KR101823142B1 - 프로브 카드용 니들 어셈블리 - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 일 실시 예는, 프로브 카드 상에 배치되며, 다수의 니들 삽입공을 가지는 플레이트, 상기 니들 삽입공에 삽입되는 다수의 탐침 니들을 포함하며, 상기 플레이트는, 평면상 상기 플레이트를 가로지르는 제 1 축을 기준으로 마주보게 배치되며, 상기 플레이트의 일면에 배치된 한 쌍의 홈, 및 상기 홈에 배치되며, 상기 플레이트의 타면으로부터 상기 플레이트의 일면을 향하여 돌출되고, 상기 제 1 축에서 멀어질수록 계단식으로 돌출되는 계단식 돌출부를 가지고, 상기 다수의 니들 삽입공은 상기 홈의 최하면에 배치되고, 상기 다수의 탐침 니들은, 상기 계단식 돌출부에 적어도 일부 접촉되어 경사지게 배치되는 하층 탐침 니들, 및 상기 하층 탐침 니들 상에 다수의 층으로 적층되는 상층 탐침 니들을 포함하며, 상기 하층 탐침 니들과 상기 상층 탐침 니들의 사이에 배치된 필름을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

프로브 카드용 니들 어셈블리{THE NEEDLE ASSEMBLY FOR THE PROBE CARD}
본 발명은 프로브 카드용 니들 어셈블리에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 탐침 니들 및 플레이트의 내구성을 개선시킨 프로브 카드용 니들 어셈블리에 관한 것이다.
도 1은 종래 기술에 따른 프로브 카드용 니들 어셈블리(1)를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 1을 참조하면, 종래 기술에 따른 프로브 카드용 니들 어셈블리(1)는 플레이트(2)와 니들(6)을 포함한다. 플레이트(2)는 홈(4)과 니들 삽입공(3)을 가질 수 있다. 홈(4)은 플레이트(2)에 니들 삽입공(3)을 형성하기 위한 공간이다. 니들(6)은 절곡된 단부가 니들 삽입공(3)에 삽입된다. 또한, 니들(6)은 지지부(5)에 지지된다. 이 경우, 긴 길이를 가지는 니들(6)은 지지부(5)에 의해 안정적으로 지지되지 못하는 문제점이 있다.
또한, 도 1의 니들(6)은 편의상 선으로 도시하였다. 니들(6)은 일정한 단면을 가지기 때문에 니들 삽입공(3)의 내주면에 직접 접촉된다. 그러므로, 프로브 카드용 니들 어셈블리(1)의 하면에 품질 등의 검사가 필요한 반도체 등이 장착 및 탈착을 반복하면서 니들(6)은 니들 삽입공(3)의 내부에서 마찰을 일으킨다. 이는, 플레이트(2) 또는 니들(6)의 내구성을 저하시키는 문제점이 있다. 상술한 바와 같이, 니들(6)의 반복적인 운동으로 종래 기술에 따른 지지부(5)는 니들(6)을 안정적으로 지지할 수 없는 문제점이 있다.
또한, 반도체 등이 반복적으로 장착 및 탈착에 따라 다수의 니들(6)은 니들 삽입공(3)의 상하로 운동한다. 그러나, 다수의 니들(6)은 각각 개별적으로 니들 삽입공(3)에서 운동하므로, 다수의 니들(6) 중 적어도 어느 하나는 반복적인 운동 중 니들 삽입공(3)에서 이탈될 수 있다. 또한, 다수의 니들(6) 중 어느 하나 이상은 니들 삽입공(3)을 관통한 위치가 달라져 품질 검사가 어려울 수 있는 문제점이 있다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명의 일 실시 예에 따른 프로브 카드용 니들 어셈블리는 탐침 니들과 니들 삽입공의 접촉면적으로 최소화하기 위한 마찰 방지공을 제공할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시 예에 따른 프로브 카드용 니들 어셈블리는 탐침 니들을 안정적으로 지지할 수 있는 계단식 돌출부를 제공할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시 예에 따른 프로브 카드용 니들 어셈블리는 다수의 탐침 니들을 함께 유동 시킬 수 있는 필름을 제공할 수 있다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여, 프로브 카드 상에 배치되며, 다수의 니들 삽입공을 가지는 플레이트, 상기 니들 삽입공에 삽입되는 다수의 탐침 니들을 포함하며, 상기 플레이트는, 평면상 상기 플레이트를 가로지르는 제 1 축을 기준으로 마주보게 배치되며, 상기 플레이트의 일면에 배치된 한 쌍의 홈, 및 상기 홈에 배치되며, 상기 플레이트의 타면으로부터 상기 플레이트의 일면을 향하여 돌출되고, 상기 제 1 축에서 멀어질수록 계단식으로 돌출되는 계단식 돌출부를 가지고, 상기 다수의 니들 삽입공은 상기 홈의 최하면에 배치되고, 상기 다수의 탐침 니들은, 상기 계단식 돌출부에 적어도 일부 접촉되어 경사지게 배치되는 하층 탐침 니들, 및 상기 하층 탐침 니들 상에 다수의 층으로 적층되는 상층 탐침 니들을 포함하며, 상기 하층 탐침 니들과 상기 상층 탐침 니들의 사이에 배치된 필름을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 필름은 일정한 길이를 가지며, 상기 플레이트의 가장자리를 따라 연장되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 다수의 층으로 적층되는 상층 탐침 니들 중 하측에 배치된 상층 탐침 니들과 상측에 배치된 상층 탐침 니들의 사이에 배치된 필름을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 필름은 상면 및 하면 중 적어도 어느 한 면에 배치된 접착 부재를 포함하는 프로브 카드용 니들 어셈블리.
본 발명에 따른 프로브 카드용 니들 어셈블리에 의하면, 마찰 방지공을 통해 탐침 니들과 니들 삽입공의 접촉면적으로 최소화하여 마찰을 저감시킬 수 있다. 이에 의해, 플레이트와 탐침 니들의 내구성을 개선시킬 수 있다.
또한, 한 쌍의 홈에 배치된 계단식 돌출부에 의해 탐침 니들은 안정적으로 지지될 수 있다.
또한, 필름에 의해 다수의 탐침 니들이 함께 운동할 수 있으므로, 반복적인 운동을 하더라도 다수의 탐침 니들이 니들 삽입공에 삽입된 위치를 동일하게 할 수 있다.
도 1은 종래 기술에 따른 프로브 카드용 니들 어셈블리를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 2는 프로브 카드에 배치된 본 발명의 일 실시 예에 따른 프로브 카드용 니들 어셈블리를 도시한 평면도이다.
도 3은 도 2에 도시된 프로브 카드용 니들 어셈블리의 평면도이다.
도 4는 도 3에 도시된 프로브 카드용 니들 어셈블리의 저면도이다.
도 5는 도 2에 도시된 플레이트의 사시도이다.
도 6은 도 5에 도시된 플레이트의 평면도이다.
도 7은 도 6에 도시된 플레이트의 측면도이다.
도 8은 도 7에 도시된 플레이트에 배치된 탐침 니들을 도시한 도면이다.
도 9 및 10은 도 7에 도시된 탐침 니들들 사이에 배치된 필름을 도시한 도면이다.
도 11은 도 9 및 10에 도시된 필름을 도시한 평면도이다.
도 12는 도 11에 도시된 필름의 측면도이다.
이하 본 발명의 바람직한 일 실시 예에 따른 프로브 카드용 니들 어셈블리(10)를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
도 2는 프로브 카드(110)에 배치된 본 발명의 일 실시 예에 따른 프로브 카드용 니들 어셈블리(10)를 도시한 평면도이고, 도 3은 도 2에 도시된 프로브 카드용 니들 어셈블리(10)의 평면도이며, 도 4는 도 3에 도시된 프로브 카드용 니들 어셈블리(10)의 저면도이고, 도 5는 도 2에 도시된 플레이트(100)의 사시도이며, 도 6은 도 5에 도시된 플레이트(100)의 평면도이다.
도 2 내지 6을 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 프로브 카드용 니들 어셈블리(10)는 플레이트(100), 탐침 니들(200) 및 필름(300)을 포함할 수 있다.
플레이트(100)는 프로브 카드(110) 상에 배치될 수 있다. 따라서, 반도체 웨이퍼(미도시), COF(chip on film, 미도시), FPC(flexible printed circuit, 미도시) 등이 플레이트(100)에 배치되어, 품질 검사가 이루어질 수 있다. 플레이트(100)는 한 쌍의 홈(130), 니들 삽입공(150), 계단식 돌출부(155) 및 마찰 방지공(170)을 가질 수 있다. 한편, 플레이트(100)는 사각 판 형상을 가질 수 있다.
한 쌍의 홈(130)은 플레이트(100)의 일측과 타측을 가로지르는 제 1 축(131)을 기준으로 마주보게 배치될 수 있다. 예컨대, 제 1 축(131)은 평면상 플레이트(100)의 중심을 지나는 좌우 중심축을 포함할 수 있다. 한 쌍의 홈(130)은 플레이트(100)의 일면에 배치될 수 있다. 즉, 플레이트(100)는 그 일면에서 타면을 향하여 평면상 사각 형상으로 함몰된 한 쌍의 홈(130)을 가질 수 있다. 또한, 한 쌍의 홈(130) 각각은 제 1 축(131)으로부터 이격되고, 플레이트(100)의 가장자리에 인접하게 배치될 수 있다.
도 7은 도 6에 도시된 플레이트(100)의 측면도이고, 도 8은 도 7에 도시된 플레이트(100)에 배치된 탐침 니들(200)을 도시한 도면이며, 도 9 및 10은 도 7에 도시된 탐침 니들(200)들 사이에 배치된 필름(300)을 도시한 도면이다.
도 7 내지 9를 참조하면, 계단식 돌출부(135)는 한 쌍의 홈(130) 각각에 배치될 수 있다. 계단식 돌출부(135)는 플레이트(100)의 타면에서 일면을 향하여 돌출될 수 있다. 또한, 계단식 돌출부(135)는 제 1 축(131)에서 멀어질수록 계단식으로 돌출될 수 있다. 계단식 돌출부(135)는 계단식으로 점차 돌출되어 플레이트(100)의 가장자리까지 연장될 수 있다.
일 실시 예로, 계단식 돌출부(135)는 다수의 계단형 단턱(134)과 적어도 하나의 독립형 돌기(136)를 포함할 수 있다. 다수의 계단형 단턱(134)들은 제 1 축(131)으로부터 플레이트(100)의 가장자리로 갈수록 계단식으로 돌출될 수 있다. 즉, 다수의 계단형 단턱(134)들의 높이는 제 1 축(131)에서 멀어질수록 홈(130)의 최하면(133)으로부터 높아질 수 있다.
독립형 돌기(136)는 다수의 계단형 단턱(134) 중 적어도 어느 하나의 상면으로부터 돌출될 수 있다. 또한, 다수의 계단형 단턱(134) 중 어느 하나의 상면에 배치된 독립형 돌기(136)는 다른 하나의 계단형 단턱(134)과 이격되게 배치될 수 있다. 한 쌍의 홈(130)의 내부에서 계단식으로 돌출되는 다수의 계단형 단턱(134)들을 소정의 높이로 가공하는 것은 어려움이 따를 수 있다. 따라서, 한 쌍의 홈(130)의 최하면(133)에 가장 가까운 계단형 단턱(134)은 다른 계단형 단턱(134)에 비해 넓은 폭을 갖게 가공될 수 있다. 이 경우, 독립형 돌기(136)가 홈(130)의 최하면(133)에 가장 가까운 계단형 단턱(134) 상에 배치될 수 있다. 독립형 돌기(136)는 후술하는 탐침 니들의 경사 각도를 조절하고, 탐침 니들을 안정적으로 지지할 수 있다. 한편, 플레이트(100)는 금형(미도시)을 이용하여 사출 방식으로 제조될 수 있다.
도 5 내지 8을 참조하면, 플레이트(100)는 다수의 니들 삽입공(150)을 가질 수 있다. 니들 삽입공(150)은 한 쌍의 홈(130) 각각에 배치될 수 있다. 니들 삽입공(150)은 한 쌍의 홈(130)에 배치될 수 있다. 특히, 니들 삽입공(150)은 홈(130)의 최하면(133)에 배치될 수 있다. 즉, 니들 삽입공(150)은 제 1 축(131)과 계단식 돌출부(135)의 사이에 배치될 수 있다.
한편, 플레이트(100)는 마찰 방지공(170)을 더 가질 수 있다. 마찰 방지공(170)은 니들 삽입공(150) 마다 배치될 수 있다. 또한, 마찰 방지공(170)은 니들 삽입공(150)을 사이에 두고 플레이트(100)의 타면과 이격되어 한 쌍의 홈(130)의 최하면(133)에 배치될 수 있다. 마찰 방지공(170)은 니들 삽입공(150)의 내주면을 따라 연장될 수 있다. 여기서, 마찰 방지공(170)의 내경(D2)은 니들 삽입공(150)의 내경(D1) 보다 더 크다. 이에 의해, 니들 삽입공(150)에 삽입되어 유동하는 탐침 니들(200)의 접촉 면적을 줄여 마찰을 저감시킬 수 있다. 이는, 탐침 니들(200) 및 플레이트(100)의 내구성을 개선시킬 수 있다.
탐침 니들(200)은 계단식 돌출부(135)에 적어도 일부 접촉되어 경사지게 배치될 수 있다. 또한, 탐침 니들(200)의 단부는 니들 삽입공(150)에 삽입될 수 있다. 일 실시 예로, 탐침 니들(200)은 니들 봉(210)과 절곡 단부(230)를 가질 수 있다. 니들 봉(210)은 일정한 길이를 가질 수 있다. 절곡 단부(230)는 니들 봉(210)의 단부에 배치될 수 있다. 절곡 단부(230)는 니들 봉(210)과 둔각을 이룰 수 있다. 바람직하게, 절곡 단부(230)는 니들 봉(210)과 91도 이상 121도 이하의 각도를 이룰 수 있다. 또한, 계단식 돌출부(135)에 배치된 니들 봉(210)은 플레이트(100)의 일면 또는 타면과 6도 이상 15도 이하의 각도를 이룰 수 있다. 이에 의해, 절곡 단부(230)가 니들 삽입공(150)에 유동 가능하게 최적으로 삽입될 수 있다.
도 9 및 10은 도 7에 도시된 탐침 니들(200)들 사이에 배치된 필름(300)을 도시한 도면이고, 도 11은 도 9 및 10에 도시된 필름(300)을 도시한 평면도이며, 도 12는 도 11에 도시된 필름(300)의 측면도이다.
도 5 내지 12를 참조하면, 필름(300)은 탐침 니들(200)들 사이에 배치될 수있다. 여기서, 탐침 니들(200)은 하층 탐침 니들(200a)과 상층 탐침 니들(200b)을 포함할 수 있다. 하층 탐침 니들(200a)은 계단식 돌출부(135)에 적어도 일부 접촉되어 경사지게 배치될 수 있다. 또한, 상층 탐침 니들(200b)은 하층 탐침 니들(200a) 상에 다수의 층으로 적층될 수 있다.
필름(300)은 하층 탐침 니들(200a)과 상층 탐침 니들(200b)의 사이에 배치될 수 있다. 또한, 필름(300)은 다수의 층으로 적층되는 상층 탐침 니들(200b)들 사이에 배치될 수 있다. 구체적으로, 필름(300)은 다수의 층으로 적층되는 상층 탐침 니들(200b) 중 하측에 배치된 상층 탐침 니들(200b)과 상측에 배치된 상층 탐침 니들(200b)의 사이에 배치될 수 있다. 다수의 층으로 적층되는 필름(300)들은 상하로 중첩되게 배치될 수 있다. 또한, 다수의 층으로 적층되는 필름(300)들은 하부에서 상부로 갈수록 니들 봉(210)의 길이 방향으로 적어도 일부 이격될 수 있다. 즉, 다수의 층으로 적층되는 필름(300)들은 서로 중첩되지 않을 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따른 프로브 니들 어셈블리(10)에 품질 검사를 위한 회로 기판, 반도체 등이 반복적으로 설치 및 제거됨에 따라, 탐침 니들(200)은 반복적으로 니들 삽입공(150)에서 수직 또는 수평으로 유동될 수 있다. 이때, 필름(300)은 탐침 니들(200)들을 함께 유동시켜, 회로 기판, 반도체 등의 설치 및 제거의 정확성을 향상 시킬 수 있다. 또한, 동일한 층에 배치된 탐침 니들(200)을 함께 유동 시키므로 니들 삽입공(150)의 내부에서 마찰을 일정하게 만들어 동일한 층에 배치된 탐침 니들(200)의 내구성을 일정하게 유지할 수 있다.
일 실시 예로, 필름(300)은 일정한 길이를 가질 수 있다. 따라서, 탐침 니들(200) 상에 배치되는 필름(300)은 플레이트(100)의 가장자리를 따라서 연장될 수 있다. 한편, 필름(300)은 접착 부재(310)를 가질 수 있다. 접착 부재(310)는 필름(300)의 일면과 타면 중 적어도 어느 한 면에 배치될 수 있다. 접착 부재(310)는 각 층에 배치되는 다수의 탐침 니들(200)에 부착될 수 있다. 따라서, 다수의 탐침 니들(200)은 필름(300)에 의해 함께 유동될 수 있다. 즉, 필름(300)에 의해 다수의 탐침 니들(200)이 함께 운동할 수 있으므로, 반복적인 운동을 하더라도 다수의 탐침 니들(200)이 니들 삽입공(150)에 삽입된 위치를 동일하게 할 수 있다.
이상 본 발명자에 의해서 이루어진 발명을 상기 실시 예에 따라 구체적으로 설명하였지만, 본 발명은 상기 실시 예에 한정되는 것은 아니고, 그 요지를 이탈하지 않는 범위에서 여러 가지로 변경 가능한 것은 물론이다.
10 : 프로브 카드용 니들 어셈블리
100 : 플레이트
110 : 프로브 카드
130 : 한 쌍의 홈
131 : 제 1 축
133 : 한 쌍의 홈의 최하면
135 : 계단식 돌출부
150 : 니들 삽입공
170 : 마찰 방지공
200 : 탐침 니들
210 : 니들 봉
230 : 절곡 단부
300 : 필름
310 : 접착 부재

Claims (4)

  1. 프로브 카드 상에 배치되며, 다수의 니들 삽입공을 가지는 플레이트;
    상기 니들 삽입공에 삽입되는 다수의 탐침 니들을 포함하며,
    상기 플레이트는,
    평면상 상기 플레이트를 가로지르는 제 1 축을 기준으로 마주보게 배치되며, 상기 플레이트의 일면에 배치된 한 쌍의 홈; 및
    상기 홈에 배치되며, 상기 플레이트의 타면으로부터 상기 플레이트의 일면을 향하여 돌출되고, 상기 제 1 축에서 멀어질수록 계단식으로 돌출되는 계단식 돌출부를 가지고,
    상기 다수의 니들 삽입공은 상기 홈의 최하면에 배치되고,
    상기 다수의 탐침 니들은,
    상기 계단식 돌출부에 적어도 일부 접촉되어 경사지게 배치되는 하층 탐침 니들; 및
    상기 하층 탐침 니들 상에 다수의 층으로 적층되는 상층 탐침 니들을 포함하며,
    상기 하층 탐침 니들과 상기 상층 탐침 니들의 사이에 배치된 필름을 더 포함하는 프로브 카드용 니들 어셈블리.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 필름은 일정한 길이를 가지며, 상기 플레이트의 가장자리를 따라 연장되는 프로브 카드용 니들 어셈블리.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 다수의 층으로 적층되는 상층 탐침 니들 중 하측에 배치된 상층 탐침 니들과 상측에 배치된 상층 탐침 니들의 사이에 배치된 필름을 더 포함하는 프로브 카드용 니들 어셈블리.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 필름은 상면 및 하면 중 적어도 어느 한 면에 배치된 접착 부재를 포함하는 프로브 카드용 니들 어셈블리.
KR1020160128476A 2016-10-05 2016-10-05 프로브 카드용 니들 어셈블리 KR101823142B1 (ko)

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