KR970018342A - 매거진의 매거진 선반들을 위한 인덱서 및 그안에 내장된 웨이퍼형상으로 된 대상물 - Google Patents

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슐츠 클라우스
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Abstract

매거진의 매거진 선반들과 그안에 들어 있는 웨이퍼형상의 대상물들에 대한 인덱서는 여러 가지의 표준화된 매거진과 웨이퍼 형식들 사이를 구별하는 것이 가능한 곳에서 모든 목적의 인덱스 작업에 의하여, 역시 다만 제거 및 장입의 하나의 측방에 개구를 갖고 있는 매거진들에 대하여도, 어떤 원하여진 그리고 미리 정해진 매거진 평면에서의 정확한 접근을 보증하는 목적을 가졌다. 이 발명에 따르면 이 매거진 선반과 매거진 형상의 대상물들은 광전자 센서장치에 의하여 탐지되며 이들중의 적어도 일부분은 거리측정시스템으로서 구성되어 있다. 이 발명은 특히 반도체와 마스크의 형태로 된 웨이퍼 형상의 대상물들을 처리하기 위하는 것과 같이 집적회로의 제조에 적용할 수 있다.

Description

매거진의 매거진 선반들을 위한 인덱서 및 그안에 내장된 웨이퍼형상으로 된 대상물
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 부분적으로 단면으로 표시된 처리장치의 부분도.

Claims (10)

  1. 제1처리평면과 고정된 관계에 있는 기준평면에 관련하여 대상물들과 매거진들을 탐지하기 위한 광전자 센서장치를 가지며, 매거진과 그리고 제거 및 장입을 위한 제1처리평면은 웨이퍼 형상의 대상물의 가공을 위하여 서로에 관련하여 수직방향으로 조절할 수 있으며 매거진의 매거진 선반과 그안에 포함된 특히 반도체 웨이퍼들 및 마스크들과 같은 웨이퍼 형상의 대상물을 위한 인덱서에 있어서, 광전센서장치의 적어도 일부분은 거리측정시스템으로서 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 인덱서.
  2. 제1항에 있어서, 완전히 거리측정시스템으로서 구성된 센서장치는 매거진(11, 11′)의 개방측에 배열된 하나의 송신기(7,18)와 수신기(8,25)를 가지며 그 결과로 송신기(7,18)로부터 나오고 있는 측정광선다발(10,17)은기준평면(E-E)에 놓여 있는 그의 중앙의 광선을 가지고, 기준평면(E-E)에 관하여 매거진(11,11′)의 수직방향의 조정에 의하여 연속적으로 웨이퍼 형상의 대상물(12,16,22)과 자체 형성하는 돌출부들(13,21)을 탐지하며, 상기 대상물(12,16,22)과 돌출부들(13,21)은 송신기(7.18)에 관한 상이한 거리 때문에 서로로부터 구분할 수 있는 것을 특징으로 하는 인덱서.
  3. 제1항에 있어서, 광전자센서장치는 기준평면(E-E)에 매거진(11,11′)의 개방측에 배열된 송신기(18)와 수신기를 포함하는 거리측정시스템을 포함하며 매거진(11′)의 반대편에 개방된 측면에 배열된 추가적인 수신기(26)를 포함하며, 여기서 거리측정시스템은 자체형성하는 돌출부들(21)을 탐지하기 위하여 쓰이고 추가적인 수신기(26)는 대상물들(22)의 존재를 탐지하기 위하여 쓰이는 것을 특징으로 하는 인덱서.
  4. 제3항에 있어서, 송신기(18)로부터 나오고 있는 측정광선다발(17)은 수직방향 입사 방사선에 관하여 기준평면(E-E)에서 경사되어지기 위하여 대상물들(22)과 돌출부들(21)상에 향하여지고 있는 것을 특징으로 하는 인덱서.
  5. 제1항에 있어서, 광전자센서장치는 매거진(11′)의 개방측에 배열된 송신기(18)와 수신기(25)를 포함하는 거리측정시스템과 동일한 측방에 하나의 추가적인 송신기(27)와 그리고 매거진(11′)의 반대측 개방측에 배열된하나의 추가적인 수신기(28)를 포함하며, 여기서 거리측정시스템은 자체 형성하는 돌출부들(21)을 탄지하기 위하여 그리고 추가적인 수신기(28)는 대상물들(22)의 존재를 탐지하기 위하여 사용되는 것을 특징으로 하는 인덱서.
  6. 제5항에 있어서, 추가적인 송신기(27)로부터 나오고 있는 측정광선다발(29)은 수직방향의 입사방사선에 관련하여 기준평면(E-E)에서 경사되어지도록 대상물들(22)상에 향하여지는 것을 특징으로 하는 인덱서.
  7. 제4항 또는 제6항에 있어서, 추가적인 수신기(26,28)는 대상물들(22)이 나타나지 않은 때 매거진(11′)을 통과하는 직선에서 변동되지 않고 통과하는 측정광선다발(17,29)를 탐지하기 위하여 제공되는 것을 특징으로 하는 인덱서.
  8. 제4항 또는 제6항에 있어서, 추가적인 수신기(26,28)는 하나의 가장자리로부터 다른 가장자리에로 전면측에서 투명한 대상물(22)의 평면탄 효과에 의하여 치우쳐져 있는 측정광선다발(17,29)을 탐지하기 위하여 제공되는 것을 특징으로 하는 인덱서.
  9. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서, 거리측정시스템의 송신기(7,18)와 수신기(8,25)는 하나의 구조유니트 내에 결합되어 있는 것을 특징으로 하는 인덱서.
  10. 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서, 복귀장치(33)는 매거진(11,11′)으로부터 돌출하고 있는 웨이퍼 형상의 대상물들(12,16,22)을 위치시키기 위하여 제1처리평면(H-H)에 평행한 제2처리 평면에 주워지며 복귀장치(33)의 작동은 하나의 가장자리로부터 다른 가장자리에로 전면측에서 불투명한 웨이퍼 형상의 대상물들(12,16,22)경우에 거리측정시스템의 센서신호치에 의존하는 것을 특징으로 하는 인덱서.
KR1019960026827A 1995-09-27 1996-07-03 매거진의 매거진 선반들을 위한 인덱서 및 그안에 내장된 웨이퍼형상으로 된 대상물 KR970018342A (ko)

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