JPS60926U - 半導体基板の収納容器 - Google Patents

半導体基板の収納容器

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Publication number
JPS60926U
JPS60926U JP9182283U JP9182283U JPS60926U JP S60926 U JPS60926 U JP S60926U JP 9182283 U JP9182283 U JP 9182283U JP 9182283 U JP9182283 U JP 9182283U JP S60926 U JPS60926 U JP S60926U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
semiconductor substrate
storage container
substrate storage
side wall
quartz
Prior art date
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Pending
Application number
JP9182283U
Other languages
English (en)
Inventor
弘 佐藤
敏郎 加藤
Original Assignee
ソニー株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by ソニー株式会社 filed Critical ソニー株式会社
Priority to JP9182283U priority Critical patent/JPS60926U/ja
Publication of JPS60926U publication Critical patent/JPS60926U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
図面は本考案の一実施例を示すものであって、第１図は
半導体基板の収納容器の斜視図、第２図は半導体基板の
収容状態における第１図の■−■線の断面図、第３図は
側壁板の一部分の平面図、第４図は支持棒の一部分の側
面図である。 なお図面に用いた符号において、１・・・・・・半導体
基板の収納容器、３ａ、　３ｂ・・・・・・側壁板、５
ａ。 ５ｂ・・・・・・端壁板、７・・・・・・支持棒、９・
・・・・・溝部、１０・・・・・・溝部の底部、１２・
・・・・・凹部、である。 第１図 一／。 第４図

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 半導体基板の周面を案内する複数の溝部をそれぞれ有し
    かつ半導体基板の収納空間の両側に相対向して配設され
    た一対の石英製側壁板と、上記半導体基板の周面を支持
    する複数の凹部を有しかつ上記収納空間の下方に対向し
    て配設された石英製支持棒とをそれぞれ具備し、上記複
    数の溝部はその底部がその全体に亘って上記半導体基板
    の案内方向に対しては＼゛平行延びるように構成され、
    上記複数の凹部は上記複数の溝部にそれぞれ対応するよ
    うに構成されていることを特徴とする半導体基板の収納
    容器。
JP9182283U 1983-06-15 1983-06-15 半導体基板の収納容器 Pending JPS60926U (ja)

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JP9182283U JPS60926U (ja) 1983-06-15 1983-06-15 半導体基板の収納容器

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JP9182283U JPS60926U (ja) 1983-06-15 1983-06-15 半導体基板の収納容器

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS60926U true JPS60926U (ja) 1985-01-07

Family

ID=30221906

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP9182283U Pending JPS60926U (ja) 1983-06-15 1983-06-15 半導体基板の収納容器

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS60926U (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0235448U (ja) * 1988-08-29 1990-03-07
JPH04113447U (ja) * 1991-03-22 1992-10-05 ヤマハ株式会社 ウエハキヤリア

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0235448U (ja) * 1988-08-29 1990-03-07
JPH04113447U (ja) * 1991-03-22 1992-10-05 ヤマハ株式会社 ウエハキヤリア

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