KR100871994B1 - 다수의 어레이셀을 포함하는 아이피티엠피에스 검사용 기판 - Google Patents

다수의 어레이셀을 포함하는 아이피티엠피에스 검사용 기판 Download PDF

Info

Publication number
KR100871994B1
KR100871994B1 KR1020020088342A KR20020088342A KR100871994B1 KR 100871994 B1 KR100871994 B1 KR 100871994B1 KR 1020020088342 A KR1020020088342 A KR 1020020088342A KR 20020088342 A KR20020088342 A KR 20020088342A KR 100871994 B1 KR100871994 B1 KR 100871994B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
mps
pad
gate
data
display area
Prior art date
Application number
KR1020020088342A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20040062030A (ko
Inventor
김정록
강경규
정요한
남명우
신재득
Original Assignee
엘지디스플레이 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지디스플레이 주식회사 filed Critical 엘지디스플레이 주식회사
Priority to KR1020020088342A priority Critical patent/KR100871994B1/ko
Publication of KR20040062030A publication Critical patent/KR20040062030A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100871994B1 publication Critical patent/KR100871994B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1306—Details
    • G02F1/1309—Repairing; Testing
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1345—Conductors connecting electrodes to cell terminals
    • G02F1/13458—Terminal pads
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/136—Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/136—Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
    • G02F1/1362—Active matrix addressed cells
    • G02F1/136254—Checking; Testing
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F2203/00—Function characteristic
    • G02F2203/69—Arrangements or methods for testing or calibrating a device

Abstract

본 발명은 각각 표시영역과, 상기 표시영역의 가장자리를 두르는 비표시영역과, 상기 비표시영역의 가장자리 일부를 두르는 패드영역을 포함하는 다수의 어레이셀과, 상기 어레이셀과 동수로 구비되는 MPS 패드와, 상기 MPS 패드와 상기 어레이셀을 각각 일대일 대응 연결하는 MPS 배선을 포함하는 IPT-MPS 검사용 기판에 있어서, 상기 어레이셀의 상기 각 패드영역은, 상기 해당 MPS 패드와 각각 마주보도록 소정간격 이격되어 배열되는 IPT-MPS 검사용 기판을 제공한다.

Description

다수의 어레이셀을 포함하는 아이피티엠피에스 검사용 기판{Substrate having multi array cells for IPT-MPS Inspection}
도 1은 일반적인 IPT-MPS 검사용 기판의 평면도
도 2는 도 1의 일부에 대한 확대도
도 3은 본 발명에 따른 IPT-MPS 검사용 기판의 평면도
도 4는 도 3의 일부에 대한 확대도
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
A100, B100 : 어레이셀 A120, B120 : 표시영역
A130, B130 : 비표시영역 A140, B140 : 패드영역
A142, B142 : 게이트패드영역 B144, B144 : 데이터패드영역
A150, A150 : MPS 패드 A160, 160 : MPS 배선
A162, B162 : 게이트 MPS 배선 A164, B164 : 데이터 MPS 배선
본 발명은 IPT-MPS(In Process Test Multi Pattern Search) 검사용 기판에 관한 것으로, 좀더 자세하게는 다수의 어레이셀(array cell) 및 MPS 패드와, 이들을 각각 일대일 대응 연결하는 MPS 배선을 포함하는 IPT-MPS 검사용 어레이기판에 관한 것이다.
액정표시장치는 핵심적인 부품으로 액정패널(liquid crystal display panel)을 포함한다.
액정패널은 사용자에게 보여지는 화상을 디스플레이하는 부분으로서, 광학적 이방성과 분극성질을 띠는 액정층, 그리고 이를 사이에 두고 대향하는 제 1 및 제 2 기판을 포함한다.
이때 양 기판의 마주보는 면으로는 각각 전계생성전극이 형성되고, 이들 두 전극간의 전압차를 통해 그 사이에 개재된 액정분자들의 배열방향을 인위적으로 제어한다. 그리고 이때 변화되는 빛의 투과율로 여러 가지 화상을 표시한다.
근래에는 스위칭소자를 사용하여 액정패널의 각 화소(pixel)를 독립적으로 제어하는 능동행렬(Active-Matrix) 방식이 널리 사용되는데, 특히 스위칭 소자로 박막트랜지스터(Thin Film Transistor : TFT)를 사용한 것이 잘 알려진 박막트랜지스터형 액정표시장치(TFT-LCD)이다.
액정패널의 제조공정은 화소 및 박막트랜지스터 형성을 동반하는 제 1 기판제조공정과, 컬러필터(color filter)의 형성을 동반하는 제 2 기판제조공정, 그리고 양 기판 사이로 액정을 개재하는 액정셀 공정을 포함한다.
이중 제 1 기판제조공정은 투명절연기판 상에 절연체, 반도체 또는 전도체 박막을 형성하는 박막증착공정과, 이를 패터닝(patterning)하는 식각 공정을 반복하여 다수 포함하고, 일련의 공정을 통해 각 화소와 박막트랜지스터를 형성한다.
이때 공정효율의 향상을 위해 대면적 투명절연기판을 대상으로 제 1 기판제조공정을 진행하면서, 상기 제 1 기판에 포함되는 구성요소를 포지션 별로 구분되도록 동시에 다수 형성할 수 있다. 그리고 마찬가지로 제 2 기판의 구성요소가 포지션별로 구분 형성된 또 다른 투명절연기판을 구비하여, 액정을 사이에 두고 서로 합착한다. 그리고 각 액정패널 별로 절단한다.
이때 양 기판의 합착 전, 제 1 기판의 이상유무를 확인하는 장비가 IPT-MPS 이다.
따라서 상기 기판은 IPS-MPS 검사용 기판이라고 할 수 있는데, 이하, 설명의 편의를 위해 제 1 기판의 구성요소가 포지션 별로 다수 형성된 투명절연기판을 어레이기판이라 하고, 이에 포함된 제 1 기판의 구성요소 각각의 군(群), 즉, 액정패널의 제 1 기판을 이루게 될 각각의 유닛(unit)을 어레이셀이라 한다.
일반적인 어레이기판은 다수의 어레이셀, 그리고 IPT-MPS 검사를 위한 다수의 MPS 패드 및 MPS 배선을 포함한다.
도 1은 일반적인 IPT-MPS 검사용 기판, 즉 다수의 어레이셀을 포함하는 어레이기판의 평면도이고, 도 2는 이중 임의의 어레이셀 및 이와 인접한 다른 어레이셀의 일부를 확대 도시한 도면이다.
설명에 앞서, 이들 두 도면의 도면부호 앞에 부여된 A 또는 B 등은 어레이셀 의 위치에 따른 구분표시로서, 이 구분표시와는 무관하게 동일 도면부호를 가지는 요소는 서로 동일한 역할 및 기능을 수행하는 동일부분이다. 따라서 특별한 언급이 없는 한 이 구분표시는 생략하고, 공통된 도면부호로만 설명한다.
일반적인 어레이기판은 포지션 별로 구분되는 다수의 어레이셀(10)을 포함하는 바, 각 어레이셀(10)은 표시영역(20)과, 이의 가장자리를 두르는 비표시영역(30)과, 이의 가장자리 일부를 두르는 패드영역(40)을 포함한다.
상기 표시영역(20)은 액정분자의 배열변화를 통해 원하는 화상을 실제 표시하는 부분으로, 다수의 게이트라인(22)과 데이터라인(26)이 종횡하며 매트릭스(matrix) 형태로 화소(P)를 정의한다. 그리고 이들 각 화소(P)에는 화소전극(59)이 대응되고, 게이트라인(22)과 데이터라인(26)의 교차점에는 각각 게이트라인(22)과 연결되는 게이트전극과, 데이터라인(26)과 연결되는 드레인전극과, 화소전극(59)과 연결되는 소스전극을 포함하는 박막트랜지스터(T)가 형성되어 있다.
상기 비표시영역(30)은 제 2 기판과의 합착을 위한 씰패턴(seal pattern) 등이 형성되는 부분으로, 화소가 형성되지 않아 표시능력을 갖지 못한다.
상기 패드영역(40)는 게이트라인(22) 및 데이터라인(26) 일측 말단과 각각 연결되는 다수의 게이트패드(24) 및 데이터패드(28)가 위치되는 부분으로, 특히 비표시영역(30)의 일측 가장자리를 두르며 다수의 게이트패드(24)를 수용하는 게이트패드영역(42)과, 이의 인접하는 비표시영역(30)의 가장자리를 두르며, 다수의 데이터패드(28)를 수용하는 데이터패드영역(44)으로 구분될 수 있다.
이들 게이트패드(24)와 데이터패드(28)는 각각 외부의 구동회로와 연결되는 접속부위를 이룬다.
또, 어레이기판은 다수의 어레이셀(10)과 동수로 구비되는 MPS 패드(50), 그리고 각 어레이셀(10)과 MPS 패드(50)를 일대일 대응 연결하는 MPS 배선(60)을 포함하는 바, MPS 패드(50)는 IPT-MPS 검사장비와 연결되어 전압이 인가되는 인풋(input) 단자역할을 한다.
이들 다수의 MPS 패드(50)는 통상 기판의 대향하는 양 측 가장자리를 따라 배열되는 것이 일반적이다.
상기 MPS 배선(60)은 이 MPS 패드(50)와 각 어레이셀(10)을 일대일 대응 연결하는 부분으로, 특히 각 어레이셀(10)의 게이트패드(24)와 데이터패드(28)를 해당 MPS 패드(50)와 연결시킨다.
이때 각 MPS 패드(50)는 해당 어레이셀(10)의 게이트패드(24)와 연결되는 적어도 하나 이상의 게이트 MPS 패드(52), 그리고 데이터패드(28)와 연결되는 적어도 하나 이상의 데이터 MPS 패드(54)로 구분되고, MPS 배선(60) 역시 다수의 게이트패드(24)를 게이트 MPS 패드(52)로 연결하는 적어도 하나 이상의 게이트 MPS 배선(62), 그리고 다수의 데이터패드(28)를 데이터 MPS 패드(54)로 연결하는 적어도 하나 이상의 데이터 MPS 배선(64)으로 구분된다.
이들 MPS 패드(50)와 MPS 배선(60)은 어레이셀(10)의 게이트라인(22) 및/또는 데이터라인(26)과 동일공정에서 동일재질로 형성될 수 있다.
상기와 같은 구성의 어레이기판을 검사대상으로 하는 IPT-MPS 검사장비는, 간단히 게이트 MPS 패드(52)로 제 1 전압을, 그리고 데이터 MPS 패드(54)로 제 2 전압을 인가하여 각 화소전극(59)에 나타나는 전기장의 세기를 빛의 신호로 변환한다. 그리고 이를 분석하여 각 화소(P)의 이상유무와, 게이트라인(22) 및 데이터라인(26)의 단선여부를 파악한다.
이때 제 1 전압은 박막트랜지스터(T)의 온/오프(on/off) 전압에 대응되고, 제 2 전압은 액정분자의 회전정도를 결정하는 기준전압에 대응될 수 있다.
한편, 이와 같이 IPT-MPS 검사를 마친 어레이기판은 적절한 후속공정에서 각 어레이셀(10) 별로 절단되는데, 다수의 MPS 패드(50) 및 MPS 배선(60)도 이와 동일한 단계에서 제거된다.
즉, MPS 패드(50)와 MPS 배선(60)은 ITP-MPS 검사를 위한 것일 뿐, 그 외 아무런 역할을 하지 못한다. 따라서 적절한 공정에서 제거되어야 하는데, 이를 위한 별도의 공정을 추가하는 대신, 각 액정패널 별로 구분되도록 절단하는 스크라이브(scribe) 공정에서 동시에 제거될 수 있다.
이를 위해 통상 다수의 어레이셀(10)은 상하좌우로 일정정도 간격을 두며 이격되어 있고, 각각의 MPS 배선(60)은 이 어레이셀(10)들 사이로 지나가게 된다. 좀 더 자세히, 다수의 어레이셀(10)은 종횡으로 정렬되는데, 각각의 MPS 배선(60)이 형성될 수 있도록 횡방향의 이웃하는 어레이셀과 L1 의 간격을 유지한다. 이 L1 영역은 MPS 배선(60)이 지나는 배선영역이 된다.
그리고 각 어레이셀(10)의 게이트패드영역(42) 및 데이터패드영역(44)은 동일한 방향을 향하는 것이 일반적이다.
따라서 스크라이브 공정에서 어레이기판은 각 어레이셀(10) 별로 분리되는 바, 게이트패드영역(42) 및 데이터패드영역(44)과 노출된 비표시영역(30)의 가장자리를 두르는 S-S' 선을 따라 각각 절단됨에 따라, 다수의 MPS 패드(50) 및 MPS 배선(60)이 제거된다.
그러나 전술한 구성의 일반적인 어레이기판은 어레이셀(10)의 배치에 따라 몇 가지 문제점이 나타날 수 있는데, 그 중 하나가 인접하는 어레이셀(10)과의 간격이 충분하지 않을 경우, MPS 배선(60)을 위한 영역을 확보할 수 없는 것이다.
도면을 참조하면, 각 어레이셀(10)의 게이트패드(42)와 데이터패드(44)가 동일한 방향을 향하고, 다수의 MPS 패드(50)가 기판의 대향하는 양 가장자리에 배열되는 일반적인 방법에서는, 필연적으로 일부의 어레이셀(10)들 사이로는 게이트 MPS 배선(62) 및 데이터 MPS 배선(64)이 모두 지나가게 된다.
설명의 편의를 위해, 도 1의 상단 횡방향으로 늘어선 어레이셀 들의 열을 제 1 행이라 하고, 이중 선택된 하나의 어레이셀 및 이의 구성요소와, 이에 대응되는 MPS 패드 및 MPS 배선을 나타내는 도면부호 앞에 A 라는 구분표시를 부여하였다. 그리고 마찬가지로 하단 횡방향으로 늘어선 어레이셀 들의 열을 제 2 행이라 하고, 이중 선택된 하나의 어레이셀 및 이의 구성요소와, 이에 대응되는 MPS 패드 및 MPS 배선을 나타내는 도면부호 앞에 B 라는 구분표시를 부여하여 설명한다. 이는 도 2도 마찬가지로 적용되는데, 도 2는 제 1 행의 임의의 선택된 어레이셀 및 이와 인접한 어레이셀의 일부를 도시한 확대도가 된다.
특히 A 또는 B 등의 구분표시와 무관하게 동일한 도면부호를 가지는 요소는 그 기능 및 역할에서 동일함은 앞서 언급한 바 있다.
이를 참조하면, 제 1 행의 어레이셀(A10)은 이웃하는 어레이셀과의 사이 간격 L1으로 상기 어레이셀(A10)의 게이트 MPS 배선(A62) 및 데이터 MPS 배선(A64)이 모두 지나가는 반면, 제 2 행의 어레이셀(B10)은 이웃하는 어레이셀과의 사이 간격 L1으로 데이터 MPS 배선(B64) 만이 지나게 된다.
이는 각 어레이셀(A10, B10)들의 배열방향 및 MPS 패드(A50, B50)의 위치에 의한 것이므로 일견하면 당연하다 할 수 있는데, 이로 인해 각 어레이셀(A10, B10)들 사이로 지나는 MPS 배선(A60, B60)의 수가 달라지는 결과가 나타난다.
그러나 상기 어레이셀(A10, B10)들과 각각 이웃하는 어레이셀과의 간격 L1 이 충분하지 못할 경우, 특히 제 1 행에 대응되는 어레이셀(A10)들 사이로 게이트 MPS 배선(A62) 및 데이터 MPS 배선(A64)이 모두 지날 수 있을 정도의 공간이 확보되지 못할 수 있다.
이와 달리 비록 L1 간격이 일정이상 확보된다 하더라도, 제 1 행에 대응되는 어레이셀(A10)과 이웃하는 어레이셀 사이로 형성되는 MPS 배선(A60)은, 제 2 행에 대응되는 어레이셀(B10)과 이웃하는 어레이셀 사이로 형성되는 MPS 배선(B60)보다 상대적으로 두 배에 가깝게 밀집된다.
따라서 이 부분을 지나는 게이트 MPS 배선(A62) 및 데이터 MPS 배선(A64) 간의 단락(short) 가능성이 크다.
이상에서 언급한 문제점은 각 어레이셀(10)의 데이터패드(42) 및 게이트패드(44)가 동일방향을 향하는 한 피할 수 없는 현상으로, 도 1에 있어 각각의 어레이셀(10) 들을 90°단위로 회전시켜가면서 비교하면 쉽게 이해될 수 있을 것이다.
한편, 근래에 들어 하나의 어레이기판에 포함되는 각 어레이셀이 서로다른 사이즈(size)를 가지는 혼합배치방법이 사용되기도 하는데, 전술한 문제점은 혼합배치방법에 있어 보다 심각하게 나타날 수 있다.
즉, 별도의 도면을 제시하지는 않았지만, 그 크기가 한정되어 있는 기판 상에 상대적으로 더 큰 사이즈의 어레이셀이 배열된다면 전술한 문제점은 보다 쉽게 나타날 수 있고, 특히 이들 더 큰 사이즈의 어레이셀이 제 1 행에 배열된다면 더욱 심화될 것이다.
본 발명은 상기와 같은 문제를 해결하기 위해 안출한 것으로, 각 어레이셀과 MPS 패드의 신뢰성 있는 연결을 가능하게 하는 어레이셀을 제공하는 것을 특징으로 한다.
본 발명은 상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 각각 표시영역과, 상기 표시영역의 가장자리를 두르는 비표시영역과, 상기 비표시영역의 가장자리 일부를 두르는 패드영역을 포함하는 다수의 어레이셀과, 상기 어레이셀과 동수로 구비되는 MPS 패드와, 상기 MPS 패드와 상기 어레이셀을 각각 일대일 대응 연결하는 MPS 배선을 포함하는 IPT-MPS 검사용 기판에 있어서, 상기 어레이셀의 상기 각 패드영역 은, 상기 해당 MPS 패드와 각각 마주보도록 소정간격 이격되어 배열되는 IPT-MPS 검사용 기판을 제공한다. 이때 상기 표시영역에는, 종횡하는 다수의 게이트라인 및 데이터라인으로 정의되는 화소가 형성되고, 상기 패드영역은, 상기 다수의 게이트라인 일측 말단에 각각 연결되는 다수의 게이트패드를 수용하도록 상기 비표시영역의 제 1 측 가장자리에 연접하는 게이트패드영역과, 상기 다수의 데이터라인 일측 말단에 각각 연결되는 다수의 데이터패드를 수용하도록 상기 비표시영역의 제 1 측 가장자리와 인접한 제 2 측 가장자리에 연접하는 데이터패드영역으로 구분되며, 상기 각 MPS 패드는, 적어도 하나 이상의 게이트 MPS 패드 및 데이터 MPS 패드로 구분되고, 상기 각 MPS 배선은, 상기 각 어레이셀의 게이트패드와 상기 게이트 MPS 패드를 연결하는 적어도 하나 이상의 게이트 MPS 배선과, 상기 데이터패드와 상기 데이터 MPS 패드를 연결하는 적어도 하나 이상의 데이터 MPS 배선을 포함하는 것을 특징으로 한다. 또 상기 다수의 MPS 패드는 상기 기판의 대향하는 양 측 모서리에 배열되고, 상기 각 어레이셀의 게이트패드영역 또는 데이터패드영역 중 하나는 상기 해당 MPS 패드와 마주보도록 소정간격 이격되어 배열되는 것을 특징으로 한다.
또한 본 발명은 각각, 종횡하는 다수의 게이트라인 및 데이터라인으로 화소가 정의되는 표시영역과, 상기 표시영역의 가장자리를 두르는 비표시영역과, 상기 다수의 게이트라인 일측 말단에 각각 연결되는 다수의 게이트패드를 수용하도록 상기 비표시영역 제 1 측 가장자리에 연접하는 게이트패드영역과, 상기 다수의 데이터라인 일측 말단에 각각 연결되는 다수의 데이터패드를 수용하도록 상기 비표시영역의 제 1 가장자리와 인접한 제 2 측 가장자리에 연접하는 데이터패드영역을 포함 하는, 서로 다른 크기의 어레이셀과; 상기 어레이셀과 동수로 구비되어 각각 상기 어레이셀의 게이트패드영역 또는 데이터패드영역과 마주보도록 소정간격 이격되어 배열되며, 각각 적어도 하나 이상의 게이트 MPS 패드 및 데이터 MPS 패드로 구분되는 MPS 패드와, 상기 각 어레이셀의 게이트패드와, 상기 게이트패드에 대응되는 상기 게이트 MPS 패드를 연결하는 적어도 하나 이상의 게이트 MPS 배선과, 상기 데이터패드와, 상기 데이터패드와 대응되는 상기 데이터 MPS 패드를 연결하는 적어도 하나 이상의 데이터 MPS 배선으로 구분되는 MPS 배선을 포함하는 IPT-MPS 검사용 기판을 제공하는 바, 이하 본 발명의 올바른 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명한다.
도 3은 본 발명에 따른 어레이기판의 평면도이고, 도 4는 이중 임의로 선택된 하나의 어레이셀 및 이와 인접한 다른 어레이셀들의 일부를 확대하여 도시한 확대도이다.
이때 두 도면의 도면부호 앞에 부여된 A 또는 B 등은 어레이셀의 위치에 따른 구분표시로서, 이와 무관하게 동일 도면부호를 가지는 요소는 서로 동일한 역할 및 기능을 수행하는 동일부분이다. 따라서 특별한 언급이 없는 한 이 구분표시는 생략하고, 공통된 도면부호로만 설명함을 밝혀둔다.
도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 어레이기판은 다수의 어레이셀(100), 그리고 이와 동수로 구비되는 MPS 패드(150)와, 각 어레이셀(100)과 MPS 패드(150)를 일대일 대응 연결하는 MPS 배선(160)을 포함한다.
먼저 각 어레이셀(100)은 표시영역(120)과, 이의 가장자리를 두르는 비표시 영역(130)과, 이의 일부 가장자리를 두르는 패드영역(140)을 포함한다.
상기 표시영역(120)에는 종횡하는 다수의 게이트라인(122) 및 데이터라인(126)이 매트릭스 형태로 정의하는 다수의 화소(P)가 존재한다. 또 이들 각 화소(P)에는 화소전극(159)이 대응되고, 게이트라인(122)과 데이터라인(126)의 교차점에는 박막트랜지스터(T)가 형성된다.
각 박막트랜지스터(T)는 게이트라인(122)에 연결되는 게이트전극과, 데이터라인(126)에 연결되는 소스전극과, 화소전극(159)에 연결되는 드레인전극을 포함하는 바, 게이트라인(122)으로 인가되는 제 1 전압에 의해 온/오프 동작을 하면서, 데이터라인(126)으로 인가되는 제 2 전압을 화소전극(159)에 접속하는 스위치 역할을 한다.
상기 비표시영역(130)은, 어레이기판의 각 어레이셀(100)과 대응되는 컬러필터가 형성된 제 2 기판과 합착을 위한 씰패턴 등이 형성되는 부분으로, 화소(P)가 형성되지 않으므로 화상표시능력이 없다.
상기 패드영역(140)은 게이트라인(122) 일측 말단과 각각 연결되는 다수의 게이트패드(124), 그리고 데이터라인(126) 일측 말단과 각각 연결되는 다수의 데이터패드(128)가 위치되는 부분으로, 다수의 게이트패드(142)를 수용하면서 비표시영역(130)의 일측 가장자리를 두르는 게이트패드영역(142)과, 비표시영역(130)의 인접한 다른 가장자리를 두르는 데이터패드영역(144)으로 구분될 수 있다.
이때 게이트패드(124)와 데이터패드(128)는 각각 외부의 구동회로와 연결되는 접속부분으로서, 게이트패드(124)를 통해서 제 1 전압이 인가되어 다수의 게이 트라인(122) 각각으로 전달되며, 데이터패드(128)를 통해서는 제 2 전압이 인가되어 다수의 데이터라인(126) 각각으로 전달된다.
그리고 본 발명에 따른 어레이기판에는 다수의 어레이셀(100)과 동수로 구비되는 MPS 패드(150), 그리고 각 어레이셀(100)과 MPS 패드(150)를 일대일 대응 연결하는 MPS 배선(160)을 포함한다.
상기 MPS 패드(150)는 IPT-MPS 검사장비를 통해 전압이 인가되는 인풋단자로서, 바람직하게는 어레이기판의 대향하는 양 측 가장자리를 따라 각 어레이셀(100)에 대응되도록 배열되고, 특히 각 MPS 패드(150)는 해당 어레이셀(100)의 게이트패드(124)와 연결되는 적어도 하나 이상의 게이트 MPS 패드(152), 그리고 데이터패드(128)와 연결되는 적어도 하나 이상의 데이터 MPS 패드(154)로 구분될 수 있다.
상기 MPS 배선(160)은 각 MPS 패드(150)와 어레이셀(100)을 일대일 대응 연결하는 부분으로, 좀더 자세하게는 해당 어레이셀(100)의 게이트패드(124)를 게이트 MPS 패드(152)로 연결하는 적어도 하나 이상의 게이트 MPS 배선(162), 그리고 해당 데이터패드(128)를 데이터 MPS 패드(154)로 연결하는 적어도 하나 이상의 데이터 MPS 배선(164)을 구분될 수 있다.
이들 MPS 패드(150) 및 MPS 배선(160)은 어레이셀(100)의 게이트라인(122) 및/또는 데이터라인(126)과 동일공정에서 동일재질로 형성될 수 있다.
상술한 구성의 어레이기판을 검사대상으로 하는 IPT-MPS 검사장비는, 게이트 MPS 패드(152)로 제 1 전압을 인가하여 게이트 MPS 배선(162)을 통해 게이트패드(124) 및 각 게이트라인(122)으로 전달하고, 데이터 MPS 패드(152)로 제 2 전압을 인가하여 데이터 MPS 배선(164)을 통해 데이터패드(128) 및 각 데이터라인(126)으로 전달한다.
따라서 제 1 전압에 의해 각 박막트랜지스터(T)가 온/오프 동작을 하면서 해당 화소전극(159)으로 제 2 전압을 접속시키고, 이에 각 화소전극(159)에서 나타나는 전기장의 세기가 변화된다. 그리고 이 전기장의 변화를 빛의 신호로 변환함으로서, 각 화소(P)의 이상유무와, 게이트라인(122) 및 데이터라인(126)의 단선여부를 용이하게 확인할 수 있도록 한다.
한편, 이상의 설명과 같은 본 발명에 따른 어레이기판은 그 기본적인 구성에 있어서 일반적인 경우와 특별히 차이나지 않는데, 본 발명은 특히 각 어레이셀(100)의 게이트패드영역(142) 또는 데이터패드영역(144) 중 하나와, 해당 MPS 패드(150)가 서로 마주보도록 인접하여 대응되는 것을 특징으로 한다.
간단히, 본 발명에 따른 어레이기판은 각 어레이셀(100) 사이로 각각 게이트 MPS 배선(162) 또는 데이터 MPS 배선(164) 중 어느 하나 만이 지나는 것을 특징으로 하는 바, 이를 위해 각 어레이셀(100)의 게이트패드영역 (142)또는 데이터패드(144)영역 중 하나와, 해당 MPS 패드(150)가 서로 근접하여 마주보고 있다.
도면을 참조하면, 각 어레이셀(100)의 게이트패드영역(142)이 각각 해당 MPS 패드(150)와 마주보고 있는데, 따라서 이웃하는 어레이셀과의 사이간격 L1 으로는 데이터패드(128)와 데이터 MPS 패드(154)를 연결하는 데이터 MPS 배선(164)만이 위 치된다.
설명의 편의를 위해, 도 3의 상단 횡방향의 어레이셀들이 이루는 열과, 이의 하단 횡방향의 어레이셀들이 이루는 열을 각각 제 1 행과 제 2 행이라 하고, 각 행에서 선택된 하나씩의 어레이셀 및 이의 구성요소와, 이에 대응되는 MPS 패드 및 MPS 배선을 나타내는 도면부호 앞에 각각 A, B 라는 구분표시를 부여하였다. 이는 도 4 역시 마찬가지로, 이는 제 1 행의 임의의 선택된 어레이셀(A100) 및 이와 인접한 어레이셀 일부를 도시한 확대도에 해당된다. 이때 A 또는 B 등의 구분표시와 무관하게 동일한 도면부호를 가지는 요소는 그 기능 및 역할에서 동일함은 앞서 언급한 바 있다.
이를 참조하면, 제 1 행과 제 2 행의 어레이셀(A100, B100)는 각각 이웃하는 어레이셀과의 사이 간격 L1으로, 해당 어레이셀(A100, B100)의 데이터 MPS 배선(A164, B164) 만이 지나고 있다.
따라서 비록 상기 어레이셀(A100, B100)들과 각각 이웃하는 어레이셀과의 간격 L1 이 충분하지 못하더라도, 최소한 데이터 MPS 배선(A164)을 위한 영역만큼은 확보될 수 있으므로, 어레이셀(A100, B100)의 위치에 구분없이 모두 해당 MPS 패드(A150, B150)와 신뢰성 있는 연결이 가능하다.
이때 비록 별도의 도면으로 표시하지는 않았지만, 본 발명은 각 어레이셀과 해당 MPS 패드와의 연결이 용이하게 하므로, 어레이기판 상에 서로 다른 사이즈의 어레이셀이 배열되는 혼합배치형모델에 적용될 경우 보다 효과적임을 쉽게 알 수 있을 것이다.
이러한 구성의 본 발명에 따른 어레이기판은, 후속되는 스크라이브 공정에서 각 어레이셀(100)의 게이트패드영역(142) 및 데이터패드영역(144)과, 노출된 비표시영역(130)의 가장자리를 두르는 선 S-S'을 따라 각각 절단됨에 따라, MPS 패드(150) 및 MPS 배선(160)은 전기적으로 단선 또는 제거될 수 있다.
이때 본 발명의 가장 큰 특징은 게이트패드영역 또는 데이터패드영역이 해당 MPS 패드와 마주보도록 배열되는 것에 있다. 따라서 이를 만족하는 구성은 얼마든지 변형 가능함을 쉽게 예상할 수 있다. 따라서 이들 변형예는 모두 본 발명의 권리범위 내에 속한다 해야 할 것이며, 본 발명의 범위는 이하의 권리청구범위를 통해서만 제한될 수 있다 할 것이다.
본 발명은 어레이기판에 배열되는 다수의 어레이셀 및 MPS 패드에 있어서, 이들간의 일대일 대응연결을 위한 MPS 배선영역을 충분히 확보할 수 있는 어레이기판을 제공한다.
이를 통해 각 어레이셀은 해당 MPS 패드와의 보다 용이하며, 신뢰성 있는 연결이 가능한 이점을 가진다.
특히 본 발명에 따른 어레이기판은, 하나의 기판 상에 서로 다른 사이즈의 어레이셀이 동시에 형성되는 혼합배치방법에 적용될 경우, 보다 탁월한 효과를 얻을 수 있다.

Claims (4)

  1. 각각 표시영역과, 상기 표시영역의 가장자리를 두르는 비표시영역과, 상기 비표시영역의 가장자리 일부를 두르는 패드영역을 포함하는 다수의 어레이셀과, 상기 어레이셀과 동수로 구비되는 MPS 패드와, 상기 MPS 패드와 상기 어레이셀을 각각 일대일 대응 연결하는 MPS 배선을 포함하는 IPT-MPS 검사용 기판에 있어서,
    상기 어레이셀의 상기 각 패드영역은,
    상기 해당 MPS 패드와 각각 마주보도록 소정간격 이격되어 배열되는 IPT-MPS 검사용 기판
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 표시영역에는, 종횡하는 다수의 게이트라인 및 데이터라인으로 정의되는 화소가 형성되고,
    상기 패드영역은, 상기 다수의 게이트라인 일측 말단에 각각 연결되는 다수의 게이트패드를 수용하도록 상기 비표시영역의 제 1 측 가장자리에 연접하는 게이트패드영역과, 상기 다수의 데이터라인 일측 말단에 각각 연결되는 다수의 데이터패드를 수용하도록 상기 비표시영역의 제 1 측 가장자리와 인접한 제 2 측 가장자리에 연접하는 데이터패드영역으로 구분되며,
    상기 각 MPS 패드는, 적어도 하나 이상의 게이트 MPS 패드 및 데이터 MPS 패 드로 구분되고,
    상기 각 MPS 배선은, 상기 각 어레이셀의 게이트패드와 상기 게이트 MPS 패드를 연결하는 적어도 하나 이상의 게이트 MPS 배선과, 상기 데이터패드와 상기 데이터 MPS 패드를 연결하는 적어도 하나 이상의 데이터 MPS 배선
    을 포함하는 IPT-MPS 검사용 기판
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 다수의 MPS 패드는 상기 기판의 대향하는 양 측 가장자리에 배열되고,
    상기 각 어레이셀의 게이트패드영역 또는 데이터패드영역 중 하나는 상기 해당 MPS 패드와 마주보도록 소정간격 이격되어 배열되는 IPT-MPS 검사용 기판
  4. 각각, 종횡하는 다수의 게이트라인 및 데이터라인으로 화소가 정의되는 표시영역과, 상기 표시영역의 가장자리를 두르는 비표시영역과, 상기 다수의 게이트라인 일측 말단에 각각 연결되는 다수의 게이트패드를 수용하도록 상기 비표시영역 제 1 측 가장자리에 연접하는 게이트패드영역과, 상기 다수의 데이터라인 일측 말단에 각각 연결되는 다수의 데이터패드를 수용하도록 상기 비표시영역의 제 1 가장자리와 인접한 제 2 측 가장자리에 연접하는 데이터패드영역을 포함하는 서로 다른 크기의 어레이셀과;
    상기 어레이셀과 동수로 구비되어 각각 상기 어레이셀의 게이트패드영역 또는 데이터패드영역과 마주보도록 소정간격 이격되어 배열되며, 각각 적어도 하나 이상의 게이트 MPS 패드 및 데이터 MPS 패드로 구분되는 MPS 패드와,
    상기 각 어레이셀의 게이트패드와, 상기 게이트패드에 대응되는 상기 게이트 MPS 패드를 연결하는 적어도 하나 이상의 게이트 MPS 배선과, 상기 데이터패드와, 상기 데이터패드와 대응되는 상기 데이터 MPS 패드를 연결하는 적어도 하나 이상의 데이터 MPS 배선으로 구분되는 MPS 배선
    을 포함하는 IPT-MPS 검사용 기판.
KR1020020088342A 2002-12-31 2002-12-31 다수의 어레이셀을 포함하는 아이피티엠피에스 검사용 기판 KR100871994B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020020088342A KR100871994B1 (ko) 2002-12-31 2002-12-31 다수의 어레이셀을 포함하는 아이피티엠피에스 검사용 기판

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020020088342A KR100871994B1 (ko) 2002-12-31 2002-12-31 다수의 어레이셀을 포함하는 아이피티엠피에스 검사용 기판

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20040062030A KR20040062030A (ko) 2004-07-07
KR100871994B1 true KR100871994B1 (ko) 2008-12-05

Family

ID=37353500

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020020088342A KR100871994B1 (ko) 2002-12-31 2002-12-31 다수의 어레이셀을 포함하는 아이피티엠피에스 검사용 기판

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100871994B1 (ko)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006091239A (ja) * 2004-09-22 2006-04-06 Seiko Epson Corp 電気光学装置用基板及び電気光学装置、並びに検査方法
CN109637405B (zh) * 2018-12-05 2021-04-06 惠科股份有限公司 阵列基板的测试方法、装置及存储介质

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1184353A (ja) 1997-09-12 1999-03-26 Sharp Corp 液晶パネルの製造方法
JPH11258562A (ja) 1998-03-12 1999-09-24 Advanced Display Inc 液晶表示装置および液晶表示装置を検査するための装置
KR20000011657A (ko) * 1998-07-14 2000-02-25 마찌다 가쯔히꼬 액티브매트릭스기판의집합기판,및그제조방법및그검사방법
KR20020041212A (ko) * 2000-11-27 2002-06-01 구본준, 론 위라하디락사 소형 액정표시장치용 액정 셀의 제조공정

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1184353A (ja) 1997-09-12 1999-03-26 Sharp Corp 液晶パネルの製造方法
JPH11258562A (ja) 1998-03-12 1999-09-24 Advanced Display Inc 液晶表示装置および液晶表示装置を検査するための装置
KR20000011657A (ko) * 1998-07-14 2000-02-25 마찌다 가쯔히꼬 액티브매트릭스기판의집합기판,및그제조방법및그검사방법
KR20020041212A (ko) * 2000-11-27 2002-06-01 구본준, 론 위라하디락사 소형 액정표시장치용 액정 셀의 제조공정

Also Published As

Publication number Publication date
KR20040062030A (ko) 2004-07-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100479525B1 (ko) 다수의 어레이셀을 포함하는 액정표시장치용 기판 및 이의 제조방법
CN101110443B (zh) 显示基板、其制造方法和具有显示基板的显示设备
CN107145014B (zh) 显示面板和显示面板的制造方法
KR20140084601A (ko) 디스플레이 장치용 어레이 기판
KR101634635B1 (ko) 표시 장치
US8546812B2 (en) Display panel
JP2006053555A (ja) アレイ基板、これを有する母基板、及び液晶表示装置
WO2013011855A1 (ja) アクティブマトリクス型表示装置
KR20070119344A (ko) 액정표시장치용 어레이 기판
KR102078807B1 (ko) 액정 표시 장치
KR101147101B1 (ko) 검사를 위한 박막 트랜지스터 기판 및 이를 이용한 검사방법
KR101148163B1 (ko) 어레이 기판 및 이를 갖는 표시장치
CN102540600A (zh) 液晶显示装置及其制造方法
KR20080059928A (ko) 액정표시장치 및 이의 리페어 방법
JP2007225953A (ja) カラー液晶表示パネル
KR101165469B1 (ko) 액정표시장치
KR100871994B1 (ko) 다수의 어레이셀을 포함하는 아이피티엠피에스 검사용 기판
KR20080047710A (ko) 액정표시장치용 어레이기판과 이를 구비한 티엔 모드액정표시장치
KR101258085B1 (ko) 정전기 방지가 가능한 액정표시장치 및 그 제조방법
KR101294230B1 (ko) 액정표시장치용 어레이 기판
KR20110105893A (ko) 더블 레이트 드라이브 타입 액정표시장치용 어레이 기판
KR101232145B1 (ko) 액정표시장치의 검사용 기판
KR101098892B1 (ko) 액정표시장치 및 그 제조방법
KR100446966B1 (ko) 액정 표시장치
KR100631369B1 (ko) 액정표시장치용 어레이패널 및 그의 제조방법

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20120928

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130930

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20141021

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20151028

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20161012

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20171016

Year of fee payment: 10

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20181015

Year of fee payment: 11