JPH0538761U - 基板検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 カセット内の各基板載置棚の基板の有無を非
接触で検出できる基板検出装置を提供する。 【構成】 基板搬送用ロボット１のアーム部１２の側面
であってその中央部に、視野を狭くするスリット６１を
有する反射型フォトセンサー６を設けた。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は、イオン注入装置等に用いられて、基板例えばウェーハを収納する カセット内の各基板載置棚（スリット）上の基板の有無を非接触に検出する基板 検出装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

半導体基板のイオン注入処理等の処理や、検査の過程において、基板を保存ま たは移動させるため、多数段（例えば２５段）の基板載置棚を備えた収納用のカ セットが使用されている。一方、この種の半導体の製造分野にあっては、生産性 の向上やクリーン度の点から無人化が進んでいる。従って、前記カセットから基 板を取り出す場合、各基板載置棚に基板が収納されているか否かを予め知ること ができると、基板を出し入れする際、ロボットの空動作や、基板の衝突を防止す ることが出来好ましい。またコンピュータによる基板の管理も容易になる。

【０００３】 図２は、従来の基板検出装置の一例を示す側面図である。この基板検出装置は 、そのハンド部１１に基板２を載せ、前後、上下および回転することによって当 該基板２を搬送する基板搬送用ロボット１を用い、これに透過型光センサ部３を 設けて構成していた。この透過型光センサ部３は、一対の投光素子３１と受光素 子３２とからなり、図示例では投光素子３１を前記ハンド部１１の先端側に、他 方の受光素子３２を同ハンド部１１の根本側にそれぞれ設け、その光軸Ｆが合致 するように形成されている。４は基板２を収納するカセットで、周知のように基 板２はその両端部分が基板載置棚４１によって支持されている。なお、前記アー ム部１２の内部には、図示しないがハンド部１１を前後に伸縮するための駆動部 が収納されている。１３は前記ハンド部１１を上下および回転するための駆動部 、１４は支軸である。５はカセット４が載置されているテーブルである。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】 ところで、上記構成の基板検出装置１０により、カセット４内の各基板載置棚 ４１における基板２の有無を検出する場合、各基板載置棚４１毎に基板搬送用ロ ボット１の駆動部１３により、ハンド部１１を上下に移動し、その都度ハンド部 １１をアーム１２内に収納された駆動部により前後に伸縮し、しかも基板２を一 度ハンド部１１に載せ前記透過型光センサ部３により検出しなければならず、そ の動作がきわめて煩雑であり、かなりの時間を要する等といった不都合があった 。

【０００５】 また、基板２を一度ハンド部１１に載せ、再びカセット４の基板載置棚４１に 戻すといった動作となり、これにより基板２にパーティクルが付着する等といっ た不都合があった。

【０００６】 そこでこの考案は、カセット内の各基板載置棚の基板の有無を短時間に、しか も非接触で検出できる基板検出装置を提供することを主たる目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】

上記目的を達成するため、この考案の基板検出装置は、基板搬送用ロボットの アーム部の側面であってその中央部に、視野を狭くするスリットを有する反射型 フォトセンサーを設けたことを特徴とする。

【０００８】

【作用】

上記構成によれば、基板搬送用ロボットのアーム部をその回転軸を中心に回転 させ、反射型フォトセンサーをカセット側に向けるとともに、前記アーム部をカ セットの例えば、下段から上段に向けて上昇させながら順次各基板載置棚に基板 が載置されているか否かを前記反射型フォトセンサーにより検出することができ る。従って、カセット内の各基板載置棚の基板の有無を非接触で検出することが できる。

【０００９】

【実施例】 図１は、この考案の一実施例に係る基板検出装置の概略構成を示す斜視図であ る。図１において、図２の従来例と同一または相当する部分には同一符号を付し 、以下においては当該従来例との相違点を主に説明する。

【００１０】 この実施例においては、前述したような基板搬送用ロボット１のアーム部１２ の側面であってその中央部、すなわち支軸１４の回転中心線上に、反射型フォト センサー６を設け、この反射型フォトセンサー６の検出位置と、基板搬送用ロボ ット１のハンド部１１の位置とを高さ方向で同一となるように構成している。

【００１１】 前記反射型フォトセンサー６は、一対の投光素子と受光素子を備えており、投 光素子からの光６２が反射するか否か、すなわち基板によって光６２が反射され 受光素子に入射するか否かで基板の有無を検出することができる。前記反射型フ ォトセンサー６の先端側には、カセット４内に収納された基板２を横方向から検 出するため、視野を狭くし、検出対象となる基板載置棚近辺の影響を少なくする ため、スリット６１が設けられている。

【００１２】 上記構成の基板検出装置において、カセット４内の基板２の有無を検出する場 合、駆動部１３により図１に示す位置にアーム部１２を回転させて反射型フォト センサー６をカセット４側に向け、その後駆動部１３によりアーム部１２をカセ ット４の基板載置棚の検出対応位置に駆動することにより、反射型フォトセンサ ー６のスリット６１を通過した光６２によって基板２の有無を検出することがで きる。同様に、駆動部１３により前記アーム部１２をカセット４の例えば、下段 から上段に向けて順次上昇させながら、各基板載置棚に基板２が載置されている か否かを前記反射型フォトセンサー６により順次検出することができる。

【００１３】 また、基板搬送時は、アーム部１２を回転し、ハンド部１１を伸縮してカセッ ト４内から基板２を順次搬出し、所定の所に搬送することができる。

【００１４】 なお、基板搬送用ロボット１は、予めカセット４の各基板載置棚の高さ方向の 位置を認識できるように構成すれば都合がよい。この高さ方向の位置認識と、反 射型フォトセンサー６の検出結果とをコンピュータに入力するようにしてもよい のは勿論である。

【００１５】

【考案の効果】

以上のようにこの考案によれば、非接触でカセット内の基板載置棚における基 板の有無を検出することができる。

【００１６】 また、市販されている基板搬送用ロボットに反射型フォトセンサーを取り付け るのみでよく、従来のように基板検出のために特別に加工する必要がなく、きわ めて経済的である。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この考案の一実施例に係る基板検出装置の概
略構成を示す斜視図である。

【図２】 従来の基板検出装置の一例を示す側面図であ
る。

【符号の説明】

１ 基板搬送用ロボット １２ アーム部 ２ 基板 ６ 反射型フォトセンサー ６１ スリット

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板搬送用ロボットのアーム部の側面で
   あってその中央部に、視野を狭くするスリットを有する
   反射型フォトセンサーを設けたことを特徴とする基板検
   出装置。