JP2008241808A - 電気光学装置の検査装置及び電気光学装置の検査方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】トランジスタの電気特性の測定において、光リーク特性の測定を、実使用環境に類似した条件で定量的に行うことができる電気光学装置の検査装置を提供する。
【解決手段】大板110が載置されるステージ30と、ステージ30の上方に位置する光ファイバケーブル61の延出端61sの集光レンズ62と、ステージ30の外周部の一部において、集光面31sがステージ30における載置面30sと同じ高さHとなるよう設けられた、集光レンズ62から照射された光の光量を測定する照度計31と、ステージ30の上方に設けられた、TFT基板のTFTのテストエレメントグループに接触することにより、トランジスタの電気特性及びTFTの光リーク特性を測定するプローブカード35と、を具備していることを特徴とする。
【選択図】図3
【解決手段】大板110が載置されるステージ30と、ステージ30の上方に位置する光ファイバケーブル61の延出端61sの集光レンズ62と、ステージ30の外周部の一部において、集光面31sがステージ30における載置面30sと同じ高さHとなるよう設けられた、集光レンズ62から照射された光の光量を測定する照度計31と、ステージ30の上方に設けられた、TFT基板のTFTのテストエレメントグループに接触することにより、トランジスタの電気特性及びTFTの光リーク特性を測定するプローブカード35と、を具備していることを特徴とする。
【選択図】図3
Description
本発明は、基板に形成されたトランジスタの電気特性測定用の検査端子を備えた電気光学装置の検査装置及び電気光学装置の検査方法に関する。
周知のように、電気光学装置、例えば光透過型の液晶装置は、ガラス基板、石英基板等からなる透明な2枚の基板間に液晶が介在されて構成されている。
また、液晶装置は、一方の基板に、例えば薄膜トランジスタ(Thin Film Transistor)等のスイッチング素子及び画素電極をマトリクス状に配置し、他方の基板に対向電極を配置して、両基板間に介在された液晶層による光学応答を画像信号に応じて変化させることで、画像表示を可能としている。
また、トランジスタを配置したTFT基板と、このTFT基板に相対して配置される対向基板とは、別々に製造される。TFT基板及び対向基板は、例えば石英基板上に、所定のパターンを有する半導体薄膜、絶縁性薄膜又は導電性薄膜を積層することによって構成される。層毎に各種膜の成膜工程とフォトリソグラフィ工程を繰り返すことによって形成されるのである。このようにして形成されたTFT基板及び対向基板は、パネル組立工程において高精度(例えばアライメント誤差1μm以内)に貼り合わされる。
ところで、液晶装置製造後、例えば液晶装置をプロジェクタに用いた際、液晶装置のTFT基板に形成されたトランジスタのチャネル領域に、プロジェクタのランプからの光が入射してしまうと、トランジスタに光リークが発生してしまい、液晶装置の表示に、オフリーク電流に起因する表示不良が発生してしまうといった問題があった。
このような問題に鑑み、特許文献1には、TFT基板製造後、TFT基板に対して光を照射してトランジスタに光リークを発生させ、トランジスタからのオフリーク電流を画素毎に検出することにより、オフリーク電流に起因して液晶装置の表示に発生してしまう点欠陥等の有無を、実動作状態と同等の状態で検査することができる検査装置が開示されている。
特開平7−151808号公報
しかしながら、特許文献1に開示された検査装置においては、トランジスタから発生する光リークに起因する点欠陥の有無により、表示不良が発生しているか否かを検査することはできるが、光リーク量等の光リーク特性の測定を行うことができない。
光リーク特性の測定は、通常、液晶装置製造後、液晶装置の表示に発生するフリッカ等の表示不良等から判定して行うが、この方法では、定量的な光リーク特性の測定を行うことができないといった問題があった。
ここで、TFT基板製造後は、通常、上述した点欠陥の有無の検査に先立って、トランジスタの電気特性の測定、即ちトランジスタが増幅するときに発生する電圧変化、電流変化等の電気特性を測定するトランジスタ特性の測定を行う。
また、トランジスタ特性の測定においては、トランジスタのスイッチ動作に対する電圧変化、電流変化等の電気特性の測定、即ちオン特性、オフ特性の測定も行っている。よって、トランジスタ特性の測定において、光リーク特性の測定を、実使用環境に類似した条件で定量的に行うことができる検査装置、検査方法が望まれていた。
本発明は上記事情に着目してなされたものであり、トランジスタの電気特性の測定において、光リーク特性の測定を、実使用環境に類似した条件で定量的に行うことができる電気光学装置の検査装置及び電気光学装置の検査方法を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために本発明に係る電気光学装置の検査装置は、基板に形成されたトランジスタの電気特性測定用の検査端子を備えた電気光学装置の検査装置であって、前記基板が載置されるステージと、前記ステージの上方に少なくとも一部が位置する光源と、前記ステージの外周部の一部において、集光面が前記ステージにおける前記基板の載置面と同じ高さとなるよう設けられた、前記光源から照射された光の光量を測定する照度計と、前記ステージの上方に設けられた、前記基板の検査端子に接触することにより、前記電気特性及び前記トランジスタの光リーク特性を測定する測定手段と、を具備していることを特徴とする。
本発明によれば、基板に光源から光を照射しながらトランジスタの電気特性(以下、トランジスタ特性と称す)の測定を行えることから、トランジスタ特性測定の際に、トランジスタの光リーク特性を測定することができる。また、光源の実光量を照度計により定量的に測定することができることから、光の強弱による光リーク特性の変化を測定することができるとともに、同一の光量条件における光リーク特性の測定が測定の都度可能となる。さらに、異なる基板に対しても、同一の光量条件における光リーク特性の測定が可能となる。以上から、トランジスタ特性の測定において、光リーク特性の測定を、実使用環境に類似した条件で定量的に行うことができる電気光学装置の検査装置を提供することができるといった効果を有する。
また、前記光源は、検査装置本体外に設けられた光源ユニットと、該光源ユニットから前記検査装置本体内まで延出されたライトガイドケーブルとにより構成されており、前記ライトガイドケーブルの延出端は、平面視した状態で前記検査装置本体の上部に固定された前記測定手段の中央に位置していることを特徴とする。
さらに、前記ライトガイドケーブルの前記延出端側を固定する固定手段を具備していることを特徴とする。
また、前記ライトガイドケーブルの前記延出端に、前記照度計または前記検査端子に前記光を集光して照射する集光レンズが設けられていることを特徴とする。
本発明によれば、トランジスタ特性測定の際に、確実にステージに載置された基板の上方から、照度計または検査端子であるテストエレメントグループに対して光を照射することができる。よって、トランジスタ特性の測定において、光リーク特性の測定を、実使用環境に類似した条件で定量的に行うことができる電気光学装置の検査装置を提供することができるといった効果を有する。
さらに、前記ステージに、該ステージに載置された前記基板を加熱する加熱手段が設けられていることを特徴とする。
本発明によれば、実使用において、配置スペースの問題から、基板と光源とが密集された空間に配置されてしまうことによる光源からの光の照射に伴う基板の加熱を、ステージに設けられた加熱手段によって基板を加熱することにより再現することができる。以上から、トランジスタ特性の測定において、光リーク特性の測定を、実使用環境に類似した条件で定量的に行うことができる電気光学装置の検査装置を提供することができるといった効果を有する。
本発明に係る電気光学装置の検査装置の検査方法は、基板に形成されたトランジスタの電気特性測定用の検査端子を備えた電気光学装置の検査装置を用いた電気光学装置の検査方法であって、前記基板が載置されるステージの外周部の一部において、集光面が前記ステージにおける前記基板の載置面と同じ高さとなるよう設けられた照度計を用いて、前記ステージの上方に少なくとも一部が位置する光源から照射された光の光量を、照度計を用いて測定する光量測定工程と、前記ステージの上方に設けられた測定手段を、前記基板の前記検査端子に接触させることにより、前記電気特性及び前記トランジスタの光リーク特性を測定する特性測定工程と、を具備していることを特徴とする。
本発明によれば、基板に光源から光を照射しながらトランジスタ特性の測定を行うことにより、トランジスタ特性を測定する際に、トランジスタの光リーク特性を測定することができる。また、光源の実光量を照度計により定量的に測定することができることから、光の強弱による光リーク特性の変化を測定することができるとともに、同一の光量条件における光リーク特性の測定を測定の都度行うことができる。さらに、異なる基板に対しても、同一の光量条件における光リーク特性の測定を行うことができる。以上から、トランジスタ特性の測定において、光リーク特性の測定を、実使用環境に類似した条件で定量的に行うことができる電気光学装置の検査方法を提供することができるといった効果を有する。
また、前記基板は、前記トランジスタ及び表示領域においてマトリクス状に配置される画素電極が形成された第1の基板と、該第1の基板に対向して貼着される第2の基板との間に電気光学物質が介在された電気光学パネルにおける前記第1の基板を構成しており、前記光量測定工程は、前記トランジスタ及び前記画素電極形成後の前記第1の基板を、前記第2の基板へ貼り合わせる前に行うことを特徴とする。
本発明によれば、画素電極形成後であって第2の基板に貼り合わせる前の第1の基板のトランジスタ特性を測定する際に、第1の基板に光を照射しながらトランジスタの光リーク特性を測定することにより、トランジスタ特性の測定において、光リーク特性の測定を、実使用環境に類似した条件で定量的に行うことができる電気光学装置の検査方法を提供することができるといった効果を有する。
以下、図面を参照にして本発明の実施の形態を説明する。尚、以下に示す実施の形態において電気光学装置は、光透過型の液晶装置を例に挙げて説明する。また、液晶装置において対向配置される一対の基板の内、一方の基板は、第1の基板である素子基板(以下、TFT基板と称す)を、また他方の基板は、TFT基板に対向する第2の基板である対向基板を例に挙げて説明する。
先ず、本実施の形態の検査装置、検査方法によって検査される基板が用いられた液晶装置の構成について図1、図2を用いて説明する。
図1は、本実施の形態の検査装置により検査される液晶装置における液晶パネルの平面図、図2は、図1中のII−II線に沿って切断した液晶パネルの断面図である。
図1、図2に示すように、液晶パネル1は、例えば、石英基板やガラス基板等を用いたTFT基板10と、該TFT基板10に対向配置される、例えば石英基板やガラス基板等を用いた対向基板20との間に、電気光学物質である液晶50が介在されて構成される。対向配置されたTFT基板10と対向基板20とは、シール材52によって貼り合わされている。
TFT基板10の液晶50と接する領域に、液晶パネル1の表示領域140を構成するTFT基板10の表示領域10hが構成されている。また、TFT基板10の表示領域10hに、画素を構成するとともに、後述する対向電極21とともに液晶50に駆動電圧を印加する、透明電極、例えばITO膜から構成された画素電極9が平面視した状態でマトリクス状に配置されている。
また、対向基板20の液晶50と接する領域に、液晶50に画素電極9とともに駆動電圧を印加する透明電極、例えばITO膜から構成された対向電極21が全面に亘って設けられており、対向電極21の表示領域10hに対向する領域に、液晶パネル1の表示領域140を構成する対向基板20の表示領域20hが構成されている。
TFT基板10の画素電極9上に、ラビング処理が施された配向膜16が設けられており、また、対向基板20上の全面に渡って形成された対向電極21上にも、ラビング処理が施された配向膜26が設けられている。各配向膜16,26は、例えば、ポリイミド膜等の透明な有機膜からなる。尚、各配向膜16、26は、斜方蒸着されることによりラビング処理が不要な、SiO2やSiO等のシリコン酸化物等の絶縁物により構成された複数本の柱状構造を有する無機配向膜から構成されていても構わない。
また、TFT基板10の表示領域10hにおいては、複数本の走査線と複数本のデータ線(いずれも図示されず)とが交差するように配線され、走査線とデータ線とで区画された領域に画素電極9がマトリクス状に配置される。そして、走査線とデータ線との各交差部分に対応して薄膜トランジスタ(TFT)130が設けられ、このTFT130毎に画素電極9が電気的に接続されている。
TFT130は走査線のON信号によってオンとなり、これにより、データ線に供給された画像信号が画素電極9に供給される。この画素電極9と対向基板20に設けられた対向電極21との間の電圧が液晶50に印加される。
対向基板20に、液晶パネル1の表示領域140を規定する額縁としての遮光膜53が設けられている。
液晶50がTFT基板10と対向基板20との間に、既知の液晶注入方式で注入される場合、シール材52は、シール材52の1辺の一部において欠落して塗布されている。
シール材52の欠落した箇所は、該欠落した箇所から貼り合わされたTFT基板10と対向基板20との間において、シール材52により囲まれた領域に液晶50を注入するための切り欠きである液晶注入口108を構成している。液晶注入口108は、液晶注入後、封止剤109によって封止される。
シール材52の外側の領域に、TFT基板10のデータ線に画像信号を所定のタイミングで供給して該データ線を駆動するドライバであるデータ線駆動回路101と外部回路との接続のための外部接続端子102と、検査端子であるテストエレメントグループ(以下、TEG(Test Element Group)と称す)70とが、TFT基板10の液晶注入口108が位置する1辺に沿って設けられている。尚、外部接続端子102は、対向基板20に設けられていても構わない。
外部接続端子102に、液晶パネル1を、プロジェクタ等の電子機器と電気的に接続する、図示しない特定の長さを有する柔軟なフレキシブル配線基板(Flexible Printed Circuits、以下FPCと称す)の一端が接続される。FPCの他端がプロジェクタ等の電子機器に接続されることにより、液晶パネル1と電子機器とは電気的に接続される。
TEG70は、表示領域10hに形成された画素電極9、TFT130等における電気的な導通状態、電気的な絶縁状態、電気的な動作状態、電気抵抗値や電気伝導率など、画素電極9、TFT130等に対する様々な電気的状態を模擬的に検査したり、さらに走査線駆動回路103、104、データ線駆動回路101等における様々な電気的状態を模擬的に検査したりする際に用いられるものである。
外部接続端子102及びTEG70が設けられたTFT基板10の1辺に隣接する2辺に沿って、TFT基板10の走査線及びゲート電極に、走査信号を所定のタイミングで供給することにより、ゲート電極を駆動するドライバである走査線駆動回路103、104が設けられている。走査線駆動回路103、104は、シール材52の内側の遮光膜53に対向する位置において、TFT基板10上に形成されている。
また、TFT基板10上に、データ線駆動回路101、走査線駆動回路103、104、外部接続端子102及び上下導通端子107を接続する配線105が、遮光膜53の3辺に対向して設けられている。
上下導通端子107は、シール材52のコーナー部の4箇所のTFT基板10上に形成されている。そして、TFT基板10と対向基板20相互間に、下端が上下導通端子107に接触し上端が対向電極21に接触する上下導通材106が設けられており、該上下導通材106によって、TFT基板10と対向基板20との間で電気的な導通がとられている。
次に、このように構成された液晶パネル1におけるTFT基板10のTFT130のトランジスタ特性及び光リーク特性を、TFT基板10の製造後、検査する装置について図3〜図8を用いて説明する。
図3は、本実施の形態を示す検査装置の構成の概略を示す図、図4は、図3の検査装置におけるステージ及び照度計を示す平面図、図5は、図3の検査装置におけるテストヘッドの装着部の底面を示す平面図である。
また、図6は、図3の検査装置における検査装置本体の上部に固定されたプローブカードの上面図、図7は、図3の検査装置における検査装置本体の上部に固定されたプローブカードの底面図、図8は、図3の検査装置におけるステージに載置されるTFT基板が複数構成された大板を示す平面図である。
図3に示すように、検査装置100は、検査装置本体111とテストヘッド40とにより主要部が構成されている。
検査装置本体111内には、図8に示すように、製造後のTFT基板10が複数構成された大板110が載置される、例えば図4に示すように円板状のステージ30が設けられている。
ステージ30の大板の載置面30sには、図4に示すように、載置された大板110を固定する、例えば真空チャックから構成されたチャック30kが設けられている。また、ステージ30には、図3に示すように、載置された大板110に対して、熱を付与して大板110を加熱する加熱手段であるヒータ32が設けられている。
また、図4に示すように、ステージ30の外周部の一部に、後述する集光レンズ62から照射された光の光量を測定する照度計31が固定されている。照度計31は、図3に示すように、集光面31sが、ステージ30の載置面30sに対し、検査装置本体111の底面111tからの高さHが同じとなるよう、ステージ30に固定されている。
ステージ30及び照度計31は、図3に示すように、検査装置本体111内において、底面111tと上部111jとを結ぶ高さ方向Zに、図示しない移動機構によって移動自在であるとともに、高さ方向Zに直行するX方向及びY方向に対しても、図示しない移動機構によって移動自在に構成されている。
また、図3に示すように、ステージ30の上方、具体的には、検査装置本体111の上部111j側におけるX方向の略中央に、測定手段であるプローブカード35が固定されている。
プローブカード35は、図6、図7に示すように、例えば円板状に形成されており、平面視した状態で略中央に、Z方向に貫通する楕円状の貫通孔35hが形成されている。また、図6に示すように、プローブカード35の上面35jに、テストヘッド40の後述する装着部41の端子41t(いずれも図5参照)が電気的に接触自在な複数の端子35tが、平面視した状態でリング状に形成されている。さらに、図7に示すように、プローブカード35の底面35kにおいて、貫通孔35hの近傍に、接触端子36が形成されている。
プローブカード35は、接触端子36を、ステージ30に載置された大板110に構成された各TFT基板10のTEG70に接触させるとともに、後述する集光レンズ62から照射した光をTEG70に入光させることにより、各TFT基板10のTFT130のトランジスタ特性及び光リーク特性の測定を、信号を付与した後、電圧を印加して電流値を測定することにより行う。
図3に示すように、テストヘッド40は、検査装置本体111の上部111jに対して着脱自在に構成されている。また、テストヘッド40に、検査装置本体111に対して装着後、Z方向を指向する貫通孔40hが形成されている。貫通孔40hには、該貫通孔40hに挿通された後述するライトガイドケーブル61を、貫通孔40hに対して固定する固定手段である筒状部材42が挿通されて固定されている。
また、図5に示すように、テストヘッド40の底面40tにおける平面視した状態での略中央には、例えば円板状に形成された装着部41が固定されている。装着部41の平面視した状態での略中央に、Z方向に貫通する円形の貫通孔41hが形成されている。
また、装着部41の底面41kには、図5に示すように、複数の端子41tが、平面視した状態でリング状に形成されている。複数の端子41tは、テストヘッド40が、検査装置本体111の上部111jに対して装着された際、プローブカード35の上面35jに形成された複数の端子35tに電気的に接触する。
尚、装着部41からは、図示しない通信ケーブルが、図示しない制御装置まで延出されている。よって、通信ケーブル、端子41t、端子35tを介して、制御装置は、プローブカード35の接触端子36がTFT基板10のTEG70に接触されることにより行われるトランジスタ特性の測定及び光リーク特性の測定制御を行う。
検査装置本体111外に、光源を構成する、例えばプロジェクタの光源から発せられる光量に略等しい1〜2メガルクスの光量を発することができるメタルハライドランプを具備する光源ユニット60が設けられている。
また、光源ユニット60からは、複数の光ファイバケーブルの束を内部に具備する光源を構成するライトガイドケーブル61が延出されている。ライトガイドケーブル61の延出端側は、図3に示すように、テストヘッド40の貫通孔40hに固定された筒状部材42内を挿通されている。さらに、延出端61sは、装着部41の貫通孔41h内に挿通されて、固定手段である、例えば接着剤等により貫通孔41h内に固定されている。尚、テストヘッド40の貫通孔40hにおいて、ライドガイドケーブル61の延出端側は、例えば外周が筒状部材42の内周に密に接触することにより固定されている。尚、筒状部材42を用いずに、貫通孔40hに対し、ライドガイドケーブル61の延出端側を接着剤等で固定しても構わない。
よって、テストヘッド40を、検査装置本体111の上部111jから脱却すると、図3に示すように、ライトガイドケーブル61も一緒に脱却される。
ライトガイドケーブル61の延出端61sの内部には、光源ユニット60から発せられ、ライトガイドケーブル61の複数の光ファイバケーブルを介して延出端61sまで伝達された光を、集光して照射する集光レンズ62が設けられている。
集光レンズ62は、テストヘッド40が、検査装置本体111の上部111jに装着された際、図3に示すように、ステージ30の上方に位置するとともに、図5、図7に示すように、装着部41及びプローブカード35の平面視した状態で略中央に位置している。即ち、集光レンズ62から照射される光は、装着部41の貫通孔41h、プローブカード35の貫通孔35hを介して照射される。
次に、このように構成された検査装置100を用いた検査方法、具体的には、トランジスタ特性の測定方法及び光リークの測定方法について説明する。
先ず、図3に示すように、テストヘッド40を、検査装置本体111に装着し、装着部41の複数の端子41tを、プローブカード35の複数の端子35tに電気的に接触させ、ライトガイドケーブル61の延出端61sに設けられた集光レンズ62を、ステージ30の上方に位置させる。
次いで、光源ユニット60を駆動すると、光源ユニット60から、測定者によって規定された光量の光が照射され、該照射された光は、ライトガイドケーブル61を介して延出端61sに設けられた集光レンズ62まで伝達された後、集光レンズ62からステージ30に対して照射される。
次いで、ステージ30及び照度計31をZ方向上方に上昇させるとともにX方向及びY方向に移動させることにより、ステージ30及び照度計31を、照度計31が集光レンズ62に対向する集光レンズ62直下の位置まで移動させて光量測定工程を行う。
具体的には、集光レンズ62から集光されて照射された光を、照度計31の集光面31s入光させることにより、集光レンズ62から照射された光の実際の光量を、照度計31を用いて測定する。
照度計31による光の光量の測定結果を受けて、測定者は、最初に光源ユニット60に対して規定した光量と、測定した実際の光量とにズレがないかを確認した後、ズレが発生していた場合は、光源ユニット60に対して規定する光量を調整する。
次いで、ステージ30及び照度計31を一度、Z方向下方に降下させた後、図8に示すように、それぞれ画素電極9まで形成された対向基板20に貼り合わせる前の複数のTFT基板10が構成された大板110を、検査装置本体111内に導入し、ステージ30の載置面30sに載置させる。その後、ステージ30のチャック30kにより、大板110をステージ30に固定する。
次いで、ステージ30及び照度計31をZ方向上方に上昇させるとともにX方向及びY方向に移動させることにより、大板110に複数形成されたTFT基板10の内、一のTFT基板10に形成されたTEG70を、プローブカード35の接触端子36に接触する位置まで移動させて特性測定工程を行う。
具体的には、接触端子36をTEG70に接触させて、既知の手法によりTFT130のトランジスタ特性の測定を行うとともに、集光レンズ62から集光されて照射された光を、TEG70に入光させることにより、TFT130の光リーク特性の測定を行う。
この際、ステージ30内に設けられたヒータ32を駆動させて、大板110を加熱することにより、実使用において、配置スペースの問題から、TFT基板10とプロジェクタの光源とが密集された空間に配置されてしまうことによる光源からの光の照射に伴うTFT基板10の加熱を再現しながら、光リーク特性の測定を行うことができる。
一のTFT基板10のトランジスタ特性及び光リーク特性の測定が終了したら、次に、ステージ30及び照度計31を、Z方向、X方向及びY方向に移動させることにより、大板110に複数構成されたTFT基板10の内、一のTFT基板10とは異なる他のTFT基板10に形成されたTEG70を、接触端子36に接触させて、同様に特性測定工程を行う。尚、特性測定工程は、大板110に形成された全てのTFT基板10に対して順次行う。
大板110に形成された全てのTFT基板10に対する特性測定工程が終了した後、ステージ30及び照度計31を、Z方向下方に降下させ、チャック30kによりステージ30に対する大板110の固定を解除した後、大板110を、検査装置本体111から排出する。
次いで、次のTFT基板10が複数構成された大板110を、検査装置本体111内に導入し、全てのTFT基板10に対して、上述した特性測定工程を行う。尚、この際、特性測定工程に先立って、上述した光量測定工程を行い、実際の光量が、先の大板110に対して行った検査の際の光量と同じであるか否かの確認をしても構わない。
また、大板110に対して第1の光量で上述した特性測定工程を行った後、上述した光量測定工程を行って、第1の光量とは異なる第2の光量を確認した後、第2の光量で同じ大板110に対して上述した特性測定工程を行うことにより、光量変化に伴う光リーク特性の変化を測定しても構わない。
さらには、大板110に対して照明レンズ62から光を照射せずに、上述した特性測定工程を行った後、大板110に対して照明レンズ62から光を照射して特性測定工程を再度行うことにより、光を照射した場合と照射しない場合とによる光リーク特性の変化を測定しても構わない。
このように、本実施の形態においては、液晶装置の検査装置100内において、TFT基板10に対して光を集光して照射可能な、光源ユニット60から延出されたライトガイドケーブル61の延出端61sに設けられた集光レンズ62が、TFT基板10が複数構成された大板110が載置されるステージ30の上方に位置していると示した。
また、集光レンズ62から照射される光は、液晶パネル1を具備する液晶装置をプロジェクタ等の電子機器に用いた際、プロジェクタの光源から照射される光量と同等の光量の光が照射されると示した。
このことによれば、光を照射しながらTFT130のトランジスタ特性の測定を行えることから、トランジスタ特性測定の際に、光リーク特性を測定することができる。また、集光レンズ62から照射される光の実光量を、照度計31により定量的に測定することができることから、実光量の管理が可能となり、光量の変化による光リーク特性の変化を測定することができるとともに、同一の光量条件における光リーク特性の測定が測定の都度可能となる。
即ち、大板110に複数構成されたTFT基板10に対して特性測定工程を行う際、特性測定工程に先立って、光量測定工程を行い、実光量を管理することができることから、全てのTFT基板10に対して同一の光量条件で光リーク特性の測定を行うことができるとともに、一度光リーク特性を測定した後の大板110に複数構成されたTFT基板10に対しても、再度、同一の光量条件で、光リーク特性の測定を行うことができる。
さらに、異なる基板に対しても、同一の光量条件における光リーク特性の測定が可能となる。即ち、一の大板110の各TFT基板10に対して光リーク特性の測定を行った後、一の大板110とは異なる他の大板110の各TFT基板10に対しても、同一の光量条件における光リーク特性の測定が可能となる。
また、同一の基板に対して、異なる光量で光リーク特性の測定が可能となることから、光量の変化による光リーク特性の変化を測定することができる。
また、本実施の形態においては、ステージ30にヒータ32が設けられていると示した。
このことにより、液晶パネル1を具備する液晶装置をプロジェクタ等の電子機器に用いた場合等の実使用において、配置スペースの問題から、TFT基板10とプロジェクタの光源とが密集された空間に配置されてしまうことによる光源からの光の照射に伴うTFT基板10の加熱を、ステージ30に設けられたヒータ32によってTFT基板10を加熱することにより再現することができる。
以上から、TFT130のトランジスタ特性の測定において、光リーク特性の測定をも、液晶パネル1を具備する液晶装置をプロジェクタ等の電子機器に用いた際の実使用環境に類似した条件で定量的に行うことができる液晶装置の検査装置100及び液晶装置の検査方法を提供することができる。
尚、以下変形例を示す。
本実施の形態においては、光量測定工程は、大板110に複数構成されたTFT基板10に対する特性測定工程の前に行うと示した。または、次の大板110に複数構成されたTFT基板10に対する特性測定工程の前に行うと示した。
これに限らず、光量測定工程は、大板110に複数構成されたTFT基板10に対し特性測定工程を行う毎に、特性測定工程に先立って行っても構わない。即ち、大板110に複数構成されたTFT基板10の内、一のTFT基板10に対して光量測定工程、特性測定工程を行った後、他のTFT基板10に対して特性測定工程を行う前に、光量測定工程を行うようにしても構わない。
さらに、光量測定工程は、1日毎に行っても構わないし、数ヶ月毎に行っても構わない。即ち、光量測定工程は、いつ行っても構わない。
また、本実施の形態においては、光量測定工程は、ステージ30に大板110を載置、固定する前に行うと示したが、これに限らず、ステージ30に大板110を載置、固定した状態で行っても構わない。
また、液晶パネルは、上述の図示例にのみ限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。例えば、上述した液晶装置は、TFT(薄膜トランジスタ)等のアクティブ素子(能動素子)を用いたアクティブマトリクス方式の液晶表示モジュールを例に挙げて説明したが、これに限らず、TFD(薄膜ダイオード)等のアクティブ素子(能動素子)を用いたアクティブマトリクス方式の液晶表示モジュールであっても構わない。
さらに、本実施の形態においては、電気光学装置は、液晶装置を例に挙げて説明したが、本発明はこれに限定されず、エレクトロルミネッセンス装置、特に、有機エレクトロルミネッセンス装置、無機エレクトロルミネッセンス装置等や、プラズマディスプレイ装置、FED(Field Emission Display)装置、SED(Surface−Conduction Electron−Emitter Display)装置、LED(発光ダイオード)表示装置、電気泳動表示装置、薄型のブラウン管または液晶シャッター等を用いた小型テレビを用いた装置などの各種の電気光学装置に適用できる。
また、電気光学装置は、半導体基板に素子を形成する表示用デバイス、例えばLCOS(Liquid Crystal On Silicon)等であっても構わない。LCOSでは、素子基板として単結晶シリコン基板を用い、画素や周辺回路に用いるスイッチング素子としてトランジスタを単結晶シリコン基板に形成する。また、画素には、反射型の画素電極を用い、画素電極の下層に画素の各素子を形成する。
また、電気光学装置は、片側の基板の同一層に、一対の電極が形成される表示用デバイス、例えばIPS(In-Plane Switching)や、片側の基板において、絶縁膜を介して一対の電極が形成される表示用デバイスFFS(Fringe Field Switching)等であっても構わない。
1…液晶パネル、9…画素電極、10…TFT基板、20…対向基板、30…ステージ、30s…載置面、31…照度計、31s…集光面、32…ヒータ、35…プローブカード、42…筒状部材、50…液晶、60…光源ユニット、61…ライトガイドケーブル、61s…延出端、62…集光レンズ、70…TEG、100…検査装置、110…大板、111…検査装置本体、111j…検査装置本体上部、130…TFT。
Claims (7)
- 基板に形成されたトランジスタの電気特性測定用の検査端子を備えた電気光学装置の検査装置であって、
前記基板が載置されるステージと、
前記ステージの上方に少なくとも一部が位置する光源と、
前記ステージの外周部の一部において、集光面が前記ステージにおける前記基板の載置面と同じ高さとなるよう設けられた、前記光源から照射された光の光量を測定する照度計と、
前記ステージの上方に設けられた、前記基板の検査端子に接触することにより、前記電気特性及び前記トランジスタの光リーク特性を測定する測定手段と、
を具備していることを特徴とする電気光学装置の検査装置。 - 前記光源は、検査装置本体外に設けられた光源ユニットと、該光源ユニットから前記検査装置本体内まで延出されたライトガイドケーブルとにより構成されており、
前記ライトガイドケーブルの延出端は、平面視した状態で前記検査装置本体の上部に固定された前記測定手段の中央に位置していることを特徴とする請求項1に記載の電気光学装置の検査装置。 - 前記ライトガイドケーブルの前記延出端側を固定する固定手段を具備していることを特徴とする請求項2に記載の電気光学装置の検査装置。
- 前記ライトガイドケーブルの前記延出端に、前記照度計または前記検査端子に前記光を集光して照射する集光レンズが設けられていることを特徴とする請求項2または3に記載の電気光学装置の検査装置。
- 前記ステージに、該ステージに載置された前記基板を加熱する加熱手段が設けられていることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の電気光学装置の検査装置。
- 基板に形成されたトランジスタの電気特性測定用の検査端子を備えた電気光学装置の検査装置を用いた電気光学装置の検査方法であって、
前記基板が載置されるステージの外周部の一部において、集光面が前記ステージにおける前記基板の載置面と同じ高さとなるよう設けられた照度計を用いて、前記ステージの上方に少なくとも一部が位置する光源から照射された光の光量を、照度計を用いて測定する光量測定工程と、
前記ステージの上方に設けられた測定手段を、前記基板の前記検査端子に接触させることにより、前記電気特性及び前記トランジスタの光リーク特性を測定する特性測定工程と、
を具備していることを特徴とする電気光学装置の検査方法。 - 前記基板は、前記トランジスタ及び表示領域においてマトリクス状に配置される画素電極が形成された第1の基板と、該第1の基板に対向して貼着される第2の基板との間に電気光学物質が介在された電気光学パネルにおける前記第1の基板を構成しており、
前記光量測定工程は、前記トランジスタ及び前記画素電極形成後の前記第1の基板を、前記第2の基板へ貼り合わせる前に行うことを特徴とする請求項6に記載の電気光学装置の検査方法。
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