエハーが位置決めされる際、ウエハーの周縁
部がゴムローラによつて押されて回転し、或は他の部材
に接触して動かされるため、脆弱なウエハーの周縁部が
傷付けられる恐れがあつた。
部がゴムローラによつて押されて回転し、或は他の部材
に接触して動かされるため、脆弱なウエハーの周縁部が
傷付けられる恐れがあつた。
本発明は、上記の課題を解決するためになされたもの
で、ウエハーの周縁部にローラ等他の部材を全く接触さ
せず、安全に且つ正確にウエハーの位置を、切欠き部を
基準に位置決めすることができる位置決め装置を提供す
ることを目的とする。
で、ウエハーの周縁部にローラ等他の部材を全く接触さ
せず、安全に且つ正確にウエハーの位置を、切欠き部を
基準に位置決めすることができる位置決め装置を提供す
ることを目的とする。
〈課題を解決するための手段〉 上記の目的を達成するために、本発明のウエハーの位置
決め装置は、水平面上のＸ・Ｙ座標におけるＸ軸とＹ軸
方向に取付台を移動させるＸ・Ｙ軸駆動機構と、取付台
上に固定された基板上にスペーサを介してカバー板を水
平に取付けて形成され、基板とカバー板との間にウエハ
ーを水平に挿入するための空間を有すると共に、後記回
転部材を位置させるための開口部を該基板の中央に有す
るウエハー挿入部と、ウエハー挿入部に設けられ、挿入
されたウエハーの縁部を検出するために、ウエハーの周
縁部に対応した箇所に一定の間隔で配設された少なくと
も６個の光センサと、ウエハー挿入部の中央の開口部内
に配置され、ウエハー挿入部内に挿入されたウエハーの
裏面中央に吸着し回転する回転部と、を備えて構成され
る。
決め装置は、水平面上のＸ・Ｙ座標におけるＸ軸とＹ軸
方向に取付台を移動させるＸ・Ｙ軸駆動機構と、取付台
上に固定された基板上にスペーサを介してカバー板を水
平に取付けて形成され、基板とカバー板との間にウエハ
ーを水平に挿入するための空間を有すると共に、後記回
転部材を位置させるための開口部を該基板の中央に有す
るウエハー挿入部と、ウエハー挿入部に設けられ、挿入
されたウエハーの縁部を検出するために、ウエハーの周
縁部に対応した箇所に一定の間隔で配設された少なくと
も６個の光センサと、ウエハー挿入部の中央の開口部内
に配置され、ウエハー挿入部内に挿入されたウエハーの
裏面中央に吸着し回転する回転部と、を備えて構成され
る。
〈作用〉 ウエハーは、専用の搬送装置等のハンドプレート上に載
せて搬送され、位置決め装置のウエハー挿入部内の空間
中央に、水平に挿入される。
せて搬送され、位置決め装置のウエハー挿入部内の空間
中央に、水平に挿入される。
ウエハーがハンドプレート上に載置された状態で、ウエ
ハー挿入部の６個の光センサが作動し、各センサからの
検出信号に基づき、ウエハー周縁部の検出動作が行われ
る。そして、Ｘ・Ｙ軸駆動機構が動作し、取付台つまり
ウエハー挿入部を、先ず、Ｘ軸方向に往復移動させ、Ｘ
軸についてウエハーとウエハー挿入部の中心位置を合せ
るように、位置決めが行われる。
ハー挿入部の６個の光センサが作動し、各センサからの
検出信号に基づき、ウエハー周縁部の検出動作が行われ
る。そして、Ｘ・Ｙ軸駆動機構が動作し、取付台つまり
ウエハー挿入部を、先ず、Ｘ軸方向に往復移動させ、Ｘ
軸についてウエハーとウエハー挿入部の中心位置を合せ
るように、位置決めが行われる。
即ち、先ず、６個の光センサのうちで、ウエハーの縁部
をより多く検出する光センサ側のＸ軸方向に、ウエハー
挿入部が移動し、各光センサがウエハーの縁部を検出し
オフした時点又はオフからオンした時点のＸ座標データ
を測定する。次に、ウエハー挿入部が前と逆方向に移動
し、同様に各光センサがウエハーの縁部を検出してオン
からオフする時点又はオフからオンする時点のＸ座標デ
ータを測定する。そして、各センサがオンからオフ又は
オフからオンする点までの移動量の半分つまり中間位置
まで、ウエハー挿入部が前とは逆方向に移動する。これ
で、Ｘ軸方向の位置決めが完了する。
をより多く検出する光センサ側のＸ軸方向に、ウエハー
挿入部が移動し、各光センサがウエハーの縁部を検出し
オフした時点又はオフからオンした時点のＸ座標データ
を測定する。次に、ウエハー挿入部が前と逆方向に移動
し、同様に各光センサがウエハーの縁部を検出してオン
からオフする時点又はオフからオンする時点のＸ座標デ
ータを測定する。そして、各センサがオンからオフ又は
オフからオンする点までの移動量の半分つまり中間位置
まで、ウエハー挿入部が前とは逆方向に移動する。これ
で、Ｘ軸方向の位置決めが完了する。
なお、ウエハーの切欠き部が光センサの位置にきた場
合、その光センサはウエハーの正しい縁部を検出できな
い。このため、各光センサにおける縁部検出点が円周上
にあるか否かを判定し、円周上にない場合、その光セン
サは切欠き部を検出したものとして、その検出信号は無
視し、残りの光センサからの検出信号（座標データ）を
用いてウエハーの位置決めを行う。
合、その光センサはウエハーの正しい縁部を検出できな
い。このため、各光センサにおける縁部検出点が円周上
にあるか否かを判定し、円周上にない場合、その光セン
サは切欠き部を検出したものとして、その検出信号は無
視し、残りの光センサからの検出信号（座標データ）を
用いてウエハーの位置決めを行う。
次に、６個の光センサのうちで、ウエハーの縁部を検出
できない光センサと反対側のＹ軸方向に、ウエハー挿入
部が移動し、Ｘ軸の場合と同様に、各光センサがオフか
らオン又はオンからオフする時点のＹ座標を測定する。
さらに、上記と同様にウエハー挿入部が反対側に移動
し、各光センサがオンからオフ又はオフからオンする時
点のＹ座標を求め、さらに、ウエハー挿入部が前とは逆
方向に、縁部検出座標点間の半分だけ移動し、これでＹ
軸方向の位置決めが完了する。
できない光センサと反対側のＹ軸方向に、ウエハー挿入
部が移動し、Ｘ軸の場合と同様に、各光センサがオフか
らオン又はオンからオフする時点のＹ座標を測定する。
さらに、上記と同様にウエハー挿入部が反対側に移動
し、各光センサがオンからオフ又はオフからオンする時
点のＹ座標を求め、さらに、ウエハー挿入部が前とは逆
方向に、縁部検出座標点間の半分だけ移動し、これでＹ
軸方向の位置決めが完了する。
以上の動作は、ウエハー挿入部（回転部等を含む）のみ
が水平面上のＸ・Ｙ軸方向に移動し、ウエハーとの中心
位置合せを行つたものであり、ウエハーを移動させた
り、ウエハーに他の部材を接触させたりしていない。
が水平面上のＸ・Ｙ軸方向に移動し、ウエハーとの中心
位置合せを行つたものであり、ウエハーを移動させた
り、ウエハーに他の部材を接触させたりしていない。
そして次に、搬送装置のハンドプレートが下がることに
よつて、位置合せされたウエハーが回転部上に載置さ
れ、吸着される。次に、回転部が回転することによつ
て、その上に吸着されたウエハーを回転させ、１個の光
センサがウエハーの切欠き部を検出した時点から、さら
に所定の角度だけ回転させる。これによつて、ウエハー
の向きつまり角度位置が一定の位置に位置決めされる。
よつて、位置合せされたウエハーが回転部上に載置さ
れ、吸着される。次に、回転部が回転することによつ
て、その上に吸着されたウエハーを回転させ、１個の光
センサがウエハーの切欠き部を検出した時点から、さら
に所定の角度だけ回転させる。これによつて、ウエハー
の向きつまり角度位置が一定の位置に位置決めされる。
〈実施例〉 以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第１図はウエハーの位置決め装置の一部断面を含む正面
図を示している。この位置決め装置は、Ｘ・Ｙ軸駆動機
構１の取付台18上にロツドフレーム４を介してウエハー
挿入部２が水平に固定され、ウエハー挿入部２の中央
に、ウエハーを載せて回転する回転部３が配設されて構
成される。
図を示している。この位置決め装置は、Ｘ・Ｙ軸駆動機
構１の取付台18上にロツドフレーム４を介してウエハー
挿入部２が水平に固定され、ウエハー挿入部２の中央
に、ウエハーを載せて回転する回転部３が配設されて構
成される。
Ｘ・Ｙ軸駆動機構１のベース11上には、ねじ軸12を水平
方向（Ｙ軸方向）に軸を介して取付けると共に、ステツ
プモータ13により回転駆動可能とし、ベース11上に２本
のガイド軸14をねじ軸と同じ方向に取付け、Ｙ軸移動フ
レーム15をその上に配設する。そして、Ｙ軸移動フレー
ム15の下部に固定したガイドブロツクを両側のガイド軸
14に摺動可能に外嵌させ、めねじブロツクのねじ孔が上
記ねじ軸12と螺合される。従つて、ステツプモータ13の
駆動により、Ｙ軸移動フレーム15は第１図の紙面と垂直
方向（Ｙ軸方向）に移動する。
方向（Ｙ軸方向）に軸を介して取付けると共に、ステツ
プモータ13により回転駆動可能とし、ベース11上に２本
のガイド軸14をねじ軸と同じ方向に取付け、Ｙ軸移動フ
レーム15をその上に配設する。そして、Ｙ軸移動フレー
ム15の下部に固定したガイドブロツクを両側のガイド軸
14に摺動可能に外嵌させ、めねじブロツクのねじ孔が上
記ねじ軸12と螺合される。従つて、ステツプモータ13の
駆動により、Ｙ軸移動フレーム15は第１図の紙面と垂直
方向（Ｙ軸方向）に移動する。
Ｙ軸移動フレーム15上には、ねじ軸16が水平横方向（Ｘ
軸方向）に軸受を介して取付けられ、このねじ軸16はス
テツプモータ19により回転駆動され、ねじ軸16の両側に
はガイド軸17が同方向に固定される。そして、ガイドブ
ロツクとめねじブロツクを下部に設けた取付台18がＹ軸
移動フレーム15上に配設され、そのガイドブロツクがガ
イド軸17上に摺動可能に外嵌され、めねじブロツクがね
じ軸16に螺合する。
軸方向）に軸受を介して取付けられ、このねじ軸16はス
テツプモータ19により回転駆動され、ねじ軸16の両側に
はガイド軸17が同方向に固定される。そして、ガイドブ
ロツクとめねじブロツクを下部に設けた取付台18がＹ軸
移動フレーム15上に配設され、そのガイドブロツクがガ
イド軸17上に摺動可能に外嵌され、めねじブロツクがね
じ軸16に螺合する。
従つて、ステツプモータ19の駆動により、取付台18は第
１図の左右方向（Ｘ軸方向）に移動し、ベース11上のス
テツプモータ13の回転駆動により、取付台18はＹ軸方向
に移動する。
１図の左右方向（Ｘ軸方向）に移動し、ベース11上のス
テツプモータ13の回転駆動により、取付台18はＹ軸方向
に移動する。
取付台18上には、複数のロツドを縦に配設したロツドフ
レーム４を介してウエハー挿入部２が水平に固定され
る。
レーム４を介してウエハー挿入部２が水平に固定され
る。
ウエハー挿入部２は、基板21上に４本のスペーサ22を介
してカバー板23を水平に固定し、その間にウエハー20を
挿入するための空間９を形成して構成される。また、第
２図に示すように、基板21の中央には回転部３を配置す
るための開口部が形成される。
してカバー板23を水平に固定し、その間にウエハー20を
挿入するための空間９を形成して構成される。また、第
２図に示すように、基板21の中央には回転部３を配置す
るための開口部が形成される。
ウエハー挿入部２の基板21には、その空間９に挿入され
たウエハー20の周縁部を検出するための６個の光センサ
24〜29が、第２図のように、正確に挿入されたウエハー
20の周縁部に対応した円周上に沿つて、一定の間隔で配
設される。
たウエハー20の周縁部を検出するための６個の光センサ
24〜29が、第２図のように、正確に挿入されたウエハー
20の周縁部に対応した円周上に沿つて、一定の間隔で配
設される。
即ち、ここでは、光センサ24と27がＸ軸方向の中心軸上
の両端対向位置に配置され、光センサ24と45度の間隔で
光センサ25と26がウエハー周縁部の対応位置に配置さ
れ、同様に、光センサ27と45度の間隔で光センサ28と29
がウエハー周縁部の対応位置に配置される。これらの光
センサは少なくとも６個必要である。
の両端対向位置に配置され、光センサ24と45度の間隔で
光センサ25と26がウエハー周縁部の対応位置に配置さ
れ、同様に、光センサ27と45度の間隔で光センサ28と29
がウエハー周縁部の対応位置に配置される。これらの光
センサは少なくとも６個必要である。
これらの光センサ24〜29は透過型のセンサであるため、
カバー板23内の各対向には投光素子８が配設されるが、
反射型の光センサを使用することもできる。
カバー板23内の各対向には投光素子８が配設されるが、
反射型の光センサを使用することもできる。
ウエハー挿入部２基板21の中央位置には、回転部３が回
転可能に配設される。回転部３の回転軸31は下方に垂直
に配設され、ロツドフレーム４に固定された取付板32上
の軸受33に支持される。そして、取付板32の下側にブラ
ケツトを介して固定されたステツプモータ34に回転軸31
が連結され、ステツプモータ34により回転軸31を介して
回転部３が回転駆動される。35は歯車を介して回転軸31
に連係された回転パルス発生器で、回転部３の回転角度
に対応した信号を図示しない制御装置に出力する。
転可能に配設される。回転部３の回転軸31は下方に垂直
に配設され、ロツドフレーム４に固定された取付板32上
の軸受33に支持される。そして、取付板32の下側にブラ
ケツトを介して固定されたステツプモータ34に回転軸31
が連結され、ステツプモータ34により回転軸31を介して
回転部３が回転駆動される。35は歯車を介して回転軸31
に連係された回転パルス発生器で、回転部３の回転角度
に対応した信号を図示しない制御装置に出力する。
なお、回転部３の上面には吸着用の吸気孔が穿設され、
回転軸31内等の管炉を介して図示しない吸気装置に接続
される。上記６個の光センサ24〜29、及びステツプモー
タ13、19、及び34は、マイクロコンピュータを使用した
制御装置に接続され、検出信号を送ると共に、予めメモ
リに記憶された制御プログラムに基づき駆動制御され
る。
回転軸31内等の管炉を介して図示しない吸気装置に接続
される。上記６個の光センサ24〜29、及びステツプモー
タ13、19、及び34は、マイクロコンピュータを使用した
制御装置に接続され、検出信号を送ると共に、予めメモ
リに記憶された制御プログラムに基づき駆動制御され
る。
次に、上記構成の位置決め装置の動作を説明する。
先ず、ウエハー20は、専用のカセツト等から、搬送装置
等のハンドプレート７に載せて取出され、位置決め装置
のウエハー挿入部２内の空間９の中央に、水平に挿入さ
れる。
等のハンドプレート７に載せて取出され、位置決め装置
のウエハー挿入部２内の空間９の中央に、水平に挿入さ
れる。
ウエハー20がハンドプレート７上に載置された状態で、
ウエハー挿入部２の６個の光センサ24〜29が作動し、各
センサからの検出信号に基づき、ウエハー周縁部の検出
動作が行われる。そして、Ｘ・Ｙ軸駆動機構１が動作
し、取付台18つまりウエハー挿入部２を、先ず、Ｘ軸方
向に往復移動させ、Ｘ軸についてウエハー20とウエハー
挿入部２の中心位置を合せるように、位置決めが行われ
る。
ウエハー挿入部２の６個の光センサ24〜29が作動し、各
センサからの検出信号に基づき、ウエハー周縁部の検出
動作が行われる。そして、Ｘ・Ｙ軸駆動機構１が動作
し、取付台18つまりウエハー挿入部２を、先ず、Ｘ軸方
向に往復移動させ、Ｘ軸についてウエハー20とウエハー
挿入部２の中心位置を合せるように、位置決めが行われ
る。
例えば、第３図のように、ウエハー20が正しい中心位置
Ｏから、図の斜め右上のＰ位置（挿入されたウエハー20
の中心位置）にずれて挿入されたと仮定する。
Ｏから、図の斜め右上のＰ位置（挿入されたウエハー20
の中心位置）にずれて挿入されたと仮定する。
この場合、先ず、６個の光センサのうちで、ウエハーの
縁部をより多く検出する光センサ27、28、29側のＸ軸方
向（図の右方向）に、Ｘ・Ｙ軸駆動機構１が作動してウ
エハー挿入部２を移動させ、各光センサ27、28、29がウ
エハー20の縁部を検出しオンからオフする時点のＸ座標
データを測定する。また、オフしていた左側の光センサ
24、26がオフからオンする時点のＸ座標データを測定す
る。
縁部をより多く検出する光センサ27、28、29側のＸ軸方
向（図の右方向）に、Ｘ・Ｙ軸駆動機構１が作動してウ
エハー挿入部２を移動させ、各光センサ27、28、29がウ
エハー20の縁部を検出しオンからオフする時点のＸ座標
データを測定する。また、オフしていた左側の光センサ
24、26がオフからオンする時点のＸ座標データを測定す
る。
さらに、Ｘ・Ｙ軸駆動機構１の駆動により、ウエハー挿
入部２が前と逆方向（図の左方向）に移動し、上記と同
様に、各光センサ27、28、29がウエハー20の縁部を検出
しオフからオンする時点のＸ座標データを測定し、光セ
ンサ24、25、26がオンからオフする時点のＸ座標を測定
する。
入部２が前と逆方向（図の左方向）に移動し、上記と同
様に、各光センサ27、28、29がウエハー20の縁部を検出
しオフからオンする時点のＸ座標データを測定し、光セ
ンサ24、25、26がオンからオフする時点のＸ座標を測定
する。
次に、再びそれと逆方向（右方向）に、前回の移動量の
半分つまり中間位置まで戻るように、ウエハー挿入部２
が移動する。これで、ウエハー挿入部２（回転部３）の
中心位置０がウエハー20の中心Ｐを通るＹ方向の線上に
達し、Ｘ軸方向の位置決めが完了する。
半分つまり中間位置まで戻るように、ウエハー挿入部２
が移動する。これで、ウエハー挿入部２（回転部３）の
中心位置０がウエハー20の中心Ｐを通るＹ方向の線上に
達し、Ｘ軸方向の位置決めが完了する。
なお、各光センサによつて検出されたウエハーの縁部の
点が、円周上にあるか否かを判定し、これによつて、ウ
エハー20の切欠き部（オリエンテーシヨンフラツト）20
aが光センサ27の位置にきていることを検出する。そし
て、光センサ27からの縁部検出座標データは無視し、残
りの光センサからの検出信号に基づき、ウエハー20の位
置決めを行う。
点が、円周上にあるか否かを判定し、これによつて、ウ
エハー20の切欠き部（オリエンテーシヨンフラツト）20
aが光センサ27の位置にきていることを検出する。そし
て、光センサ27からの縁部検出座標データは無視し、残
りの光センサからの検出信号に基づき、ウエハー20の位
置決めを行う。
次に、ウエハー20の縁部を検出しオンしている光センサ
25、28側のＹ軸方向（図の上方向）に、ウエハー挿入部
２がＸ・Ｙ軸駆動機構１の作動により移動する。そし
て、光センサ26、29がウエハーの縁部を検出しオフから
オンした時点のＹ座標を測定し、同時に、光センサ25、
28がオンからオフした時点のＹ座標を測定する。
25、28側のＹ軸方向（図の上方向）に、ウエハー挿入部
２がＸ・Ｙ軸駆動機構１の作動により移動する。そし
て、光センサ26、29がウエハーの縁部を検出しオフから
オンした時点のＹ座標を測定し、同時に、光センサ25、
28がオンからオフした時点のＹ座標を測定する。
続いて、ウエハー挿入部20が逆方向つまり図の下方のＹ
軸方向に移動し、上記と同様、光センサ26、29がウエハ
ーの縁部を検出しオンからオフした時点のＹ座標を測定
し、同時に、光センサ25、28がオフからオンした時点の
Ｙ座標を測定する。そして、ウエハー挿入部２は再び、
上記と逆方向（上方向）に、前回の移動量の半分つまり
中間位置まで戻るように、移動する。
軸方向に移動し、上記と同様、光センサ26、29がウエハ
ーの縁部を検出しオンからオフした時点のＹ座標を測定
し、同時に、光センサ25、28がオフからオンした時点の
Ｙ座標を測定する。そして、ウエハー挿入部２は再び、
上記と逆方向（上方向）に、前回の移動量の半分つまり
中間位置まで戻るように、移動する。
これで、ウエハー挿入部２（回転部３）の中心位置０が
ウエハー20の中心位置Ｐに達し、Ｘ・Ｙ軸方向の位置決
めが完了する。
ウエハー20の中心位置Ｐに達し、Ｘ・Ｙ軸方向の位置決
めが完了する。
そして次に、搬送装置のハンドプレート７が下がること
によつて、位置合せされたウエハー20が回転部３上に載
置され、吸着される。そして、回転部３がステツプモー
タ34により回転され、その上に吸着されたウエハー20
を、例えば第３図の時計方向に回転させる。このとき、
光センサ29がオンからオフそしてオフからオンすること
により、ウエハー20の切欠き部20aの両端部を検出す
る。そして、切欠き部20aの中心位置（角度）を測定
し、そこから、さらに所定の角度だけ同方向に回転させ
ることにより、ウエハー20の切欠き部20aの向きが、第
２図のような位置に達し、一定の角度位置に位置決めさ
れる。
によつて、位置合せされたウエハー20が回転部３上に載
置され、吸着される。そして、回転部３がステツプモー
タ34により回転され、その上に吸着されたウエハー20
を、例えば第３図の時計方向に回転させる。このとき、
光センサ29がオンからオフそしてオフからオンすること
により、ウエハー20の切欠き部20aの両端部を検出す
る。そして、切欠き部20aの中心位置（角度）を測定
し、そこから、さらに所定の角度だけ同方向に回転させ
ることにより、ウエハー20の切欠き部20aの向きが、第
２図のような位置に達し、一定の角度位置に位置決めさ
れる。
このように、ウエハー20の周縁部に他の部材を接触させ
ることなく、ウエハー20の中心位置を合せ、且つその切
欠き部20aの位置を所定の角度位置に合わせることがで
きる。
ることなく、ウエハー20の中心位置を合せ、且つその切
欠き部20aの位置を所定の角度位置に合わせることがで
きる。
その後、位置決めされて回転部３上に載置されたウエハ
ー20は、その上に表示されたマーク等をカメラ等により
読取つた後、ハンドプレート７によつて再び持ちあげら
れ、所定の場所に搬送される。
ー20は、その上に表示されたマーク等をカメラ等により
読取つた後、ハンドプレート７によつて再び持ちあげら
れ、所定の場所に搬送される。
〈発明の効果〉 以上説明したように、本発明の位置決め装置によれば、
回転部を中央に持つウエハー挿入部内の空間にウエハー
保持しながら、ウエハー挿入部を水平面上のＸ・Ｙ軸方
向に移動してウエハーの中心位置を合せ、その後、ウエ
ハーの中心部を回転部上に載置し、ウエハーを回転させ
ながら、周縁部を検出する光センサによつてウエハーの
切欠き部を所定の角度位置に合せるようにしたから、ウ
エハーの周縁部に他の部材を全く接触させずに、正確に
位置決めすることができ、脆弱な半導体ウエハーを傷付
ける恐れはない。また、少なくとも６個の光センサによ
つてウエハーの周縁部を検出するため、オリエンテーシ
ヨンフラツトのみではなく、ノツチ状の切欠き部を持つ
ウエハーの位置決めにも適用することができる。
回転部を中央に持つウエハー挿入部内の空間にウエハー
保持しながら、ウエハー挿入部を水平面上のＸ・Ｙ軸方
向に移動してウエハーの中心位置を合せ、その後、ウエ
ハーの中心部を回転部上に載置し、ウエハーを回転させ
ながら、周縁部を検出する光センサによつてウエハーの
切欠き部を所定の角度位置に合せるようにしたから、ウ
エハーの周縁部に他の部材を全く接触させずに、正確に
位置決めすることができ、脆弱な半導体ウエハーを傷付
ける恐れはない。また、少なくとも６個の光センサによ
つてウエハーの周縁部を検出するため、オリエンテーシ
ヨンフラツトのみではなく、ノツチ状の切欠き部を持つ
ウエハーの位置決めにも適用することができる。
図は本発明の一実施例を示し、 第１図は一部断面を含む位置決め装置の正面図、 第２図は第１図のII-II断面図、 第３図は位置決め時の動作を示す断面図である。 １……Ｘ・Ｙ軸駆動機構、２……ウエハー挿入部、３…
…回転部、５……空間、18……取付台、20……ウエハ
ー、24〜29……光センサ。
…回転部、５……空間、18……取付台、20……ウエハ
ー、24〜29……光センサ。
Claims (1)
- 【請求項１】水平面上のＸ・Ｙ座標におけるＸ軸とＹ軸
方向に取付台を移動させるＸ・Ｙ軸駆動機構と、 該取付台上に固定された基板上にスペーサを介してカバ
ー板を水平に取付けて形成され、該基板と該カバー板と
の間にウエハーを水平に挿入するための空間を有すると
共に、後記回転部を位置させるための開口部を該基板の
中央に有するウエハー挿入部と、 該ウエハー挿入部に設けられ、挿入されたウエハーの縁
部を検出するために、ウエハーの周縁部に対応した箇所
に一定の間隔で配設された少なくとも６個の光センサ
と、 該ウエハー挿入部の中央の開口部内に配置され、該ウエ
ハー挿入部内に挿入されたウエハーの裏面中央に吸着し
回転する回転部と、 を備えたことを特徴とするウエハーの位置決め装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1276438A JPH0736417B2 (ja) | 1989-10-24 | 1989-10-24 | ウエハーの位置決め装置 |
| US07/483,850 US5054991A (en) | 1989-10-24 | 1990-02-23 | Wafer positioning apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1276438A JPH0736417B2 (ja) | 1989-10-24 | 1989-10-24 | ウエハーの位置決め装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03138957A JPH03138957A (ja) | 1991-06-13 |
| JPH0736417B2 true JPH0736417B2 (ja) | 1995-04-19 |
Family
ID=17569427
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1276438A Expired - Fee Related JPH0736417B2 (ja) | 1989-10-24 | 1989-10-24 | ウエハーの位置決め装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5054991A (ja) |
| JP (1) | JPH0736417B2 (ja) |
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| JP2986121B2 (ja) * | 1991-03-26 | 1999-12-06 | 東京エレクトロン株式会社 | ロードロック装置及び真空処理装置 |
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| DE3219502C2 (de) * | 1982-05-25 | 1990-04-19 | Ernst Leitz Wetzlar Gmbh, 6330 Wetzlar | Vorrichtung zum automatischen Transport scheibenförmiger Objekte |
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| US4729536A (en) * | 1986-11-04 | 1988-03-08 | Harry Scala | Anagraphic stand |
-
1989
- 1989-10-24 JP JP1276438A patent/JPH0736417B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1990
- 1990-02-23 US US07/483,850 patent/US5054991A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5054991A (en) | 1991-10-08 |
| JPH03138957A (ja) | 1991-06-13 |
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|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |