JP7271283B2 - 検査用接続装置 - Google Patents
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Description
上記のように本発明は実施形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。
20…光接続子
30…プローブヘッド
31…ボトムガイド板
32…トップガイド板
33…スペーサ
34…第1ガイドフィルム
35…第2ガイドフィルム
40…トランスフォーマ
41…接続配線
50…スティフナ
60…メイン基板
70…配線ワイヤ
80…樹脂
100…オプトデバイス
101…電気信号端子
102…光信号端子
Claims (12)
- 電気信号が伝搬する電気信号端子と光信号が伝搬する光信号端子を有する半導体素子の検査に使用される検査用接続装置であって、
前記電気信号端子と電気的に先端部が接続する電気接続子と、
前記光信号端子と光学的に先端部が接続する光接続子と、
前記電気接続子及び前記光接続子をそれぞれの先端部が下面に露出した状態で保持し、上面に前記電気接続子の基端部が露出し、且つ前記光接続子の先端部が固定されるように前記光接続子が固着されたプローブヘッドと、
接続配線が内部に配置され、前記プローブヘッドの上面に露出する前記電気接続子の基端部と電気的に接続する前記接続配線の一方の端部が下面に配置され、且つ前記光接続子が摺動自在に貫通するトランスフォーマと
を備え、
前記プローブヘッドの下面における前記電気接続子の先端部と前記光接続子の先端部の位置関係が、前記半導体素子の前記電気信号端子と前記光信号端子の位置関係に対応し、前記光接続子が、前記プローブヘッドと前記トランスフォーマを連続的に貫通している
ことを特徴とする検査用接続装置。 - 前記プローブヘッドが、単一の前記半導体素子の前記電気信号端子と前記光信号端子のそれぞれに前記電気接続子の先端部と前記光接続子の先端部を対応させるユニットを複数配列した構成を有することを特徴とする請求項1に記載の検査用接続装置。
- 前記プローブヘッドと前記トランスフォーマとが脱着自在に構成され、
前記トランスフォーマと前記プローブヘッドの取り付け時に、前記プローブヘッドの上面に露出した前記電気接続子の基端部と前記トランスフォーマの下面に配置された前記接続配線の一方の端部が電気的に接続することを特徴とする請求項1又は2に記載の検査用接続装置。 - 前記プローブヘッドが、それぞれを前記電気接続子と前記光接続子が貫通する、上下方向に沿って相互に離間して配置された複数のガイド板を有し、
前記複数のガイド板のうちの最も下方に配置されたボトムガイド板に前記光接続子が固着されている
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の検査用接続装置。 - 前記光接続子が樹脂によって前記ボトムガイド板に形成されたガイド穴で固着されていることを特徴とする請求項4に記載の検査用接続装置。
- 前記ボトムガイド板に前記電気接続子が貫通する第1ガイド穴が形成され、
前記第1ガイド穴が、前記電気接続子の直径より内径が大きい大径電気ガイド穴と前記電気接続子の直径と同程度の内径の小径電気ガイド穴とを前記第1ガイド穴の延伸方向に連結した構成であり、
前記大径電気ガイド穴よりも前記小径電気ガイド穴が前記プローブヘッドの下面に近く形成され、前記電気接続子の先端部が前記小径電気ガイド穴に挿入されている
ことを特徴とする請求項4又は5に記載の検査用接続装置。 - 前記ボトムガイド板に前記光接続子が貫通する第2ガイド穴が形成され、
前記第2ガイド穴が、前記光接続子の直径より内径が大きい大径光ガイド穴と前記光接続子の直径と同程度の内径の小径光ガイド穴とを前記第2ガイド穴の延伸方向に連結した構成であり、
前記大径光ガイド穴よりも前記小径光ガイド穴が前記プローブヘッドの下面に近く形成され、前記光接続子の先端部が前記小径光ガイド穴に挿入されている
ことを特徴とする請求項4乃至6のいずれか1項に記載の検査用接続装置。 - 前記光接続子が光ファイバであることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の検査用接続装置。
- 前記トランスフォーマの内部に配置された前記接続配線と連結する配線ワイヤと、
前記配線ワイヤを介して前記接続配線と電気的に接続する電気端子及び前記光接続子の基端部が連結される光端子が配置されたメイン基板と
を更に備えることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の検査用接続装置。 - 前記接続配線が前記配線ワイヤの一部であることを特徴とする請求項9に記載の検査用接続装置。
- 前記光接続子の端面の径よりも、前記光接続子が貫通する前記プローブヘッドのガイド穴の、前記プローブヘッドの下面に形成されて前記光接続子の前記先端部が露出する開口部の径が狭いことを特徴とする請求項1に記載の検査用接続装置。
- 前記光接続子が貫通する前記プローブヘッドのガイド穴の形状が下部を狭くした鍔付き形状であり、前記光接続子の周囲に形成されたコーティング膜が前記ガイド穴の鍔部に突き当たり、前記光接続子の前記先端部は前記プローブヘッドの下面よりも下方に位置することを特徴とする請求項1に記載の検査用接続装置。
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