JPH0235448U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0235448U JPH0235448U JP11384788U JP11384788U JPH0235448U JP H0235448 U JPH0235448 U JP H0235448U JP 11384788 U JP11384788 U JP 11384788U JP 11384788 U JP11384788 U JP 11384788U JP H0235448 U JPH0235448 U JP H0235448U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- side holding
- board
- holding rod
- groove
- board storage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 5
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
Landscapes
- Packaging Frangible Articles (AREA)
Description
図面は本考案の実施例を示し、第1図は一部を
切除した斜視図、第2図は縦断正面図、第3図及
び第4図はそれぞれ別実施例の第2図相当図、第
5図は別実施例の一部を切除した側面図である。 1……基板収納溝、2……側部保持板、3……
基板受止溝、4……底部保持杆、5……固設部材
、8……基板収納空間、9……基板。
切除した斜視図、第2図は縦断正面図、第3図及
び第4図はそれぞれ別実施例の第2図相当図、第
5図は別実施例の一部を切除した側面図である。 1……基板収納溝、2……側部保持板、3……
基板受止溝、4……底部保持杆、5……固設部材
、8……基板収納空間、9……基板。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 上下開放状の枠体内に形成した基板収容空間に
複数枚の基板を垂直姿勢で前後に並列させて収容
保持する基板収納容器であつて、 上下に貫通する複数の基板収納溝を一定のピツ
チで形成し、基板収納溝同士が所定間隙へだてて
左右に対向する状態に配置した左右の側部保持板
と、 側部保持板の基板収納溝と同一ピツチで基板受
止溝を形成し、基板受止溝が側部保持板の基板収
納溝と同一垂直平面内に位置する状態で配置した
底部保持杆と、 側部保持板及び底部保持杆の各両端部に連結す
る前後一組の固設部材とからなり、 底部保持杆は側部保持板同士間の左右中央部か
ら左右に外れた位置に配置され、側部保持板の基
板収納溝の上端は、基板との接触位置より高く形
成され、 左右側部保持板と前後固設部材との少なくとも
一方の外壁部に被挾持用の外向きの鍔部を形成し
、 左右側部保持板と底部保持杆及び前後固設部材
を石英材料で形成したことを特徴とする基板収納
容器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1988113847U JPH0636584Y2 (ja) | 1988-08-29 | 1988-08-29 | 基板収納容器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1988113847U JPH0636584Y2 (ja) | 1988-08-29 | 1988-08-29 | 基板収納容器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0235448U true JPH0235448U (ja) | 1990-03-07 |
JPH0636584Y2 JPH0636584Y2 (ja) | 1994-09-21 |
Family
ID=31354053
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1988113847U Expired - Lifetime JPH0636584Y2 (ja) | 1988-08-29 | 1988-08-29 | 基板収納容器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0636584Y2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04113447U (ja) * | 1991-03-22 | 1992-10-05 | ヤマハ株式会社 | ウエハキヤリア |
JPH062700U (ja) * | 1992-06-04 | 1994-01-14 | 株式会社柿崎製作所 | 半導体ウエハ用バスケット |
JP2002329702A (ja) * | 2001-05-01 | 2002-11-15 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 半導体基板洗浄治具と半導体基板洗浄治具へのウエハ挿入方法 |
JP2009231386A (ja) * | 2008-03-19 | 2009-10-08 | Sanyo Electric Co Ltd | 基板ケース及び処理方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60926U (ja) * | 1983-06-15 | 1985-01-07 | ソニー株式会社 | 半導体基板の収納容器 |
JPS60177642A (ja) * | 1984-02-24 | 1985-09-11 | Hitachi Ltd | 収納容器 |
JPS6139545A (ja) * | 1984-07-31 | 1986-02-25 | Toshiba Ceramics Co Ltd | ウエ−ハ用キヤリヤ− |
-
1988
- 1988-08-29 JP JP1988113847U patent/JPH0636584Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JP2009231386A (ja) * | 2008-03-19 | 2009-10-08 | Sanyo Electric Co Ltd | 基板ケース及び処理方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0636584Y2 (ja) | 1994-09-21 |
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