JP7477393B2 - 検査用接続装置 - Google Patents
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Description
上記では、プローブヘッド1が2枚のガイド板を有する場合を説明した。しかし、プローブヘッド1のガイド板の枚数は2枚に限定されない。例えば、プローブヘッド1が、貫通孔の中心軸方向に沿って第1のガイド板21および第2のガイド板22と離間して配置された第3のガイド板を更に備えてもよい。第3のガイド板は、光プローブ100が貫通孔を貫通した状態で、貫通孔の半径方向に沿って第1のガイド板21および第2のガイド板22の少なくともいずれかに対して相対的に移動自在に設置される。そして、第1のガイド板21と第2のガイド板22のうちの第3のガイド板に隣接するガイド板の貫通孔の中心軸の位置と、第3のガイド板の貫通孔の中心軸の位置が、貫通孔の半径方向に沿ってずれた状態で、プローブヘッド1が、光プローブ100を保持してもよい。
上記のように本発明は実施形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。
10…基板
21…第1のガイド板
22…第2のガイド板
23…第3のガイド板
30…配線基板
40…電気プローブ保持装置
45…樹脂材
50…光プローブ保持装置
51…下部保持装置
52…上部保持装置
100…光プローブ
300…電気プローブ
310…電気配線
401…棒状ガイドピン
402…楔状ガイドピン
403…固定ネジ
Claims (7)
- 光信号を入力又は出力する光半導体素子の検査に使用する検査用接続装置であって、
光プローブと、
前記光プローブが貫通する貫通孔がそれぞれ形成された複数のガイド板が、前記貫通孔の中心軸方向に沿って互いに離間して配置されるプローブヘッドと、
を備え、
前記プローブヘッドは、
第1のガイド板と、
前記光プローブが前記貫通孔を貫通した状態で、前記貫通孔の半径方向に沿って前記第1のガイド板に対して相対的に移動自在に設置された第2のガイド板と
を有し、
前記第1のガイド板の前記貫通孔を形成した領域と前記第2のガイド板の前記貫通孔を形成した領域の間が空間になるように、前記第1のガイド板と前記第2のガイド板を離隔して配置し、
前記プローブヘッドは、前記第1のガイド板の前記貫通孔の中心軸の位置と前記第2のガイド板の前記貫通孔の中心軸の位置が前記半径方向に沿ってずれた状態で、前記第1のガイド板および前記第2のガイド板のそれぞれの前記貫通孔の内壁面にて前記光プローブを挟持し、
前記光プローブは、前記第1のガイド板と前記第2のガイド板の間の中空で前記半径方向に湾曲した状態で前記プローブヘッドに保持され、
前記光半導体素子の検査において、前記光プローブの先端面と前記光半導体素子とは前記貫通孔の中心軸の方向において離隔して配置される
ことを特徴とする検査用接続装置。 - 前記第1のガイド板が、前記第2のガイド板よりも、前記光プローブの前記光半導体素子に対向する先端に近い位置に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の検査用接続装置。
- 前記複数のガイド板よりも前記光半導体素子から離れた部分で前記光プローブを保持する光プローブ保持装置を更に備えることを特徴とする請求項1又は2に記載の検査用接続装置。
- 前記プローブヘッドが、
前記貫通孔の中心軸方向に沿って前記第1のガイド板および前記第2のガイド板と離間して配置された第3のガイド板を更に備え、
前記第3のガイド板が、前記光プローブが前記貫通孔を貫通した状態で、前記半径方向に沿って前記第1のガイド板および前記第2のガイド板の少なくともいずれかに対して相対的に移動自在に設置されている
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の検査用接続装置。 - 電気プローブと、
前記電気プローブを保持する電気プローブ保持装置と
を更に備え、
前記光プローブが前記光半導体素子の光信号端子と光学的に接続する状態において、前記電気プローブの先端部が、前記光半導体素子の電気信号端子と電気的に接続する
ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の検査用接続装置。 - 光信号を入力又は出力する光半導体素子の検査に使用する検査用接続装置の組み立て方法であって、
貫通孔をそれぞれ形成した第1のガイド板と第2のガイド板を準備し、
前記第1のガイド板の前記貫通孔を形成した領域と前記第2のガイド板の前記貫通孔を形成した領域の間が空間になるように、前記第1のガイド板と前記第2のガイド板を配置し、
前記第1のガイド板と前記第2のガイド板のそれぞれの前記貫通孔の中心軸の位置が一致した状態で、前記第1のガイド板と前記第2のガイド板のそれぞれの前記貫通孔に光プローブを貫通させ、
前記光プローブが前記貫通孔を貫通した状態で、前記貫通孔の半径方向に沿って前記第1のガイド板に対して相対的に前記第2のガイド板を移動し、前記光プローブを前記第1のガイド板と前記第2のガイド板の間の中空で前記半径方向に湾曲させ、
前記第1のガイド板および前記第2のガイド板のそれぞれの前記貫通孔の内壁面にて前記光プローブを挟持し、
前記光半導体素子の検査において、前記光プローブの先端面と前記光半導体素子とは前記貫通孔の中心軸の方向において離隔して配置される
ことを特徴とする検査用接続装置の組み立て方法。 - 前記貫通孔の中心軸方向に沿って前記第1のガイド板および前記第2のガイド板と離間して第3のガイド板を配置し、
前記第1のガイド板、前記第2のガイド板および前記第3のガイド板のそれぞれの前記貫通孔の中心軸の位置が一致した状態で、前記第1のガイド板、前記第2のガイド板および前記第3のガイド板のそれぞれの前記貫通孔に前記光プローブを貫通させ、
前記光プローブが前記貫通孔を貫通した状態で、前記第1のガイド板と前記第2のガイド板のうちの前記第3のガイド板に隣接するガイド板に対して相対的に前記第3のガイド板を移動し、
前記第1のガイド板、前記第2のガイド板および前記第3のガイド板のそれぞれの前記貫通孔の内壁面にて前記光プローブを挟持する
ことを特徴とする請求項6に記載の検査用接続装置の組み立て方法。
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