KR101232145B1 - 액정표시장치의 검사용 기판 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 다수의 어레이셀(array cell) 및 MPS(Multi Pattern Search) 패드와 MPS 배선으로 구성된 MPS(Multi Pattern Search) 검사용 기판에서, MPS 배선간 오버랩 부분의 정전기 불량을 감소시키기에 알맞은 액정표시장치의 검사용 기판에 관한 것으로, 해당 어레이셀의 게이트패드를 통해 다수의 게이트라인과 연결되며, 상기 어레이기판의 상측 가장자리를 따라 배열되고, 상기 어레이기판의 하측 가장자리를 따라 배열되는 적어도 하나 이상의 게이트 MPS 패드와, 해당 어레이셀의 데이터패드를 통해 다수의 데이터라인과 연결되며, 상기 어레이기판의 상측 가장자리를 따라 배열되고, 상기 어레이기판의 하측 가장자리를 따라 배열되는 적어도 하나 이상의 데이터 MPS 패드와, 상기 게이트 MPS 패드와 접속되어 해당 어레이셀의 일측에서 게이트 라인과 평행한 방향으로 배치되며, 상기 게이트 MPS 패드와 다수의 게이트 패드와 접속할 수 있도록 해당 어레이셀의 하측에서 다수의 게이트 패드와 접속되는 게이트 MPS 배선과, 상기 게이트 MPS 배선을 포함한 상기 어레이기판 상에 형성된 게이트절연막과, 상기 게이트절연막 상에 상기 게이트 MPS 배선과 인접 부분에서 일정간격 격리되어 있는 제 1, 제 2 데이터 MPS 배선 패턴과, 상기 제 1, 제 2 데이터 MPS 배선 패턴의 일영역이 드러나도록 콘택홀이 형성된 보호막과, 상기 콘택홀을 통해서 상기 제 1, 제 2 데이터 MPS 배선 패턴을 연결하도록 상기 보호막 상에 형성되며, 상기 게이트 MPS 배선과 인접한 부분에서 일정간격 격리된 영역 및 상기 제1 및 제2 데이터 MPS 배선 패턴을 덮도록 형성된 투명 도전막과, 상기 제 1, 제 2 데이터 MPS 배선 패턴과 상기 투명 도전막이 데이터 MPS 배선을 포함하며, 상기 제 1, 제 2 데이터 MPS 배선은 해당 어레이셀의 측면에서 다수의 데이터 패드와 접속되며, 상기 제 1 데이터 MPS 배선은 상기 어레이기판의 상측 가장자리에 배치된 상기 데이터 MPS 패드와 접속되어 해당 어레이셀의 일측에서 상기 게이트 MPS 배선과 평행한 방향으로 배치되며, 상기 제 2 데이터 MPS 배선은 상기 어레이기판의 하측 가장자리에 배치된 상기 데이터 MPS 패드와 접속되어 해당 어레이셀의 일측에서 상기 게이트 MPS 배선과 평행한 방향으로 배치되며, 해당 어레이셀 각각에는 상기 게이트 MPS 배선과 상기 투명 도전막이 중첩되는 영역이 하나의 영역에만 존재하는 것을 특징으로 한다.
MPS 배선

Description

액정표시장치의 검사용 기판{substrate for examine liquid crystal display device}
도 1은 일반적인 IPT-MPS 검사용 기판의 평면도
도 2a와 도 2b는 종래 기술에 따른 도 2의 'C'영역에 들어갈 평면도 및 구조 단면도
도 3a와 도 3b는 본 발명의 실시예에 따른 도 2의 'C'영역에 들어갈 평면도 및 구조 단면도
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
A10, B10 : 어레이셀 A20, B20 : 표시영역
A30, B30 : 비표시영역 A40, B40 : 패드영역
A42, B42 : 게이트패드영역 B44, B44 : 데이터패드영역
A50, B50 : MPS 패드 A60, B60 : MPS 배선
A62, B62 : 게이트 MPS 배선 A64, B64 : 데이터 MPS 배선
322 : 게이트 MPS 배선 323 : 게이트절연막
326a, 326b : 제 1, 제 2 데이터 MPS 배선 패턴
327 : 보호막 328 : 투명 도전막
329 : 콘택홀 300 : 기판
본 발명은 액정표시장치에 대한 것으로, 특히 다수의 어레이셀(array cell) 및 MPS(Multi Pattern Search) 패드와 MPS 배선으로 구성된 MPS(Multi Pattern Search) 검사용 기판에서, MPS 배선간 오버랩 부분의 정전기 불량을 감소시키기에 알맞은 액정표시장치의 검사용 기판에 관한 것이다.
액정표시장치는 핵심적인 부품으로 액정패널(liquid crystal display panel)을 포함한다.
액정패널은 사용자에게 보여지는 화상을 디스플레이 하는 부분으로서, 광학적 이방성과 분극성질을 띠는 액정층, 그리고 이를 사이에 두고 대향하는 제 1 및 제 2 기판을 포함한다.
이때 양 기판의 마주보는 면으로는 각각 전계생성전극이 형성되고, 이들 두 전극간의 전압차를 통해 그 사이에 개재된 액정분자들의 배열방향을 인위적으로 제어한다. 그리고 이때 변화되는 빛의 투과율로 여러 가지 화상을 표시한다.
근래에는 스위칭소자를 사용하여 액정패널의 각 화소(pixel)를 독립적으로 제어하는 능동행렬(Active-Matrix) 방식이 널리 사용되는데, 특히 스위칭 소자로 박막트랜지스터(Thin Film Transistor : TFT)를 사용한 것이 잘 알려진 박막트랜지스터형 액정표시장치(TFT-LCD)이다.
액정패널의 제조공정은 화소 및 박막트랜지스터 형성을 동반하는 제 1 기판 제조공정과, 컬러필터(color filter)의 형성을 동반하는 제 2 기판제조공정, 그리고 양 기판 사이로 액정을 개재하는 액정셀 공정을 포함한다.
이중 제 1 기판제조공정은 투명절연기판 상에 절연체, 반도체 또는 전도체 박막을 형성하는 박막증착공정과, 이를 패터닝(patterning)하는 식각 공정을 반복하여 다수 포함하고, 일련의 공정을 통해 각 화소와 박막트랜지스터를 형성한다.
이때 공정효율의 향상을 위해 대면적 투명절연기판을 대상으로 제 1 기판제조공정을 진행하면서, 상기 제 1 기판에 포함되는 구성요소를 포지션 별로 구분되도록 동시에 다수 형성할 수 있다. 그리고 마찬가지로 제 2 기판의 구성요소가 포지션별로 구분 형성된 또 다른 투명절연기판을 구비하여, 액정을 사이에 두고 서로 합착한다. 그리고 각 액정패널 별로 절단한다.
이때 양 기판의 합착 전, 제 1 기판의 이상유무를 확인하는 장비가 IPT-MPS 이다.
따라서 상기 기판은 IPS-MPS 검사용 기판이라고 할 수 있는데, 이하, 설명의 편의를 위해 제 1 기판의 구성요소가 포지션 별로 다수 형성된 투명절연기판을 어레이기판이라 하고, 이에 포함된 제 1 기판의 구성요소 각각의 군(群), 즉, 액정패널의 제 1 기판을 이루게 될 각각의 유닛(unit)을 어레이셀이라 한다.
일반적인 어레이기판은 다수의 어레이셀, 그리고 IPT-MPS 검사를 위한 다수의 MPS 패드 및 MPS 배선을 포함한다.
도 1은 IPT-MPS 검사용 기판, 즉 다수의 어레이셀을 포함하는 어레이기판의 평면도이다.
설명에 앞서, 이들 두 도면의 도면부호 앞에 부여된 A 또는 B 등은 어레이셀의 위치에 따른 구분표시로서, 이 구분표시와는 무관하게 동일 도면부호를 가지는 요소는 서로 동일한 역할 및 기능을 수행하는 동일부분이다. 따라서 특별한 언급이 없는 한 이 구분표시는 생략하고, 공통된 도면부호로만 설명한다.
일반적인 어레이기판은 포지션 별로 구분되는 다수의 어레이셀(10)을 포함하는 바, 각 어레이셀(10)은 표시영역(20)과, 이의 가장자리를 두르는 비표시영역(30)과, 이의 가장자리 일부를 두르는 패드영역(40)을 포함한다.
상기에서 어레이기판은 다수의 어레이셀(10)에 각각 복수개 구비되는 MPS 패드(50), 그리고 각 어레이셀(10)의 MPS 패드(50)를 통해서 게이트신호와 데이터신호와 공통전압과 접지전압 및 기타 다른 신호라인을 연결하는 복수개의 MPS 배선(60)을 포함하는 바, MPS 패드(50)는 IPT-MPS 검사장비와 연결되어 전압이 인가되는 인풋(input) 단자역할을 한다.
이들 다수의 MPS 패드(50)는 통상 기판의 대향하는 양측 가장자리를 따라 배열되는 것이 일반적이다.
상기 MPS 배선(60)은 이 MPS 패드(50)와 각 어레이셀(10)을 연결하는 부분으로, 특히 각 어레이셀(10)의 게이트패드와 데이터패드를 해당 MPS 패드(50)와 연결시킨다.
이때 각 MPS 패드(50)는 해당 어레이셀(10)의 게이트패드와 연결되는 적어도 하나 이상의 게이트 MPS 패드(52), 그리고 데이터패드를 통해 다수의 데이터라인과 연결되는 적어도 하나 이상의 데이터 MPS 패드(54)로 구분되고, MPS 배선(60) 역시 다수의 게이트패드를 통해 게이트라인을 게이트 MPS 패드(52)로 연결하는 적어도 하나 이상의 게이트 MPS 배선(62), 그리고 다수의 데이터패드를 데이터 MPS 패드(54)로 연결하는 적어도 하나 이상의 데이터 MPS 배선(64)으로 구분된다.
이들 MPS 패드(50)와 MPS 배선(60)은 어레이셀(10)의 게이트라인(22) 및/또는 데이터라인(26)과 동일공정에서 동일재질로 형성될 수 있다.
상기와 같은 구성의 어레이기판을 검사대상으로 하는 IPT-MPS 검사장비는, 간단히 게이트 MPS 패드(52)로 제 1 전압을, 그리고 데이터 MPS 패드(54)로 제 2 전압을 인가하여 각 화소전극(59)에 나타나는 전기장의 세기를 빛의 신호로 변환한다. 그리고 이를 분석하여 각 화소(P)의 이상유무와, 게이트라인(22) 및 데이터라인(26)의 단선여부를 파악한다.
상기와 같은 구성을 갖는 액정표시장치의 검사용 기판에서, 상기 게이트 MPS 배선(62)과 데이터 MPS 배선(64)은 각 어레이셀(10)로 부터 각각 게이트 MPS 패드(52)와 데이터 MPS 패드(54)에 연결되어 있는데, 이때 'C'영역과 같이 게이트 MPS 배선(62)과 데이터 MPS 배선(64)이 서로 오버랩되는 영역이 발생하게 된다.
이하, 상기의 액정표시장치의 검사용 기판에서 종래에 따른 상기 오버랩 되는 영역의 구성을 확대하여 설명하면 다음과 같다.
도 2a와 도 2b는 종래 기술에 따른 도 2의 'C'영역에 들어갈 평면도 및 구조 단면도이다.
이때 'C'영역을 데이터 MPS 배선을 잘라서 평면과 단면으로 나타내어 설명한다. 그리고 명칭별 도면 부호는 도 1과 달리하여 설명한다.
종래에는 도 2a와 도 2b에 도시한 바와 같이, 기판(200)상에 게이트 MPS 배선(222)이 일방향으로 배열되어 있고, 상기 게이트 MPS 배선(222)을 포함한 상부에 게이트 절연막(223)이 형성되어 있고, 상기 게이트절연막(223) 상에 상기 게이트 MPS 배선(222)과 교차 배치되어 게이트 MPS 배선(222) 상부에서 오버랩되어 일방향을 이루는 데이터 MPS 배선(226)이 있다.
그리고 상기 데이터 MPS 배선(226)을 포함한 전면에 보호막(227)이 형성되어 있고, 상기 게이트 MPS 배선(222)의 상부를 제외한 보호막(227) 상에 투명 도전막(228a, 228b)이 형성되어 있다.
상기와 같이 게이트 MPS 배선(222)과 데이터 MPS 배선(226)이 형성되어 있으면, 게이트 MPS 배선(222)과 데이터 MPS 배선(226)의 경계영역에서 신호 전달에 따라 정전기가 발생할 우려가 크다. 즉, 게이트 MPS 배선(222)과 데이터 MPS 배선(226)의 경계영역은 정전기에 취약하다. 이와 같이 정전기가 발생하면 이 부분을 따라 누출이 발생하여, 정확한 MPS 검사를 진행할 수 없는 문제가 발생한다.
본 발명은 상기와 같은 문제를 해결하기 위하여 안출한 것으로, 본 발명의 목적은 다수의 어레이셀(array cell) 및 MPS(Multi Pattern Search) 패드와 MPS 배선으로 구성된 MPS(Multi Pattern Search) 검사용 기판에서, MPS 배선간 오버랩 부분의 정전기 불량을 감소시키기에 알맞은 액정표시장치의 검사용 기판을 제공하는데 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 액정표시장치의 검사용 기판은 어레이기판에 배치된 다수의 어레이셀과, 상기 어레이셀에 인접한 부분에 복수개 구비되는 MPS 패드와, 상기 어레이셀의 상기 MPS 패드를 통해서 게이트신호와 데이터신호 및 공통전압과 접지전압 및 기타 다른 신호라인을 연결하는 복수개의 MPS 배선을 포함하는 액정표시장치의 검사용 기판에 있어서, 해당 어레이셀의 게이트패드를 통해 다수의 게이트라인과 연결되며, 상기 어레이기판의 상측 가장자리를 따라 배열되고, 상기 어레이기판의 하측 가장자리를 따라 배열되는 적어도 하나 이상의 게이트 MPS 패드와, 해당 어레이셀의 데이터패드를 통해 다수의 데이터라인과 연결되며, 상기 어레이기판의 상측 가장자리를 따라 배열되고, 상기 어레이기판의 하측 가장자리를 따라 배열되는 적어도 하나 이상의 데이터 MPS 패드와, 상기 게이트 MPS 패드와 접속되어 해당 어레이셀의 일측에서 게이트 라인과 평행한 방향으로 배치되며, 상기 게이트 MPS 패드와 다수의 게이트 패드와 접속할 수 있도록 해당 어레이셀의 하측에서 다수의 게이트 패드와 접속되는 게이트 MPS 배선과, 상기 게이트 MPS 배선을 포함한 상기 어레이기판 상에 형성된 게이트절연막과, 상기 게이트절연막 상에 상기 게이트 MPS 배선과 인접 부분에서 일정간격 격리되어 있는 제 1, 제 2 데이터 MPS 배선 패턴과, 상기 제 1, 제 2 데이터 MPS 배선 패턴의 일영역이 드러나도록 콘택홀이 형성된 보호막과, 상기 콘택홀을 통해서 상기 제 1, 제 2 데이터 MPS 배선 패턴을 연결하도록 상기 보호막 상에 형성되며, 상기 게이트 MPS 배선과 인접한 부분에서 일정간격 격리된 영역 및 상기 제1 및 제2 데이터 MPS 배선 패턴을 덮도록 형성된 투명 도전막과, 상기 제 1, 제 2 데이터 MPS 배선 패턴과 상기 투명 도전막이 데이터 MPS 배선을 포함하며, 상기 제 1, 제 2 데이터 MPS 배선은 해당 어레이셀의 측면에서 다수의 데이터 패드와 접속되며, 상기 제 1 데이터 MPS 배선은 상기 어레이기판의 상측 가장자리에 배치된 상기 데이터 MPS 패드와 접속되어 해당 어레이셀의 일측에서 상기 게이트 MPS 배선과 평행한 방향으로 배치되며, 상기 제 2 데이터 MPS 배선은 상기 어레이기판의 하측 가장자리에 배치된 상기 데이터 MPS 패드와 접속되어 해당 어레이셀의 일측에서 상기 게이트 MPS 배선과 평행한 방향으로 배치되며, 해당 어레이셀 각각에는 상기 게이트 MPS 배선과 상기 투명 도전막이 중첩되는 영역이 하나의 영역에만 존재하는 것을 특징으로 한다.
상기 게이트 MPS 배선은 구리(Cu), Al, AlNd, Mo과 같은 도전성 물질중 어느 하나 또는 합금으로 구성됨을 특징으로 한다.
상기 투명 도전막은 인듐주석산화물(Indium Tin Oxide : ITO), 주석산화물(Tin Oxide : TO), 인듐아연산화물(Indium Zinc Oxide : IZO) 또는 인듐주석아연산화물(Indium Tin Zinc Oxide:ITZO)로 구성됨을 특징으로 한다.
상기 제 1, 제 2 데이터 MPS 배선 패턴과 상기 투명 도전막이 데이터 MPS 배선을 이루는 것을 특징으로 한다.
상기 MPS 패드는 상기 어레이기판의 대향하는 양측 가장자리를 따라 배열되는 것을 특징으로 한다.
본 발명을 설명하기에 앞서서, 본 발명에 적용하기 위한 액정표시장치 검사용 기판에 대하여 설명하면 다음과 같다.
액정패널의 제조공정은 화소 및 박막트랜지스터 형성을 동반하는 제 1 기판제조공정과, 컬러필터(color filter)의 형성을 동반하는 제 2 기판제조공정, 그리고 양 기판 사이로 액정을 개재하는 액정셀 공정을 포함한다.
이중 제 1 기판제조공정은 투명절연기판 상에 절연체, 반도체 또는 전도체 박막을 형성하는 박막증착공정과, 이를 패터닝(patterning)하는 식각 공정을 반복하여 다수 포함하고, 일련의 공정을 통해 각 화소와 박막트랜지스터를 형성한다.
이때 공정효율의 향상을 위해 대면적 투명절연기판을 대상으로 제 1 기판제조공정을 진행하면서, 상기 제 1 기판에 포함되는 구성요소를 포지션 별로 구분되도록 동시에 다수 형성할 수 있다. 그리고 마찬가지로 제 2 기판의 구성요소가 포지션별로 구분 형성된 또 다른 투명절연기판을 구비하여, 액정을 사이에 두고 서로 합착한다. 그리고 각 액정패널 별로 절단한다.
이때 양 기판의 합착 전, 제 1 기판의 이상유무를 확인하는 장비가 IPT-MPS 이다.
따라서 상기 기판은 IPS-MPS 검사용 기판이라고 할 수 있는데, 이하, 설명의 편의를 위해 제 1 기판의 구성요소가 포지션 별로 다수 형성된 투명절연기판을 어레이기판이라 하고, 이에 포함된 제 1 기판의 구성요소 각각의 군(群), 즉, 액정패널의 제 1 기판을 이루게 될 각각의 유닛(unit)을 어레이셀이라 한다.
일반적인 어레이기판은 다수의 어레이셀, 그리고 IPT-MPS 검사를 위한 다수 의 MPS 패드 및 MPS 배선을 포함한다.
도 1은 일반적인 IPT-MPS 검사용 기판, 즉 다수의 어레이셀을 포함하는 어레이기판의 평면도이다.
설명에 앞서, 이들 두 도면의 도면부호 앞에 부여된 A 또는 B 등은 어레이셀의 위치에 따른 구분표시로서, 이 구분표시와는 무관하게 동일 도면부호를 가지는 요소는 서로 동일한 역할 및 기능을 수행하는 동일부분이다. 따라서 특별한 언급이 없는 한 이 구분표시는 생략하고, 공통된 도면부호로만 설명한다.
일반적인 어레이기판은 포지션 별로 구분되는 다수의 어레이셀(10)을 포함하는 바, 각 어레이셀(10)은 표시영역(20)과, 이의 가장자리를 두르는 비표시영역(30)과, 이의 가장자리 일부를 두르는 패드영역(40)을 포함한다.
상기 표시영역(20)은 액정분자의 배열변화를 통해 원하는 화상을 실제 표시하는 부분으로, 다수의 게이트라인(22)과 데이터라인(26)이 종횡하며 매트릭스(matrix) 형태로 화소(P)를 정의한다. 그리고 이들 각 화소(P)에는 화소전극(59)이 대응되고, 게이트라인(22)과 데이터라인(26)의 교차점에는 각각 게이트라인(22)과 연결되는 게이트전극과, 데이터라인(26)과 연결되는 드레인전극과, 화소전극(59)과 연결되는 소스전극을 포함하는 박막트랜지스터(T)가 형성되어 있다.
상기 비표시영역(30)은 제 2 기판과의 합착을 위한 씰패턴(seal pattern) 등이 형성되는 부분으로, 화소가 형성되지 않아 표시능력을 갖지 못한다.
상기 패드영역(40)은 게이트라인(22) 및 데이터라인(26) 일측 말단과 각각 연결되는 다수의 게이트패드 및 데이터패드가 위치되는 부분으로, 특히 비표시영역 (30)의 일측 가장자리를 두르며 다수의 게이트패드를 수용하는 게이트패드영역(42)과, 이의 인접하는 비표시영역(30)의 가장자리를 두르며, 다수의 데이터패드를 수용하는 데이터패드영역(44)으로 구분될 수 있다.
이들 게이트패드와 데이터패드는 각각 외부의 구동회로와 연결되는 접속부위를 이룬다.
또, 어레이기판은 다수의 어레이셀(10)에 각각 복수개 구비되는 MPS 패드(50), 그리고 각 어레이셀(10)의 MPS 패드(50)를 통해서 게이트신호와 데이터신호와 공통전압과 접지전압 및 기타 다른 신호라인을 연결하는 복수개의 MPS 배선(60)을 포함하는 바, MPS 패드(50)는 IPT-MPS 검사장비와 연결되어 전압이 인가되는 인풋(input) 단자역할을 한다.
이들 다수의 MPS 패드(50)는 통상 기판의 대향하는 양측 가장자리를 따라 배열되는 것이 일반적이다.
상기 MPS 배선(60)은 이 MPS 패드(50)와 각 어레이셀(10)을 연결하는 부분으로, 특히 각 어레이셀(10)의 게이트패드와 데이터패드를 해당 MPS 패드(50)와 연결시킨다.
이때 각 MPS 패드(50)는 해당 어레이셀(10)의 게이트패드와 연결되는 적어도 하나 이상의 게이트 MPS 패드(52), 그리고 데이터패드를 통해 다수의 데이터라인과 연결되는 적어도 하나 이상의 데이터 MPS 패드(54)로 구분되고, MPS 배선(60) 역시 다수의 게이트패드를 통해 게이트라인을 게이트 MPS 패드(52)로 연결하는 적어도 하나 이상의 게이트 MPS 배선(62), 그리고 다수의 데이터패드를 데이터 MPS 패드 (54)로 연결하는 적어도 하나 이상의 데이터 MPS 배선(64)으로 구분된다.
이들 MPS 패드(50)와 MPS 배선(60)은 어레이셀(10)의 게이트라인(22) 및/또는 데이터라인(26)과 동일공정에서 동일재질로 형성될 수 있다.
상기와 같은 구성의 어레이기판을 검사대상으로 하는 IPT-MPS 검사장비는, 간단히 게이트 MPS 패드(52)로 제 1 전압을, 그리고 데이터 MPS 패드(54)로 제 2 전압을 인가하여 각 화소전극(59)에 나타나는 전기장의 세기를 빛의 신호로 변환한다. 그리고 이를 분석하여 각 화소(P)의 이상유무와, 게이트라인(22) 및 데이터라인(26)의 단선여부를 파악한다.
이때 제 1 전압은 박막트랜지스터(T)의 온/오프(on/off) 전압에 대응되고, 제 2 전압은 액정분자의 회전정도를 결정하는 기준전압에 대응될 수 있다.
한편, 이와 같이 IPT-MPS 검사를 마친 어레이기판은 적절한 후속공정에서 각 어레이셀(10) 별로 절단되는데, 다수의 MPS 패드(50) 및 MPS 배선(60)도 이와 동일한 단계에서 제거된다.
즉, MPS 패드(50)와 MPS 배선(60)은 ITP-MPS 검사를 위한 것일 뿐, 그 외 아무런 역할을 하지 못한다. 따라서 적절한 공정에서 제거되어야 하는데, 이를 위한 별도의 공정을 추가하는 대신, 각 액정패널 별로 구분되도록 절단하는 스크라이브(scribe) 공정에서 동시에 제거될 수 있다.
이를 위해 통상 다수의 어레이셀(10)은 상하좌우로 일정정도 간격을 두며 이격되어 있고, 각각의 MPS 배선(60)은 이 어레이셀(10)들 사이로 지나가게 된다. 좀 더 자세히, 다수의 어레이셀(10)은 종횡으로 정렬되는데, 각각의 MPS 배선(60)이 형성될 수 있도록 횡방향의 이웃하는 어레이셀과 L1 의 간격을 유지한다. 이 L1 영역은 MPS 배선(60)이 지나는 배선영역이 된다.
그리고 각 어레이셀(10)의 게이트패드영역(42) 및 데이터패드영역(44)은 동일한 방향을 향하는 것이 일반적이다.
따라서 스크라이브 공정에서 어레이기판은 각 어레이셀(10) 별로 분리되는 바, 게이트패드영역(42) 및 데이터패드영역(44)과 노출된 비표시영역(30)의 가장자리를 두르는 선을 따라 각각 절단됨에 따라, 다수의 MPS 패드(50) 및 MPS 배선(60)이 제거된다.
상기와 같은 구성을 갖는 액정표시장치의 검사용 기판에서, 상기 게이트 MPS 배선(62)과 데이터 MPS 배선(64)은 각 어레이셀(10)로 부터 각각 게이트 MPS 패드(52)와 데이터 MPS 패드(54)에 연결되어 있는데, 이때 'C'영역과 같이 게이트 MPS 배선(62)과 데이터 MPS 배선(64)이 서로 오버랩되는 영역이 발생하게 된다.
이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 액정표시장치의 검사용 기판에 대하여 설명하면 다음과 같다.
상기 'C'영역을 데이터 MPS 배선을 따라 잘라서 평면과 단면으로 나타내어 설명한다. 그리고 명칭별 도면 부호는 도 1과 달리하여 설명한다.
본 발명에 적용하기 위한 액정표시장치의 검사용 기판은, 도 1과 도 3a와 도 3b에 도시한 바와 같이, 기판(300)상에 게이트 MPS 배선(322)이 일방향으로 배열되어 있고, 상기 게이트 MPS 배선(322)을 포함한 상부에 게이트 절연막(323)이 형성되어 있고, 상기 게이트절연막(323) 상에 상기 게이트 MPS 배선(322) 인접부분에서 일정간격 격리되어 있는 제 1, 제 2 데이터 MPS 배선 패턴(326a, 326b)이 있다.
그리고 상기 제 1, 제 2 데이터 MPS 배선 패턴(326a, 326b)의 일영역에 각각 복수개의 콘택홀(329)들이 형성된 보호막(327)이 있고, 상기 보호막(327) 상에 상기 콘택홀(329)을 통해서 제 1, 제 2 데이터 MPS 배선 패턴(326a, 326b)을 연결하도록 투명 도전막(328)이 형성되어 있다.
상기에서 제 1, 제 2 데이터 MPS 배선 패턴(326a, 326b)과 투명 도전막(328)이 데이터 MPS 배선 역할을 한다.
게이트 MPS 배선은 구리(Cu), Al, AlNd, Mo과 같은 도전성 물질중 어느 하나 또는 합금으로 구성된다.
그리고 투명 도전막(328)은 인듐주석산화물(Indium Tin Oxide : ITO), 주석산화물(Tin Oxide : TO), 인듐아연산화물(Indium Zinc Oxide : IZO) 또는 인듐주석아연산화물(Indium Tin Zinc Oxide:ITZO)로 구성될 수 있다.
상기와 같이, 게이트 MPS 배선과 데이터 MPS 배선이 교차하는 부분에서, 데이터 MPS 배선을 격리하여 제 1, 제 2 데이터 MPS 패턴을 구성하고, 투명 도전막으로 제 1, 제 2 데이터 MPS 패턴을 연결하면, 보호막(327)에 포토 공정을 진행할 경우 게이트 MPS 배선(322)과 제 1, 제 2 데이터 MPS 배선 패턴(326a, 326b)이 격리되어 일정 간격을 이루므로 인접 부분에서 정전기가 발생하는 것을 방지하여 MPS 배선을 통해 정확한 MPS 검사를 진행할 수 있게 된다.
이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술 사상을 이탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다.
따라서, 본 발명의 기술 범위는 상기 실시예에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라, 특허 청구의 범위에 의하여 정해져야 한다.
상기와 같은 본 발명에 따른 액정표시장치의 검사용 기판은 다음과 같은 효과가 있다.
첫째, 게이트 MPS 배선과 데이터 MPS 배선이 교차하는 부분에서, 데이터 MPS 배선을 격리하여 제 1, 제 2 데이터 MPS 패턴을 구성하고, 투명 도전막으로 제 1, 제 2 데이터 MPS 패턴을 연결하면, 교차되는 경계영역에서 정전기가 발생하는 것을 방지할 수 있다. 따라서 안정적으로 MPS 검사를 진행하는 것이 가능하다.
둘째, 상기와 같이 정전기 발생에 따른 문제를 방지할 수 있으므로 수율을 향상시킬 수 있다는 효과가 있다.

Claims (5)

  1. 어레이기판에 배치된 다수의 어레이셀과;
    상기 어레이셀에 인접한 부분에 복수개 구비되는 MPS 패드와;
    상기 어레이셀의 상기 MPS 패드를 통해서 게이트신호와 데이터신호 및 공통전압과 접지전압 및 기타 다른 신호라인을 연결하는 복수개의 MPS 배선을 포함하는 액정표시장치의 검사용 기판에 있어서,
    해당 어레이셀의 게이트패드를 통해 다수의 게이트라인과 연결되며, 상기 어레이기판의 상측 가장자리를 따라 배열되고, 상기 어레이기판의 하측 가장자리를 따라 배열되는 적어도 하나 이상의 게이트 MPS 패드와;
    해당 어레이셀의 데이터패드를 통해 다수의 데이터라인과 연결되며, 상기 어레이기판의 상측 가장자리를 따라 배열되고, 상기 어레이기판의 하측 가장자리를 따라 배열되는 적어도 하나 이상의 데이터 MPS 패드와;
    상기 게이트 MPS 패드와 접속되어 해당 어레이셀의 일측에서 게이트 라인과 평행한 방향으로 배치되며, 상기 게이트 MPS 패드와 다수의 게이트 패드와 접속할 수 있도록 해당 어레이셀의 하측에서 다수의 게이트 패드와 접속되는 게이트 MPS 배선과;
    상기 게이트 MPS 배선을 포함한 상기 어레이기판 상에 형성된 게이트절연막과;
    상기 게이트절연막 상에 상기 게이트 MPS 배선과 인접 부분에서 일정간격 격리되어 있는 제 1, 제 2 데이터 MPS 배선 패턴과;
    상기 제 1, 제 2 데이터 MPS 배선 패턴의 일영역이 드러나도록 콘택홀이 형성된 보호막과;
    상기 콘택홀을 통해서 상기 제 1, 제 2 데이터 MPS 배선 패턴을 연결하도록 상기 보호막 상에 형성되며, 상기 게이트 MPS 배선과 인접한 부분에서 일정간격 격리된 영역 및 상기 제1 및 제2 데이터 MPS 배선 패턴을 덮도록 형성된 투명 도전막과;
    상기 제 1, 제 2 데이터 MPS 배선 패턴과 상기 투명 도전막이 데이터 MPS 배선을 포함하며,
    상기 제 1, 제 2 데이터 MPS 배선은 해당 어레이셀의 측면에서 다수의 데이터 패드와 접속되며, 상기 제 1 데이터 MPS 배선은 상기 어레이기판의 상측 가장자리에 배치된 상기 데이터 MPS 패드와 접속되어 해당 어레이셀의 일측에서 상기 게이트 MPS 배선과 평행한 방향으로 배치되며, 상기 제 2 데이터 MPS 배선은 상기 어레이기판의 하측 가장자리에 배치된 상기 데이터 MPS 패드와 접속되어 해당 어레이셀의 일측에서 상기 게이트 MPS 배선과 평행한 방향으로 배치되며,
    해당 어레이셀 각각에는 상기 게이트 MPS 배선과 상기 투명 도전막이 중첩되는 영역이 하나의 영역에만 존재하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 검사용 기판.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 게이트 MPS 배선은 구리(Cu), Al, AlNd, Mo과 같은 도전성 물질중 어느 하나 또는 합금으로 구성됨을 특징으로 하는 액정표시장치의 검사용 기판.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 투명 도전막은 인듐주석산화물(Indium Tin Oxide : ITO), 주석산화물(Tin Oxide : TO), 인듐아연산화물(Indium Zinc Oxide : IZO) 또는 인듐주석아연산화물(Indium Tin Zinc Oxide:ITZO)로 구성됨을 특징으로 하는 액정표시장치의 검사용 기판.
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