JP2009231386A - 基板ケース及び処理方法 - Google Patents
基板ケース及び処理方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009231386A JP2009231386A JP2008072496A JP2008072496A JP2009231386A JP 2009231386 A JP2009231386 A JP 2009231386A JP 2008072496 A JP2008072496 A JP 2008072496A JP 2008072496 A JP2008072496 A JP 2008072496A JP 2009231386 A JP2009231386 A JP 2009231386A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- groove
- end support
- pair
- substrate case
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Weting (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
【解決手段】基板ケース1において、縦溝20Gの一対の側面20L,20Mそれぞれは、配列方向に対して角度θ2を有する。角度θ2は、配列方向における基板Sの撓みに基づいて決定される。
【選択図】図6
Description
本発明の実施形態に係る基板ケース1の構成について、図1〜3を参照しながら説明する。図1は、基板ケース1の上面図である。図2は、図1に示す上端支持部10を取外した状態での基板ケース1の上面図である。図3は、図1のA−A断面図である。
次に、上端支持部10が有する上側溝10Gの構成について、図4を参照しながら説明する。図4は、図1のB−B線における第1上端支持部10aの拡大断面図である。
次に、下端支持部40が有する下側溝40Gの構成について、図5を参照しながら説明する。図5(a)は、図2のC−C線における第1下端支持部40aの断面図である。図5(b)は、同図(a)のY部分の拡大図である。
次に、側端支持部20が有する縦溝20Gの構成について、図6を参照しながら説明する。図6は、図1のX部分の拡大図である。
本実施形態に係る基板ケース1において、縦溝20Gの一対の側面20L,20Mそれぞれは、配列方向に対して角度θ2を有する。角度θ2は、配列方向における基板Sの撓みに基づいて決定される。
本発明は上記の実施形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。
本実施例に係る基板ケースは、図1〜6を用いて説明した上記実施形態に係る基板ケース1と同様の構成を有する。具体的に、本実施例に係る基板ケースは、以下の寸法で構成される。
次に、様々な厚みを有する単結晶シリコン基板(104mm角)を複数枚ずつ準備し、次のようにエッチング処理を行った。
基板ケースをエッチング槽から引き上げた後、単結晶シリコン基板と上側溝の側面及び下側溝の側面との貼りつきの発生状況を確認した。
10…上端支持部
10G…上側溝
10a…上端支持部
15…固定具
20…側端支持部
20G…縦溝
20L,20M…側面
20N…底面
30…固定部
40…下端支持部
40G…下側溝
40L,40M…側面
40N…底面
S…基板
Claims (7)
- 基板を所定の方向に対して略垂直に支持する基板ケースであって、
前記基板の下端部を支持する下側溝を有する下端支持部と、
前記基板の上端部を支持する上側溝を有する上端支持部と、
前記基板の両側端部を支持する縦溝をそれぞれ有する一対の側端支持部と
を備え、
前記縦溝は、上下方向に沿って延び、
前記縦溝は、テーパー状に形成されており、
前記縦溝が有する一対の側面それぞれは、前記所定の方向に対して第1の角度を有し、
前記第1の角度は、前記所定の方向における前記基板の撓みに基づいて決定される
ことを特徴とする基板ケース。 - 前記縦溝は、前記縦溝が有する一対の側面それぞれに繋がる平面状の底面を有する
ことを特徴とする請求項1に記載の基板ケース。 - 前記下側溝及び前記上側溝の少なくとも一方の溝は、テーパー状に形成されており、
前記一方の溝が有する一対の側面は、前記所定の方向に対して第2の角度を有しており、
前記第2の角度は、前記所定の方向における前記基板の撓みに応じて決定される
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の基板ケース。 - 前記下側溝は、前記下側溝が有する一対の側面それぞれに繋がる平面状の底面を有する
ことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の基板ケース。 - 前記下端支持部は、前記所定の方向に沿って延びる第1下端支持部及び第2下端支持部を含み、
前記第1下端支持部及び前記第2下端支持部それぞれは、前記下側溝を有する
ことを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の基板ケース。 - 前記下側溝及び前記上側溝は、前記基板の前記所定の方向における位置ずれを所定の範囲に制約する
ことを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の基板ケース。 - 基板に薬液処理を施す処理方法であって、
前記基板を基板ケース内に立てて収納する工程Aと、
前記基板ケースを薬液中に浸漬する工程Bと、
前記基板ケースを前記薬液中から取り出す工程Cと
を備え、
前記基板ケースは、
前記基板の下端部を支持する下側溝を有する下端支持部と、
前記基板の上端部を支持する上側溝を有する上端支持部と、
前記基板の両側端部を支持する縦溝をそれぞれ有する一対の側端支持部と
を備え、
前記縦溝は、上下方向に沿って延び、
前記縦溝は、テーパー状に形成されており、
前記縦溝が有する一対の側面それぞれは、前記基板に垂直な方向に対して第1の角度を有し、
前記第1の角度は、前記基板に垂直な方向における前記基板の撓みに基づいて決定されている
ことを特徴とする処理方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008072496A JP5153399B2 (ja) | 2008-03-19 | 2008-03-19 | 基板ケース及び処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008072496A JP5153399B2 (ja) | 2008-03-19 | 2008-03-19 | 基板ケース及び処理方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009231386A true JP2009231386A (ja) | 2009-10-08 |
JP5153399B2 JP5153399B2 (ja) | 2013-02-27 |
Family
ID=41246488
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008072496A Active JP5153399B2 (ja) | 2008-03-19 | 2008-03-19 | 基板ケース及び処理方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5153399B2 (ja) |
Citations (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0235448U (ja) * | 1988-08-29 | 1990-03-07 | ||
JPH05109877A (ja) * | 1991-10-14 | 1993-04-30 | Tokyo Electron Ltd | 基板支持装置 |
JPH05229581A (ja) * | 1992-02-20 | 1993-09-07 | Sony Corp | ウエハキャリアケース |
JPH06232104A (ja) * | 1993-01-29 | 1994-08-19 | Komatsu Electron Metals Co Ltd | フッ素樹脂製キヤリア面の識別符号刻設溝 |
JPH072281U (ja) * | 1993-06-14 | 1995-01-13 | 日本電気硝子株式会社 | 板状物の収納用具 |
JPH07310192A (ja) * | 1994-05-12 | 1995-11-28 | Tokyo Electron Ltd | 洗浄処理装置 |
JPH0964162A (ja) * | 1995-08-18 | 1997-03-07 | Kakizaki Seisakusho:Kk | 薄板用支持容器 |
JP2000012672A (ja) * | 1998-06-22 | 2000-01-14 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板保持構造、基板処理装置、基板移載装置および基板収納器 |
JP2000124297A (ja) * | 1998-10-20 | 2000-04-28 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板保持具 |
JP2000208604A (ja) * | 1999-01-19 | 2000-07-28 | Sharp Corp | 仕切り治具及びウェハの化学処理方法 |
JP2002329702A (ja) * | 2001-05-01 | 2002-11-15 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 半導体基板洗浄治具と半導体基板洗浄治具へのウエハ挿入方法 |
JP2002353301A (ja) * | 2001-05-30 | 2002-12-06 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 精密基板収納容器及びその押さえ部材 |
JP2007109761A (ja) * | 2005-10-12 | 2007-04-26 | Tana-X:Kk | ウエハ収納用紙製容器 |
JP2007145397A (ja) * | 2005-11-30 | 2007-06-14 | Hoya Corp | 基板収納容器、マスクブランク収納体、および転写マスク収納体 |
-
2008
- 2008-03-19 JP JP2008072496A patent/JP5153399B2/ja active Active
Patent Citations (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0235448U (ja) * | 1988-08-29 | 1990-03-07 | ||
JPH05109877A (ja) * | 1991-10-14 | 1993-04-30 | Tokyo Electron Ltd | 基板支持装置 |
JPH05229581A (ja) * | 1992-02-20 | 1993-09-07 | Sony Corp | ウエハキャリアケース |
JPH06232104A (ja) * | 1993-01-29 | 1994-08-19 | Komatsu Electron Metals Co Ltd | フッ素樹脂製キヤリア面の識別符号刻設溝 |
JPH072281U (ja) * | 1993-06-14 | 1995-01-13 | 日本電気硝子株式会社 | 板状物の収納用具 |
JPH07310192A (ja) * | 1994-05-12 | 1995-11-28 | Tokyo Electron Ltd | 洗浄処理装置 |
JPH0964162A (ja) * | 1995-08-18 | 1997-03-07 | Kakizaki Seisakusho:Kk | 薄板用支持容器 |
JP2000012672A (ja) * | 1998-06-22 | 2000-01-14 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板保持構造、基板処理装置、基板移載装置および基板収納器 |
JP2000124297A (ja) * | 1998-10-20 | 2000-04-28 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板保持具 |
JP2000208604A (ja) * | 1999-01-19 | 2000-07-28 | Sharp Corp | 仕切り治具及びウェハの化学処理方法 |
JP2002329702A (ja) * | 2001-05-01 | 2002-11-15 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 半導体基板洗浄治具と半導体基板洗浄治具へのウエハ挿入方法 |
JP2002353301A (ja) * | 2001-05-30 | 2002-12-06 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 精密基板収納容器及びその押さえ部材 |
JP2007109761A (ja) * | 2005-10-12 | 2007-04-26 | Tana-X:Kk | ウエハ収納用紙製容器 |
JP2007145397A (ja) * | 2005-11-30 | 2007-06-14 | Hoya Corp | 基板収納容器、マスクブランク収納体、および転写マスク収納体 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5153399B2 (ja) | 2013-02-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5336157B2 (ja) | 板状物品搬送用トレイ | |
JP6401293B2 (ja) | リングスペーサー | |
US11282731B2 (en) | Wafer cutting device and method | |
TW201320222A (zh) | 太陽能電池製程載具 | |
US20160086834A1 (en) | Multi-Stepped Boat Assembly for Receiving Semiconductor Packages | |
JP5153399B2 (ja) | 基板ケース及び処理方法 | |
KR20140131139A (ko) | 기판정렬장치 및 이를 이용한 기판절단장치 | |
US10147626B2 (en) | Wafer cassette and placement method thereof | |
CN102903659A (zh) | 一种半导体处理设备及其使用方法 | |
US20160139465A1 (en) | Alignment plate | |
KR101891783B1 (ko) | 웨이퍼 분리 장치 | |
JP2015204463A (ja) | ウェハ基板を乾燥させるための方法およびウェハホルダ | |
JP2007036189A (ja) | 基板保持具および基板処理装置 | |
TWI322196B (en) | Method and etching apparatus for etching a large lcd glass | |
JP2007067078A (ja) | 洗浄半導体チップトレー | |
KR20090038088A (ko) | 웨이퍼 카세트 | |
KR101823142B1 (ko) | 프로브 카드용 니들 어셈블리 | |
JP2017168612A (ja) | 処理基板保持治具 | |
JP5118560B2 (ja) | ウエハ収納キャリア | |
JP7183997B2 (ja) | ガラス基板の処理方法 | |
CN218385144U (zh) | 一种用于超薄片晶圆湿法工艺的晶圆承载装置 | |
CN220155506U (zh) | 晶圆浸泡花篮 | |
JP2008218757A (ja) | 板状体の支持部材及び保持体、並びに板状体の支持部材の製造方法 | |
JP2008147535A (ja) | 基板用キャリア | |
JP2009283537A (ja) | 基板収納容器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110225 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120123 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120131 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120327 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120821 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121002 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20121106 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20121204 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151214 Year of fee payment: 3 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5153399 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151214 Year of fee payment: 3 |