JPH0235448U - - Google Patents

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JPH0235448U
JPH0235448U JP11384788U JP11384788U JPH0235448U JP H0235448 U JPH0235448 U JP H0235448U JP 11384788 U JP11384788 U JP 11384788U JP 11384788 U JP11384788 U JP 11384788U JP H0235448 U JPH0235448 U JP H0235448U
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Description

【図面の簡単な説明】
図面は本考案の実施例を示し、第1図は一部を
切除した斜視図、第2図は縦断正面図、第3図及
び第4図はそれぞれ別実施例の第2図相当図、第
5図は別実施例の一部を切除した側面図である。 1……基板収納溝、2……側部保持板、3……
基板受止溝、4……底部保持杆、5……固設部材
、8……基板収納空間、9……基板。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 上下開放状の枠体内に形成した基板収容空間に
    複数枚の基板を垂直姿勢で前後に並列させて収容
    保持する基板収納容器であつて、 上下に貫通する複数の基板収納溝を一定のピツ
    チで形成し、基板収納溝同士が所定間隙へだてて
    左右に対向する状態に配置した左右の側部保持板
    と、 側部保持板の基板収納溝と同一ピツチで基板受
    止溝を形成し、基板受止溝が側部保持板の基板収
    納溝と同一垂直平面内に位置する状態で配置した
    底部保持杆と、 側部保持板及び底部保持杆の各両端部に連結す
    る前後一組の固設部材とからなり、 底部保持杆は側部保持板同士間の左右中央部か
    ら左右に外れた位置に配置され、側部保持板の基
    板収納溝の上端は、基板との接触位置より高く形
    成され、 左右側部保持板と前後固設部材との少なくとも
    一方の外壁部に被挾持用の外向きの鍔部を形成し
    、 左右側部保持板と底部保持杆及び前後固設部材
    を石英材料で形成したことを特徴とする基板収納
    容器。
JP1988113847U 1988-08-29 1988-08-29 基板収納容器 Expired - Lifetime JPH0636584Y2 (ja)

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JPH0636584Y2 JPH0636584Y2 (ja) 1994-09-21

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04113447U (ja) * 1991-03-22 1992-10-05 ヤマハ株式会社 ウエハキヤリア
JPH062700U (ja) * 1992-06-04 1994-01-14 株式会社柿崎製作所 半導体ウエハ用バスケット
JP2002329702A (ja) * 2001-05-01 2002-11-15 Sumitomo Electric Ind Ltd 半導体基板洗浄治具と半導体基板洗浄治具へのウエハ挿入方法
JP2009231386A (ja) * 2008-03-19 2009-10-08 Sanyo Electric Co Ltd 基板ケース及び処理方法

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