JPS60101747U - ウエ−ハ搬送装置 - Google Patents
ウエ−ハ搬送装置Info
- Publication number
- JPS60101747U JPS60101747U JP19366683U JP19366683U JPS60101747U JP S60101747 U JPS60101747 U JP S60101747U JP 19366683 U JP19366683 U JP 19366683U JP 19366683 U JP19366683 U JP 19366683U JP S60101747 U JPS60101747 U JP S60101747U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- holding jig
- regular intervals
- wafer
- transfer device
- holding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来例を示す全体の側面図ミ第２図は第１図に
余される保持用治具と搬送アー゛ムとの係合状態を示す
横断面図、第３図〜第８図は本考案の実施例を示すもの
で、第３図は全体の側面図、第４図は要部の斜視図、第
５図は保持用治具と搬送アームとの保合状態を示す横断
面図、７第６図〜第８図は搬送アームの他の実施例を示
す斜視図である。 図面中、１１・・・保持用治具、１３・・・被係合部、
１４．２１，２３，２５・・・搬送アーム、１５・・・
切欠、１６．セ２．２４．２６・・・係合部、１７・・
・熱処理室、１８・・・アーム駆動部。
余される保持用治具と搬送アー゛ムとの係合状態を示す
横断面図、第３図〜第８図は本考案の実施例を示すもの
で、第３図は全体の側面図、第４図は要部の斜視図、第
５図は保持用治具と搬送アームとの保合状態を示す横断
面図、７第６図〜第８図は搬送アームの他の実施例を示
す斜視図である。 図面中、１１・・・保持用治具、１３・・・被係合部、
１４．２１，２３，２５・・・搬送アーム、１５・・・
切欠、１６．セ２．２４．２６・・・係合部、１７・・
・熱処理室、１８・・・アーム駆動部。
Claims (1)
- 複数のウェーハを保持する保持用治具と、この保持用治
具を支持する゛搬送アームと、この搬送アームを適宜駆
動することにより前記保持用治具を熱処理室に搬入し、
かつ搬出するアーム駆動部とを備えたウェーハ搬送装置
において、前記保持用治具の両側にはそれぞれ外方に向
って凸状に形成された被保合部が長手方向に沿って一定
間隔で設′ けられ、かつ前記搬送アームは前
記保持用治具に−被嵌し得る断面ドーム形状とされてい
ると共にその両下端近傍にはそれぞれ内方に向って凸状
に形成された保合部が長手方向に沿って一定間隔で設、
けられていることを特徴とするウェーハ搬送袋装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19366683U JPS60101747U (ja) | 1983-12-16 | 1983-12-16 | ウエ−ハ搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19366683U JPS60101747U (ja) | 1983-12-16 | 1983-12-16 | ウエ−ハ搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60101747U true JPS60101747U (ja) | 1985-07-11 |
| JPS6328599Y2 JPS6328599Y2 (ja) | 1988-08-02 |
Family
ID=30416485
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19366683U Granted JPS60101747U (ja) | 1983-12-16 | 1983-12-16 | ウエ−ハ搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60101747U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01162329A (ja) * | 1987-12-18 | 1989-06-26 | Tel Sagami Ltd | 縦型熱処理装置 |
| JPH01315131A (ja) * | 1988-03-09 | 1989-12-20 | Tel Sagami Ltd | 熱処理装置 |
-
1983
- 1983-12-16 JP JP19366683U patent/JPS60101747U/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01162329A (ja) * | 1987-12-18 | 1989-06-26 | Tel Sagami Ltd | 縦型熱処理装置 |
| JPH01315131A (ja) * | 1988-03-09 | 1989-12-20 | Tel Sagami Ltd | 熱処理装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6328599Y2 (ja) | 1988-08-02 |
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