JP2868645B2 - ウエハ搬送装置、ウエハの傾き検出方法、およびウエハの検出方法 - Google Patents

ウエハ搬送装置、ウエハの傾き検出方法、およびウエハの検出方法

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    • Y10S414/137—Associated with semiconductor wafer handling including means for charging or discharging wafer cassette

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ウエハ搬送装置、ウエ
ハの傾き検出方法、およびウエハの検出方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、例えば複数枚の半導体ウエハを収
納したウエハカセットから１枚ずつ半導体ウエハを取り
出して搬送する装置が、ウエハ搬送装置として知られて
いる。
【０００３】さらに、かかるウエハ搬送装置として、搬
送基台にピンセットを設け、このピンセットの上面に半
導体ウエハを載置して半導体ウエハを保持し、この状態
で搬送基台を移動させることにより、半導体ウエハの搬
送を行なうものが知られている。
【０００４】このようなウエハ搬送装置を用いて、ウエ
ハカセットに収納された半導体ウエハを取り出す場合に
は、まず、図５（ａ）に示したように、ウエハ搬送装置
１０を移動手段（図示せず）により移動させて、ウエハ
カセット４０内の半導体ウエハ６０の下側にピンセット
１４を挿入する。続いて、そのまま搬送基台を上昇させ
ることによりピンセット１４を上昇させてピンセット１
４上に半導体ウエハ６０を載置して保持し、ウエハ搬送
装置１０を後退させることにより、半導体ウエハ６０を
取り出すことができる。
【０００５】なお、ウエハカセット４０内の各半導体ウ
エハ６０は、図５（ｂ）に示したように、ウエハカセッ
ト４０の両側の内側面に設けられた溝４０ａの各段に挿
入され、僅であるが水平状態が乱れて収納されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】このようにしてウエハ
カセット４０から半導体ウエハ６０を自動化されたウエ
ハ搬送装置により取り出す場合、ウエハカセット４０内
の各段に実際に半導体ウエハ６０が収納されているかを
予め確認しておくことが一般に行われている。このた
め、従来は、例えばウエハカセット４０に、半導体ウエ
ハ６０が収納されているか否かをウエハ搬送方向と同じ
前後方向に光ビームを照射して検知するセンサ手段等が
設けられていた。
【０００７】しかしながら、通常、ウエハカセット４０
は、１台の半導体製造装置に対して多数個使用されるの
で、ウエハカセット毎にセンサ手段等を設けることとす
ると、装置全体として非常に高価格になってしまうとい
う課題があった。
【０００８】また、上述のように、ウエハカセット４０
は、両側の内側面に設けられた溝４０ａの各段に半導体
ウエハ６０を挿入する構成となっているので、図５
（ｂ）に６０ａ，６０ｂで示したように、半導体ウエハ
が僅であるが斜めに挿入されてしまう場合があった。通
常のマッピング方法は、決められた長さ（ピッチ）ず
つ、ウエハカセットとセンサ手段とが相対的に動いて行
き、そこに半導体ウエハが有るか無いかの検出であり、
半導体ウエハの取出の為のピンセットのウエハカセット
への突込み高さ等は、ウエハカセットのスロット（溝）
の位置に対していつも一定であった。このような場合
に、半導体ウエハを自動化されたウエハ搬送装置１０で
保持して取り出そうとすると、半導体ウエハが溝４０ａ
と強く擦れあってダストの発生の原因となり、さらに、
最悪の場合には、半導体ウエハを破損してしまう場合が
あるという課題があった。
【０００９】本発明は、このような従来の技術の課題に
鑑みて成されたものであり、搬送すべきウエハの有無を
検知することができるウエハ搬送装置およびこのウエハ
搬送装置を用いて行なうウエハの傾き検出方法、および
ウエハの検出方法を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明に
係るウエハ搬送装置は、 ウエハカセット内に収納された
ウエハを移動させて搬送するウエハ保持手段と、ウエハ
検出手段とを備えたウエハ搬送装置であって、 前記ウエ
ハ検出手段は、 発光手段が設けられた第１のアームと、
前記発光手段から照射される光を検出する受光手段が設
けられた第２のアームと、 前記第１および第２のアーム
が使用中の前記カセット内にある場合の前記受光手段の
出力情報に基づいて、前記ウエハカセット内のウエハの
有無または収納状態を判定する判定手段と、 を具備する
ことを特徴とする。
【００１１】請求項２に記載の発明に係るウエハの傾き
検出方法は、 ウエハカセット内に収納されたウエハの傾
きをウエハ搬送装置によって検出する方法であって、 先
端部に発光手段を持つ第１のアームと、先端部に受光手
段を持つ第２のアームとを移動させ、前記第１および第
２のアームを前記ウエハカセットに挿入して前記第１お
よび第２のアームを前記ウエハの外周の外側の上方また
は下方に位置させる工程と、 前記第１および第２のアー
ムを前記ウエハカセットに対して相対的に上方向または
下方向に移動させつつ、前記発光手段から光を照射しそ
の光を前記受光手段で検出して、前記ウエハの見かけ上
の厚さを測定する工程と、 前記測定によって得られた前
記ウエハの見かけ上の厚さと前記ウエハの実際の厚さと
を比較して、収納されているウエハの傾きを検出する工
程と、 を有することを特徴とする。請求項３に記載の発
明に係るウエハの傾き検出方法は、 請求項２において、
前記ウエハの見かけ上の厚さを測定する工程において
は、前記ウエハ搬送装置は第１および第２のアームの所
定移動距離ごとに所定数のパルス信号を発生し、前記光
が前記受光手段に検出されない間における該パルス信号
のパルス数を計数することにより前記ウエハの見かけ上
の厚さを測定することを特徴とする。請求項４に記載の
発明に係るウエハの傾き検出方法は、 請求項３におい
て、 前記ウエハの傾きを検出する工程では、前記計数さ
れたパルス数が前記ウエハの実際の厚さに対応するパル
ス数を超える場合は、前記ウエハ搬送装置がアラーム信
号を発生させることを特徴とする。請求項５に記載の発
明に係るウエハ検出方法は、 ウエハカセット内に収納さ
れたウエハの有無をウエハ搬送装置により検出する方法
であって、 先端部に発光手段を持つ第１のアームと、先
端部に受光手段を持つ第２のアー ムとを移動させ、前記
第１および第２のアームを前記ウエハカセットに挿入し
て前記第１および第２のアームを前記ウエハの外周の外
側の上方または下方に位置させる工程と、 前記第１およ
び第２のアームを前記ウエハカセットに対して相対的に
上方向または下方向に移動させつつ、前記発光手段から
光を照射しその光を前記受光手段で検出し、前記ウエハ
の有無を検知する工程と、 を有することを特徴とする。
【００１２】
【作用】請求項１に記載の発明に係るウエハ搬送装置で
は、ウエハ搬送装置に発光手段を設けた第１のアーム
と、前記発光手段から放射された光を検出する受光手段
を設けた第２のアームとを有するウエハ検出手段を設
け、この第１のアームと第２のアームとを、ウエハが存
在すべき領域を挟み込むように、ウエハカセット内に挿
入し、ウエハを左右方向から検出する。発光手段と受光
手段との間にウエハが存在する場合は、発光手段から放
射された光はウエハによって遮られるので、ウエハの存
在または状態を検出することができる。
【００１３】請求項２に記載の発明に係るウエハの傾き
検出方法では、まず、ウエハ検出手段の第１のアームと
第２のアームとをウエハカセットに挿入しウエハの周面
の外側の上方または下方に位置させ、そして、第１のア
ームと第２のアームとを前記ウエハカセットに対して相
対的に上方向または下方向に移動させつつ、発光手段か
らの光を受光手段が検出しなくなってから再度検出する
までの間のウエハ検出手段の移動距離により、ウエハの
みかけ上の厚さを測定する。このみかけ上の厚さが実際
の厚さよりも大きい場合は、ウエハが傾いていると判断
する。請求項３に記載の発明に係るウエハの傾き検出方
法によれば、第１および第２のアームを、ウエハカセッ
トに挿入しウエハの外周の外側の上方または下方に位置
させた後、ウエハカセットに対して上方向または下方向
のウエハの存在する方向に移動させつつ、その所定移動
距離ごとにウエハ搬送装置から所定数のパルスが発生さ
れるパルス信号を、発光手段からの光が受光手段に検出
されない間にわたって計数することによってウエハの見
かけ上の厚さを測定する。請求項４に記載の発明に係る
ウエハの傾き検出方法によれば、ウエハ搬送装置は、そ
の計数値が、実際のウエハの厚さに対応するバルス数を
超えた場合は、ウエハが傾いていると判断してアラーム
信号を発生させる。請求項５に記載の発明に係るウエハ
の検出方法によれば、先端部に発光手段を持つ第１のア
ームと先端部に受光手段を持つ第２のアームとを、ウエ
ハカセットに挿入しウエハの外周の外側の上方または下
方に位置させた後、ウエハカセットに対して上方向また
は下方向のウエハの存在する方向に移動させつつ、発光
手段からの光が受光手段に検出される場合はウエハが存
在しないことを検知し、検出されない場合はウエハが存
在することを検知する。
【００１４】
【実施例】以下、本発明の１実施例について、図面を用
いて説明する。
【００１５】図１は、本実施例に係わるウエハ搬送装置
の構成を概略的に示すものであり、図１（ａ）は上面
図、図１（ｂ）は正面図である。
【００１６】本実施例のウエハ搬送装置１０は、搬送基
台１２に、上面に前記ウエハを載置させるように構成さ
れたウエハ保持手段であるピンセット１４と、一端が搬
送基台１２に取着された取付金具１６ａ，１６ｂによっ
て支持されたウエハセンタリング部材１８ａ，１８ｂ
と、ウエハ検出機構２２と、搬送基台１２を昇降させる
ための昇降ロッド２０とを設けて構成されている。さら
に、このウエハ搬送装置１０は、図示していない手段に
より移動させることができる。
【００１７】ピンセット１４は、図示していない駆動手
段（例えばエアーシリンダー，ボールネジ，ベルト等）
により図１中Ａで示した方向に搬送基台１２に対して前
後動させることができるように構成されており、このピ
ンセット１４を前進させて、ウエハカセットに収納され
た半導体ウエハ６０の下側に非接触状態で挿入し、続い
て、ピンセット１４を昇降ロッド２０を用いて上昇させ
ることにより半導体ウエハ６０をピンセット１４上に載
置し、さらに、このピンセット１４を後退させて（すな
わち、搬送基台１２側に移動させて）、ピンセット１４
の先端部に設けられた段部１４ａの内側面１４ａ´とウ
エハセンタリング部材１８ａ，１８ｂの円弧状の側面１
８ａ´，１８ｂ´とで半導体ウエハ６０を周辺から挟み
込むことにより、この半導体ウエハ６０のセンタリング
および保持を行なうことができる。
【００１８】ウエハ検出機構２２は、先端部に発光手段
である発光素子２８（例えばＬＥＤ）を設けた第１のア
ーム２４と、先端部に受光手段である受光素子３０（例
えばフォトトランジスタ）を設けた第２のアーム２６
と、後述する判定回路とによって構成されている。この
アーム２４，２６は、ピンセット１４の下方位置に配置
され、ピンセット１４とは独立に、図１中Ａで示した方
向に前後動させることができるように構成されている。
すなわち、半導体ウエハ６０をピンセット１４のウエハ
取出し移動方向に対して左右方向から検出するように構
成されている。したがって、ウエハ検出用の光ビーム２
９を左右方向に照射してウエハを検出する。また、第１
のアーム２４と第２のアーム２６との先端部間の間隔
は、ウエハカセット内に進入可能なような間隔、例え
ば、半導体ウエハ６０の直径よりも狭く構成されてい
る。
【００１９】図２は、ウエハ搬送装置１０を示す側面図
であり、図２（ａ）はアーム２４，２６を搬送基台１２
側に後退させた状態（図では第２のアーム２６のみ示し
ている）、図２（ｂ）は第２のアーム２６をガイド溝２
６′に沿って前進させた状態を示している。
【００２０】以下、このようなウエハ検出機構２２を用
いてウエハカセットに収納された半導体ウエハの有無お
よび傾きを検出する方法について説明する。
【００２１】まず、アーム２４，２６を前進させて、ア
ーム２４，２６が半導体ウエハ６０の周面の外側の下方
に位置するように、ウエハカセット４０に挿入する。こ
のときの状態を、図３（ａ）および図３（ｂ）に示す。
なお、図３（ａ）は縦断面図であり、図３（ｂ）は横断
面図である。
【００２２】次に、発光素子２８の発光を開始する。こ
のとき、この発光素子２８と受光素子３０との間には半
導体ウエハ６０は存在していないので、発光素子２８か
らの光の光ビーム２９は受光素子３０に達し、その結
果、ウエハ無しと判定される。
【００２３】続いて、図３（ａ）にＢで示したように、
アーム２４，２６を、昇降ロッド２０を用いて上昇させ
る。
【００２４】ここで、アーム２４，２６が最下段に収納
された半導体ウエハ６０の高さまで上昇すると、発光素
子２８からの光ビーム２９は半導体ウエハ６０のウエハ
搬送機構１０寄りの周面で遮断され、受光素子３０では
検出されず、ウエハ検出の出力情報を出す。これによ
り、ウエハ検出機構２２の判定回路は、最下段に半導体
ウエハ６０が収納されていることおよび半導体ウエハ６
０の位置を検出することができる。そして、順次アーム
２４，２６をウエハカセット４０の最上段の収納位置の
高さまで上昇させてウエハカセット４０内の各段につい
てウエハ有り無しの検出・判定すなわちマッピングを実
施する。
【００２５】上述のように、ウエハ検出手段をウエハ搬
送装置１０側にすべて設けたため、ウエハカセット４０
が多数有ったとしても、前記ウエハ検出手段は１つ設け
るだけでよい。しかも、従来のように、ウエハカセット
側に例えば光反射体等の検出手段を別途設ける必要はな
い。
【００２６】また、このとき、半導体ウエハ６０がウエ
ハカセット４０内の各段の溝４０に水平方向に正しく収
納されているか或いは傾いた状態で収納されているか
を、この半導体ウエハ６０のみかけ上の厚さを測定する
ことによって判定することが可能である。
【００２７】半導体ウエハ６０が水平方向に正しく収納
されている場合、図４（ａ）にＢで示した方向にアーム
２４，２６を上昇させると、発光素子２８からの光が受
光素子３０で検出されないのは、Ｉで示した高さに達し
てからＩＩで示した高さに達するまでの間である。した
がって、発光素子２８からの光ビームが受光素子３０で
検出されない間にアーム２４，２６が移動した距離は、
この半導体ウエハ６０の厚さと一致する。
【００２８】一方、半導体ウエハ６０が傾いた状態で収
納されている場合は、図４（ｂ）で示したように、発光
素子２８からの光が受光素子３０で検出されないのは、
Ｉ´で示した半導体ウエハ６０の最下部の高さに達して
からからII´で示した最上部の高さに達するまでの間で
ある。したがって、この間のアーム２４，２６の移動距
離は図４（ａ）の場合よりも長くなり、半導体ウエハ６
０の厚さと一致しなくなる。
【００２９】したがって、ウエハ検出機構２２の判定回
路で、このような測定によって得られた半導体ウエハ６
０のみかけ上の厚さを、あらかじめ測定された半導体ウ
エハ６０の実際の厚さと比較することにより、この半導
体ウエハ６０が水平方向に収納されているか傾いた状態
で収納されているかを検出することができる。
【００３０】例えば、図６に示すように、アーム２４，
２５を上下方向に移動させるためのアーム駆動部７０
は、アームを０．０１mm移動させるごとに１パルス発生
する電気信号Ｓを出力する。
【００３１】発光素子２８および受光素子３０が接続さ
れた判定回路７１では、受光素子３０からの電気信号の
レベルに対応して半導体ウエハ６０の有無を判定後出力
を出し、例えば半導体ウエハ６０が光ビーム２０を遮っ
た時に電気信号Ｗを出力する。測定制御部７２では、電
気信号Ｗが出力されている間、電気信号Ｓのパルスを計
数する。そして、この計数結果を所定の数と比較し、例
えば所定の数を越える場合にはアラーム信号ＡＬＭを発
生し、アラーム発生部７３等を制御して動作させる。ま
た１パルスを０．０１mmとしてパルス数に対応した厚さ
を算出する。
【００３２】今、厚さ０．５mmの半導体ウエハ６０がウ
エハカセット４０内に正しく水平状態で収納されている
場合には、アーム２４，２５が０．５mm移動する間すな
わち図４（ａ）のＩ−II間は光ビーム２９が半導体ウエ
ハ６０によって遮られているので、電気信号Ｓは５０パ
ルスの出力となる。したがって、測定制御部７２では５
０を計数し、予め所定の数を５０に設定しておけば、ア
ラーム信号ＡＬＭは発生しない。
【００３３】一方、図４（ｂ）に示すように半導体ウエ
ハ６０が左右に傾いている場合には、みかけ上の厚さが
０．５mmよりも厚くなっている。そこで、図４（ｂ）の
Ｉ´−II´間は光ビーム２９が遮られ、例えば測定制御
部７２が１５０を計数した時には、所定の数５０を越え
ているのでアラーム信号ＡＬＭを発生し、アラーム発生
部７３が動作する。同時に厚さが１．５mmと算出される
ので、半導体ウエハ６０が、水平状態と比べて１mm左右
に傾いていることが分る。
【００３４】一般に、ウエハカセット４０内に収納され
ている半導体ウエハ６０は、溝４０ａの長手方向がウエ
ハ搬送方向すなわち前後方向に形成されているため、こ
の溝４０ａの長手方向つまり前後方向に傾くことは殆ど
ない。
【００３５】一方、溝４０ａは、半導体ウエハ６０の出
し入れが容易になるように、溝上端部分はテーパー状に
形成され、かつ、溝深さの寸法は半導体ウエハ６０の直
径より僅に広く形成されている。したがって、搬送方向
に対して左右に傾いて収納されることがあり得る。
【００３６】従来のウエハ検出方法では、半導体ウエハ
をウエハカセット内に出し入れする方向と同じ前後方向
にウエハ検出用の光ビームを照射する構成のため、上述
の説明から理解されるように、半導体ウエハ６０の左右
の傾きを検出測定することは困難である。
【００３７】なお、半導体ウエハ６０が傾いた状態で収
納されていると判定された場合には、警告音を発して作
業者にその旨を知らしめることとしたり、何段目の半導
体ウエハ６０が傾いているかを表示することとしてもよ
い。
【００３８】２段目以降の各半導体ウエハ６０について
も、引き続きアーム２４，２６を上昇させながら同様の
検出を行うことにより、ウエハカセット４０の各段につ
いて、半導体ウエハ６０が収納されているか否か、およ
び、収納された各半導体ウエハ６０が水平方向に正しく
収納されているか否かを判定することができる。
【００３９】なお、上述のウエハの傾き検出動作は、ア
ーム２４，２６を移動させて行ったが、ウエハカセット
４０側が昇降機能を有する場合には、ウエハカセット４
０を移動させて行ってもよく、要は、発光素子２８およ
び受光素子３０とウエハ６０とが相対的に移動できれば
よい。
【００４０】検出が終了すると、アーム２４，２６を後
退させるとともに、ピンセット１４を前進させ、半導体
ウエハ１０が収納されていると確認された段から、この
半導体ウエハ６０を上述のようにして１枚取り出し、搬
送を開始する。ここで、上述のようにして傾いた状態で
収納されていると判断された半導体ウエハは、取り出さ
ないこととするか、あるいは、人手等により位置修正後
に搬送したりする。
【００４１】以上説明したように、本実施例のウエハ搬
送装置によれば、ウエハのセンタリングと搬送ができる
ことに加えて、ウエハ検出機構２２により、ウエハカセ
ット４０の各段について、半導体ウエハ６０が収納され
ているか否か、および、収納された各半導体ウエハ６０
が水平方向に正しく収納されているか否かを、１回の操
作で同時に判断することができる。
【００４２】また、傾いた状態で収納されていると判断
された半導体ウエハは取り出さないこととしたり、半導
体ウエハの位置修正後に搬出したり、また、ピンセット
１４のウエハカセット４０への突込み位置に補正をかけ
たりすることにより、かかる半導体ウエハ６０をウエハ
カセット４０から搬出した場合に生じ得るダストの発生
や半導体ウエハ６０の破損を防止することができる。つ
まり、本実施例によれば、半導体ウエハの位置・状態を
検出する為、半導体ウエハがウエハカセットのスロット
（溝）内で傾いていようと、一枚一枚の半導体ウエハに
対してピンセット１４の突込み位置を一定、例えば半導
体ウエハの最下部位置より所定の間隔だけ下げるように
補正し設定できる。
【００４３】ただし、半導体ウエハ６０が収納されてい
るか否かの判断、および、収納された各半導体ウエハ６
０が水平方向に正しく収納されているか否かの判断の
内、一方の判断のみ行なうこととしてもよい。例えば、
半導体ウエハ６０が傾いた状態でウエハカセット４０に
収納されるおそれがない場合には、半導体ウエハ６０が
収納されているか否かの判断のみを行なうこととしても
よい。
【００４４】また、本実施例ではアーム２４，２６を前
後動が可能なように構成したが、かかる機構は必ずしも
必要ではない。例えば、アーム２４，２６をピンセット
１４とは逆の方向に設け、上述のような検出を行った後
でウエハ搬送装置１０を一旦ウエハカセット４０から遠
ざけ、搬送基台１２を１８０度回転させた後再び接近さ
せて、ピンセット１４で半導体ウエハを取り出すことと
すれば、アーム２４，２６を前後動させる機構がなくて
も、これらのアーム２４，２６がピンセット１４の動作
の障害になることはないからである。
【００４５】さらに、本実施例では、アーム２４，２６
の先端部に、それぞれ発光素子２８，受光素子３０を設
けた例について説明したが、ウエハ搬送方向に対して左
右に照射される光ビーム２９が半導体ウエハ６０によっ
て遮断されるように構成しておけばよいのであり、例え
ば、発光素子２８，受光素子３０はウエハ搬送装置１０
の搬送基台１２側に近付けて配置し、光ファイバーを使
用して前記アームの先端部に導光したり、また、先端部
に光反射体を配置したりすることによっても、同様の検
出を行うことができる。
【００４６】また、前述した検出は、ウエハカセット４
０内の半導体ウエハ６０を、最下段のものから順に上段
に向って検出する動作について説明したが、逆に、最上
段のものから順に下段に向って検出するようにしてもよ
いことは言うまでもない。
【００４７】なお、半導体ウエハ６０に形成されている
オリエンテーションフラット部６１（切欠部）がウエハ
カセット４０のウエハ出し入れ口に位置した場合でも検
出可能なように、光ビーム２９がオリエンテーションフ
ラット部６１よりも中心側に照射されるようアーム２
４，２６を移動可能に構成しておく。
【００４８】半導体ウエハ６０のオリエンテーションフ
ラット部６１が光ビーム２９を遮る状態では、半導体ウ
エハ６０の有無を検出する場合には何ら支障はない。し
かし、傾きを測定する場合には、傾きの有無は検出でき
るものの、傾き具合は実際よりも小さく測定され誤差が
発生する。したがって、ウエハカセット４０内に収納す
る半導体ウエハ４０の方向は、オリエンテーションフラ
ット部６１が光ビーム２９を遮ることのないように予め
揃えておくのが望ましい。
【００４９】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、請求項１に
記載の発明に係るウエハ搬送装置によれば、ウエハカセ
ットに搬送すべきウエハが収納されているか否か、そし
て収納されている場合は傾いているか否かをウエハカセ
ットの各段について検出することができる。したがっ
て、ウエハを検出するセンサをウエハカセット毎に設け
る必要がないので、製造装置全体としての価格を低下さ
せることができる。
【００５０】また、請求項２に記載の発明に係るウエハ
の傾き検出方法によれば、ウエハカセットに傾いた状態
でウエハが収納されていることを検出することができ、
したがって、このようなウエハを収納器から搬出した場
合に生じ得るダストの発生やウエハの破損を防止するこ
とができる。さらに、請求項３に記載の発明に係るウエ
ハの傾き検出方法によれば、パルス数の計数により、ウ
エハカセットに収納されているウエハの見かけ上の厚さ
を正確に検出できる。また、請求項４に記載の発明に係
るウエハの傾き検出方法によれば、ウエハカセットに収
納されているウエハが傾いている場合には、ウエハ搬送
装置がアラーム信号を発生させるため、作業者がそれを
認識して修正したり、自動修正の工程を組み入れたりす
ることが可能となる。そして、請求項５に記載のウエハ
検出方法によれば、ウエハカセットの各段のウエハの有
無を、ウエハ搬送手段の一対のアーム、すなわち第１お
よび第２のアームを用いて検知することができるため、
ウエハを検出するセンサをウエハカセット毎に設ける必
要がなく、製造装置全体としての価格を低下させること
ができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の１実施例に係わるウエハ搬送装置の構
成を概略的に示す図であり、図１（ａ）は上面図、図１
（ｂ）は正面図である。
【図２】図１に示したウエハ搬送装置の概略的側面図で
あり、図２（ａ）はアームを後退させた状態を示す図、
図２（ｂ）はピンセットを前進させた状態を示す図であ
る。
【図３】図１に示したウエハ搬送装置の動作を説明する
ための図であり、図３（ａ）は縦断面図、図３（ｂ）は
横断面図である。
【図４】図１に示したウエハ搬送装置を用いて半導体ウ
エハの傾きの有無を検出する原理を説明するための概念
図であり、図４（ａ）は半導体ウエハが水平である場合
の概念図、図４（ｂ）は半導体ウエハが傾いている場合
の概念図である。
【図５】図５（ａ）は従来のウエハ搬送装置を説明する
ための概念的断面図、図５（Ｂ）はウエハカセットに半
導体ウエハが収納された状態を示す正面図である。
【図６】図１に示したウエハ搬送装置を用いて半導体ウ
エハの傾きを測定する回路系を説明するためのブロック
図である。
【符号の説明】
１０ ウエハ搬送装置 １２ 搬送基台 １４ ピンセット １６ａ，１６ｂ 取付金具 １８ａ，１８ｂ センタリング部材 ２０ 昇降ロッド ２２ ウエハ検出機構 ２４ 第１のアーム ２６ 第２のアーム ２８ 発光素子 ３０ 受光素子 ４０ ウエハカセット
ＴＥ０３６３０１

Claims (5)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ウエハカセット内に収納されたウエハを
    移動させて搬送するウエハ保持手段と、ウエハ検出手段
    とを備えたウエハ搬送装置であって、 前記ウエハ検出手段は、 発光手段が設けられた第１のアームと、 前記発光手段から照射される光を検出する受光手段が設
    けられた第２のアームと、 前記第１および第２のアームが使用中の前記カセット内
    にある場合の前記受光手段の出力情報に基づいて、前記
    ウエハカセット内のウエハの有無または収納状態を判定
    する判定手段と、 を具備することを特徴とするウエハ搬送装置 。
  2. 【請求項２】 ウエハカセット内に収納されたウエハの
    傾きをウエハ搬送装置によって検出する方法であって、 先端部に発光手段を持つ第１のアームと、先端部に受光
    手段を持つ第２のアームとを移動させ、前記第１および
    第２のアームを前記ウエハカセットに挿入して前記第１
    および第２のアームを前記ウエハの外周の外側の上方ま
    たは下方に位置させる工程と、 前記第１および第２のアームを前記ウエハカセットに対
    して相対的に上方向または下方向に移動させつつ、前記
    発光手段から光を照射しその光を前記受光手段で検出し
    て、前記ウエハの見かけ上の厚さを測定する工程と、 前記測定によって得られた前記ウエハの見かけ上の厚さ
    と前記ウエハの実際の厚さとを比較して、収納されてい
    るウエハの傾きを検出する工程と、 を有することを特徴とするウエハの傾き検出方法 。
  3. 【請求項３】 請求項２において、 前記ウエハの見かけ上の厚さを測定する工程において
    は、前記ウエハ搬送装置は第１および第２のアームの所
    定移動距離ごとに所定数のパルス信号を発生し、前記光
    が前記受光手段に検出されない間における該パルス信号
    のパルス数を計数することにより前記ウエハの見かけ上
    の厚さを測定することを特徴とするウエハの傾き検出方
    法 。
  4. 【請求項４】 請求項３において、 前記ウエハの傾きを検出する工程では、前記計数された
    パルス数が前記ウエハの実際の厚さに対応するパルス数
    を超える場合は、前記ウエハ搬送装置がアラーム信号を
    発生させることを特徴とするウエハの傾き検出方法 。
  5. 【請求項５】 ウエハカセット内に収納されたウエハの
    有無をウエハ搬送装置により検出する方法であって、 先端部に発光手段を持つ第１のアームと、先端部に受光
    手段を持つ第２のアームとを移動させ、前記第１および
    第２のアームを前記ウエハカセットに挿入して前記第１
    および第２のアームを前記ウエハの外周の外側の上方ま
    たは下方に位置させる工程と、 前記第１および第２のアームを前記ウエハカセットに対
    して相対的に上方向または下方向に移動させつつ、前記
    発光手段から光を照射しその光を前記受光手段で検出
    し、前記ウエハの有無を検知する工程と、 を有することを特徴とするウエハ検出方法 。
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