KR20040062185A - 액정표시장치용 어레이 패널의 검사패드 및 그 제조방법 - Google Patents

액정표시장치용 어레이 패널의 검사패드 및 그 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 액정표시장치용 어레이 패널의 검사패드 및 그 제조방법에 대해 개시된다. 개시된 본 발명에 따른 액정표시장치용 어레이 패널의 검사패드는, 액정표시장치용 TFT 어레이 기판상에 형성된 게이트 라우팅 라인 및 데이터 라우팅 라인과; 상기 게이트 라우팅 라인 및 데이터 라우팅라인의 일측 끝단과 연결된 각각의 게이트 패드부 및 데이터 패드부와; 상기 각각의 게이트 패드부 및 데이터 패드부의 다른 일측 끝단과 연결된 프로브 패드부를 포함하여 구성된다.
본 발명에 따른 액정표시장치용 어레이 패널의 검사패드 및 그 제조방법은, 테스트 프로브를 통한 검사방식에 있어 패널 외곽에 별도의 프로브용 패드를 형성하여 패널의 사이즈나 해상도 변화에 따른 패드 핏치의 크기에 관계없이 검사를 수행할 수 있다.

Description

액정표시장치용 어레이 패널의 검사패드 및 그 제조방법{ARRAY SUBSTRATE AND THE FABRICATION METHOD FOR LCD}
본 발명은 액정표시장치용 어레이 패널 검사패드 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 특히 테스트 프로브를 통한 검사방식에 있어 패널 외곽에 별도의 프로브용 패드를 형성하여 패널의 사이즈나 해상도 변화에 따른 패드 핏치의 크기에 관계없이 검사를 수행할 수 있는 액정표시장치용 패널 검사패드 및 그 제조방법에 관한 것이다.
최근 정보화 사회로 시대가 급진전함에 따라, 대량의 정보를 처리하고 이를 표시하는 디스플레이(display)분야가 발전하고 있다.
최근 들어 박형화, 경량화, 저 소비전력화 등의 시대상에 부응하기 위해 평판표시장치(flat panel display)의 필요성이 대두되었다. 이에 따라 색 재현성이 우수하고 박형인 박막트랜지스터형 액정표시소자(Thin film transistor-liquidcrystal display ; 이하 TFT-LCD라 한다)가 개발되었다.
통상적으로, 액정표시장치(Liquid Crystal Display; LCD)에서는 액정패널 상에 매트릭스 형태로 배열된 액정셀들의 광투과율을 그에 공급되는 비디오 데이터 신호로 조절함으로써 데이터 신호에 해당하는 화상을 패널 상에 표시하게 된다.
이를 위하여, 액정표시소자는 액정층에 전계를 인가하기 위한 전극들, 액정셀 별로 데이터 공급을 절환하기 위한 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor : 이하 'TFT'라 함), 외부에서 공급되는 데이터를 액정셀들에 공급하는 신호배선 및 TFT의 제어신호를 공급하기 위한 신호배선 등을 구비하게 된다.
LCD는 화소 단위를 이루는 액정셀의 형성 공정을 동반하는 패널 상판 및 하판의 제조공정과, 액정 배향을 위한 배향막의 형성 및 러빙(Rubbing) 공정과, 상판 및 하판의 합착 공정과, 합착된 상판 및 하판 사이에 액정을 주입하고 봉지하는 공정 등의 여러 과정을 거쳐 완성되게 된다. 여기에서 하판의 제조공정은 기판상에 전극 물질, 반도체층 및 절연막의 도포와 에칭 작업을 통한 TFT의 형성과 기타 전극부의 형성 과정을 포함한다.
그리고, 상기 공정 과정중에는 상기 하판을 제작한 후 IPT(IN Processing Test)검사를 수행하게 된다.
상기 IPT(IN Processing Test)검사는, 상기 하판에 형성된 게이트 라인 및 데이터 라인의 단선 등으로 인한 불량, 화소셀 별 색상 불량, 휘점(항상 켜져 있는 셀), 암점(항상 꺼져 있는 셀) 등의 점 결함과, 인접한 데이터 라인간의 단락(Short)으로 인해 발생하는 선 결함(Line Defect) 등의 불량을 검사하기 위한 것이다.
이러한 액정표시장치의 화질이나 전극패턴의 불량유무를 검사하기 위하여 다수의 핀프로브가 조립된 테스팅 프로브를 사용하게 된다.
한편, 도 1은 일반적인 테스트 프로브의 구성을 개략적으로 도시한 도면이다. 이에 도시된 바와 같이, 테스트 프로브는, 액정표시장치용 패드에 접촉되는 소정수의 핀프로부(11)와; 상기 핀프로브(11)가 고정되는 프로브 프레임(12)을 포함하여 구성된다.
상기 핀프로브(11)의 한쪽 선단에 신호발생기를 접촉하고, 다른쪽 선단이 전극 패드에 접촉되게 하여 검사한다.
도 2는 종래에 따른 액정표시장치 패널의 외곽에 형성된 패드를 개략적으로 도시한 도면이다. 이에 도시된 바와 같이, 액정표시장치 패널의 외곽에는 데이터라인과 연결된 소정수의 데이터 패드부 및 게이트 라인과 연결된 소정수의 게이트 패드부가 각각 형성되어 있다.
도 3은 상기 도 2의 패드부의 일부분을 확대한 구성을 개략적으로 도시한 도면이다. 이에 도시된 바와 같이, 액정표시장치 패널의 패드는, 액정표시장치의 TFT 어레이 기판상의 외곽에 구비된 패드부(301)와; 상기 패드부(301)와 액정표시장치의 TFT 어레이 기판상에 형성된 데이터 라인과 게이트 라인을 연결된 라우팅 라인(303)을 포함하여 구성된다.
상기 패드부(301)에 형성된 각각의 패드에 상기 핀프로버(302)가 위치함으로써 TFT 어레이 기판을 검사하게 된다.
그리고, 상기 어레이 기판의 검사를 수행한 후에는 상기 어레이 기판의 외곽에 형성된 스크라이빙 라인을 따라 컷팅하게 된다.
그러나, 상기 어레이 기판의 외곽에 형성된 패드부(301)는 패널의 크기가 커지거나 해상도가 증가함에 따라 상기 패드 핏치(Pad Pitch)가 달라지게 되고, 이는 상기 달라진 패드 핏치에 맞게 상기 프로브 프레임을 별도로 제작해야 된다.
또한, 상기 패드 핏치가 약 50㎛ 이하가 되는 어레이 기판의 패드 형태에 대해서는 검사 수행이 불가능하게 되는 문제점이 발생된다.
본 발명은, 테스트 프로브를 통한 검사방식에 있어 패널 외곽에 별도의 프로브용 패드를 형성하여 패널의 사이즈나 해상도 변화에 따른 패드 핏치의 크기에 관계없이 검사를 수행할 수 있는 액정표시장치용 패널 검사패드 및 그 제조방법을 제공함에 그 목적이 있다.
도 1은 일반적인 테스트 프로브의 구성을 개략적으로 도시한 도면.
도 2는 종래에 따른 액정표시장치 패널의 외곽에 형성된 패드를 개략적으로 도시한 도면.
도 3은 상기 도 2의 패드부의 일부분을 확대한 구성을 개략적으로 도시한 도면.
도 4는 본 발명에 따른 액정표시용 어레이 패널의 검사패드를 개략적으로 도시한 도면.
도 5는 상기 도 4의 일부분을 확대한 도면.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
501 --- 라우팅 라인 502 --- 게이트 패드 또는 데이터 패드
503 --- 프로브 패드 504 --- 테스트 프로브
상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 액정표시장치용 어레이 패널의 검사패드는,
액정표시장치용 TFT 어레이 기판상에 형성된 게이트 라우팅 라인 및 데이터 라우팅 라인과,
상기 게이트 라우팅 라인 및 데이터 라우팅라인의 일측 끝단과 연결된 각각의 게이트 패드부 및 데이터 패드부와;
상기 각각의 게이트 패드부 및 데이터 패드부의 다른 일측 끝단과 연결된 프로브 패드부를 포함하는 점에 그 특징이 있다.
여기서, 특히 상기 프로브 패드부는 스크라이빙 라인의 외곽부에 형성된 점에 그 특징이 있다.
여기서, 특히 상기 프로브 패드부는 동일 패드 핏치를 가지고 형성되는 점에 그 특징이 있다.
또한, 상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 액정표시장치용 어레이 패널의 검사방법은,
투명기판상에 금속막을 도포 및 PR 공정을 통하여 게이트 및 데이터 라인, 라우팅 라인, 게이트 및 데이터 패드부 그리고 프로브 패드부를 형성하는 단계와;
상기 형성된 프로브 패드부에 테스트 프로브를 이용하여 검사하는 단계와;
상기 프로브 패드부를 스크라이빙 하는 단계를 포함하는 점에 그 특징이 있다.
여기서, 특히 상기 프로브 패드부는 상기 게이트 및 데이터 패드부보다 외곽에 형성되는 점에 그 특징이 있다.
이와 같은 본 발명에 의하면, 테스트 프로브를 통한 검사방식에 있어 패널 외곽에 별도의 프로브용 패드를 형성하여 패널의 사이즈나 해상도 변화에 따른 패드 핏치의 크기에 관계없이 검사를 수행할 수 있다.
이하 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명의 실시 예를 상세히 설명한다.
도 4는 본 발명에 따른 액정표시용 어레이 패널의 검사패드를 개략적으로 도시한 도면이다. 이에 도시된 바와 같이, 액정표시장치 패널의 외곽에는 범용적인 테스트 프로브에 의해 검사할 수 있는 데이터 프로브 패드부 및 데이터 프로브 패드부가 형성되어 있다.
도 5는 상기 도 4의 일부분을 확대한 도면이다. 이에 도시된 바와 같이, 액정표시장치용 어레이 패널의 검사패드는, 액정표시장치용 TFT 어레이 기판상에 형성된 게이트 라우팅 라인 및 데이터 라우팅 라인(501)과; 상기 게이트 라우팅 라인 및 데이터 라우팅라인(501)의 일측 끝단과 연결된 각각의 게이트 패드부 및 데이터 패드부(502)와; 상기 각각의 게이트 패드부 및 데이터 패드부(502)의 다른 일측 끝단과 연결된 프로브 패드부(503)와; 상기 프로브 패드부(503)에 접촉되는 테스트 프로브(504)를 포함하여 구성된다.
상기 게이트 라우팅(Gate Routing line) 라인 및 데이터 라우팅 라인(Data Routing line)(501)은 액정표시장치용 어레이 기판상에 교차되어 형성된 게이트 라인 및 데이터 라인과 각각 연결되어 있다.
상기 게이트 패드부 및 데이터 패드부(502)는 어레이 기판의 외곽에 형성되고, 상기 게이트 라우팅(Gate Routing line) 라인 및 데이터 라우팅 라인(Data Routing line)과 각각 연결되어 있다.
상기 프로브 패드부(503)는 동일 패드 핏치(Pad Pitch)를 가지고, 액정표시장치용 어레이 기판의 스크라이빙 라인 외곽부에 형성되어 있고, 상기 게이트 패드부 및 데이터 패드부(502)와 각각 연결되어 있다.
따라서, 상기 프로브 패드부(503)가 외곽에 형성되기 때문에, 패널의 크기나 해상도에 관계없이 동일 핏치를 갖도록 설계할 수 있다.
또한, 상기 테스트 프로브(504)는 상기 형성된 프로브 패드부(503)와 동일 핏치를 갖도록 설계되어 있어, 상기 프로브 패드부(503)에 접촉되어 어레이 패널의 단선 및 불량 유무를 검사하게 된다.
상기와 같이 구성된 액정표시장치용 어레이 패널의 검사방법에 대해 설명하기로 한다.
먼저, 투명기판상에 금속막의 도포 및 PR 공정을 통하여 게이트 및 데이터 라인(미도시), 라우팅 라인(501), 게이트 및 데이터 패드부(502) 그리고 프로브 패드부(503)를 형성하는 단계가 수행된다.
보다 상세하게는, 상기 게이트 전극 및 게이트 라인, 라우팅 라인(501), 게이트 및 데이터 패드부(502) 그리고 프로브 패드부(503)의 패턴은 동일한 마스크 공정에서 형성된다.
그리고, 상기 데이터 라인은 소스-드레인 형성시 동시에 금속막의 도포 및 PR 공정을 통하여 형성된다.
여기서, 상기 라우팅 라인(501), 게이트 및 데이터 패드부(502) 그리고 프로브 패드부(503)의 패턴은 상기 게이트 라인 및 데이터 라인(미도시)이 형성된 어레이 기판의 외곽에 형성하게 된다.
그리고, 상기 게이트 라인 및 데이터 라인이 형성된 기판상에는 일반적인 TFT 공정과정을 거쳐 TFT 어레이 기판을 완성하게 된다.
이어서, 상기 형성된 프로브 패드부(503)에 테스트 프로브(504)를 이용하여 검사하는 단계가 수행된다.
보다 자세히 설명하면, 상기 TFT 어레이 기판이 완성되면 상기 게이트 및 데이터 라인과 연결되어 있는 상기 프로브 패드(503)에 상기 테스트 프로브(504)를 접촉하여 상기 게이트 라인 및 데이터 라인에 신호를 인가하여 게이트 라인 및 데이터 라인의 단락여부 및 각각의 픽셀의 불량을 검사하게 된다.
그리고, 상기 테스트 프로브(504)에 의해 검사한 후, 상기 TFT 어레이 기판의 외곽에 형성된 프로브 패드부(503)를 스크라이빙 하는 단계가 수행된다.
상기 프로브 패드부(503)는 상기 게이트 패드 및 데이터 패드(502)보다 외곽에 형성됨으로서 상기 게이트 패드 및 데이터 패드(502)를 기준으로 스크라이빙을 수행하면 컷팅되게 된다.
이상, 상기와 같이 액정표시장치의 어레이 기판에 프로브 패드부를 외곽에 형성하고, 상기 프로브 패드부와 동일 핏치를 가지는 범용적인 테스트 프로브를 제작함으로서 패널의 크기나 해상도에 의해 핏치가 달라지더라도 패널을 검사하게 된다.
본 발명은 도면에 도시된 실시 예를 참고로 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.
이상의 설명에서와 같이 본 발명에 따른 액정표시장치용 패널 검사패드 및 그 제조방법은, 테스트 프로브를 통한 검사방식에 있어 패널 외곽에 별도의 프로브용 패드를 형성하여 패널의 사이즈나 해상도 변화에 따른 패드 핏치의 크기에 관계없이 검사를 수행할 수 있다.
또한, 패널의 사이즈나 해상도의 변화에 상관없이 프로브 패드와 테스트 프로브는 동일 핏치로 구성하여 범용적으로 사용함으로써 테스트 프로브의 프레임 제작에 소용되는 비용을 절감할 수 있다.

Claims (6)

  1. 액정표시장치용 TFT 어레이 기판상에 형성된 게이트 라우팅 라인 및 데이터 라우팅 라인과,
    상기 게이트 라우팅 라인 및 데이터 라우팅라인의 일측 끝단과 연결된 각각의 게이트 패드부 및 데이터 패드부와;
    상기 각각의 게이트 패드부 및 데이터 패드부의 일측 끝단과 연결된 프로브 패드부를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 어레이 패널의 검사패드.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 프로브 패드부는 스크라이빙 라인의 외곽부에 형성된 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 어레이 패널의 검사패드.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 프로브 패드부는 동일 패드 핏치를 가지고 형성된 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 어레이 패널의 검사패드.
  4. 투명기판상에 금속막을 도포 및 PR 공정을 통하여 게이트 및 데이터 라인, 라우팅 라인, 게이트 및 데이터 패드부 그리고 프로브 패드부를 형성하는 단계와;
    상기 형성된 프로브 패드부에 테스트 프로브를 이용하여 검사하는 단계와;
    상기 프로브 패드부를 스크라이빙 하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 어레이 패널의 검사패드 제조방법.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 프로브 패드부는 상기 게이트 및 데이터 패드부보다 외곽에 형성되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 어레이 패널의 검사패드 제조방법.
  6. 액정표시장치용 TFT 어레이 기판상에 형성된 프로브 패드상에 테스트 프로브를 접촉시켜 어레이 패널을 검사하는 액정표시장치용 어레이 패널의 검사방법.
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