JPH06334026A - オリエンテーションフラット合わせ機内蔵型ウエハ収納装置 - Google Patents
オリエンテーションフラット合わせ機内蔵型ウエハ収納装置Info
- Publication number
- JPH06334026A JPH06334026A JP14679293A JP14679293A JPH06334026A JP H06334026 A JPH06334026 A JP H06334026A JP 14679293 A JP14679293 A JP 14679293A JP 14679293 A JP14679293 A JP 14679293A JP H06334026 A JPH06334026 A JP H06334026A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ウエハ搬送処理能力を向上させること。
【構成】 ステージ３にセットされたカセット９内のウ
エハ７は、搬送ロボット４によってウエハ収納装置であ
るストッカー５に収納し、ストッカーからウエハディス
ク８に搬送、装着される。ストッカーのカセット１２は
対向配置された複数のスロットを備えており、エレベー
タ機構により上下動する。スロットの配置間隔内にウエ
ハに対するオリエンテーションフラット合わせ機２６を
設置する。搬送ロボットでスロット内に搬送されたウエ
ハは、合わせ機の回転台２８に載せられ、センサ設置部
２９の反射型光電センサでオリエンテーションフラット
を所定角度位置に合わせ、スロットに載置、収納され
る。オリエンテーションフラット合わせ中における搬送
ロボットの待ち時間がなくなる。
エハ７は、搬送ロボット４によってウエハ収納装置であ
るストッカー５に収納し、ストッカーからウエハディス
ク８に搬送、装着される。ストッカーのカセット１２は
対向配置された複数のスロットを備えており、エレベー
タ機構により上下動する。スロットの配置間隔内にウエ
ハに対するオリエンテーションフラット合わせ機２６を
設置する。搬送ロボットでスロット内に搬送されたウエ
ハは、合わせ機の回転台２８に載せられ、センサ設置部
２９の反射型光電センサでオリエンテーションフラット
を所定角度位置に合わせ、スロットに載置、収納され
る。オリエンテーションフラット合わせ中における搬送
ロボットの待ち時間がなくなる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ウエハのオリエンテシ
ョンフラットを整列させる必要のある半導体製造プロセ
ス、例えばイオン注入装置等に組み込まれているウエハ
移載に係るウエハ収納装置と同装置が組み込まれたウエ
ハ移載システムに関する。
ョンフラットを整列させる必要のある半導体製造プロセ
ス、例えばイオン注入装置等に組み込まれているウエハ
移載に係るウエハ収納装置と同装置が組み込まれたウエ
ハ移載システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】図３は、イオン注入装置における二つの
搬送系を持つウエハ移載システムの上面図、図４はオリ
エンテーションフラット合わせ機の側面図、図６はウエ
ハ収納手段であるストッカー部についての図３のＡ−Ａ
線での断面図である。ウエハ移載システムにおける第１
搬送系１及び第２搬送系１’はベース２に設置されてお
り、各搬送系１，１’は、それぞれステージ３，３’、
搬送ロボット４，４’、ストッカー５，５’を有して構
成されている。ウエハ移載システムは更に両搬送系に共
用のオリフラ合わせ機６を備えており、同システムは複
数枚のウエハ７が装着されるウエハディスク８に対し、
ウエハを搬送処理する。
搬送系を持つウエハ移載システムの上面図、図４はオリ
エンテーションフラット合わせ機の側面図、図６はウエ
ハ収納手段であるストッカー部についての図３のＡ−Ａ
線での断面図である。ウエハ移載システムにおける第１
搬送系１及び第２搬送系１’はベース２に設置されてお
り、各搬送系１，１’は、それぞれステージ３，３’、
搬送ロボット４，４’、ストッカー５，５’を有して構
成されている。ウエハ移載システムは更に両搬送系に共
用のオリフラ合わせ機６を備えており、同システムは複
数枚のウエハ７が装着されるウエハディスク８に対し、
ウエハを搬送処理する。
【０００３】一対のステージ３，３’はそれぞれ複数枚
のウエハを収納できるカセット９，９’をセット、載置
するようになっており、通常、ステージは、エレベータ
機構により上下動できるように構成されており、これに
より、搬送ロボット４，４’によるウエハの出し入れは
一定の高さで行うことができる。搬送ロボット４，４’
は、旋回及び伸縮動作が行えるものであり、通常、縮位
置で旋回位置を決めて、その旋回位置で伸長動作するよ
うに構成されている。
のウエハを収納できるカセット９，９’をセット、載置
するようになっており、通常、ステージは、エレベータ
機構により上下動できるように構成されており、これに
より、搬送ロボット４，４’によるウエハの出し入れは
一定の高さで行うことができる。搬送ロボット４，４’
は、旋回及び伸縮動作が行えるものであり、通常、縮位
置で旋回位置を決めて、その旋回位置で伸長動作するよ
うに構成されている。
【０００４】第１搬送系１に係るステージ３にセットさ
れたカセット９内のウエハ７は、搬送ロボット４によっ
て１枚ずつ取り出され、オリエンテーションフラット合
わせ機（以下、「オリフラ合わせ機」と略称し、オリエ
ンテーションフラットについても「オリフラ」と以下略
称する）６に搬送し、ウエハのオリフラを指定された角
度に合わせる。図５に示すように、オリフラ合わせ機６
の回転台１０に搬送ロボット４によってウエハ７を載
せ、ウエハを回転させてウエハに形成された切欠き部を
コ字状部材１１に取り付けた光電センサで検出すること
によりオリフラ合わせが行われる。
れたカセット９内のウエハ７は、搬送ロボット４によっ
て１枚ずつ取り出され、オリエンテーションフラット合
わせ機（以下、「オリフラ合わせ機」と略称し、オリエ
ンテーションフラットについても「オリフラ」と以下略
称する）６に搬送し、ウエハのオリフラを指定された角
度に合わせる。図５に示すように、オリフラ合わせ機６
の回転台１０に搬送ロボット４によってウエハ７を載
せ、ウエハを回転させてウエハに形成された切欠き部を
コ字状部材１１に取り付けた光電センサで検出すること
によりオリフラ合わせが行われる。
【０００５】オリフラ合わせが済むと、ウエハは搬送ロ
ボット４によってオリフラ合わせ機６からウエハ移載に
係るウエハ収納装置としてのストッカー５へ搬送され
る。図５の断面図に示すように、ストッカーはそれぞれ
複数枚のウエハを収納するストッカーカセット１２を有
し、同カセットはウエハの収納部となる対向配置された
複数のスロット１３を備えている。ストッカー５はスト
ッカーカセット１２を上下動させるエレベータ機構を有
しており、同機構の駆動モ−タ１４は、ベース１に固定
されたモ−タベース１５に取り付けられており、モ−タ
の回転運動は、カップリング１６を介してボールネジ１
７に伝えられて直線運動に変換される。ボールネジ１７
のナット部１８とパイプシャフト１９が可動台２０を介
して連結されており、パイプシャフトの他端はストッカ
ーカセット１２に結合し、可動台はリニアベアリング２
１を介してガイドシャフト２２で支持されている。かか
る構造により、モ−タ１４が回転するとストッカーカセ
ット１２は上下動する。エレベータ機構は、ストッカー
カセット１２における各スロット１３を検出するセンサ
機構を備えており、所定スロット位置で停止できるよう
に構成されている。
ボット４によってオリフラ合わせ機６からウエハ移載に
係るウエハ収納装置としてのストッカー５へ搬送され
る。図５の断面図に示すように、ストッカーはそれぞれ
複数枚のウエハを収納するストッカーカセット１２を有
し、同カセットはウエハの収納部となる対向配置された
複数のスロット１３を備えている。ストッカー５はスト
ッカーカセット１２を上下動させるエレベータ機構を有
しており、同機構の駆動モ−タ１４は、ベース１に固定
されたモ−タベース１５に取り付けられており、モ−タ
の回転運動は、カップリング１６を介してボールネジ１
７に伝えられて直線運動に変換される。ボールネジ１７
のナット部１８とパイプシャフト１９が可動台２０を介
して連結されており、パイプシャフトの他端はストッカ
ーカセット１２に結合し、可動台はリニアベアリング２
１を介してガイドシャフト２２で支持されている。かか
る構造により、モ−タ１４が回転するとストッカーカセ
ット１２は上下動する。エレベータ機構は、ストッカー
カセット１２における各スロット１３を検出するセンサ
機構を備えており、所定スロット位置で停止できるよう
に構成されている。
【０００６】ステージ３にセットされたカセット９内の
ウエハをオリフラを合わせてストッカー５に収納する操
作は、カセット９内のウエハがなくなるまで繰り返され
る。その後、ウエハは搬送ロボット４によってストッカ
ー５からウエハディスク８に１枚ずつ搬送して装着さ
れ、イオン注入処理される。
ウエハをオリフラを合わせてストッカー５に収納する操
作は、カセット９内のウエハがなくなるまで繰り返され
る。その後、ウエハは搬送ロボット４によってストッカ
ー５からウエハディスク８に１枚ずつ搬送して装着さ
れ、イオン注入処理される。
【０００７】このストッカー５からウエハディスク８へ
のウエハの搬送期間及びイオン注入処理期間に、第２搬
送系１’のステージ３’にセットされたカセット９’内
のウエハが搬送ロボット４’によって１枚ずつ取り出さ
れ、第１搬送系１の場合と同様にオリフラ合わせ後、ス
トッカー５’に収納される。そして、ウエハディスク８
に装着されてイオン注入が完了した第１搬送系に係るウ
エハが、搬送ロボット４によってウエハディスク８から
取り出され、もとのカセット９に収納されると、代わっ
て、第２搬送系のストッカー５’に収納されているウエ
ハをウエハディスク８に搬送、装着し、イオン注入処理
することになる。
のウエハの搬送期間及びイオン注入処理期間に、第２搬
送系１’のステージ３’にセットされたカセット９’内
のウエハが搬送ロボット４’によって１枚ずつ取り出さ
れ、第１搬送系１の場合と同様にオリフラ合わせ後、ス
トッカー５’に収納される。そして、ウエハディスク８
に装着されてイオン注入が完了した第１搬送系に係るウ
エハが、搬送ロボット４によってウエハディスク８から
取り出され、もとのカセット９に収納されると、代わっ
て、第２搬送系のストッカー５’に収納されているウエ
ハをウエハディスク８に搬送、装着し、イオン注入処理
することになる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】上述したウエハ移載シ
ステムによれば、ステージ３にセットされたカセット９
内のウエハを搬送ロボット４でオリフラ合わせ機６まで
搬送した後、オリフラ合わせが完了するまでは搬送ロボ
ットにとっては完全な待ち時間となり、搬送処理能力を
低下させている。また、第１と第２の二つの搬送系でオ
リフラ合わせ機６を共有しているから、どちらか一方の
搬送系がステージ→オリフラ合わせ機→ストッカーへと
ウエハの搬送を行っている間は、もう一方の搬送系は同
様ルートのウエハ搬送処理を行うことができない。した
がって、一方の搬送系に係る１ウエハカセット分のイオ
ン注入処理が完了するまでに、他方の搬送系において、
ステージ〜ストッカーまでのウエハ移載処理を終了しな
かったときには、ウエハディスク８に対するウエハ交換
に待ち時間が生じ、搬送処理能力の低下を招くことにな
る。
ステムによれば、ステージ３にセットされたカセット９
内のウエハを搬送ロボット４でオリフラ合わせ機６まで
搬送した後、オリフラ合わせが完了するまでは搬送ロボ
ットにとっては完全な待ち時間となり、搬送処理能力を
低下させている。また、第１と第２の二つの搬送系でオ
リフラ合わせ機６を共有しているから、どちらか一方の
搬送系がステージ→オリフラ合わせ機→ストッカーへと
ウエハの搬送を行っている間は、もう一方の搬送系は同
様ルートのウエハ搬送処理を行うことができない。した
がって、一方の搬送系に係る１ウエハカセット分のイオ
ン注入処理が完了するまでに、他方の搬送系において、
ステージ〜ストッカーまでのウエハ移載処理を終了しな
かったときには、ウエハディスク８に対するウエハ交換
に待ち時間が生じ、搬送処理能力の低下を招くことにな
る。
【０００９】本発明は、上述した搬送ロボットの待ち時
間を生じさせず、複数の搬送系を有する場合にあって
も、ウエハ搬送の並行処理を可能にし、ウエハ交換に係
る待ち時間を生じさせることなく、ウエハの搬送処理能
力を向上させることができるオリフラ合わせ機内蔵型ウ
エハ収納装置並びに同収納装置を組み込んだウエハ移載
システムの提供を目的とするものである。
間を生じさせず、複数の搬送系を有する場合にあって
も、ウエハ搬送の並行処理を可能にし、ウエハ交換に係
る待ち時間を生じさせることなく、ウエハの搬送処理能
力を向上させることができるオリフラ合わせ機内蔵型ウ
エハ収納装置並びに同収納装置を組み込んだウエハ移載
システムの提供を目的とするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
めに、本発明は、対向配置された複数のスロットを備
え、複数枚のウエハが収納できるウエハカセットと、こ
のウエハカセットを上下動させるエレベータ機構を有す
るウエハ収納装置において、前記スロットの配置間隔内
に、ウエハのオリエンテーションフラットを所定角度に
合わせるオリエンテーションフラット合わせ機を設けた
ことを主たる特徴とするものである。
めに、本発明は、対向配置された複数のスロットを備
え、複数枚のウエハが収納できるウエハカセットと、こ
のウエハカセットを上下動させるエレベータ機構を有す
るウエハ収納装置において、前記スロットの配置間隔内
に、ウエハのオリエンテーションフラットを所定角度に
合わせるオリエンテーションフラット合わせ機を設けた
ことを主たる特徴とするものである。
【００１１】さらに、本発明は、ウエハ移載システムに
関し、上述のオリエンテーションフラット合わせ機内蔵
ウエハ収納手段が同システムに組み込んで構成されてい
ることを特徴とするものである。
関し、上述のオリエンテーションフラット合わせ機内蔵
ウエハ収納手段が同システムに組み込んで構成されてい
ることを特徴とするものである。
【００１２】
【作用】オリフラ合わせ機内蔵型ウエハ収納装置をスト
ッカー部に用いると、ストッカー内にオリフラ合わせ機
を備えているので、搬送ロボットはステージのカセット
からウエハを取り出した後は、ストッカーに搬送するだ
けでよく、ロボットはオリフラ合わせ中、ステージのカ
セットから次のウエハの取り出しを行うことができる。
ッカー部に用いると、ストッカー内にオリフラ合わせ機
を備えているので、搬送ロボットはステージのカセット
からウエハを取り出した後は、ストッカーに搬送するだ
けでよく、ロボットはオリフラ合わせ中、ステージのカ
セットから次のウエハの取り出しを行うことができる。
【００１３】ウエハ移載システムにオリフラ合わせ機内
蔵型ウエハ収納装置を組み込むことにより、同システム
が複数の、例えば二つの搬送系を有していても、各搬送
系は、それぞれオリフラ合わせ機を備えることになり、
他方の搬送系の動作に影響されずに搬送処理を行える。
蔵型ウエハ収納装置を組み込むことにより、同システム
が複数の、例えば二つの搬送系を有していても、各搬送
系は、それぞれオリフラ合わせ機を備えることになり、
他方の搬送系の動作に影響されずに搬送処理を行える。
【００１４】
【実施例】本発明の実施例について図面を参照して説明
する。図１は、二つのウエハ搬送系を有するウエハ移載
システムの上面図、図２はストッカー部の断面図であ
り、図２（ａ）は図１のＡ−Ａ線での断面図、図２
（ｂ）は同じくＢ−Ｂ線での断面図であり、図３ないし
図５と同一符号は同等部分を示す。ウエハ移載システム
における第１搬送系１及び第２搬送系１’はベース２に
設置されており、両搬送系１，１’は、それぞれステー
ジ３，３’、搬送ロボット４，４’、ストッカー５，
５’を有して構成されており、各搬送系は複数枚のウエ
ハ７が装着されるウエハディスク８に対し、ウエハを搬
送処理する。なお、図１には一対のステージ３，３’を
有するものについて示したが、搬送ロボットがアクセス
できる位置であれば二対以上のステージを設けても良
い。
する。図１は、二つのウエハ搬送系を有するウエハ移載
システムの上面図、図２はストッカー部の断面図であ
り、図２（ａ）は図１のＡ−Ａ線での断面図、図２
（ｂ）は同じくＢ−Ｂ線での断面図であり、図３ないし
図５と同一符号は同等部分を示す。ウエハ移載システム
における第１搬送系１及び第２搬送系１’はベース２に
設置されており、両搬送系１，１’は、それぞれステー
ジ３，３’、搬送ロボット４，４’、ストッカー５，
５’を有して構成されており、各搬送系は複数枚のウエ
ハ７が装着されるウエハディスク８に対し、ウエハを搬
送処理する。なお、図１には一対のステージ３，３’を
有するものについて示したが、搬送ロボットがアクセス
できる位置であれば二対以上のステージを設けても良
い。
【００１５】ステージ３，３’はそれぞれ複数枚のウエ
ハを収納できるカセット９，９’を載置、セットするよ
うになっており、通常、ステージはエレベータ機構によ
り上下動できるように構成される。これにより、搬送ロ
ボット４，４’によるウエハの出し入れは一定の高さで
行うことができ、これに伴い、搬送ロボットは上下動作
をせずに、あるいは小さな上下動作で済むことになる。
搬送ロボット４，４’は、旋回及び伸縮動作が行えるも
のであり、通常、縮位置で旋回位置決めし、その旋回位
置で伸長動作するように構成されている。
ハを収納できるカセット９，９’を載置、セットするよ
うになっており、通常、ステージはエレベータ機構によ
り上下動できるように構成される。これにより、搬送ロ
ボット４，４’によるウエハの出し入れは一定の高さで
行うことができ、これに伴い、搬送ロボットは上下動作
をせずに、あるいは小さな上下動作で済むことになる。
搬送ロボット４，４’は、旋回及び伸縮動作が行えるも
のであり、通常、縮位置で旋回位置決めし、その旋回位
置で伸長動作するように構成されている。
【００１６】ウエハ移載に係るウエハ収納装置であるス
トッカー５，５’は、それぞれ複数枚のウエハを収納す
るストッカーカセット１２を有し、ストッカーカセット
はウエハの収納部である対向配置された複数のスロット
１３を備えている。ストッカーはストッカーカセットを
上下動させるエレベータ機構を有し、ウエハカセットに
おけるスロット１３の配置間隔内にオリフラ合わせ機２
６が据付台２７を介してベース１に取り付けられてい
る。オリフラ合わせ機２６は、その回転台２８の上面位
置が、ウエハが載っている状態で、ウエハがストッカー
カセット１２のスロット１３のほぼ中央位置となるよう
に取り付けられている。
トッカー５，５’は、それぞれ複数枚のウエハを収納す
るストッカーカセット１２を有し、ストッカーカセット
はウエハの収納部である対向配置された複数のスロット
１３を備えている。ストッカーはストッカーカセットを
上下動させるエレベータ機構を有し、ウエハカセットに
おけるスロット１３の配置間隔内にオリフラ合わせ機２
６が据付台２７を介してベース１に取り付けられてい
る。オリフラ合わせ機２６は、その回転台２８の上面位
置が、ウエハが載っている状態で、ウエハがストッカー
カセット１２のスロット１３のほぼ中央位置となるよう
に取り付けられている。
【００１７】搬送ロボット４によってウエハはストッカ
ー５に搬送される。搬送ロボットは、ウエハがオリフラ
合わせ機２６における回転台２８の上面、２〜３ｍｍ上
を通るようにして所定位置まで伸長し、その後、下降し
てウエハを回転台に載せ、縮位置まで後退する。オリフ
ラ合わせ機２６の回転台２８を回転させ、オリフラ合わ
せ機の上面のセンサ設置部２９に設けたオリフラ・セン
サ、例えば反射型光電センサによってウエハに形成され
た切欠き部を検出することにより、ウエハのオリエンテ
ーションフラットを所定角度位置に合わせると、エレベ
ータ機構によってストッカーカセット１２が１ピッチ上
昇し、ウエハはスロット１３に載置される。センサ設置
部２９には、異なる径のウエハに対処できるように複数
個のオリフラ・センサが設置されている。ウエハカセッ
トからのウエハの取り出しは同カセットが１ピッチ下降
した後にロボットが伸長し、ウエハをすくい上げて受け
取る。
ー５に搬送される。搬送ロボットは、ウエハがオリフラ
合わせ機２６における回転台２８の上面、２〜３ｍｍ上
を通るようにして所定位置まで伸長し、その後、下降し
てウエハを回転台に載せ、縮位置まで後退する。オリフ
ラ合わせ機２６の回転台２８を回転させ、オリフラ合わ
せ機の上面のセンサ設置部２９に設けたオリフラ・セン
サ、例えば反射型光電センサによってウエハに形成され
た切欠き部を検出することにより、ウエハのオリエンテ
ーションフラットを所定角度位置に合わせると、エレベ
ータ機構によってストッカーカセット１２が１ピッチ上
昇し、ウエハはスロット１３に載置される。センサ設置
部２９には、異なる径のウエハに対処できるように複数
個のオリフラ・センサが設置されている。ウエハカセッ
トからのウエハの取り出しは同カセットが１ピッチ下降
した後にロボットが伸長し、ウエハをすくい上げて受け
取る。
【００１８】ストッカーカセット１２のエレベータ機構
の駆動モ−タ１４は、図２（ａ），（ｂ）に示すよう
に、ベース１に固定されたモ−タベース１５に取り付け
られており、モ−タの回転運動は、カップリング１６を
介してボールネジ１７に伝えられて直線運動に変換され
る。ボールネジ１７のナット部１８とパイプシャフト１
９が可動台２０を介して連結されており、パイプシャフ
トの他端はストッカーカセット１２の側面部に結合し、
可動台はリニアベアリング２１を介してガイドシャフト
２２で案内支持されている。かかる構造により、モ−タ
１４が回転するとストッカーカセット１２は上下動す
る。エレベータ機構は、ストッカーカセットの各スロッ
ト１３の位置を検出するセンサ機構を備えており、所定
位置で停止できるように構成されている。
の駆動モ−タ１４は、図２（ａ），（ｂ）に示すよう
に、ベース１に固定されたモ−タベース１５に取り付け
られており、モ−タの回転運動は、カップリング１６を
介してボールネジ１７に伝えられて直線運動に変換され
る。ボールネジ１７のナット部１８とパイプシャフト１
９が可動台２０を介して連結されており、パイプシャフ
トの他端はストッカーカセット１２の側面部に結合し、
可動台はリニアベアリング２１を介してガイドシャフト
２２で案内支持されている。かかる構造により、モ−タ
１４が回転するとストッカーカセット１２は上下動す
る。エレベータ機構は、ストッカーカセットの各スロッ
ト１３の位置を検出するセンサ機構を備えており、所定
位置で停止できるように構成されている。
【００１９】ウエハ移載システムにおけるウエハの搬送
は次のようにして行われる。第１搬送系１におけるステ
ージ３にセットされたカセット９内のウエハは、搬送ロ
ボット４によって１枚ずつ取り出され、ストッカー５に
搬送された後、既述のごとくストッカーに内蔵されたオ
リフラ合わせ機２６でオリフラ合わせを行い、ストッカ
ーカセット１２に蓄えられる。かかる動作はステージ３
のカセット９内のウエハがなくなるまで繰り返される。
第２搬送系１’のステージ３’にウエハカセット３’が
セットされているときには、第１搬送系の場合と同様に
ストッカー５’へウエハの搬送処理を行う。
は次のようにして行われる。第１搬送系１におけるステ
ージ３にセットされたカセット９内のウエハは、搬送ロ
ボット４によって１枚ずつ取り出され、ストッカー５に
搬送された後、既述のごとくストッカーに内蔵されたオ
リフラ合わせ機２６でオリフラ合わせを行い、ストッカ
ーカセット１２に蓄えられる。かかる動作はステージ３
のカセット９内のウエハがなくなるまで繰り返される。
第２搬送系１’のステージ３’にウエハカセット３’が
セットされているときには、第１搬送系の場合と同様に
ストッカー５’へウエハの搬送処理を行う。
【００２０】ストッカー５内のウエハは搬送ロボット４
によってウエハディスク８に１枚ずつ搬送装着され、バ
ッチ処理枚数分のウエハを装着後、イオンを注入する。
注入が完了すると、ウエハは搬送ロボット４によってウ
エハディスク８から取り外され、ステージ３のカセット
９に収納される。同カセットにウエハが全て回収される
と、同カセットは未注入ウエハが収納されたカセットと
交換される。第２搬送系１’に係るウエハについても、
第１搬送系１の場合と同様に、ウエハディスク８への装
着、イオン注入、そしてカセット９’へのウエハ回収処
理が行われる。
によってウエハディスク８に１枚ずつ搬送装着され、バ
ッチ処理枚数分のウエハを装着後、イオンを注入する。
注入が完了すると、ウエハは搬送ロボット４によってウ
エハディスク８から取り外され、ステージ３のカセット
９に収納される。同カセットにウエハが全て回収される
と、同カセットは未注入ウエハが収納されたカセットと
交換される。第２搬送系１’に係るウエハについても、
第１搬送系１の場合と同様に、ウエハディスク８への装
着、イオン注入、そしてカセット９’へのウエハ回収処
理が行われる。
【００２１】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように、ウエハ
収納装置にオリフラ合わせ機が内蔵されているから、搬
送ロボットはウエハ収納装置にウエハを搬送すれば、オ
リフラ合わせが行われてウエハは収納されるから、オリ
フラ合わせ中、ウエハの収納搬送のために待機せずに済
み、ウエハの搬送処理能力を向上させることができる。
収納装置にオリフラ合わせ機が内蔵されているから、搬
送ロボットはウエハ収納装置にウエハを搬送すれば、オ
リフラ合わせが行われてウエハは収納されるから、オリ
フラ合わせ中、ウエハの収納搬送のために待機せずに済
み、ウエハの搬送処理能力を向上させることができる。
【００２２】ウエハ移載システムにオリフラ合わせ機内
蔵型ウエハ収納装置を組み込むことにより、同システム
が複数の、例えば二つの搬送系を有していても、各搬送
系は、それぞれオリフラ合わせ機を備えることになり、
他方の搬送系の動作に影響されずに搬送処理を行える。
蔵型ウエハ収納装置を組み込むことにより、同システム
が複数の、例えば二つの搬送系を有していても、各搬送
系は、それぞれオリフラ合わせ機を備えることになり、
他方の搬送系の動作に影響されずに搬送処理を行える。
【００２３】オリフラ合わせ機はウエハ収納装置のウエ
ハ載置スロットの配置間隔内に設けられるから、従来の
ウエハ移載システムにおいて必要とされたオリフラ合わ
せ機配置場所が不要となり、同システムが二つの搬送系
を有する場合、従来、オリフラ合わせ機は二つの搬送ロ
ボットの間に設置されていたが、本発明によれば、独立
したオリフラ合わせ機設置場所を必要としないから、ロ
ボット間の距離を短縮することが可能となり、ウエハ移
載システム設置幅を小さくすることができる。
ハ載置スロットの配置間隔内に設けられるから、従来の
ウエハ移載システムにおいて必要とされたオリフラ合わ
せ機配置場所が不要となり、同システムが二つの搬送系
を有する場合、従来、オリフラ合わせ機は二つの搬送ロ
ボットの間に設置されていたが、本発明によれば、独立
したオリフラ合わせ機設置場所を必要としないから、ロ
ボット間の距離を短縮することが可能となり、ウエハ移
載システム設置幅を小さくすることができる。
【図１】本発明の実施例についてのウエハ移載システム
の上面図である。
の上面図である。
【図２】ウエハ収納装置としてのストッカー部について
図１のＡ−Ａ線及びＢ−Ｂ線での断面図である。
図１のＡ−Ａ線及びＢ−Ｂ線での断面図である。
【図３】従来のウエハ移載システムの上面図である。
【図４】従来のオリエンテーションフラット合わせ機の
側面図である。
側面図である。
【図５】従来のストッカー部の断面図である。
1,1' 搬送系 2 ベース 3,3' ステージ 4,4' 搬送ロボット 5,5' ストッカー 6,26 オリエンテーションフラット合わせ機 7 ウエハ 8 ウエハディスク 9 カセット 12 ストッカーカセット 13 スロット 29 センサ設置部
Claims (2)
- 【請求項１】 対向配置された複数のスロットを備え、
複数枚のウエハが収納できるカセットと、このカセット
を上下動させるエレベータ機構を有するウエハ収納装置
において、前記スロットの配置間隔内に、ウエハのオリ
エンテーションフラットを所定角度に合わせるオリエン
テーションフラット合わせ機を設けたことを特徴とする
オリエンテーションフラット合わせ機内蔵型ウエハ収納
装置。 - 【請求項２】 請求項１記載のオリエンテーションフラ
ット合わせ機内蔵型ウエハ収納装置を有することを特徴
とする半導体製造プロセスにおけるウエハ移載システ
ム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14679293A JPH06334026A (ja) | 1993-05-27 | 1993-05-27 | オリエンテーションフラット合わせ機内蔵型ウエハ収納装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14679293A JPH06334026A (ja) | 1993-05-27 | 1993-05-27 | オリエンテーションフラット合わせ機内蔵型ウエハ収納装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06334026A true JPH06334026A (ja) | 1994-12-02 |
Family
ID=15415648
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14679293A Pending JPH06334026A (ja) | 1993-05-27 | 1993-05-27 | オリエンテーションフラット合わせ機内蔵型ウエハ収納装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06334026A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6658321B2 (en) | 2000-09-25 | 2003-12-02 | Hitachi Kokusai Electric Inc. | Substrate processing method and apparatus |
| JP2007513492A (ja) * | 2003-10-16 | 2007-05-24 | バリアン セミコンダクター イクイップメント アソシエーツ， インク． | ウエハ取扱い方法及びシステム |
| CN109311623A (zh) * | 2016-05-17 | 2019-02-05 | 三菱电机株式会社 | 电梯系统 |
| CN112390016A (zh) * | 2020-12-10 | 2021-02-23 | 苏州斯尔特微电子有限公司 | 大尺寸晶圆吸附定位装置 |
-
1993
- 1993-05-27 JP JP14679293A patent/JPH06334026A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP4695598B2 (ja) * | 2003-10-16 | 2011-06-08 | バリアン セミコンダクター イクイップメント アソシエーツ， インク． | ウエハ取扱い方法及びシステム |
| KR101105924B1 (ko) * | 2003-10-16 | 2012-01-17 | 베리안 세미콘덕터 이큅먼트 어소시에이츠, 인크. | 웨이퍼 핸들링 방법 및 시스템 |
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| CN109311623A (zh) * | 2016-05-17 | 2019-02-05 | 三菱电机株式会社 | 电梯系统 |
| CN109311623B (zh) * | 2016-05-17 | 2021-04-23 | 三菱电机株式会社 | 电梯系统 |
| CN112390016A (zh) * | 2020-12-10 | 2021-02-23 | 苏州斯尔特微电子有限公司 | 大尺寸晶圆吸附定位装置 |
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