KR101102020B1

KR101102020B1 - 액정표시패널 및 그 제조방법

Info

Publication number: KR101102020B1
Application number: KR1020040078113A
Authority: KR
Inventors: 전재홍
Original assignee: 엘지디스플레이 주식회사
Priority date: 2004-09-30
Filing date: 2004-09-30
Publication date: 2012-01-04
Also published as: KR20060029102A

Abstract

본 발명은 불량검사 및 점등검사를 함께 실시할 수 있는 액정표시패널과 그 제조방법에 관한 것이다.

본 발명의 실시 예에 따른 액정표시패널은 서로 다른 색을 구현하는 제1 내지 제3 액정셀들과; 상기 제1 내지 제3 액정셀들 각각과 대응되게 접속되고 서로 분리되는 제1 내지 제3 데이터 라인군과; 상기 제1 내지 제3 데이터 라인군과 교차되게 형성되는 게이트 라인과; 상기 제1 내지 제3 데이터 라인군과 각각 대응되게 접속되고 서로 분리되는 제1 내지 제3 데이터 패드군과; 상기 제1 내지 제3 데이터 패드군 각각과 대응되게 접속되고 서로 분리되는 제1 내지 제3 쇼트라인과; 기판의 가장자리영역에 형성됨과 아울러 상기 제1 내지 제3 쇼트라인 각각과 대응되게 접속되어 상기 제1 내지 제3 액정셀들 각각과 대응되는 제1 내지 제3 검사신호를 공급하고 서로 분리되는 제1 내지 제3 더미 쇼트바를 구비하고, 상기 제1 쇼트라인은 상기 게이트 라인과 동일물질로 형성되며, 상기 제1 쇼트라인을 덮는 절연막을 관통하는 제1 접촉홀을 통해 상기 제1 데이터 패드군과 접속되고, 상기 제2 및 제3 쇼트라인은 상기 데이터 라인군과 동일물질로 형성되며, 상기 제2 쇼트라인은 상기 제2 데이터 패드군이 신장되어 형성되는 것을 특징으로 한다.

Description

액정표시패널 및 그 제조방법{Liquid Crystal Display Panel And Method For Fabricating Thereof}

도 1은 종래의 점등검사를 위한 쇼트바를 구비하는 액정표시패널을 개략으로 나타내는 도면이다.

도 2는 오토-프로브 장비를 이용하여 액정셀의 불량 유무를 판단하기 위한 검사공정을 설명하기 위한 도면이다.

도 3은 본 발명의 실시 예에 의한 액정표시패널을 나타내는 도면이다.

도 4는 도 3에 도시된 액정표시패널의 Ⅰ-Ⅰ'선을 절취하여 나타내는 단면도이다.

도 5a 내지 도 5e와 도 6은 도 4에 도시된 액정표시패널의 제조방법을 설명하기 위한 단면도 및 순서도이다.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >

10,110 : 표시영역 20,120 : 비표시영역

12 : 게이트 패드 14 : 데이터 패드

4 : 하부 기판 2 : 상부 기판

24 : 데이터 쇼트바 22 : 게이트 쇼트바

29 : 프로브핀 114a,114b,114c : 제1 내지 제3 데이터 패드

131 : 제1 쇼트라인 132 : 제2 쇼트라인

133 : 제3 쇼트라인 141 : 제1 더미 쇼트바

142 : 제2 더미 쇼트바 143 : 제3 더미 쇼트바

152 : 제1 접촉홀 154 : 제2 접촉홀

156 : 제3 접촉홀 158 : 투명도전패턴

본 발명은 액정표시패널에 관한 것으로, 특히 불량검사 및 점등검사를 함께 실시할 수 있는 액정표시패널과 그 제조방법에 관한 것이다.

최근의 정보화 사회에서 표시소자는 시각정보 전달매체로서 그 중요성이 어느 때보다 강조되고 있다. 현재 주류를 이루고 있는 음극선관(Cathode Ray Tube) 또는 브라운관은 무게와 부피가 큰 문제점이 있다. 이러한 음극선관의 한계를 극복할 수 있는 많은 종류의 평판표시소자(Flat Panel Display)가 개발되고 있다.

평판표시소자에는 액정표시소자(Liquid Crystal Display : LCD), 전계 방출 표시소자(Field Emission Display : FED), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel : PDP) 및 일렉트로루미네센스(Electroluminescence : EL) 등이 있고 이들 대부분이 실용화되어 시판되고 있다.

액정표시소자는 전자제품의 경박단소 추세를 만족할 수 있고 양산성이 향상되고 있어 많은 응용분야에서 음극선관을 빠른 속도로 대체하고 있다.

특히, 박막트랜지스터(Thin Film Transistor : 이하, "TFT"라 한다)를 이용하여 액정셀을 구동하는 액티브 매트릭스 타입의 액정표시소자는 화질이 우수하고 소비전력이 낮은 장점이 있으며, 최근의 양산기술 확보와 연구개발의 성과로 대형화와 고해상도화로 급속히 발전하고 있다.

액티브 매트릭스 타입의 액정표시소자를 제조하기 위한 제조공정은 기판 세정, 기판 패터닝 공정, 배향막형성/러빙 공정, 기판합착/액정주입 공정, 실장 공정, 검사 공정, 리페어 공정 등으로 나뉘어진다.

기판세정 공정에서는 액정표시소자의 기판 표면에 오염된 이물질을 세정액으로 제거하게 된다.

기판 패터닝 공정에서는 상부기판(컬러필터 어레이 기판)의 패터닝과 하부기판(TFT-어레이 기판)의 패터닝으로 나뉘어진다. 상부기판에는 칼라필터, 공통전극, 블랙 매트릭스 등이 형성된다. 하부기판에는 데이터라인과 게이트라인 등의 신호배선이 형성되고, 데이터라인과 게이트라인의 교차부에 TFT가 형성되며, 데이터라인과 게이트라인 사이의 화소영역에 TFT와 접속되는 화소전극이 형성된다.

배향막형성/러빙 공정에서는 상부기판과 하부기판 각각에 배향막을 도포하고 그 배향막을 러빙포 등으로 러빙하게 된다.

기판합착/액정주입 공정에서는 실재(Sealant)를 이용하여 상부기판과 하부기판을 합착하고 액정주입구를 통하여 액정과 스페이서를 주입한 다음, 그 액정주입구를 봉지하는 공정으로 진행된다.

액정패널의 실장공정에서는 게이트 드라이브 집적회로 및 데이터 드라이브 집적회로 등의 집적회로가 실장된 테이프 케리어 패키지(Tape Carrier Package : 이하, "TCP"라 한다)를 기판 상의 패드부에 접속시키게 된다. 이러한 드라이브 집적회로는 전술한 TCP를 이용한 테이프 오토메이티드 본딩(Tape Automated Bonding) 방식 이외에 칩 온 글라스(Chip On Glass ; COG) 방식 등으로 기판 상에 직접 실장될 수도 있다.

검사 공정은 하부기판에 각종 신호배선과 화소전극이 형성된 후에 실시되는 전기적 점등검사와 각 화소의 불량검사를 포함한다.

리페어 공정은 검사 공정에 의해 리페어가 가능한 것으로 판정된 기판에 대한 복원을 실시한다. 한편, 검사 공정에서 리페어가 불가능한 불량기판들에 대하여는 폐기처분된다.

도 1은 종래의 쇼트바를 이용한 점등검사를 실시하기 위한 액정표시패널을 간략하게 나타내는 도면이다.

도 1에 도시된 액정표시패널은 상부기판(컬러필터 어레이 기판(2))과 하부기판(또는 박막 트랜지스트 어레이 기판(4))이 대향하여 접착된 구조로써 매트릭스 형태로 배열된 액정셀들이 위치하는 표시영역(10)과, 표시영역(10)을 제외한 비표시영역(20)을 포함한다. 비표시영역(20)에는 표시영역(10)에서 신장된 게이트 패드 (12) 및 데이터 패드(14)와, 게이트 패드(12)가 공통으로 접속된 게이트 쇼트바(22), 데이터 패드(14)가 공통으로 접속된 데이터 쇼트바(24)가 위치한다.

표시영역(10)에 있어서, 칼라필터 어레이 기판(2)은 칼라 구현을 위한 칼라필터와, 빛샘을 방지하기 위한 블랙매트릭스와, 화소전극과 수직전계를 이루는 공통전극과, 그들 위에 액정배향을 위해 도포된 상부배향막으로 구성된다.

박막트랜지스터 어레이 기판(4)은 데이터 패드(14)로부터 데이터신호가 공급되는 데이터라인들과, 게이트 패드(12)로부터 게이트신호가 공급되는 게이트라인들과, 데이터라인들과 게이트라인들의 교차부에 액정셀들을 스위칭하기 위한 박막트랜지스터와, 박막트랜지스터에 접속되어 액정셀을 구동하는 화소전극과, 그들 위에 액정배향을 위해 도포된 하부배향막으로 구성된다.

박막 트랜지스터 어레이 기판(4) 상의 비표시영역(20)에 위치하는 게이트 쇼트바(22) 및 데이터 쇼트바(24)는 액정셀의 점등검사(또는 "온-오프검사" 라고 한다.)시 이용된다. 즉, 점등검사 장비의 검사핀이 게이트 쇼트바(22) 및 데이터 쇼트바(24)에 각각 접촉된 후 이 신호가 인가됨으로서 액정패널의 점등 유무를 판별하게 된다. 이러한, 비표시영역(20)에 위치하는 쇼트바(22,24)는 점등검사가 실시된 후 쇼트바를 제거하는 공정인 그라인딩(grinding) 공정에 의해 제거된다. 이러한, 점등검사는 단지 온-오프신호에 의한 점등 유무만을 판단할 수 있을 뿐 각각의 액정셀의 불량유무를 판단할 수는 없다. 따라서, 도 2에 도시된 오토-프로브(Auto-Proe) 장비를 이용하여 각각의 액정셀들의 불량 유무를 검사하는 공정이 실시된다.

도 2를 참조하면, 박막 트랜지스터 어레이 기판의 비표시영역(20)에 위치하 는 게이트 패드 및 데이터 패드(22,24) 중 적어도 어느 하나의 패드들 각각에 도 2에 도시된 바와 같이 프로브장비(28)의 브로브핀(29)들이 접촉된 후 신호가 인가됨으로써 각각의 라인결함 및 액정셀의 화소 등의 불량유무를 판단한다.

한편, 종래의 액정표시패널의 검사공정은 도 1과 같이 쇼팅바를 형성하여 점등검사를 실시한 후 도 2와 같이 별도의 오토-프로브 검사공정에 의해 액정셀의 불량유무를 판단함으로써 비용이 증가되고 절차가 복잡한 문제가 있다. 또한, 모델 변화에 따라 프로브 장비를 교체해야 함으로써 비용이 상승되는 문제가 있다.

따라서, 본 발명의 목적은 불량검사 및 점등검사를 함께 실시할 수 있는 액정표시패널과 그 제조방법을 제공함에 있다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시 예에 따른 액정표시패널은 서로 다른 색을 구현하는 제1 내지 제3 액정셀들과; 상기 제1 내지 제3 액정셀들 각각과 대응되게 접속되고 서로 분리되는 제1 내지 제3 데이터 라인군과; 상기 제1 내지 제3 데이터 라인군과 교차되게 형성되는 게이트 라인과; 상기 제1 내지 제3 데이터 라인군과 각각 대응되게 접속되고 서로 분리되는 제1 내지 제3 데이터 패드군과; 상기 제1 내지 제3 데이터 패드군 각각과 대응되게 접속되고 서로 분리되는 제1 내지 제3 쇼트라인과; 기판의 가장자리영역에 형성됨과 아울러 상기 제1 내지 제3 쇼트라인 각각과 대응되게 접속되어 상기 제1 내지 제3 액정셀들 각각과 대응되는 제1 내지 제3 검사신호를 공급하고 서로 분리되는 제1 내지 제3 더미 쇼트바를 구비하고, 상기 제1 쇼트라인은 상기 게이트 라인과 동일물질로 형성되며, 상기 제1 쇼트라인을 덮는 절연막을 관통하는 제1 접촉홀을 통해 상기 제1 데이터 패드군과 접속되고, 상기 제2 및 제3 쇼트라인은 상기 데이터 라인군과 동일물질로 형성되며, 상기 제2 쇼트라인은 상기 제2 데이터 패드군이 신장되어 형성되는 것을 특징으로 한다.

상기 제2 및 제3 더미 쇼트바 각각은 상기 데이터 라인군과 동일물질인 것을 특징으로 한다.

상기 제1 더미 쇼트바는 상기 게이트 라인과 동일물질인 것을 특징으로 한다.

상기 제3 쇼트라인은 상기 제3 쇼트라인을 덮는 보호막을 관통하는 제2 접촉홀을 통해 투명도전패턴과 접촉하고, 상기 제3 데이터 패드군은 상기 제3 데이터 패드군을 덮는 보호막을 관통하는 제3 접촉홀을 통해 상기 투명도전패턴과 접촉하는 것을 특징으로 한다.

검사공정시 검사장비의 검사핀은 상기 제1 내지 제3 더미 쇼트바에 접촉되는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 액정표시패널의 제조방법은 기판 상에 게이트 라인을 포함하는 게이트 패턴, 제1 쇼트라인 및 상기 제1 쇼트라인에서 신장되어 상기 기판의 외곽영역 위치하는 제1 더미 쇼트바를 게이트 금속층으로 형성하는 단계와; 상기 제1 쇼트라인 및 게이트 라인을 덮도록 형성됨과 아울러 상기 제1 쇼트라인을 일부 노출시키는 제1 접촉홀을 갖는 게이트 절연막을 형성하는 단계와; 상기 게이트 절연막 상에 제1 내지 제3 데이터 라인군, 상기 제1 내지 제3 데이터 라인군 각각과 대응되게 접속되는 제1 내지 제3 데이터 패드군, 상기 제2 데이터 패드군에서 신장된 제2 쇼트라인, 상기 제2 쇼트라인과 나란한 제3 쇼트라인, 상기 기판의 외곽영역에 위치함과 아울러 상기 제2 및 제3 쇼트라인 각각과 대응되게 접속된 제2 및 제3 더미 쇼트바를 소스/드레인 금속층으로 형성하는 단계와; 상기 기판 상에 상기 제3 쇼트라인을 일부 노출시키는 제2 접촉홀과, 상기 제3 데이터 패드를 일부 노출시키는 제3 접촉홀을 갖는 보호막을 형성하는 단계와; 상기 제2 접촉홀을 통해 상기 제3 쇼트라인과 접속됨과 아울러 상기 제3 접촉홀을 통해 상기 제3 데이터 패드와 접속되는 투명도전패턴을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 게이트 절연막 상에 제1 내지 제3 데이터 라인군, 상기 제1 내지 제3 데이터 라인군 각각과 대응되게 접속되는 제1 내지 제3 데이터 패드군, 상기 제2 데이터 패드군에서 신장된 제2 쇼트라인, 상기 제2 쇼트라인과 나란한 제3 쇼트라인, 상기 기판의 외곽영역에 위치함과 아울러 상기 제2 및 제3 쇼트라인 각각과 대응되게 접속된 제2 및 제3 더미 쇼트바를 소스/드레인 금속층으로 형성하는 단계는, 상기 제1 데이터 패드군과 제1 쇼트라인이 상기 제1 접촉홀을 통해 서로 접촉되도록 상기 제1 데이터 패드군과 제1 쇼트라인을 형성하는 것을 특징으로 한다.

검사공정시 검사장비의 검사핀을 상기 제1 내지 제3 더미 쇼트바에 접촉하여 점등검사 및 액정셀의 불량검사 중 적어도 어느 하나를 실시하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기 점등검사는 상기 제1 내지 제3 더미 쇼트바에 동시에 검사신호를 인가하는 것을 특징으로 한다.

상기 액정셀의 불량검사는 상기 제1 내지 제3 더미 쇼트바에 독립적으로 검사신호를 인가하는 것을 특징으로 한다.

스크라이빙 공정에 의해 상기 기판에서 상기 제1 내지 제3 쇼트라인을 절단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부한 도면들을 참조한 실시예에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.

이하, 도 3 내지 도 6을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하기로 한다.

도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 점등검사 및 액정셀의 불량유무를 검사하기 위한 액정표시패널의 일부를 나타내는 도면이고, 도 4는 도 3에 도시된 선 Ⅰ- Ⅰ'을 절단하여 도시한 도면이다.

도 3 및 도 4에 도시된 액정표시패널은 상부기판(컬러필터 어레이 기판(102))과 하부기판(또는 박막 트랜지스트 어레이 기판(104))이 대향하여 접착된 구조로써 매트릭스 형태로 배열된 액정셀들이 위치하는 표시영역(110)과, 표시영역(110)을 제외하는 비표시영역(120)이 포함된다. 비표시영역(120)에는 표시영역(110)에서 신장된 게이트 패드(미도시) 및 제1 내지 제3 데이터 패드(114a,114b,114c)들, 제1 내지 제3 쇼트라인(131,132,133), 제1 내지 제3 더미 쇼트바(141,142,143)가 형성된다.

표시영역(110)에 있어서, 컬러필터 어레이 기판(102)은 컬러 구현을 위한 컬러필터와, 빛샘을 방지하기 위한 블랙매트릭스와, 화소전극과 수직전계를 이루는 공통전극과, 그들 위에 액정배향을 위해 도포된 상부배향막으로 구성된다.

박막트랜지스터 어레이 기판(104)은 제1 내지 제3 데이터 패드(114a,114b,114c)로부터 데이터신호가 공급되는 제1 내지 제3 데이터라인(미도시)군들과, 게이트 패드로부터 게이트신호가 공급되는 게이트라인들과, 제1 내지 제3 데이터라인군들과 게이트라인들의 교차부에 액정셀들을 스위칭하기 위한 박막트랜지스터와, 박막트랜지스터에 접속되어 액정셀을 구동하는 화소전극과, 그들 위에 액정배향을 위해 도포된 하부배향막으로 구성된다.

박막 트랜지스터 어레이 기판(104)의 비표시영역(20)에 위치하는 제1 내지 제3 쇼트라인(131,132,133) 및 제1 내지 제3 더미 쇼트바(141,142,143)는 액정패널의 점등검사와 액정셀의 불량유무 검사시 이용된다.

제1 쇼트라인(131)은 표시영역(110)의 게이트 라인과 동일물질로 동시에 형성되며 절연막(172)을 관통하는 제1 접촉홀(152)을 통해 제1 데이터 패드(114a)들이 공통으로 접속된다. 제2 쇼트라인(132)은 제2 데이터 패드(114b)들이 공통으로 접속되며 데이터 라인 및 데이터 패드 등과 동일물질로 형성된다. 제3 쇼트라인(133)은 투명도전패턴(158)을 통해 제3 데이터 패드(114c)와 접속된다. 즉, 투명도전패턴(158)은 보호막(174)을 관통하여 제3 쇼트라인(133)을 노출시키는 제2 접촉홀(154)을 통해 상기 제3 쇼트라인(133)과 접속됨과 동시에 보호막(174)을 관통하여 제3 데이터 패드(114c)를 노출시키는 제3 접촉홀(156)을 통해 상기 제3 데이터 패드(114c)와 접속된다.

제1 내지 제3 더미 쇼트바(141,142,143)는 비표시영역(120)의 가장자리 영역, 좀더 구체적으로 말하자면 모서리의 일영역에 위치하게 된다. 제1 더미 쇼트바(141)는 제1 쇼트라인(131)과 접속되고, 제2 더미 쇼트바(142)은 제2 쇼트라인(132)과 접속되며, 제3 더미 쇼트바(143)는 제3 쇼트라인(133)과 접속된다.

이러한 제1 내지 제3 더미 쇼트바(141,142,143)에는 점등검사 및 액정셀 불량 검사시 검사 장비의 검사핀이 접촉된 후, 제1 내지 제3 더미 쇼트바(141,142,143)에 검사신호가 인가됨으로써 점등검사 및 액정셀 불량검사를 함께 실시할 수 있게 된다.

이를 좀더 구체적으로 설명하면 다음과 같다.

종래에는 데이터 라인 들이 하나의 쇼트바에 공통으로 접속됨으로써 쇼트바에 동일한 검사신호가 인가됨으로써 액정셀 전체의 점등 유무만을 검사하고, 액정 셀 각각의 불량 유무를 판별하려면 별도의 오토-프로브 장비를 이용하여 각각의 데이터 패드에 검사신호를 인가하여 액정셀의 불량유무를 판별하였다.

이에 비하여, 본 발명에 따른 액정표시패널은 서로 다른 색을 구현하는 제1 내지 제3 액정셀들과 대응되는 제1 내지 제3 데이터 라인군이 서로 다른 쇼트라인에 각각 접속될 수 있게 된다. 이에 따라, 제1 내지 제3 쇼트라인(131,132,133)에 동시에 동일한 신호가 인가되는 경우에는 액정패널의 점등검사가 실시되고 각각의 제1 내지 제3 쇼트라인(131,132,133)에 다른 검사신호가 인가되는 경우에는 각각의 데이터 라인에 대응되는 액정셀의 불량 유무를 판단할 수 있게 된다.

이에 따라, 종래와는 달리 점등검사 장비를 이용하여 점등검사 및 액정셀의 불량 유무를 검사할 수 있게 됨으로써 액정표시패널의 제조공정 및 검사공정이 단순화된다. 또한, 별도의 오토-프로브 장비를 이용한 액정셀의 불량검사가 필요없게 됨으로써 비용이 절감된다.

더 나아가, 제1 내지 제3 쇼트라인(131,132,133)에서 신장되어 비표시영역(120)의 모서리영역에 위치하는 제1 내지 제3 더미 쇼트바(141,142,143)에 검사신호를 인가할 수 있게 됨으로써 새로운 모델의 액정표시패널이 제안되어도 검사장치를 교체할 필요가 없게 된다.

한편, 제1 내지 제3 쇼트라인(131,132,133)은 종래의 그라인딩 공정이 아닌 스크라이빙공정에 의해 제거된다.

도 5a 내지 도 6은 도 4에 도시된 액정표시패널을 제조하는 방법을 설명하기 위한 도면들이다. 도 5a 내지 도 5e는 도 4에 도시된 비표시영역(120)의 형성만을 도시한 도면이고, 표시영역(110)의 박막 트랜지스터, 게이트 라인 등의 신호라인, 전극 등의 형성에 대한 도면은 생략하기로 한다.

먼저, 기판(104) 상에 스퍼터링 방법 등의 증착 방법을 통해 게이트금속층이 형성된다. 이어서, 마스크를 이용한 포토리쏘그래피 공정과 식각 공정으로 게이트 금속층이 패터닝됨으로써 기판(104)의 표시영역(110) 상의 게이트 라인등을 포함하는 게이트 패턴이 형성됨과 아울러 도 5a에 도시된 바와 같이 비표시영역(120) 상에 제1 쇼트라인(131) 및 제1 더미 쇼트바(미도시)가 형성된다.(S2)

제1 쇼트라인(131) 등이 형성된 기판(104) 상에 게이트 절연막(172)이 도포된 후 마스크를 이용한 포토리쏘그래피 공정과 식각 공정으로 게이트 절연막(172)이 패터닝됨으로써 도 5b에 도시된 바와 같이 비표시영역(120)의 제1 쇼트라인(131)을 일부 노출시키는 제1 접촉홀(152)을 갖는 게이트 절연막(172)이 형성된다.(S4)

게이트 절연막(172)이 형성된 기판(104) 상에 PECVD, 스퍼터링 등의 증착 방법을 통해 비정질 실리콘층, n+ 비정질 실리콘층이 형성된 후 마스크를 이용한 포토레지스트공정 및 식각공정에 의해 패터닝됨으로서 기판(104)의 표시영역(110) 상에 활성층 및 오믹접촉층이 형성된다.

이후, 소스/드레인 금속층이 순차적으로 형성된 후 마스크를 이용한 포토리쏘그래피 공정에 의해 소스/드레인 금속층이 패터닝됨으로써 표시영역(110) 상에 제1 내지 제3 데이터 라인군, 소스 전극, 드레인 전극 등의 소스/드레인 패턴이 형성됨과 아울러 도 5c에 도시된 바와 같이 비표시영역(120)의 게이트 절연막(172) 상에 표시영역(110)의 제1 내지 제3 데이터 라인군에 각각 대응되는 제1 내지 제3 데이터 패드(114a,114c)들, 제2 및 제3 쇼트라인(132,133), 제2 및 제3 더미 쇼트바(미도시)가 형성된다.(S6)

여기서, 제1 데이터 패드(114a)는 제1 접촉홀(152)을 통해 제1 쇼트라인(131)과 접속되고, 제2 데이터 패드(114b)는 제2 쇼트라인(132)과 접속된다. 이에 반해 제3 데이터 패드(114c)는 제3 쇼트라인(133)과 접촉되지 않는다. 제1 더미 쇼트바(141)는 제1 쇼트라인(131)에서 신장되고, 제2 더미 쇼트바(142)는 제2 쇼트라인(132)에서 신장되고, 제3 더미 쇼트바(143)는 상기 제3 쇼트라인(133)에서 신장된다.

소스/드레인 패턴, 제1 내지 제3 데이터 패드(114a,114c) 등이 형성된 기판(104) 상에 PECVD 등의 증착 방법으로 보호막(174)이 전면 형성된다. 이어서, 보호막(174)이 마스크를 이용한 포토리쏘그래피 공정과 식각 공정으로 패터닝됨으로써 도 5d에 도시된 바와 같이 비표시영역(120) 상에 제2 및 제3 접촉홀(154,156)을 갖는 보호막(174)이 형성된다.(S8) 제2 접촉홀(154)은 보호막(174)을 관통하여 제3 쇼트라인(133)을 노출시키고, 제3 접촉홀(156)은 보호막(52)을 관통하여 제3 데이터 패드(114c)를 노출시킨다.

보호막(174) 상에 스퍼터링 등의 증착 방법으로 투명도전물질이 도포된 후 마스크를 이용한 포토리쏘그래피 공정과 식각 공정을 통해 투명도전물질이 패터닝됨으로써 표시영역(110) 상에 화소전극이 형성됨과 아울러 도 5e에 도시된 바와 같이 비표시영역(120) 상에 투명도전패턴(158)이 형성된다.(S8)

여기서, 투명도전물질의 재료로는 인듐 틴 옥사이드(Indium Tin Oxide : ITO), 틴 옥사이드(Tin Oxide : TO), 인듐 틴 징크 옥사이드(Indium Tin Zinc Oxide : IZO) 및 인듐 징크 옥사이드(Indium Zinc Oxide : IZO) 중 어느 하나가 이용된다.

이후, 제1 내지 제3 더미 쇼트바(141,142,143)에 점등검사 장비의 검사핀이 접촉된 후 제1 내지 제3 더미 쇼트바(141,142,143)에 점등 검사를 위한 신호가 인가됨으로써 점등검사가 실시된다.(S10) 여기서, 제1 내지 제3 쇼트바(141,142,143) 각각에 독립적인 검사신호가 순착적으로 또는 랜덤하게 인가됨으로써 각각의 액정셀의 불량검사가 실시될 수 있게 된다.(S12)

이에 따라, 점등검사 장비를 이용하여 점등검사 및 액정셀의 불량 유무를 검사할 수 있게 됨으로써 검사공정을 포함하는 액정표시패널의 제조공정이 단순화됨과 아울러 비용이 절감된다.

상술한 바와 같이, 본 발명의 실시 예에 따른 액정표시패널 및 그 제조방법은 서로 다른 색을 구현하는 제1 내지 제3 액정셀들과, 상기 제1 내지 제3 액정셀들 각각과 전기적으로 연결됨과 아울러 비표시영역의 외곽에 위치하는 제1 내지 제3 더미 쇼트바가 구비된다. 이러한, 제1 내지 제3 더미 쇼트바에 동일한 신호 또는 독립적인 신호가 인가됨으로써 오토프로브 장비없이 점등검사 및 액정셀들의 불량검사를 실시할 수 있게 된다. 이에 따라, 검사공정을 포함하는 액정표시패널의 제 조공정이 단순화됨과 아울러 비용이 절감된다.

이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예컨대 본 발명의 기술적 사상은 실시예에서 액정표시패널의 전기적 검사를 중심으로 설명되었지만 그와 다른 평판표시장치에 형성된 신호배선들에 대한 전기적 검사에도 동일하게 적용될 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여 져야만 할 것이다.

Claims

서로 다른 색을 구현하는 제1 내지 제3 액정셀들과;

상기 제1 내지 제3 액정셀들 각각과 대응되게 접속되고 서로 분리되는 제1 내지 제3 데이터 라인군과;

상기 제1 내지 제3 데이터 라인군과 교차되게 형성되는 게이트 라인과;

상기 제1 내지 제3 데이터 라인군과 각각 대응되게 접속되고 서로 분리되는 제1 내지 제3 데이터 패드군과;

상기 제1 내지 제3 데이터 패드군 각각과 대응되게 접속되고 서로 분리되는 제1 내지 제3 쇼트라인과;

기판의 가장자리영역에 형성됨과 아울러 상기 제1 내지 제3 쇼트라인 각각과 대응되게 접속되어 상기 제1 내지 제3 액정셀들 각각과 대응되는 제1 내지 제3 검사신호를 공급하고 서로 분리되는 제1 내지 제3 더미 쇼트바를 구비하고,

상기 제1 쇼트라인은 상기 게이트 라인과 동일물질로 형성되며, 상기 제1 쇼트라인을 덮는 절연막을 관통하는 제1 접촉홀을 통해 상기 제1 데이터 패드군과 접속되고,

상기 제2 및 제3 쇼트라인은 상기 데이터 라인군과 동일물질로 형성되며,

상기 제2 쇼트라인은 상기 제2 데이터 패드군이 신장되어 형성되는 것을 특징으로 하는 액정표시패널.
제 1 항에 있어서,

상기 제2 및 제3 더미 쇼트바 각각은 상기 데이터 라인군과 동일물질인 것을 특징으로 하는 액정표시패널.
제 1 항에 있어서,

상기 제1 더미 쇼트바는 상기 게이트 라인과 동일물질인 것을 특징으로 하는 액정표시패널.
제 1 항에 있어서,

상기 제3 쇼트라인은 상기 제3 쇼트라인을 덮는 보호막을 관통하는 제2 접촉홀을 통해 투명도전패턴과 접촉하고,

상기 제3 데이터 패드군은 상기 제3 데이터 패드군을 덮는 보호막을 관통하는 제3 접촉홀을 통해 상기 투명도전패턴과 접촉하는 것을 특징으로 하는 액정표시패널.
제 1 항에 있어서,

검사공정시 검사장비의 검사핀은 상기 제1 내지 제3 더미 쇼트바에 접촉되는 것을 특징으로 하는 액정표시패널.
기판 상에 게이트 라인을 포함하는 게이트 패턴, 제1 쇼트라인 및 상기 제1 쇼트라인에서 신장되어 상기 기판의 외곽영역 위치하는 제1 더미 쇼트바를 게이트 금속층으로 형성하는 단계와;

상기 제1 쇼트라인 및 게이트 라인을 덮도록 형성됨과 아울러 상기 제1 쇼트라인을 일부 노출시키는 제1 접촉홀을 갖는 게이트 절연막을 형성하는 단계와;

상기 게이트 절연막 상에 제1 내지 제3 데이터 라인군, 상기 제1 내지 제3 데이터 라인군 각각과 대응되게 접속되는 제1 내지 제3 데이터 패드군, 상기 제2 데이터 패드군에서 신장된 제2 쇼트라인, 상기 제2 쇼트라인과 나란한 제3 쇼트라인, 상기 기판의 외곽영역에 위치함과 아울러 상기 제2 및 제3 쇼트라인 각각과 대응되게 접속된 제2 및 제3 더미 쇼트바를 소스/드레인 금속층으로 형성하는 단계와;

상기 기판 상에 상기 제3 쇼트라인을 일부 노출시키는 제2 접촉홀과, 상기 제3 데이터 패드를 일부 노출시키는 제3 접촉홀을 갖는 보호막을 형성하는 단계와;

상기 제2 접촉홀을 통해 상기 제3 쇼트라인과 접속됨과 아울러 상기 제3 접촉홀을 통해 상기 제3 데이터 패드와 접속되는 투명도전패턴을 형성하는 단계를 포함하고,

상기 게이트 절연막 상에 제1 내지 제3 데이터 라인군, 상기 제1 내지 제3 데이터 라인군 각각과 대응되게 접속되는 제1 내지 제3 데이터 패드군, 상기 제2 데이터 패드군에서 신장된 제2 쇼트라인, 상기 제2 쇼트라인과 나란한 제3 쇼트라인, 상기 기판의 외곽영역에 위치함과 아울러 상기 제2 및 제3 쇼트라인 각각과 대응되게 접속된 제2 및 제3 더미 쇼트바를 소스/드레인 금속층으로 형성하는 단계는,

상기 제1 데이터 패드군과 제1 쇼트라인이 상기 제1 접촉홀을 통해 서로 접촉되도록 상기 제1 데이터 패드군과 제1 쇼트라인을 형성하는 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 제조방법.
제 6 항에 있어서,

검사공정시 검사장비의 검사핀을 상기 제1 내지 제3 더미 쇼트바에 접촉하여 점등검사 및 액정셀의 불량검사 중 적어도 어느 하나를 실시하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 제조방법.
제 7 항에 있어서,

상기 점등검사는 상기 제1 내지 제3 더미 쇼트바에 동시에 검사신호를 인가하는 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 제조방법.
제 7 항에 있어서,

상기 액정셀의 불량검사는 상기 제1 내지 제3 더미 쇼트바에 독립적으로 검사신호를 인가하는 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 제조방법.
제 6 항에 있어서,

스크라이빙 공정에 의해 상기 기판에서 상기 제1 내지 제3 쇼트라인을 절단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 제조방법.