JPS60180206U - ウエハ搬送装置 - Google Patents

ウエハ搬送装置

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Publication number
JPS60180206U
JPS60180206U JP6780584U JP6780584U JPS60180206U JP S60180206 U JPS60180206 U JP S60180206U JP 6780584 U JP6780584 U JP 6780584U JP 6780584 U JP6780584 U JP 6780584U JP S60180206 U JPS60180206 U JP S60180206U
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JP
Japan
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transfer device
wafer transfer
cassette
fork
abstract
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP6780584U
Other languages
English (en)
Inventor
金井　謙雄
柴田　史雄
福田　澄雄
山本　秀治
小浜　敦
Original Assignee
株式会社日立製作所
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Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社日立製作所 filed Critical 株式会社日立製作所
Priority to JP6780584U priority Critical patent/JPS60180206U/ja
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Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、本考案によるウェハ搬送装置の一実施例を示
す斜視外観図、第２図は、第１図のＡ−Ａ親図である。 １０・・・フォーク、１１・・・フォーク駆動装置。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. カセットからウェハを搬出入する装置において、セラミ
    ックで形成したフォークと、該フォークを少なくとも前
    記カセット内と該カセット外との間で駆動させるフォー
    ク駆動装置とで構成したことを特徴とするウェハ搬送装
    置。
JP6780584U 1984-05-11 1984-05-11 ウエハ搬送装置 Pending JPS60180206U (ja)

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JP6780584U JPS60180206U (ja) 1984-05-11 1984-05-11 ウエハ搬送装置

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JP6780584U JPS60180206U (ja) 1984-05-11 1984-05-11 ウエハ搬送装置

Publications (1)

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JPS60180206U true JPS60180206U (ja) 1985-11-29

Family

ID=30601965

Family Applications (1)

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JP6780584U Pending JPS60180206U (ja) 1984-05-11 1984-05-11 ウエハ搬送装置

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6382248A (ja) * 1986-09-26 1988-04-13 Canon Inc 薄板状物品の搬出または搬入装置

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5160376A (ja) * 1974-11-22 1976-05-26 Mitsubishi Electric Corp Handotaihakuhenhansosochi
JPS55140812A (en) * 1979-04-23 1980-11-04 Agency Of Ind Science & Technol Automatic feeding and containing device of slide glass

Patent Citations (2)

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