JPH11258562A - 液晶表示装置および液晶表示装置を検査するための装置 - Google Patents
液晶表示装置および液晶表示装置を検査するための装置Info
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- JPH11258562A JPH11258562A JP6177498A JP6177498A JPH11258562A JP H11258562 A JPH11258562 A JP H11258562A JP 6177498 A JP6177498 A JP 6177498A JP 6177498 A JP6177498 A JP 6177498A JP H11258562 A JPH11258562 A JP H11258562A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 検査コストを低減した安価に製造できる液晶
表示装置を提供する。 【解決手段】 本発明の液晶表示装置は、ガラス基板の
最外周付近に検査端子を設けたものであり、検査端子数
が、端子数の異なる様々な機種に対応できるように、端
子数最大の機種における端子数と面取り数との積よりも
多数形成されており基板内に形成されたパネルの各信号
ラインを前記外周部検査端子に接続し、多機種の検査が
１つのプローブユニットの使用で可能とされている。
表示装置を提供する。 【解決手段】 本発明の液晶表示装置は、ガラス基板の
最外周付近に検査端子を設けたものであり、検査端子数
が、端子数の異なる様々な機種に対応できるように、端
子数最大の機種における端子数と面取り数との積よりも
多数形成されており基板内に形成されたパネルの各信号
ラインを前記外周部検査端子に接続し、多機種の検査が
１つのプローブユニットの使用で可能とされている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ＴＦＴ−ＬＣＤな
ど、その製造工程においてアレイ基板の形成がなされる
液晶表示装置に関する。さらにその検査装置、検査方法
に関する。
ど、その製造工程においてアレイ基板の形成がなされる
液晶表示装置に関する。さらにその検査装置、検査方法
に関する。
【０００２】
【従来の技術】液晶表示装置においては、信号ラインの
断線欠陥／短絡欠陥は致命欠陥である。よって、アレイ
基板完成後これらの電気的検査がなされる。この検査の
ためには信号ライン端に設けられた信号入力端子をプロ
ーブ針でプロービングする必要がある。通常、プローブ
針は、フレームに多数の針が固定されたプローブユニッ
トのかたちで供給される。プローブユニットにおけるプ
ローブ針の配置は、検査対象機種の信号入力端子の位置
に合わせて設計される。ここで、信号入力端子の位置
は、通常、機種によって異なるため、機種毎にそれ専用
のプローブユニットを手配する必要があった。
断線欠陥／短絡欠陥は致命欠陥である。よって、アレイ
基板完成後これらの電気的検査がなされる。この検査の
ためには信号ライン端に設けられた信号入力端子をプロ
ーブ針でプロービングする必要がある。通常、プローブ
針は、フレームに多数の針が固定されたプローブユニッ
トのかたちで供給される。プローブユニットにおけるプ
ローブ針の配置は、検査対象機種の信号入力端子の位置
に合わせて設計される。ここで、信号入力端子の位置
は、通常、機種によって異なるため、機種毎にそれ専用
のプローブユニットを手配する必要があった。
【０００３】多機種への対応方法としては、特開平２−
２０８６３４号公報記載の方法が提案されている。
２０８６３４号公報記載の方法が提案されている。
【０００４】この方法を図９に示す。図９において、１
８は上側基板、１９は下側基板、２０は外部引き出し接
続端子、２１は端子ピッチａ部、２２は端子ピッチｂ部
である。この技術においては、多機種に対応するため、
各機種用の端子ピッチで複数の端子列を形成している。
８は上側基板、１９は下側基板、２０は外部引き出し接
続端子、２１は端子ピッチａ部、２２は端子ピッチｂ部
である。この技術においては、多機種に対応するため、
各機種用の端子ピッチで複数の端子列を形成している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】一般にプローブユニッ
トは非常に高価である。よって従来の方法では、検査コ
ストが非常に高くなる。液晶表示装置を安価に製造する
ためには、検査コストを低減する必要がある。本発明
は、検査コストを低減した安価に製造できる液晶表示装
置を提供することを目的とする。
トは非常に高価である。よって従来の方法では、検査コ
ストが非常に高くなる。液晶表示装置を安価に製造する
ためには、検査コストを低減する必要がある。本発明
は、検査コストを低減した安価に製造できる液晶表示装
置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明にかかわる液晶表
示装置においては、本発明の一態様である液晶表示装置
は、ガラス基板の最外周付近に検査端子を設けたもので
ある。
示装置においては、本発明の一態様である液晶表示装置
は、ガラス基板の最外周付近に検査端子を設けたもので
ある。
【０００７】前記液晶表示装置においては、検査端子数
が、端子数の異なる様々な機種に対応できるように、端
子数最大の機種における端子数と面取り数との積よりも
多数形成されており基板内に形成されたパネルの各信号
ラインを前記外周部検査端子に接続し、多機種の検査が
１つのプローブユニットの使用で可能となったものであ
る。
が、端子数の異なる様々な機種に対応できるように、端
子数最大の機種における端子数と面取り数との積よりも
多数形成されており基板内に形成されたパネルの各信号
ラインを前記外周部検査端子に接続し、多機種の検査が
１つのプローブユニットの使用で可能となったものであ
る。
【０００８】本発明の他の態様である液晶表示装置の検
査装置は、外周部端子をプローブするための固定プロー
ブユニットを備え、短絡欠陥／断線短絡の発生領域の判
断を可能とするために、信号入力端子または予備端子を
プローブするための可動プローブヘッドを備え、プロー
ブ針番号と基板上の信号ラインアドレスとの対応表を設
定する機能を有し、機種名の指定を指定することで使用
すべき前記対応表を自動的に選択できるものである。
査装置は、外周部端子をプローブするための固定プロー
ブユニットを備え、短絡欠陥／断線短絡の発生領域の判
断を可能とするために、信号入力端子または予備端子を
プローブするための可動プローブヘッドを備え、プロー
ブ針番号と基板上の信号ラインアドレスとの対応表を設
定する機能を有し、機種名の指定を指定することで使用
すべき前記対応表を自動的に選択できるものである。
【０００９】本発明の他の態様である液晶表示装置は、
ガラス基板の中央部付近に検査端子を設けたものであ
る。
ガラス基板の中央部付近に検査端子を設けたものであ
る。
【００１０】前記液晶表示装置においては、検査端子
が、端子数の異なる様々な機種に対応できるように、端
子数最大の機種における端子数と面取り数との積よりも
多数形成されており基板内に形成されたパネルの各信号
ラインを前記中央部検査端子に接続し、多機種の検査が
１つのプローブユニットの使用で可能となったものであ
る。
が、端子数の異なる様々な機種に対応できるように、端
子数最大の機種における端子数と面取り数との積よりも
多数形成されており基板内に形成されたパネルの各信号
ラインを前記中央部検査端子に接続し、多機種の検査が
１つのプローブユニットの使用で可能となったものであ
る。
【００１１】本発明の他の態様である液晶表示装置の検
査装置は、中央部端子をプローブするための固定プロー
ブユニットを備え、短絡欠陥／断線短絡の発生領域の判
断を可能とするために、信号入力端子または予備端子を
プローブするための可動プローブヘッドを備え、プロー
ブ針番号と基板上の信号ラインアドレスとの対応を設定
する機能を有し、機種名の指定を指定することで使用す
べき前記対応表を自動的に選択できるものである。
査装置は、中央部端子をプローブするための固定プロー
ブユニットを備え、短絡欠陥／断線短絡の発生領域の判
断を可能とするために、信号入力端子または予備端子を
プローブするための可動プローブヘッドを備え、プロー
ブ針番号と基板上の信号ラインアドレスとの対応を設定
する機能を有し、機種名の指定を指定することで使用す
べき前記対応表を自動的に選択できるものである。
【００１２】本発明にかかわる液晶表示装置において
は、多機種共通の検査用端子を基板の外周部または基板
中央部付近に設ける。これにより、多機種の検査が１つ
のプローブユニットで可能となり、検査コストが安くな
る。
は、多機種共通の検査用端子を基板の外周部または基板
中央部付近に設ける。これにより、多機種の検査が１つ
のプローブユニットで可能となり、検査コストが安くな
る。
【００１３】
【発明の実施の形態】図１に実施の形態によるアレイ基
板を示す。図１において、１はアレイ基板、２はその中
に形成されたパネル、３はパネル本来の信号入力端子、
４は信号ライン、５は本発明による外周部端子、６は信
号ライン４と外周部端子５とを接続する外周部配線、７
はショートリング、８は信号ラインと４とショートリン
グ７との間に設置されている抵抗、９はショートリング
７と外周部端子５とを接続する外周部配線である。図で
は、外周部端子５は基板の最外周に設けられているが、
最外周はプロセスが不安定のため、外周部端子５は基板
の少し内側に設けられてもよい。
板を示す。図１において、１はアレイ基板、２はその中
に形成されたパネル、３はパネル本来の信号入力端子、
４は信号ライン、５は本発明による外周部端子、６は信
号ライン４と外周部端子５とを接続する外周部配線、７
はショートリング、８は信号ラインと４とショートリン
グ７との間に設置されている抵抗、９はショートリング
７と外周部端子５とを接続する外周部配線である。図で
は、外周部端子５は基板の最外周に設けられているが、
最外周はプロセスが不安定のため、外周部端子５は基板
の少し内側に設けられてもよい。
【００１４】従来技術では、信号入力端子３をプロービ
ングして検査していた。本発明では信号入力端子３を外
周部配線６で外周部端子５に接続しているので、外周部
端子５をプロービングすれば、従来と同様検査可能であ
る。さらに、図１から分かるように、外周部端子５には
使用されていないものも存在する。これは、もっと多数
の端子をもつ機種に対しても対応できるようにするため
である。すなわち、本発明では外周部端子５に対応した
プローブユニットを１つのみ準備すれば、アレイ基板内
の配線を正しく設計するのみで多機種への検査が可能と
なる。
ングして検査していた。本発明では信号入力端子３を外
周部配線６で外周部端子５に接続しているので、外周部
端子５をプロービングすれば、従来と同様検査可能であ
る。さらに、図１から分かるように、外周部端子５には
使用されていないものも存在する。これは、もっと多数
の端子をもつ機種に対しても対応できるようにするため
である。すなわち、本発明では外周部端子５に対応した
プローブユニットを１つのみ準備すれば、アレイ基板内
の配線を正しく設計するのみで多機種への検査が可能と
なる。
【００１５】図１では、すべての信号ライン４が抵抗８
を介してショートリング７に接続されている。ショート
リング７は、各信号ラインを同電位に保ち、Ｖｔｈシフ
トなる不良の発生防止が目的であり、アレイ基板には通
常設けられている。ショートリング７は外周部配線９に
よって外周部端子５に接続されている。この端子と各信
号ラインに接続された外周部端子間の抵抗値を測定する
ことで、各信号ラインの断線欠陥が発見できる。
を介してショートリング７に接続されている。ショート
リング７は、各信号ラインを同電位に保ち、Ｖｔｈシフ
トなる不良の発生防止が目的であり、アレイ基板には通
常設けられている。ショートリング７は外周部配線９に
よって外周部端子５に接続されている。この端子と各信
号ラインに接続された外周部端子間の抵抗値を測定する
ことで、各信号ラインの断線欠陥が発見できる。
【００１６】抵抗８の目的は、各信号ライン間の短絡欠
陥を発見しやすくすることである。例えば、端子Ａと端
子Ｂ間の抵抗値を測定したときの抵抗値が、設計的に期
待される値（抵抗８の値×２＋信号ラインの配線抵抗）
よりも小さければ、端子Ａ、端子Ｂに対応する信号ライ
ンはお互いにいずれかの部分で短絡していると考えられ
る。このような目的を達するため、抵抗８の値は、ショ
ートリングの機能をそこなわない程度で高い値に設定し
ておくのが望ましい。
陥を発見しやすくすることである。例えば、端子Ａと端
子Ｂ間の抵抗値を測定したときの抵抗値が、設計的に期
待される値（抵抗８の値×２＋信号ラインの配線抵抗）
よりも小さければ、端子Ａ、端子Ｂに対応する信号ライ
ンはお互いにいずれかの部分で短絡していると考えられ
る。このような目的を達するため、抵抗８の値は、ショ
ートリングの機能をそこなわない程度で高い値に設定し
ておくのが望ましい。
【００１７】ただし、実施の形態１では、このような方
法で断線欠陥／短絡欠陥を発見しても、それが製品とし
て残る部分で発生しているのか、検査後に切り落とす部
分で発生しているのかの区別がつかない。よって、欠陥
発生箇所が後者の場合、製品が良品であるにもかかわら
ず検査では不良判定となるためオーバーキルとなってし
まう。
法で断線欠陥／短絡欠陥を発見しても、それが製品とし
て残る部分で発生しているのか、検査後に切り落とす部
分で発生しているのかの区別がつかない。よって、欠陥
発生箇所が後者の場合、製品が良品であるにもかかわら
ず検査では不良判定となるためオーバーキルとなってし
まう。
【００１８】図２に次の実施の形態を示す。図２におい
て、１〜９までは図１と同様である。１０は、断線欠陥
／短絡欠陥が製品領域で発生しているのか、検査後に切
り落とす領域で発生しているのかの区別をつけるために
設けた予備端子である。アレイ基板内に形成されている
パネルの向きにより、外周部端子→信号入力端子→予備
端子の順番になることもあれば、外周部端子→予備端子
→信号入力端子の順番になることもある。また、図２で
は、予備端子をパネルに接触させて形成したかたちとな
っているが、実際には、信号ラインから予備端子とは、
ある長さを持った配線で接続されるかたちとなる。この
配線の長さはできるだけ短いのが望ましい。
て、１〜９までは図１と同様である。１０は、断線欠陥
／短絡欠陥が製品領域で発生しているのか、検査後に切
り落とす領域で発生しているのかの区別をつけるために
設けた予備端子である。アレイ基板内に形成されている
パネルの向きにより、外周部端子→信号入力端子→予備
端子の順番になることもあれば、外周部端子→予備端子
→信号入力端子の順番になることもある。また、図２で
は、予備端子をパネルに接触させて形成したかたちとな
っているが、実際には、信号ラインから予備端子とは、
ある長さを持った配線で接続されるかたちとなる。この
配線の長さはできるだけ短いのが望ましい。
【００１９】図３は、予備端子１０をもつ基板を測定す
るための検査装置を示す斜視説明図である。１１は外周
部端子をプローブするためのプローブユニットであり、
多機種共通で使用できる。１２は可動プローブヘッドで
あり、信号入力端子または予備端子をプローブすること
ができる。
るための検査装置を示す斜視説明図である。１１は外周
部端子をプローブするためのプローブユニットであり、
多機種共通で使用できる。１２は可動プローブヘッドで
あり、信号入力端子または予備端子をプローブすること
ができる。
【００２０】
【表１】
【００２１】表１は、プローブユニットの各プローブ針
番号と基板上の信号ラインアドレスとの対応を表にして
概念的に示した対応表である。検査装置には、この対応
表を機種毎に設定できる機能を持たせる。この機能によ
り、アレイ基板における信号ラインと外周部端子との接
続がどのように設計されても検査が可能となる。設定さ
れた複数の対応表の内、どれを使用するかの選択に関し
ても、機種名の指定で自動的に対応表が選択されるよう
にこれらの対応を設定する機能を持たせる。
番号と基板上の信号ラインアドレスとの対応を表にして
概念的に示した対応表である。検査装置には、この対応
表を機種毎に設定できる機能を持たせる。この機能によ
り、アレイ基板における信号ラインと外周部端子との接
続がどのように設計されても検査が可能となる。設定さ
れた複数の対応表の内、どれを使用するかの選択に関し
ても、機種名の指定で自動的に対応表が選択されるよう
にこれらの対応を設定する機能を持たせる。
【００２２】これを用いた断線欠陥の測定原理を図４で
説明する。１〜１０までの番号は図１〜３と同様であ
る。ここで、信号入力端子３と予備端子１０とは、アレ
イ基板内のパネル向きにより位置が入れ替わっているこ
ともありえる。検査では、まず、外周部端子Ａ１、Ａ
２、Ａ３、・・・と外周部端子Ｂとの間の抵抗値を順次
測定していく。これらの中から高抵抗の信号ラインが発
見された場合、その断線箇所が、製品領域内にあるの
か、製品領域外にあるのかの判断が必要となる。ここで
は、信号ラインＡ２が高抵抗を示したとする（断線箇所
１３）。
説明する。１〜１０までの番号は図１〜３と同様であ
る。ここで、信号入力端子３と予備端子１０とは、アレ
イ基板内のパネル向きにより位置が入れ替わっているこ
ともありえる。検査では、まず、外周部端子Ａ１、Ａ
２、Ａ３、・・・と外周部端子Ｂとの間の抵抗値を順次
測定していく。これらの中から高抵抗の信号ラインが発
見された場合、その断線箇所が、製品領域内にあるの
か、製品領域外にあるのかの判断が必要となる。ここで
は、信号ラインＡ２が高抵抗を示したとする（断線箇所
１３）。
【００２３】このために下記測定を行う。まず、前記検
査装置の可動プローブヘッドにより、端子Ｃをプローブ
し、Ａ２−Ｃ間の抵抗を測定する。次に、可動力プロー
ブヘッドを端子Ｄに移動させＡ２−Ｄ間の抵抗値を測定
する。これらの差がＣ−Ｄ間の抵抗値となる。製品領域
となる部分は信号入力端子３と予備端子１０との間の領
域である。よって、このＣ−Ｄ間の抵抗が高ければ、断
線は製品領域内で発生しており、そのパネルを不良と判
定することになる。
査装置の可動プローブヘッドにより、端子Ｃをプローブ
し、Ａ２−Ｃ間の抵抗を測定する。次に、可動力プロー
ブヘッドを端子Ｄに移動させＡ２−Ｄ間の抵抗値を測定
する。これらの差がＣ−Ｄ間の抵抗値となる。製品領域
となる部分は信号入力端子３と予備端子１０との間の領
域である。よって、このＣ−Ｄ間の抵抗が高ければ、断
線は製品領域内で発生しており、そのパネルを不良と判
定することになる。
【００２４】次に短絡欠陥の測定原理を図５Ａ、５Ｂで
説明する。１４は短絡箇所である。検査では、Ａ１−Ａ
２間、Ａ２−Ａ３間、Ａ３−Ａ４間、・・・の抵抗値を
順次測定しておく。これらの中から低抵抗の信号ライン
が発見された場合、その短絡箇所が、製品領域内にある
のか、製品領域外にあるのかの判断が必要となる。ここ
では、信号ラインＡ２とＡ３とが低抵抗を示したとす
る。
説明する。１４は短絡箇所である。検査では、Ａ１−Ａ
２間、Ａ２−Ａ３間、Ａ３−Ａ４間、・・・の抵抗値を
順次測定しておく。これらの中から低抵抗の信号ライン
が発見された場合、その短絡箇所が、製品領域内にある
のか、製品領域外にあるのかの判断が必要となる。ここ
では、信号ラインＡ２とＡ３とが低抵抗を示したとす
る。
【００２５】このために下記測定を行う。まず、可動プ
ローブヘッドを端子Ｄに移動させ、Ａ３−Ｄ間の抵抗値
を測定する。端子Ａ３と端子Ｄとの間の電流経路には二
つの経路がある。一方は、短絡箇所を通る経路であり、
もう一方は抵抗８とショートリング７を通る経路であ
る。ここで、抵抗８の値は、ショートリング７が機能を
損なわない程度に高抵抗にしてあるため、抵抗８とショ
ートリング７を通る電流経路は、短絡欠陥を通る電流経
路に対して無視できる。よって、今後の説明では、抵抗
８とショートリング７とを通る電流経路を無視すること
にする。
ローブヘッドを端子Ｄに移動させ、Ａ３−Ｄ間の抵抗値
を測定する。端子Ａ３と端子Ｄとの間の電流経路には二
つの経路がある。一方は、短絡箇所を通る経路であり、
もう一方は抵抗８とショートリング７を通る経路であ
る。ここで、抵抗８の値は、ショートリング７が機能を
損なわない程度に高抵抗にしてあるため、抵抗８とショ
ートリング７を通る電流経路は、短絡欠陥を通る電流経
路に対して無視できる。よって、今後の説明では、抵抗
８とショートリング７とを通る電流経路を無視すること
にする。
【００２６】Ａ３−Ｄ間の抵抗値を測定した後は、可動
プローブヘッドを端子Ｃに移動させ、Ａ３−Ｃ間の抵抗
値を測定する。ここでもし、短絡欠陥が図５の（ａ）に
示すように、外周部端子５と信号入力端子３との間にあ
れば、Ａ３−Ｄ間の抵抗値とＡ３−Ｃ間の抵抗値との差
はＣ−Ｄ間の信号ラインの配線抵抗に一致するはずであ
る。これとは逆に短絡欠陥が図５の（ｂ）に示すよう
に、製品領域内にある場合は、電流経路が図５Ａの場合
にくらべて遠回りとなるため、Ａ３−Ｄ間の抵抗値とＡ
３−Ｃ間の抵抗値との差はＣ−Ｄ間の信号ラインの配線
抵抗と一致しない。差が配線抵抗分よりも小さいか、Ａ
３−Ｃ間抵抗の方がＡ３−Ｄ間抵抗よりも大きいという
逆転現象が起こるかのいずれかである。
プローブヘッドを端子Ｃに移動させ、Ａ３−Ｃ間の抵抗
値を測定する。ここでもし、短絡欠陥が図５の（ａ）に
示すように、外周部端子５と信号入力端子３との間にあ
れば、Ａ３−Ｄ間の抵抗値とＡ３−Ｃ間の抵抗値との差
はＣ−Ｄ間の信号ラインの配線抵抗に一致するはずであ
る。これとは逆に短絡欠陥が図５の（ｂ）に示すよう
に、製品領域内にある場合は、電流経路が図５Ａの場合
にくらべて遠回りとなるため、Ａ３−Ｄ間の抵抗値とＡ
３−Ｃ間の抵抗値との差はＣ−Ｄ間の信号ラインの配線
抵抗と一致しない。差が配線抵抗分よりも小さいか、Ａ
３−Ｃ間抵抗の方がＡ３−Ｄ間抵抗よりも大きいという
逆転現象が起こるかのいずれかである。
【００２７】このような方法で、短絡箇所が製品領域内
にあるか否かの判断ができる。Ｃ−Ｄ間の信号ライン抵
抗値は、設計値として分かっている値を採用すればよ
い。また、アレイ工程プロセスのバラつきにより、信号
ライン抵抗値のバラつきが大きく設計値を採用できない
時は、隣の正常ラインにおいて、前記断線検査の時と同
様にＣ−Ｄ間の抵抗値を実測してもよい。
にあるか否かの判断ができる。Ｃ−Ｄ間の信号ライン抵
抗値は、設計値として分かっている値を採用すればよ
い。また、アレイ工程プロセスのバラつきにより、信号
ライン抵抗値のバラつきが大きく設計値を採用できない
時は、隣の正常ラインにおいて、前記断線検査の時と同
様にＣ−Ｄ間の抵抗値を実測してもよい。
【００２８】以上で、多機種対応の検査端子を基板外周
部に設けた場合の説明を行った。しかし、この方法に
は、以下の問題点がある。
部に設けた場合の説明を行った。しかし、この方法に
は、以下の問題点がある。
【００２９】・アレイ工程プロセスは、一般に基板中央
部の方が安定しており、基板外周に近くなるほど、欠陥
が発生率が高くなる傾向がある。
部の方が安定しており、基板外周に近くなるほど、欠陥
が発生率が高くなる傾向がある。
【００３０】よって、検査端子を基板外周部に設ける方
法では、検査端子自身が正常に形成されない可能性が若
干高くなる。この問題を回避するために、検査端子を基
板中央部に設けたアレイ基板を示す説明図が、図６であ
る。１５は中央部端子、１６は信号ライン４と中央部端
子１５とを接続する中央部配線、１７はショートリング
７と中央部端子１５とを接続する中央部配線である。そ
の他の各構成要素の番号は図２と同様である。さらに予
備端子のない図１に対応する構成も同様に考えられる。
法では、検査端子自身が正常に形成されない可能性が若
干高くなる。この問題を回避するために、検査端子を基
板中央部に設けたアレイ基板を示す説明図が、図６であ
る。１５は中央部端子、１６は信号ライン４と中央部端
子１５とを接続する中央部配線、１７はショートリング
７と中央部端子１５とを接続する中央部配線である。そ
の他の各構成要素の番号は図２と同様である。さらに予
備端子のない図１に対応する構成も同様に考えられる。
【００３１】検査方法などは、検査端子を外周部に設け
た場合と全く同じである。ただし、プローブユニット
は、中央部端子に対応して製作する。
た場合と全く同じである。ただし、プローブユニット
は、中央部端子に対応して製作する。
【００３２】さらに、外周部端子と中央部端子をミック
スして設けた例を図７に示す。この方法は、アレイ基板
内の全てのパネルにおいて、信号入力端子の向き、予備
端子などが同じ相対位置にあるため、従来設計に一番近
いという長所を持つ。
スして設けた例を図７に示す。この方法は、アレイ基板
内の全てのパネルにおいて、信号入力端子の向き、予備
端子などが同じ相対位置にあるため、従来設計に一番近
いという長所を持つ。
【００３３】しかし、図７では２面とりには対応できな
い。この欠点を回避した実施の形態を図８に示す。この
例は、端子の縦並び／横並びの対応がくずれているとい
う特徴を持つ。
い。この欠点を回避した実施の形態を図８に示す。この
例は、端子の縦並び／横並びの対応がくずれているとい
う特徴を持つ。
【００３４】
【発明の効果】アレイ検査のコストダウンが図れる。
【図１】本発明の外周部検査端子を配置したアレイ基板
の説明図である。
の説明図である。
【図２】本発明の外周部検査端子、予備端子を配置した
アレイ基板の説明図である。
アレイ基板の説明図である。
【図３】本発明のアレイ基板用の可動プローブヘッドを
もつ検査装置の説明図である。
もつ検査装置の説明図である。
【図４】本発明の断線欠陥の測定原理を示す説明図であ
る。
る。
【図５】本発明の短絡欠陥の測定原理を示す説明図であ
る。
る。
【図６】本発明の中央部検査端子、予備端子を配置した
アレイ基板の説明図である。
アレイ基板の説明図である。
【図７】本発明の信号入力端子、予備端子の相対位置を
全パネルで同一としたアレイ基板の説明図である。
全パネルで同一としたアレイ基板の説明図である。
【図８】図７に示した特徴に加えて２面とりを可能とし
たアレイ基板の説明図である。
たアレイ基板の説明図である。
【図９】従来技術における多機種対応方法を示す説明図
である。
である。
１ アレイ基板 ２ パネル ３ 信号入力端子 ４ 信号ライン ５ 外周部端子 ６ 外周部配線 ７ ショートリング ８ 抵抗 ９ 外周部配線 １０ 予備端子 １１ プローブユニット １２ 稼動プローブヘッド １３ 断線箇所 １４ 短絡箇所 １５ 中央部端子 １６ 中央部配線 １７ 中央部配線
Claims (10)
- 【請求項１】 ガラス基板の最外周付近に検査端子を設
けた液晶表示装置。 - 【請求項２】 検査端子数が、端子数の異なる様々な機
種に対応できるように、端子数最大の機種における端子
数と面取り数との積よりも多数形成されており基板内に
形成されたパネルの各信号ラインを前記外周部検査端子
に接続し、多機種の検査が１つのプローブユニットの使
用で可能となった請求項１記載の液晶表示装置。 - 【請求項３】 前記パネルの各信号ラインの一端を前記
外周部端子に接続し、他端を抵抗を介してショートリン
グに接続し、そのショートリングを外周部端子に接続し
た請求項２記載の液晶表示装置。 - 【請求項４】 検査で検出された短絡欠陥／断線欠陥の
発生が、製品となる領域内であるか、検査後に切り落と
される領域内であるかを判断するために、予備端子が、
信号ラインの端部には信号入力用端子が設けられている
が、その逆側の信号ライン端部に設けられている請求項
３記載の液晶表示装置。 - 【請求項５】 前記液晶表示装置の検査装置で、外周部
端子をプローブするための固定プローブユニットを備
え、短絡欠陥／断線短絡の発生領域の前記判断を可能と
するために、信号入力端子または予備端子をプローブす
るための可動プローブヘッドを備え、プローブ針番号と
基板上の信号ラインアドレスとの対応表を設定する機能
を有し、機種名の指定を指定することで使用すべき前記
対応表を自動的に選択できる請求項４記載の液晶表示装
置のための検査装置。 - 【請求項６】 ガラス基板の中央部付近に検査端子を設
けた液晶表示装置。 - 【請求項７】 検査端子が、端子数の異なる様々な機種
に対応できるように、端子数最大の機種における端子数
と面取り数との積よりも多数形成されており基板内に形
成されたパネルの各信号ラインを前記中央部検査端子に
接続し、多機種の検査が１つのプローブユニットの使用
で可能となった請求項６記載の液晶表示装置。 - 【請求項８】 各パネルにおいて、各信号ラインの一端
を前記中央部端子に接続し、他端を抵抗を介してショー
トニングに接続し、そのショートリングを中央部端子に
接続した請求項７記載の液晶表示装置。 - 【請求項９】 検査で検出された短絡欠陥／断線欠陥の
発生が、製品となる領域内であるか、検査後に切り落と
される領域内であるかを判断するために、予備端子が、
信号ラインの端部には信号入力用端子が設けられている
が、その逆側の信号ライン端部に設けられている請求項
８記載の液晶表示装置。 - 【請求項１０】 前記液晶表示装置の検査装置で、中央
部端子をプローブするための固定プローブユニットを備
え、短絡欠陥／断線短絡の発生領域の前記判断を可能と
するために、信号入力端子または予備端子をプローブす
るための可動プローブヘッドを備え、プローブ針番号と
基板上の信号ラインアドレスとの対応を設定する機能を
有し、機種名の指定を指定することで使用すべき前記対
応表を自動的に選択できる請求項９記載の液晶表示装置
のための検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6177498A JPH11258562A (ja) | 1998-03-12 | 1998-03-12 | 液晶表示装置および液晶表示装置を検査するための装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6177498A JPH11258562A (ja) | 1998-03-12 | 1998-03-12 | 液晶表示装置および液晶表示装置を検査するための装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11258562A true JPH11258562A (ja) | 1999-09-24 |
Family
ID=13180795
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6177498A Pending JPH11258562A (ja) | 1998-03-12 | 1998-03-12 | 液晶表示装置および液晶表示装置を検査するための装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11258562A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004094245A (ja) * | 2002-08-19 | 2004-03-25 | Photon Dynamics Inc | 視覚画像形成および電子感知による総合検査システム |
| WO2005085939A1 (ja) * | 2004-03-03 | 2005-09-15 | Toshiba Matsushita Display Technology Co., Ltd. | アレイ基板の検査方法 |
| KR100871994B1 (ko) | 2002-12-31 | 2008-12-05 | 엘지디스플레이 주식회사 | 다수의 어레이셀을 포함하는 아이피티엠피에스 검사용 기판 |
-
1998
- 1998-03-12 JP JP6177498A patent/JPH11258562A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004094245A (ja) * | 2002-08-19 | 2004-03-25 | Photon Dynamics Inc | 視覚画像形成および電子感知による総合検査システム |
| KR100871994B1 (ko) | 2002-12-31 | 2008-12-05 | 엘지디스플레이 주식회사 | 다수의 어레이셀을 포함하는 아이피티엠피에스 검사용 기판 |
| WO2005085939A1 (ja) * | 2004-03-03 | 2005-09-15 | Toshiba Matsushita Display Technology Co., Ltd. | アレイ基板の検査方法 |
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