JPS6122347U - 半導体ウエハ保持用ボ−ト - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の半導体ウエハ保持用ボートを示す斜視図
、第２図及び第３図は各々第１図におけるウエハ支持棒
１ａ，１ｂにおけるウエノ１挿入溝２部分を示す部分側
面図及び部分断面図、第４図はウエハ３を自動的に挿入
するウエハ移し替え装置の構成図、第５図はウエハ３を
第１図に示した半導体ウエハ保持用ボートのウエハ挿入
溝２に挿入する時のウエハ３の動きを示した図、第６図
ないし第１１図はこの考案の一実施例を示し、第６図は
本考案の一実施例となる半導体ウエハ保持用ボートの構
成を示す斜視図、第７図はウエハ３をウエハ挿入溝１０
に挿入する時のウエハの動きを示す図、第８図ないし第
１１図は各々ウエハ支持棒９ａ，９ｂにおける第７図に
示すＡ， Ｂ． Ｃ．Ｄ点を通る部分■−■， ＩＸ−
ＩＸ， Ｘ−Ｘ， ＸＩ−ＸＩの断面図である。 図において、９ ａ， ９ ｂはウエハ支持棒、３は
半導体ウエハ、１０はウエハ挿入溝、１２は案内溝であ
る。 なお、各図中、同一符号は同一または相当部分を示す。

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. （１）等間隔に複数形成されたウエノ＼挿入溝を有し、
   対向して配設され、上記ウエハ挿入溝にてウエハを保持
   する一対のウエノ１支持棒を備えたものにおいて、上記
   ウエハ挿入溝を、底面が上記ウエハの外周に沿った形状
   をなし、幅が上記ウエハの厚さより僅かに広い断面四角
   形状の保持溝と、この保持溝に接し、かつその上側及び
   この保持溝よりも外側に延在して形成された断面末広が
   り形状の案内溝とからなるものとしたことを特徴とする
   半導体ウエハ保持用ボート。
2. （２）ウエハ支持棒は石英からなることを特徴とする実
   用新案登録請求の範囲第１項記載の半導体ウエハ保持用
   ボード。