JP3361982B2 - 複数の端子を有する基板等の検査装置および検査方法 - Google Patents
複数の端子を有する基板等の検査装置および検査方法Info
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Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、複数の信号入力
端子を有する例えば液晶表示装置において、信号入力端
子の導通を検査するための検査装置および検査方法に関
するものである。
端子を有する例えば液晶表示装置において、信号入力端
子の導通を検査するための検査装置および検査方法に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】液晶表示装置等のデバイスは多数の信号
入力端子（以下、単に端子と称する）を有し、その製造
段階では種々の検査が行われる。その検査の一つとし
て、各端子にプローブ針を接触させて電気信号を入力お
よび検出する検査が行われる。一般的にこの検査に用い
られるプローブ針は、端子レイアウトに合わせてユニッ
トの形で作製される。例えば液晶表示装置においては、
アレイ基板上の端子レイアウトに合わせて各プローブ針
の配置を決め、それをフレームに固定することによりプ
ローブユニットを作製する。このようなプローブユニッ
トを用いて、信号ラインの導通（断線や短絡）検査が行
われる。しかし、断線検査においては、ある信号ライン
が断線していると判定された場合、本当に信号ラインの
断線であるのか、それともプローブ針の接触不良により
断線と判定されたのかを区別することが困難であった。
入力端子（以下、単に端子と称する）を有し、その製造
段階では種々の検査が行われる。その検査の一つとし
て、各端子にプローブ針を接触させて電気信号を入力お
よび検出する検査が行われる。一般的にこの検査に用い
られるプローブ針は、端子レイアウトに合わせてユニッ
トの形で作製される。例えば液晶表示装置においては、
アレイ基板上の端子レイアウトに合わせて各プローブ針
の配置を決め、それをフレームに固定することによりプ
ローブユニットを作製する。このようなプローブユニッ
トを用いて、信号ラインの導通（断線や短絡）検査が行
われる。しかし、断線検査においては、ある信号ライン
が断線していると判定された場合、本当に信号ラインの
断線であるのか、それともプローブ針の接触不良により
断線と判定されたのかを区別することが困難であった。
【０００３】プローブユニットを用いた断線検査におけ
る断線しているとの判定が、信号ラインの断線によるも
のかプローブ針の接触不良によるものかを区別するため
に従来提案された方法として、例えば特開平３−５１７
６８号公報では、図４に示すように、基板１上に形成さ
れた端子２間の断線検査を行う場合、基板１上の一つの
端子２に対して二本のプローブ針３が接触するようプロ
ーブ針３がフレーム４に固定されており、予め一つの端
子２に接触した二本のプローブ針３間の導通を確認する
ことにより、プローブ針３が端子２に接触していること
を確認した後に断線検査を行う方法が提案されている。
る断線しているとの判定が、信号ラインの断線によるも
のかプローブ針の接触不良によるものかを区別するため
に従来提案された方法として、例えば特開平３−５１７
６８号公報では、図４に示すように、基板１上に形成さ
れた端子２間の断線検査を行う場合、基板１上の一つの
端子２に対して二本のプローブ針３が接触するようプロ
ーブ針３がフレーム４に固定されており、予め一つの端
子２に接触した二本のプローブ針３間の導通を確認する
ことにより、プローブ針３が端子２に接触していること
を確認した後に断線検査を行う方法が提案されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来のプローブユニッ
トを用いた端子２間の断線検査は以上のように構成され
ているので、一つの端子２に対して二本のプローブ針３
を配置させることが必要であり、液晶表示装置では、各
端子２の間隔は１００μｍ以下と微小であるため、この
中に二本のプローブ針３を配置することは技術的に困難
であり、また、液晶表示装置は数千個の端子２を有する
ため、全端子２に二本ずつのプローブ針３を対応させた
検査装置を製作するには大きなコストがかかるという問
題があった。
トを用いた端子２間の断線検査は以上のように構成され
ているので、一つの端子２に対して二本のプローブ針３
を配置させることが必要であり、液晶表示装置では、各
端子２の間隔は１００μｍ以下と微小であるため、この
中に二本のプローブ針３を配置することは技術的に困難
であり、また、液晶表示装置は数千個の端子２を有する
ため、全端子２に二本ずつのプローブ針３を対応させた
検査装置を製作するには大きなコストがかかるという問
題があった。
【０００５】この発明は、上記のような問題を解決する
ためになされたもので、プローブユニットを用いた端子
間の導通検査において、検査時間の短縮および検査の信
頼性を向上できる検査装置を安価に得ることを目的と
し、さらにこの検査装置に適した検査方法を提供するこ
とを目的とする。
ためになされたもので、プローブユニットを用いた端子
間の導通検査において、検査時間の短縮および検査の信
頼性を向上できる検査装置を安価に得ることを目的と
し、さらにこの検査装置に適した検査方法を提供するこ
とを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明に係わる複数の
端子を有する基板等の検査装置は、被検査体上に設けら
れた複数の端子のそれぞれに対応するよう配置された複
数の固定プローブ針を有し、上記被検査体に対する位置
が固定された固定型プローブユニットと、可動プローブ
針を有し、上記各端子に対応し得るように上記被検査体
上を移動可能に構成された可動ヘッドとを備えたもので
ある。また、上記可動ヘッドを２個設け、１つをＸ方向
に移動可能なＸ方向可動ヘッドとし、他の１つをＹ方向
に移動可能なＹ方向可動ヘッドとしたものである。ま
た、上記被検査体を保持する水平移動可能なステージ
と、上記被検査体上に設けられた複数の端子に対応する
数の固定プローブ針を上記各端子に対応させて配置する
と共に、上記複数の固定プローブ針の両外側に上記各固
定プローブ針と同一ピッチで設けられた予備のプローブ
針を有する固定型プローブユニットとを備えたものであ
る。また、検査において検査装置に起因する不良である
と判断された場合には、自動的に当該端子に対する検査
結果が削除され、あるいはアラームを発するようソフト
ウェアにおいて制御されるものである。
端子を有する基板等の検査装置は、被検査体上に設けら
れた複数の端子のそれぞれに対応するよう配置された複
数の固定プローブ針を有し、上記被検査体に対する位置
が固定された固定型プローブユニットと、可動プローブ
針を有し、上記各端子に対応し得るように上記被検査体
上を移動可能に構成された可動ヘッドとを備えたもので
ある。また、上記可動ヘッドを２個設け、１つをＸ方向
に移動可能なＸ方向可動ヘッドとし、他の１つをＹ方向
に移動可能なＹ方向可動ヘッドとしたものである。ま
た、上記被検査体を保持する水平移動可能なステージ
と、上記被検査体上に設けられた複数の端子に対応する
数の固定プローブ針を上記各端子に対応させて配置する
と共に、上記複数の固定プローブ針の両外側に上記各固
定プローブ針と同一ピッチで設けられた予備のプローブ
針を有する固定型プローブユニットとを備えたものであ
る。また、検査において検査装置に起因する不良である
と判断された場合には、自動的に当該端子に対する検査
結果が削除され、あるいはアラームを発するようソフト
ウェアにおいて制御されるものである。
【０００７】また、この発明に係わる複数の端子を有す
る基板等の検査方法は、上記被検査体上に設けられた各
端子に上記固定型プローブユニットの固定プローブ針を
接触させて導通検査を行う工程と、上記導通検査におい
て導通不良と判定された端子に上記可動ヘッドに取り付
けられた可動プローブ針を接触させ、上記導通不良と判
定された端子に接触している固定プローブ針と上記可動
プローブ針間の導通検査を行う工程とを含むものであ
る。また、上記被検査体上に設けられた複数の端子のそ
れぞれに対応し得るようにされた固定プローブ針と、そ
の両外側に同一ピッチで設けられた予備のプローブ針と
を有する固定型プローブユニットの上記固定プローブ針
を上記被検査体の各端子に接触させて導通検査を行う工
程と、上記被検査体を保持するステージを上記各端子の
一ピッチ分だけ移動させ、一端子を上記予備のプローブ
針の一つに接触させると共に、他の各端子を対応する上
記各固定プローブ針に接触させ、上記導通検査で導通不
良と判定された端子の導通検査を行う工程とを含むもの
である。
る基板等の検査方法は、上記被検査体上に設けられた各
端子に上記固定型プローブユニットの固定プローブ針を
接触させて導通検査を行う工程と、上記導通検査におい
て導通不良と判定された端子に上記可動ヘッドに取り付
けられた可動プローブ針を接触させ、上記導通不良と判
定された端子に接触している固定プローブ針と上記可動
プローブ針間の導通検査を行う工程とを含むものであ
る。また、上記被検査体上に設けられた複数の端子のそ
れぞれに対応し得るようにされた固定プローブ針と、そ
の両外側に同一ピッチで設けられた予備のプローブ針と
を有する固定型プローブユニットの上記固定プローブ針
を上記被検査体の各端子に接触させて導通検査を行う工
程と、上記被検査体を保持するステージを上記各端子の
一ピッチ分だけ移動させ、一端子を上記予備のプローブ
針の一つに接触させると共に、他の各端子を対応する上
記各固定プローブ針に接触させ、上記導通検査で導通不
良と判定された端子の導通検査を行う工程とを含むもの
である。
【０００８】
【発明の実施の形態】実施の形態１．
以下、この発明の一実施の形態である検査装置を図につ
いて説明する。図１は本発明の実施の形態１による検査
装置の斜視図である。図において、１は被検査体である
基板、２は基板１上に信号ライン５から延長して形成さ
れた信号入力端子（以下単に端子という）で、本実施の
形態では液晶表示装置のアレイ基板等のように、基板１
の外周部に多数の端子２を有している。３は固定プロー
ブ針（以下、単にプローブ針と称する）で、ある特定の
端子２ａ（信号ライン５ａと接続している）にはプロー
ブ針３ａが接触している。４はプローブ針３が固定され
たフレーム、６は移動が可能な可動ヘッド、７は可動ヘ
ッド６に取り付けられた可動プローブ針である。なお、
本実施の形態におけるフレーム４に固定されたプローブ
針３を有する部分の固定型プローブユニットの構造は、
一つの端子に一本のプローブ針が対応した従来のプロー
ブユニットの構造と同様で、図１に示すように、被検査
体１に対する位置が固定されている。また、図１におい
ては信号ライン５の片側のみの端子部構造を示してお
り、図１では省略されているが反対側にも同様の端子部
があり、プローブ針が配置されている。または、片側に
のみ端子部が配置された構造を有する基板であると考え
てもよい。
いて説明する。図１は本発明の実施の形態１による検査
装置の斜視図である。図において、１は被検査体である
基板、２は基板１上に信号ライン５から延長して形成さ
れた信号入力端子（以下単に端子という）で、本実施の
形態では液晶表示装置のアレイ基板等のように、基板１
の外周部に多数の端子２を有している。３は固定プロー
ブ針（以下、単にプローブ針と称する）で、ある特定の
端子２ａ（信号ライン５ａと接続している）にはプロー
ブ針３ａが接触している。４はプローブ針３が固定され
たフレーム、６は移動が可能な可動ヘッド、７は可動ヘ
ッド６に取り付けられた可動プローブ針である。なお、
本実施の形態におけるフレーム４に固定されたプローブ
針３を有する部分の固定型プローブユニットの構造は、
一つの端子に一本のプローブ針が対応した従来のプロー
ブユニットの構造と同様で、図１に示すように、被検査
体１に対する位置が固定されている。また、図１におい
ては信号ライン５の片側のみの端子部構造を示してお
り、図１では省略されているが反対側にも同様の端子部
があり、プローブ針が配置されている。または、片側に
のみ端子部が配置された構造を有する基板であると考え
てもよい。
【０００９】次に、動作について説明する。一つの端子
２に一本のプローブ針３が対応した従来と同様の構造を
有するプローブユニットを用いて断線検査を順次行い、
例えば基板１上の左端から三番目の信号ライン５ａにお
いて断線しているという検査結果が得られた場合、図１
に示すように、可動ヘッド６を移動させ、可動プローブ
針７を左端から三番目の端子２ａに接触させる。この状
態、すなわち一つの端子２ａにプローブ針３ａと可動プ
ローブ針７が接触している状態でプローブ針３ａと可動
プローブ針７の間の導通を確認する。このときプローブ
針３ａと可動プローブ針７間の導通が確認された場合
は、プローブ針３ａと端子２ａは正しく接触していると
判断できるため、信号ライン５ａが断線しているという
検査結果は、信号ライン５ａに断線欠陥が生じているこ
とを示している。また、プローブ針３ａと可動プローブ
針７間に導通がない場合は、プローブ針３ａもしくは可
動プローブ針７と端子２ａ間の接触不良が第一の問題で
あり、信号ライン５ａが断線しているかどうかの判断は
接触不良を解決後に行なう必要がある。このような場合
には、検査結果から信号ライン５ａの判定結果を削除す
るか、装置異常としてアラームを発生させる。以上のよ
うな信号ライン５の断線検査、および断線していると判
定された場合にプローブ針３と端子２間の接触状態を評
価し必要に応じてアラームを発生させる一連の処理は、
検査装置のソフトウェアで自動的に処理されるよう構成
されている。
２に一本のプローブ針３が対応した従来と同様の構造を
有するプローブユニットを用いて断線検査を順次行い、
例えば基板１上の左端から三番目の信号ライン５ａにお
いて断線しているという検査結果が得られた場合、図１
に示すように、可動ヘッド６を移動させ、可動プローブ
針７を左端から三番目の端子２ａに接触させる。この状
態、すなわち一つの端子２ａにプローブ針３ａと可動プ
ローブ針７が接触している状態でプローブ針３ａと可動
プローブ針７の間の導通を確認する。このときプローブ
針３ａと可動プローブ針７間の導通が確認された場合
は、プローブ針３ａと端子２ａは正しく接触していると
判断できるため、信号ライン５ａが断線しているという
検査結果は、信号ライン５ａに断線欠陥が生じているこ
とを示している。また、プローブ針３ａと可動プローブ
針７間に導通がない場合は、プローブ針３ａもしくは可
動プローブ針７と端子２ａ間の接触不良が第一の問題で
あり、信号ライン５ａが断線しているかどうかの判断は
接触不良を解決後に行なう必要がある。このような場合
には、検査結果から信号ライン５ａの判定結果を削除す
るか、装置異常としてアラームを発生させる。以上のよ
うな信号ライン５の断線検査、および断線していると判
定された場合にプローブ針３と端子２間の接触状態を評
価し必要に応じてアラームを発生させる一連の処理は、
検査装置のソフトウェアで自動的に処理されるよう構成
されている。
【００１０】この発明によれば、例えば液晶表示装置の
アレイ基板等、基板１上に設けられた端子２を有する信
号ライン５の断線検査において、一つの端子２に一本の
プローブ針３を対応させた従来と同様の構造を有する部
分に、可動ヘッド６に取り付けられた一本の可動プロー
ブ針７を付加したプローブユニットを用い、断線してい
ると判定された信号ライン５が、本当に断線欠陥を有し
ているのか、あるいはプローブ針３と端子２の接触不良
に起因する判定であるのかを自動的に判断することがで
きるため、検査のやり直しに比べて検査時間を短縮でき
ると共に検査の信頼性を向上させることができる。さら
に、一つの端子２に対して二本のプローブ針を設ける必
要がないため、装置コストを低減することができる。
アレイ基板等、基板１上に設けられた端子２を有する信
号ライン５の断線検査において、一つの端子２に一本の
プローブ針３を対応させた従来と同様の構造を有する部
分に、可動ヘッド６に取り付けられた一本の可動プロー
ブ針７を付加したプローブユニットを用い、断線してい
ると判定された信号ライン５が、本当に断線欠陥を有し
ているのか、あるいはプローブ針３と端子２の接触不良
に起因する判定であるのかを自動的に判断することがで
きるため、検査のやり直しに比べて検査時間を短縮でき
ると共に検査の信頼性を向上させることができる。さら
に、一つの端子２に対して二本のプローブ針を設ける必
要がないため、装置コストを低減することができる。
【００１１】実施の形態２．実施の形態１では、可動ヘ
ッド６を一つにして、Ｘ方向およびＹ方向に移動可能と
したが、図２に示すように、Ｘ方向に移動可能なＸ方向
可動ヘッド８およびＹ方向に移動可能なＹ方向可動ヘッ
ド９をそれぞれ独立して移動し得るように設けることに
よっても実施の形態１と同様の効果が得られると共に、
基板の四辺に端子が配置される構成に対しては非常に有
利となる。
ッド６を一つにして、Ｘ方向およびＹ方向に移動可能と
したが、図２に示すように、Ｘ方向に移動可能なＸ方向
可動ヘッド８およびＹ方向に移動可能なＹ方向可動ヘッ
ド９をそれぞれ独立して移動し得るように設けることに
よっても実施の形態１と同様の効果が得られると共に、
基板の四辺に端子が配置される構成に対しては非常に有
利となる。
【００１２】実施の形態３．図３はこの発明の実施の形
態３を示す検査方法を説明するための平面図である。図
において、１は基板、２は基板１上に設けられた信号入
力端子（端子）、３はプローブ針、５は信号ライン、１
０は基板１を保持するステージである。端子２には順に
Ｔ1 、Ｔ2 、Ｔ3 、Ｔ4 と符号を配し、プローブ針３に
はＰ0 、Ｐ1、Ｐ2 、Ｐ3 、Ｐ4 、Ｐ5 と順に符号を配
している。また、本実施の形態におけるプローブユニッ
トの構造は、基本的には従来の一つの端子に一本のプロ
ーブ針を対応させたプローブユニットと同じで、違うと
ころは基板１上の各端子Ｔ1 〜Ｔ4 に対応させたプロー
ブ針Ｐ1 〜Ｐ4 の両端外側に同じピッチで予備のプロー
ブ針Ｐ0 とＰ5 が追加配置されている。
態３を示す検査方法を説明するための平面図である。図
において、１は基板、２は基板１上に設けられた信号入
力端子（端子）、３はプローブ針、５は信号ライン、１
０は基板１を保持するステージである。端子２には順に
Ｔ1 、Ｔ2 、Ｔ3 、Ｔ4 と符号を配し、プローブ針３に
はＰ0 、Ｐ1、Ｐ2 、Ｐ3 、Ｐ4 、Ｐ5 と順に符号を配
している。また、本実施の形態におけるプローブユニッ
トの構造は、基本的には従来の一つの端子に一本のプロ
ーブ針を対応させたプローブユニットと同じで、違うと
ころは基板１上の各端子Ｔ1 〜Ｔ4 に対応させたプロー
ブ針Ｐ1 〜Ｐ4 の両端外側に同じピッチで予備のプロー
ブ針Ｐ0 とＰ5 が追加配置されている。
【００１３】次に動作について説明する。一つの端子２
に一本のプローブ針３が対応した従来と同様の構造を有
するプローブユニットを用いて断線検査を行う。このと
きは、図３（ａ）に示すように、端子Ｔ1 にはプローブ
針Ｐ1 、端子Ｔ2 にはプローブ針Ｐ2 、端子Ｔ3 にはプ
ローブ針Ｐ3 、端子Ｔ4 にはプローブ針Ｐ4 が対応して
いる。ここで、例えばプローブ針Ｐ3 に対応した端子Ｔ
3 と接続している信号ライン５が断線しているという検
査結果が得られた場合、図３（ｂ）に示すように、基板
１を保持したステージ１０を端子２の一ピッチ分だけ図
中の矢印方向に移動させることにより、各端子２に接触
するプローブ針３を変更し、端子Ｔ1 にはプローブ針Ｐ
2 、端子Ｔ2 にはプローブ針Ｐ3 、端子Ｔ3 にはプロー
ブ針Ｐ4、端子Ｔ4 にはプローブ針Ｐ5 を対応させる。
この状態で再度断線検査を行う。このとき一度目の検査
とは異なるプローブ針Ｐ4 を接触させたにもかかわら
ず、端子Ｔ3 と接続している信号ライン５が断線してい
るという検査結果が得られた場合は、この信号ライン５
が断線欠陥を有していると非常に高い確率で判定でき
る。また、一度目の検査とは異なるプローブ針Ｐ4 を端
子Ｔ3 に接触させたときに、端子Ｔ3 と接続している信
号ライン５が正常であるという検査結果が得られた場合
は、一度目の検査時の断線しているという検査結果はプ
ローブ針Ｐ3 と端子Ｔ3 の接触不良に起因していると判
断でき、このような場合には、検査結果から端子Ｔ3 と
接続している信号ライン５の判定結果を削除するか、装
置異常としてアラームを発生させる。
に一本のプローブ針３が対応した従来と同様の構造を有
するプローブユニットを用いて断線検査を行う。このと
きは、図３（ａ）に示すように、端子Ｔ1 にはプローブ
針Ｐ1 、端子Ｔ2 にはプローブ針Ｐ2 、端子Ｔ3 にはプ
ローブ針Ｐ3 、端子Ｔ4 にはプローブ針Ｐ4 が対応して
いる。ここで、例えばプローブ針Ｐ3 に対応した端子Ｔ
3 と接続している信号ライン５が断線しているという検
査結果が得られた場合、図３（ｂ）に示すように、基板
１を保持したステージ１０を端子２の一ピッチ分だけ図
中の矢印方向に移動させることにより、各端子２に接触
するプローブ針３を変更し、端子Ｔ1 にはプローブ針Ｐ
2 、端子Ｔ2 にはプローブ針Ｐ3 、端子Ｔ3 にはプロー
ブ針Ｐ4、端子Ｔ4 にはプローブ針Ｐ5 を対応させる。
この状態で再度断線検査を行う。このとき一度目の検査
とは異なるプローブ針Ｐ4 を接触させたにもかかわら
ず、端子Ｔ3 と接続している信号ライン５が断線してい
るという検査結果が得られた場合は、この信号ライン５
が断線欠陥を有していると非常に高い確率で判定でき
る。また、一度目の検査とは異なるプローブ針Ｐ4 を端
子Ｔ3 に接触させたときに、端子Ｔ3 と接続している信
号ライン５が正常であるという検査結果が得られた場合
は、一度目の検査時の断線しているという検査結果はプ
ローブ針Ｐ3 と端子Ｔ3 の接触不良に起因していると判
断でき、このような場合には、検査結果から端子Ｔ3 と
接続している信号ライン５の判定結果を削除するか、装
置異常としてアラームを発生させる。
【００１４】また、本実施の形態によるプローブユニッ
トを用いることにより信号ライン５間の短絡欠陥を判定
することも可能である。図３（ａ）に示した状態におい
て、例えばプローブ針Ｐ2 とＰ3 に対応した端子Ｔ2 と
Ｔ3 に接続している信号ライン５が短絡しているという
検査結果が得られた場合、この検査結果は、本当に端子
Ｔ2 とＴ3 に接続している信号ライン５が短絡している
可能性と、プローブユニットの内部でプローブ針Ｐ2 と
Ｐ3 が短絡している可能性の二通りに解釈できる。そこ
で、図３（ｂ）に示すように、基板１を保持したステー
ジ１０を端子２の一ピッチ分だけ図中の矢印方向に移動
させることにより、各端子２に接触するプローブ針３を
変更して再度検査を行う。このとき一度目の検査とは異
なるプローブ針Ｐ3 とＰ4 を接触させたにもかかわら
ず、端子Ｔ2 とＴ3 に接続している信号ライン５が短絡
しているという検査結果が得られた場合は、端子Ｔ2 と
Ｔ3 に接続している信号ライン５が短絡していると非常
に高い確率で判定できる。また、一度目の検査とは異な
るプローブ針Ｐ3 とＰ4 を端子Ｔ2 とＴ3 に接触させた
ときに、端子Ｔ2 とＴ3 と接続している信号ライン５が
短絡していないという検査結果が得られた場合は、一度
目の検査結果はプローブユニットの不良に起因している
と判断できる。このような場合にも、検査結果から端子
Ｔ2 とＴ3と接続している信号ライン５の判定結果を削
除するか、装置異常としてアラームを発生させる。
トを用いることにより信号ライン５間の短絡欠陥を判定
することも可能である。図３（ａ）に示した状態におい
て、例えばプローブ針Ｐ2 とＰ3 に対応した端子Ｔ2 と
Ｔ3 に接続している信号ライン５が短絡しているという
検査結果が得られた場合、この検査結果は、本当に端子
Ｔ2 とＴ3 に接続している信号ライン５が短絡している
可能性と、プローブユニットの内部でプローブ針Ｐ2 と
Ｐ3 が短絡している可能性の二通りに解釈できる。そこ
で、図３（ｂ）に示すように、基板１を保持したステー
ジ１０を端子２の一ピッチ分だけ図中の矢印方向に移動
させることにより、各端子２に接触するプローブ針３を
変更して再度検査を行う。このとき一度目の検査とは異
なるプローブ針Ｐ3 とＰ4 を接触させたにもかかわら
ず、端子Ｔ2 とＴ3 に接続している信号ライン５が短絡
しているという検査結果が得られた場合は、端子Ｔ2 と
Ｔ3 に接続している信号ライン５が短絡していると非常
に高い確率で判定できる。また、一度目の検査とは異な
るプローブ針Ｐ3 とＰ4 を端子Ｔ2 とＴ3 に接触させた
ときに、端子Ｔ2 とＴ3 と接続している信号ライン５が
短絡していないという検査結果が得られた場合は、一度
目の検査結果はプローブユニットの不良に起因している
と判断できる。このような場合にも、検査結果から端子
Ｔ2 とＴ3と接続している信号ライン５の判定結果を削
除するか、装置異常としてアラームを発生させる。
【００１５】以上のような信号ラインの断線、短絡検
査、および断線もしくは短絡していると判定された場合
に、基板１の位置を移動させて一度目の検査とは異なる
プローブ針３を端子２に接触させて再度評価し、必要に
応じてアラームを発生させる一連の処理は、検査装置の
ソフトウェアで自動的に処理されるよう構成されてい
る。なお、上記実施の形態では一方向（Ｘ方向）のみの
プローブ針３に対して説明したが、Ｙ方向にも同様に両
端に予備のプローブ針を配置し、基板１を保持したステ
ージ１０をＹ方向に端子２の一ピッチ分だけ移動させる
ことにより同様の検査を行うことができる。
査、および断線もしくは短絡していると判定された場合
に、基板１の位置を移動させて一度目の検査とは異なる
プローブ針３を端子２に接触させて再度評価し、必要に
応じてアラームを発生させる一連の処理は、検査装置の
ソフトウェアで自動的に処理されるよう構成されてい
る。なお、上記実施の形態では一方向（Ｘ方向）のみの
プローブ針３に対して説明したが、Ｙ方向にも同様に両
端に予備のプローブ針を配置し、基板１を保持したステ
ージ１０をＹ方向に端子２の一ピッチ分だけ移動させる
ことにより同様の検査を行うことができる。
【００１６】本実施の形態によれば、基板１上に設けら
れた端子２を有する信号ライン５の断線、短絡検査にお
いて、一つの端子２に一本のプローブ針３を対応させた
従来と同様の構造を有するプローブユニットのプローブ
針３の両端外側に、同じピッチで予備のプローブ針Ｐ0
とＰ5 が配置されたプローブユニットを用い、断線もし
くは短絡していると判定された信号ライン５が、本当に
断線もしくは短絡欠陥を有しているのか、あるいはプロ
ーブ針３と端子２の接触不良もしくはプローブユニット
内部の短絡不良に起因する判定であるのかを自動的に判
断することができるため、検査時間を短縮できると共に
検査の信頼性を向上させることができる。さらに、一つ
の端子２に対して二本のプローブ針を設ける必要がない
ため、装置コストを低減することができる。
れた端子２を有する信号ライン５の断線、短絡検査にお
いて、一つの端子２に一本のプローブ針３を対応させた
従来と同様の構造を有するプローブユニットのプローブ
針３の両端外側に、同じピッチで予備のプローブ針Ｐ0
とＰ5 が配置されたプローブユニットを用い、断線もし
くは短絡していると判定された信号ライン５が、本当に
断線もしくは短絡欠陥を有しているのか、あるいはプロ
ーブ針３と端子２の接触不良もしくはプローブユニット
内部の短絡不良に起因する判定であるのかを自動的に判
断することができるため、検査時間を短縮できると共に
検査の信頼性を向上させることができる。さらに、一つ
の端子２に対して二本のプローブ針を設ける必要がない
ため、装置コストを低減することができる。
【００１７】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、例え
ば液晶表示装置のアレイ基板等、複数の端子を有する基
板の断線、短絡検査において、断線もしくは短絡してい
ると判定された信号ラインが、本当に欠陥を有している
のか、あるいは検査装置の不良に起因した判定であるの
か自動的に判断することができるため、検査のやり直し
に比べて検査時間を短縮できると共に検査の信頼性を向
上させることができる。さらに、用いられるプローブユ
ニットの構造は、基本的には従来のものとほぼ同様の構
造を有しているため、装置コストが従来のものと同程度
となるものである。
ば液晶表示装置のアレイ基板等、複数の端子を有する基
板の断線、短絡検査において、断線もしくは短絡してい
ると判定された信号ラインが、本当に欠陥を有している
のか、あるいは検査装置の不良に起因した判定であるの
か自動的に判断することができるため、検査のやり直し
に比べて検査時間を短縮できると共に検査の信頼性を向
上させることができる。さらに、用いられるプローブユ
ニットの構造は、基本的には従来のものとほぼ同様の構
造を有しているため、装置コストが従来のものと同程度
となるものである。
【図１】 この発明の実施の形態１による検査装置を示
す斜視図である。
す斜視図である。
【図２】 この発明の実施の形態２による検査装置を示
す斜視図である。
す斜視図である。
【図３】 この発明の実施の形態３による検査方法を説
明するための平面図である。
明するための平面図である。
【図４】 従来のこの種検査装置を示す示す斜視図であ
る。
る。
１ 基板、２ 信号入力端子（端子）、３ プローブ
針、４ フレーム、５ 信号ライン、６ 可動ヘッド、
７ 可動プローブ針、８ Ｘ方向可動ヘッド、９ Ｙ方
向可動ヘッド、１０ ステージ。
針、４ フレーム、５ 信号ライン、６ 可動ヘッド、
７ 可動プローブ針、８ Ｘ方向可動ヘッド、９ Ｙ方
向可動ヘッド、１０ ステージ。
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G01R 31/28 - 31/3193
G01R 1/06 - 1/073
G01R 31/02
Claims (6)
- 【請求項１】 被検査体上に設けられた複数の端子のそ
れぞれに対応するよう配置された複数の固定プローブ針
を有し、上記被検査体に対する位置が固定された固定型
プローブユニットと、可動プローブ針を有し、上記各端
子に対応し得るように上記被検査体上を移動可能に構成
された可動ヘッドとを備えたことを特徴とする複数の端
子を有する基板等の検査装置。 - 【請求項２】 上記可動ヘッドを２個設け、１つをＸ方
向に移動可能なＸ方向可動ヘッドとし、他の１つをＹ方
向に移動可能なＹ方向可動ヘッドとしたことを特徴とす
る請求項１記載の複数の端子を有する基板等の検査装
置。 - 【請求項３】 被検査体を保持する水平移動可能なステ
ージと、上記被検査体上に設けられた複数の端子に対応
する数の固定プローブ針を上記各端子に対応させて配置
すると共に、上記複数の固定プローブ針の両外側に上記
各固定プローブ針と同一ピッチで設けられた予備のプロ
ーブ針を有する固定型プローブユニットとを備えたこと
を特徴とする複数の端子を有する基板等の検査装置。 - 【請求項４】 検査において検査装置に起因する不良で
あると判断された場合には、自動的に当該端子に対する
検査結果が削除され、あるいはアラームを発するようソ
フトウェアにおいて制御されることを特徴とする請求項
１〜請求項３のいずれか一項記載の複数の端子を有する
基板等の検査装置。 - 【請求項５】 被検査体上に設けられた各端子に固定型
プローブユニットの固定プローブ針を接触させて導通検
査を行う工程と、上記導通検査において導通不良と判定
された端子に可動ヘッドに取り付けられた可動プローブ
針を接触させ、上記導通不良と判定された端子に接触し
ている固定プローブ針と上記可動プローブ針間の導通検
査を行う工程とを含むことを特徴とする複数の端子を有
する基板等の検査方法。 - 【請求項６】 被検査体上に設けられた複数の端子のそ
れぞれに対応し得るようにされた固定プローブ針と、そ
の両外側に同一ピッチで設けられた予備のプローブ針と
を有する固定型プローブユニットの上記固定プローブ針
を上記被検査体の各端子に接触させて導通検査を行う工
程と、上記被検査体を保持するステージを上記各端子の
一ピッチ分だけ移動させ、一端子を上記予備のプローブ
針の一つに接触させると共に、他の各端子を対応する上
記各固定プローブ針に接触させ、上記導通検査で導通不
良と判定された端子の導通検査を行う工程とを含むこと
を特徴とする複数の端子を有する基板等の検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36051897A JP3361982B2 (ja) | 1997-12-26 | 1997-12-26 | 複数の端子を有する基板等の検査装置および検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36051897A JP3361982B2 (ja) | 1997-12-26 | 1997-12-26 | 複数の端子を有する基板等の検査装置および検査方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11190764A JPH11190764A (ja) | 1999-07-13 |
| JP3361982B2 true JP3361982B2 (ja) | 2003-01-07 |
Family
ID=18469747
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP36051897A Expired - Fee Related JP3361982B2 (ja) | 1997-12-26 | 1997-12-26 | 複数の端子を有する基板等の検査装置および検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3361982B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4863786B2 (ja) * | 2006-06-28 | 2012-01-25 | 富士通株式会社 | 接触試験装置および接触試験方法 |
| JP5136024B2 (ja) * | 2007-11-28 | 2013-02-06 | 日本電気株式会社 | 位置調整装置及び位置調整方法 |
-
1997
- 1997-12-26 JP JP36051897A patent/JP3361982B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH11190764A (ja) | 1999-07-13 |
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