JPH11190764A - 多数の端子を有する基板等の検査装置および検査方法 - Google Patents
多数の端子を有する基板等の検査装置および検査方法Info
- Publication number
- JPH11190764A JPH11190764A JP9360518A JP36051897A JPH11190764A JP H11190764 A JPH11190764 A JP H11190764A JP 9360518 A JP9360518 A JP 9360518A JP 36051897 A JP36051897 A JP 36051897A JP H11190764 A JPH11190764 A JP H11190764A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe needle
- terminal
- inspection
- movable
- terminals
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Abstract
(57)【要約】
【課題】 プローブユニットを用いた端子間の断線、短
絡検査において、検査時間の短縮および検査の信頼性を
向上できる検査装置を安価で得る。さらにこの装置に適
した検査方法を提供する。 【解決手段】 一つの端子２に一本のプローブ針３を対
応させた従来と同様の構造を有する部分に、可動ヘッド
６に取り付けられた一本の可動プローブ針７を付加した
プローブユニットを用い、基板１上に設けられた端子２
を有する信号ライン５の断線検査において、断線してい
るという検査結果が得られた場合、可動ヘッド６を移動
させ、可動プローブ針７を断線していると判定された端
子２ａに接触させ、一つの端子２ａにプローブ針３ａと
可動プローブ針７が接触している状態でプローブ針３ａ
と可動プローブ針７の間の導通を確認する。
絡検査において、検査時間の短縮および検査の信頼性を
向上できる検査装置を安価で得る。さらにこの装置に適
した検査方法を提供する。 【解決手段】 一つの端子２に一本のプローブ針３を対
応させた従来と同様の構造を有する部分に、可動ヘッド
６に取り付けられた一本の可動プローブ針７を付加した
プローブユニットを用い、基板１上に設けられた端子２
を有する信号ライン５の断線検査において、断線してい
るという検査結果が得られた場合、可動ヘッド６を移動
させ、可動プローブ針７を断線していると判定された端
子２ａに接触させ、一つの端子２ａにプローブ針３ａと
可動プローブ針７が接触している状態でプローブ針３ａ
と可動プローブ針７の間の導通を確認する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、多数の信号入力
端子を有する例えば液晶表示装置等において、信号入力
端子の導通を検査するための検査装置および検査方法に
関するものである。
端子を有する例えば液晶表示装置等において、信号入力
端子の導通を検査するための検査装置および検査方法に
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】液晶表示装置等のデバイスは多数の信号
入力端子（以下、端子と称する）を有し、その製造段階
では種々の検査が行われる。その検査の一つとして、各
端子にプローブ針を接触させて電気信号を入力および検
出する検査が行われる。一般的にこの検査に用いられる
プローブ針は、端子レイアウトに合わせてユニットの形
で作製される。例えば液晶表示装置においては、アレイ
基板上の端子レイアウトに合わせて各プローブ針の配置
を決め、それをフレームに固定することによりプローブ
ユニットを作製する。このようなプローブユニットを用
いて、信号ラインの導通（断線や短絡）検査が行われ
る。しかし、断線検査においては、ある信号ラインが断
線していると判定された場合、本当に信号ラインの断線
であるのか、それともプローブ針の接触不良により断線
と判定されたのかを区別することが困難であった。
入力端子（以下、端子と称する）を有し、その製造段階
では種々の検査が行われる。その検査の一つとして、各
端子にプローブ針を接触させて電気信号を入力および検
出する検査が行われる。一般的にこの検査に用いられる
プローブ針は、端子レイアウトに合わせてユニットの形
で作製される。例えば液晶表示装置においては、アレイ
基板上の端子レイアウトに合わせて各プローブ針の配置
を決め、それをフレームに固定することによりプローブ
ユニットを作製する。このようなプローブユニットを用
いて、信号ラインの導通（断線や短絡）検査が行われ
る。しかし、断線検査においては、ある信号ラインが断
線していると判定された場合、本当に信号ラインの断線
であるのか、それともプローブ針の接触不良により断線
と判定されたのかを区別することが困難であった。
【０００３】プローブユニットを用いた断線検査におけ
る断線しているとの判定が、信号ラインの断線によるも
のかプローブ針の接触不良によるものかを区別するため
に従来提案された方法として、例えば特開平３−５１７
６８号公報では、図４に示すように、基板１上に形成さ
れた端子２間の断線検査を行う場合、基板１上の一つの
端子２に対して二本のプローブ針３が接触するようプロ
ーブ針３がフレーム４に固定されており、予め一つの端
子２に接触した二本のプローブ針３間の導通を確認する
ことにより、プローブ針３が端子２に接触していること
を確認した後に断線検査を行う方法が提案されている。
る断線しているとの判定が、信号ラインの断線によるも
のかプローブ針の接触不良によるものかを区別するため
に従来提案された方法として、例えば特開平３−５１７
６８号公報では、図４に示すように、基板１上に形成さ
れた端子２間の断線検査を行う場合、基板１上の一つの
端子２に対して二本のプローブ針３が接触するようプロ
ーブ針３がフレーム４に固定されており、予め一つの端
子２に接触した二本のプローブ針３間の導通を確認する
ことにより、プローブ針３が端子２に接触していること
を確認した後に断線検査を行う方法が提案されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来のプローブユニッ
トを用いた端子２間の断線検査は以上のように構成され
ているので、一つの端子２に対して二本のプローブ針３
を配置させることが必要であり、液晶表示装置では、各
端子２の間隔は１００μｍ以下と微小であるため、この
中に二本のプローブ針３を配置することは技術的に困難
であり、また、液晶表示装置は数千個の端子２を有する
ため、全端子２に二本ずつのプローブ針３を対応させた
検査装置を製作するには大きなコストがかかるという問
題があった。
トを用いた端子２間の断線検査は以上のように構成され
ているので、一つの端子２に対して二本のプローブ針３
を配置させることが必要であり、液晶表示装置では、各
端子２の間隔は１００μｍ以下と微小であるため、この
中に二本のプローブ針３を配置することは技術的に困難
であり、また、液晶表示装置は数千個の端子２を有する
ため、全端子２に二本ずつのプローブ針３を対応させた
検査装置を製作するには大きなコストがかかるという問
題があった。
【０００５】この発明は、上記のような問題を解決する
ためになされたもので、プローブユニットを用いた端子
間の導通検査において、検査時間の短縮および検査の信
頼性を向上できる検査装置を安価に得ることを目的とす
る。さらにこの装置に適した検査方法を提供することを
目的とする。
ためになされたもので、プローブユニットを用いた端子
間の導通検査において、検査時間の短縮および検査の信
頼性を向上できる検査装置を安価に得ることを目的とす
る。さらにこの装置に適した検査方法を提供することを
目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明に係わる多数の
端子を有する基板等の検査装置は、被検査体上に設けら
れた多数の端子のそれぞれに対応するよう配置された固
定プローブ針を有する固定型プローブユニットと、可動
プローブ針を有し、各端子に対応し得るように移動可能
な可動ヘッドを備えたものである。また、可動ヘッドと
して、Ｘ方向に移動可能なＸ方向可動ヘッドと、Ｙ方向
に移動可能なＹ方向可動ヘッドを有するものである。ま
た、被検査体を保持する水平移動可能なステージと、被
検査体上に設けられた多数の端子のそれぞれに対応する
よう配置された固定型プローブユニットを構成する固定
プローブ針と、固定型プローブユニットを構成する固定
プローブ針の両端外側に同一ピッチで設けられた予備の
プローブ針を備えたものである。また、検査において検
査装置に起因する不良であると判断された場合には、自
動的に当該端子に対する検査結果が削除され、あるいは
アラームを発するようソフトウェアにおいて制御される
ものである。
端子を有する基板等の検査装置は、被検査体上に設けら
れた多数の端子のそれぞれに対応するよう配置された固
定プローブ針を有する固定型プローブユニットと、可動
プローブ針を有し、各端子に対応し得るように移動可能
な可動ヘッドを備えたものである。また、可動ヘッドと
して、Ｘ方向に移動可能なＸ方向可動ヘッドと、Ｙ方向
に移動可能なＹ方向可動ヘッドを有するものである。ま
た、被検査体を保持する水平移動可能なステージと、被
検査体上に設けられた多数の端子のそれぞれに対応する
よう配置された固定型プローブユニットを構成する固定
プローブ針と、固定型プローブユニットを構成する固定
プローブ針の両端外側に同一ピッチで設けられた予備の
プローブ針を備えたものである。また、検査において検
査装置に起因する不良であると判断された場合には、自
動的に当該端子に対する検査結果が削除され、あるいは
アラームを発するようソフトウェアにおいて制御される
ものである。
【０００７】また、この発明に係わる多数の端子を有す
る基板等の検査方法は、被検査体上に設けられた各端子
に固定型プローブユニットの固定プローブ針を接触させ
て導通検査を行う工程と、導通検査において導通不良と
判定された端子に可動ヘッドに取り付けられた可動プロ
ーブ針を接触させ、導通不良と判定された端子に接触し
ている固定プローブ針と可動プローブ針間の導通検査を
行う工程とを含むものである。また、被検査体上に設け
られた多数の端子のそれぞれに対応し得る固定プローブ
針とその両端外側に同一ピッチで設けられた予備のプロ
ーブ針とを有する固定型プローブユニットの固定プロー
ブ針を検査体の各端子に接触させて導通検査を行う工程
と、被検査体を保持するステージを端子の一ピッチ分だ
け移動させ、予備のプローブ針の一つおよび上記各固定
プローブ針を被検査体の各端子に接触させると共に、導
通検査で導通不良と判定された端子の導通検査を行う工
程とを含むものである。
る基板等の検査方法は、被検査体上に設けられた各端子
に固定型プローブユニットの固定プローブ針を接触させ
て導通検査を行う工程と、導通検査において導通不良と
判定された端子に可動ヘッドに取り付けられた可動プロ
ーブ針を接触させ、導通不良と判定された端子に接触し
ている固定プローブ針と可動プローブ針間の導通検査を
行う工程とを含むものである。また、被検査体上に設け
られた多数の端子のそれぞれに対応し得る固定プローブ
針とその両端外側に同一ピッチで設けられた予備のプロ
ーブ針とを有する固定型プローブユニットの固定プロー
ブ針を検査体の各端子に接触させて導通検査を行う工程
と、被検査体を保持するステージを端子の一ピッチ分だ
け移動させ、予備のプローブ針の一つおよび上記各固定
プローブ針を被検査体の各端子に接触させると共に、導
通検査で導通不良と判定された端子の導通検査を行う工
程とを含むものである。
【０００８】
【発明の実施の形態】実施の形態１．以下、この発明の
一実施の形態であ検査装置を図について説明する。図１
は本発明の実施の形態１による検査装置の斜視図であ
る。図において、１は被検査体である基板、２は基板１
上に信号ライン５から延長して形成された信号入力端子
（以下単に端子という）で、本実施の形態では液晶表示
装置のアレイ基板等のように、基板１の外周部に多数の
端子２を有している。３は固定プローブ針（以下、単に
プローブ針と称する）で、ある特定の端子２ａ（信号ラ
イン５ａと接続している）にはプローブ針３ａが接触し
ている。４はプローブ針３が固定されたフレーム、６は
移動が可能な可動ヘッド、７は可動ヘッド６に取り付け
られた可動プローブ針である。なお、本実施の形態にお
けるフレーム４に固定されたプローブ針３を有する部分
のプローブユニットの構造は、一つの端子に一本のプロ
ーブ針が対応した従来のプローブユニットの構造と同様
である。また、図１においては信号ライン５の片側のみ
の端子部構造を示しており、図１では省略されているが
反対側にも同様の端子部があり、プローブ針が配置され
ている。または、片側にのみ端子部が配置された構造を
有する基板であると考えてもよい。
一実施の形態であ検査装置を図について説明する。図１
は本発明の実施の形態１による検査装置の斜視図であ
る。図において、１は被検査体である基板、２は基板１
上に信号ライン５から延長して形成された信号入力端子
（以下単に端子という）で、本実施の形態では液晶表示
装置のアレイ基板等のように、基板１の外周部に多数の
端子２を有している。３は固定プローブ針（以下、単に
プローブ針と称する）で、ある特定の端子２ａ（信号ラ
イン５ａと接続している）にはプローブ針３ａが接触し
ている。４はプローブ針３が固定されたフレーム、６は
移動が可能な可動ヘッド、７は可動ヘッド６に取り付け
られた可動プローブ針である。なお、本実施の形態にお
けるフレーム４に固定されたプローブ針３を有する部分
のプローブユニットの構造は、一つの端子に一本のプロ
ーブ針が対応した従来のプローブユニットの構造と同様
である。また、図１においては信号ライン５の片側のみ
の端子部構造を示しており、図１では省略されているが
反対側にも同様の端子部があり、プローブ針が配置され
ている。または、片側にのみ端子部が配置された構造を
有する基板であると考えてもよい。
【０００９】次に、動作について説明する。一つの端子
２に一本のプローブ針３が対応した従来と同様の構造を
有するプローブユニットを用いて断線検査を順次行い、
例えば基板１上の左端から三番目の信号ライン５ａにお
いて断線しているという検査結果が得られた場合、図１
に示すように、可動ヘッド６を移動させ、可動プローブ
針７を左端から三番目の端子２ａに接触させる。この状
態、すなわち一つの端子２ａにプローブ針３ａと可動プ
ローブ針７が接触している状態でプローブ針３ａと可動
プローブ針７の間の導通を確認する。このときプローブ
針３ａと可動プローブ針７間の導通が確認された場合
は、プローブ針３ａと端子２ａは正しく接触していると
判断できるため、信号ライン５ａが断線しているという
検査結果は、信号ライン５ａに断線欠陥が生じているこ
とを示している。また、プローブ針３ａと可動プローブ
針７間に導通がない場合は、プローブ針３ａもしくは可
動プローブ針７と端子２ａ間の接触不良が第一の問題で
あり、信号ライン５ａが断線しているかどうかの判断は
接触不良を解決後に行なう必要がある。このような場合
には、検査結果から信号ライン５ａの判定結果を削除す
るか、装置異常としてアラームを発生させる。以上のよ
うな信号ライン５の断線検査、および断線していると判
定された場合にプローブ針３と端子２間の接触状態を評
価し必要に応じてアラームを発生させる一連の処理は、
検査装置のソフトウェアで自動的に処理されるよう構成
されている。
２に一本のプローブ針３が対応した従来と同様の構造を
有するプローブユニットを用いて断線検査を順次行い、
例えば基板１上の左端から三番目の信号ライン５ａにお
いて断線しているという検査結果が得られた場合、図１
に示すように、可動ヘッド６を移動させ、可動プローブ
針７を左端から三番目の端子２ａに接触させる。この状
態、すなわち一つの端子２ａにプローブ針３ａと可動プ
ローブ針７が接触している状態でプローブ針３ａと可動
プローブ針７の間の導通を確認する。このときプローブ
針３ａと可動プローブ針７間の導通が確認された場合
は、プローブ針３ａと端子２ａは正しく接触していると
判断できるため、信号ライン５ａが断線しているという
検査結果は、信号ライン５ａに断線欠陥が生じているこ
とを示している。また、プローブ針３ａと可動プローブ
針７間に導通がない場合は、プローブ針３ａもしくは可
動プローブ針７と端子２ａ間の接触不良が第一の問題で
あり、信号ライン５ａが断線しているかどうかの判断は
接触不良を解決後に行なう必要がある。このような場合
には、検査結果から信号ライン５ａの判定結果を削除す
るか、装置異常としてアラームを発生させる。以上のよ
うな信号ライン５の断線検査、および断線していると判
定された場合にプローブ針３と端子２間の接触状態を評
価し必要に応じてアラームを発生させる一連の処理は、
検査装置のソフトウェアで自動的に処理されるよう構成
されている。
【００１０】この発明によれば、例えば液晶表示装置の
アレイ基板等、基板１上に設けられた端子２を有する信
号ライン５の断線検査において、一つの端子２に一本の
プローブ針３を対応させた従来と同様の構造を有する部
分に、可動ヘッド６に取り付けられた一本の可動プロー
ブ針７を付加したプローブユニットを用い、断線してい
ると判定された信号ライン５が、本当に断線欠陥を有し
ているのか、あるいはプローブ針３と端子２の接触不良
に起因する判定であるのかを自動的に判断することがで
きるため、検査のやり直しに比べて検査時間を短縮でき
ると共に検査の信頼性を向上させることができる。さら
に、一つの端子２に対して二本のプローブ針を設ける必
要がないため、装置コストを低減することができる。
アレイ基板等、基板１上に設けられた端子２を有する信
号ライン５の断線検査において、一つの端子２に一本の
プローブ針３を対応させた従来と同様の構造を有する部
分に、可動ヘッド６に取り付けられた一本の可動プロー
ブ針７を付加したプローブユニットを用い、断線してい
ると判定された信号ライン５が、本当に断線欠陥を有し
ているのか、あるいはプローブ針３と端子２の接触不良
に起因する判定であるのかを自動的に判断することがで
きるため、検査のやり直しに比べて検査時間を短縮でき
ると共に検査の信頼性を向上させることができる。さら
に、一つの端子２に対して二本のプローブ針を設ける必
要がないため、装置コストを低減することができる。
【００１１】実施の形態２．実施の形態１では、可動ヘ
ッド６を一つにして、Ｘ方向およびＹ方向に移動可能と
したが、図２に示すように、Ｘ方向に移動可能なＸ方向
可動ヘッド８およびＹ方向に移動可能なＹ方向可動ヘッ
ド９をそれぞれ独立して移動し得るように設けることに
よっても実施の形態１と同様の効果が得られると共に、
基板の四辺に端子が配置される構成に対しては非常に有
利となる。
ッド６を一つにして、Ｘ方向およびＹ方向に移動可能と
したが、図２に示すように、Ｘ方向に移動可能なＸ方向
可動ヘッド８およびＹ方向に移動可能なＹ方向可動ヘッ
ド９をそれぞれ独立して移動し得るように設けることに
よっても実施の形態１と同様の効果が得られると共に、
基板の四辺に端子が配置される構成に対しては非常に有
利となる。
【００１２】実施の形態３．図３はこの発明の実施の形
態３を示す検査方法を説明するための平面図である。図
において、１は基板、２は基板１上に設けられた信号入
力端子（端子）、３はプローブ針、５は信号ライン、１
０は基板１を保持するステージである。端子２には順に
Ｔ1 、Ｔ2 、Ｔ3 、Ｔ4 と符号を配し、プローブ針３に
はＰ0 、Ｐ1、Ｐ2 、Ｐ3 、Ｐ4 、Ｐ5 と順に符号を配
している。また、本実施の形態におけるプローブユニッ
トの構造は、基本的には従来の一つの端子に一本のプロ
ーブ針を対応させたプローブユニットと同じで、違うと
ころは基板１上の各端子Ｔ1 〜Ｔ4 に対応させたプロー
ブ針Ｐ1 〜Ｐ4 の両端外側に同じピッチで予備のプロー
ブ針Ｐ0 とＰ5 が追加配置されている。
態３を示す検査方法を説明するための平面図である。図
において、１は基板、２は基板１上に設けられた信号入
力端子（端子）、３はプローブ針、５は信号ライン、１
０は基板１を保持するステージである。端子２には順に
Ｔ1 、Ｔ2 、Ｔ3 、Ｔ4 と符号を配し、プローブ針３に
はＰ0 、Ｐ1、Ｐ2 、Ｐ3 、Ｐ4 、Ｐ5 と順に符号を配
している。また、本実施の形態におけるプローブユニッ
トの構造は、基本的には従来の一つの端子に一本のプロ
ーブ針を対応させたプローブユニットと同じで、違うと
ころは基板１上の各端子Ｔ1 〜Ｔ4 に対応させたプロー
ブ針Ｐ1 〜Ｐ4 の両端外側に同じピッチで予備のプロー
ブ針Ｐ0 とＰ5 が追加配置されている。
【００１３】次に動作について説明する。一つの端子２
に一本のプローブ針３が対応した従来と同様の構造を有
するプローブユニットを用いて断線検査を行う。このと
きは、図３（ａ）に示すように、端子Ｔ1 にはプローブ
針Ｐ1 、端子Ｔ2 にはプローブ針Ｐ2 、端子Ｔ3 にはプ
ローブ針Ｐ3 、端子Ｔ4 にはプローブ針Ｐ4 が対応して
いる。ここで、例えばプローブ針Ｐ3 に対応した端子Ｔ
3 と接続している信号ライン５が断線しているという検
査結果が得られた場合、図３（ｂ）に示すように、基板
１を保持したステージ１０を端子２の一ピッチ分だけ図
中の矢印方向に移動させることにより、各端子２に接触
するプローブ針３を変更し、端子Ｔ1 にはプローブ針Ｐ
2 、端子Ｔ2 にはプローブ針Ｐ3 、端子Ｔ3 にはプロー
ブ針Ｐ4、端子Ｔ4 にはプローブ針Ｐ5 を対応させる。
この状態で再度断線検査を行う。このとき一度目の検査
とは異なるプローブ針Ｐ4 を接触させたにもかかわら
ず、端子Ｔ3 と接続している信号ライン５が断線してい
るという検査結果が得られた場合は、この信号ライン５
が断線欠陥を有していると非常に高い確率で判定でき
る。また、一度目の検査とは異なるプローブ針Ｐ4 を端
子Ｔ3 に接触させたときに、端子Ｔ3 と接続している信
号ライン５が正常であるという検査結果が得られた場合
は、一度目の検査時の断線しているという検査結果はプ
ローブ針Ｐ3 と端子Ｔ3 の接触不良に起因していると判
断でき、このような場合には、検査結果から端子Ｔ3 と
接続している信号ライン５の判定結果を削除するか、装
置異常としてアラームを発生させる。
に一本のプローブ針３が対応した従来と同様の構造を有
するプローブユニットを用いて断線検査を行う。このと
きは、図３（ａ）に示すように、端子Ｔ1 にはプローブ
針Ｐ1 、端子Ｔ2 にはプローブ針Ｐ2 、端子Ｔ3 にはプ
ローブ針Ｐ3 、端子Ｔ4 にはプローブ針Ｐ4 が対応して
いる。ここで、例えばプローブ針Ｐ3 に対応した端子Ｔ
3 と接続している信号ライン５が断線しているという検
査結果が得られた場合、図３（ｂ）に示すように、基板
１を保持したステージ１０を端子２の一ピッチ分だけ図
中の矢印方向に移動させることにより、各端子２に接触
するプローブ針３を変更し、端子Ｔ1 にはプローブ針Ｐ
2 、端子Ｔ2 にはプローブ針Ｐ3 、端子Ｔ3 にはプロー
ブ針Ｐ4、端子Ｔ4 にはプローブ針Ｐ5 を対応させる。
この状態で再度断線検査を行う。このとき一度目の検査
とは異なるプローブ針Ｐ4 を接触させたにもかかわら
ず、端子Ｔ3 と接続している信号ライン５が断線してい
るという検査結果が得られた場合は、この信号ライン５
が断線欠陥を有していると非常に高い確率で判定でき
る。また、一度目の検査とは異なるプローブ針Ｐ4 を端
子Ｔ3 に接触させたときに、端子Ｔ3 と接続している信
号ライン５が正常であるという検査結果が得られた場合
は、一度目の検査時の断線しているという検査結果はプ
ローブ針Ｐ3 と端子Ｔ3 の接触不良に起因していると判
断でき、このような場合には、検査結果から端子Ｔ3 と
接続している信号ライン５の判定結果を削除するか、装
置異常としてアラームを発生させる。
【００１４】また、本実施の形態によるプローブユニッ
トを用いることにより信号ライン５間の短絡欠陥を判定
することも可能である。図３（ａ）に示した状態におい
て、例えばプローブ針Ｐ2 とＰ3 に対応した端子Ｔ2 と
Ｔ3 に接続している信号ライン５が短絡しているという
検査結果が得られた場合、この検査結果は、本当に端子
Ｔ2 とＴ3 に接続している信号ライン５が短絡している
可能性と、プローブユニットの内部でプローブ針Ｐ2 と
Ｐ3 が短絡している可能性の二通りに解釈できる。そこ
で、図３（ｂ）に示すように、基板１を保持したステー
ジ１０を端子２の一ピッチ分だけ図中の矢印方向に移動
させることにより、各端子２に接触するプローブ針３を
変更して再度検査を行う。このとき一度目の検査とは異
なるプローブ針Ｐ3 とＰ4 を接触させたにもかかわら
ず、端子Ｔ2 とＴ3 に接続している信号ライン５が短絡
しているという検査結果が得られた場合は、端子Ｔ2 と
Ｔ3 に接続している信号ライン５が短絡していると非常
に高い確率で判定できる。また、一度目の検査とは異な
るプローブ針Ｐ3 とＰ4 を端子Ｔ2 とＴ3 に接触させた
ときに、端子Ｔ2 とＴ3 と接続している信号ライン５が
短絡していないという検査結果が得られた場合は、一度
目の検査結果はプローブユニットの不良に起因している
と判断できる。このような場合にも、検査結果から端子
Ｔ2 とＴ3と接続している信号ライン５の判定結果を削
除するか、装置異常としてアラームを発生させる。
トを用いることにより信号ライン５間の短絡欠陥を判定
することも可能である。図３（ａ）に示した状態におい
て、例えばプローブ針Ｐ2 とＰ3 に対応した端子Ｔ2 と
Ｔ3 に接続している信号ライン５が短絡しているという
検査結果が得られた場合、この検査結果は、本当に端子
Ｔ2 とＴ3 に接続している信号ライン５が短絡している
可能性と、プローブユニットの内部でプローブ針Ｐ2 と
Ｐ3 が短絡している可能性の二通りに解釈できる。そこ
で、図３（ｂ）に示すように、基板１を保持したステー
ジ１０を端子２の一ピッチ分だけ図中の矢印方向に移動
させることにより、各端子２に接触するプローブ針３を
変更して再度検査を行う。このとき一度目の検査とは異
なるプローブ針Ｐ3 とＰ4 を接触させたにもかかわら
ず、端子Ｔ2 とＴ3 に接続している信号ライン５が短絡
しているという検査結果が得られた場合は、端子Ｔ2 と
Ｔ3 に接続している信号ライン５が短絡していると非常
に高い確率で判定できる。また、一度目の検査とは異な
るプローブ針Ｐ3 とＰ4 を端子Ｔ2 とＴ3 に接触させた
ときに、端子Ｔ2 とＴ3 と接続している信号ライン５が
短絡していないという検査結果が得られた場合は、一度
目の検査結果はプローブユニットの不良に起因している
と判断できる。このような場合にも、検査結果から端子
Ｔ2 とＴ3と接続している信号ライン５の判定結果を削
除するか、装置異常としてアラームを発生させる。
【００１５】以上のような信号ラインの断線、短絡検
査、および断線もしくは短絡していると判定された場合
に、基板１の位置を移動させて一度目の検査とは異なる
プローブ針３を端子２に接触させて再度評価し、必要に
応じてアラームを発生させる一連の処理は、検査装置の
ソフトウェアで自動的に処理されるよう構成されてい
る。なお、上記実施の形態では一方向（Ｘ方向）のみの
プローブ針３に対して説明したが、Ｙ方向にも同様に両
端に予備のプローブ針を配置し、基板１を保持したステ
ージ１０をＹ方向に端子２の一ピッチ分だけ移動させる
ことにより同様の検査を行うことができる。
査、および断線もしくは短絡していると判定された場合
に、基板１の位置を移動させて一度目の検査とは異なる
プローブ針３を端子２に接触させて再度評価し、必要に
応じてアラームを発生させる一連の処理は、検査装置の
ソフトウェアで自動的に処理されるよう構成されてい
る。なお、上記実施の形態では一方向（Ｘ方向）のみの
プローブ針３に対して説明したが、Ｙ方向にも同様に両
端に予備のプローブ針を配置し、基板１を保持したステ
ージ１０をＹ方向に端子２の一ピッチ分だけ移動させる
ことにより同様の検査を行うことができる。
【００１６】本実施の形態によれば、基板１上に設けら
れた端子２を有する信号ライン５の断線、短絡検査にお
いて、一つの端子２に一本のプローブ針３を対応させた
従来と同様の構造を有するプローブユニットのプローブ
針３の両端外側に、同じピッチで予備のプローブ針Ｐ0
とＰ5 が配置されたプローブユニットを用い、断線もし
くは短絡していると判定された信号ライン５が、本当に
断線もしくは短絡欠陥を有しているのか、あるいはプロ
ーブ針３と端子２の接触不良もしくはプローブユニット
内部の短絡不良に起因する判定であるのかを自動的に判
断することができるため、検査時間を短縮できると共に
検査の信頼性を向上させることができる。さらに、一つ
の端子２に対して二本のプローブ針を設ける必要がない
ため、装置コストを低減することができる。
れた端子２を有する信号ライン５の断線、短絡検査にお
いて、一つの端子２に一本のプローブ針３を対応させた
従来と同様の構造を有するプローブユニットのプローブ
針３の両端外側に、同じピッチで予備のプローブ針Ｐ0
とＰ5 が配置されたプローブユニットを用い、断線もし
くは短絡していると判定された信号ライン５が、本当に
断線もしくは短絡欠陥を有しているのか、あるいはプロ
ーブ針３と端子２の接触不良もしくはプローブユニット
内部の短絡不良に起因する判定であるのかを自動的に判
断することができるため、検査時間を短縮できると共に
検査の信頼性を向上させることができる。さらに、一つ
の端子２に対して二本のプローブ針を設ける必要がない
ため、装置コストを低減することができる。
【００１７】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、例え
ば液晶表示装置のアレイ基板等、多数の端子を有する基
板の断線、短絡検査において、断線もしくは短絡してい
ると判定された信号ラインが、本当に欠陥を有している
のか、あるいは検査装置の不良に起因した判定であるの
か自動的に判断することができるため、検査のやり直し
に比べて検査時間を短縮できると共に検査の信頼性を向
上させることができる。さらに、用いられるプローブユ
ニットの構造は、基本的には従来のものとほぼ同様の構
造を有しているため、装置コストが従来のものと同程度
となるものである。
ば液晶表示装置のアレイ基板等、多数の端子を有する基
板の断線、短絡検査において、断線もしくは短絡してい
ると判定された信号ラインが、本当に欠陥を有している
のか、あるいは検査装置の不良に起因した判定であるの
か自動的に判断することができるため、検査のやり直し
に比べて検査時間を短縮できると共に検査の信頼性を向
上させることができる。さらに、用いられるプローブユ
ニットの構造は、基本的には従来のものとほぼ同様の構
造を有しているため、装置コストが従来のものと同程度
となるものである。
【図１】 この発明の実施の形態１による検査装置を示
す斜視図である。
す斜視図である。
【図２】 この発明の実施の形態２による検査装置を示
す斜視図である。
す斜視図である。
【図３】 この発明の実施の形態３による検査方法を説
明するための平面図である。
明するための平面図である。
【図４】 従来のこの種検査装置を示す示す斜視図であ
る。
る。
１ 基板、２ 信号入力端子（端子）、３ プローブ
針、４ フレーム、５ 信号ライン、６ 可動ヘッド、
７ 可動プローブ針、８ Ｘ方向可動ヘッド、９ Ｙ方
向可動ヘッド、１０ ステージ。
針、４ フレーム、５ 信号ライン、６ 可動ヘッド、
７ 可動プローブ針、８ Ｘ方向可動ヘッド、９ Ｙ方
向可動ヘッド、１０ ステージ。
Claims (6)
- 【請求項１】 被検査体上に設けられた多数の端子のそ
れぞれに対応するよう配置された固定プローブ針を有す
る固定型プローブユニットと、 可動プローブ針を有し、上記各端子に対応し得るように
移動可能な可動ヘッドを備えたことを特徴とする多数の
端子を有する基板等の検査装置。 - 【請求項２】 可動ヘッドとして、Ｘ方向に移動可能な
Ｘ方向可動ヘッドと、Ｙ方向に移動可能なＹ方向可動ヘ
ッドを有することを特徴とする請求項１記載の多数の端
子を有する基板等の検査装置。 - 【請求項３】 被検査体を保持する水平移動可能なステ
ージと、 上記被検査体上に設けられた多数の端子のそれぞれに対
応するよう配置された固定型プローブユニットを構成す
る固定プローブ針と、 上記固定型プローブユニットを構成する固定プローブ針
の両端外側に同一ピッチで設けられた予備のプローブ針
を備えたことを特徴とする多数の端子を有する基板等の
検査装置。 - 【請求項４】 検査において検査装置に起因する不良で
あると判断された場合には、自動的に当該端子に対する
検査結果が削除され、あるいはアラームを発するようソ
フトウェアにおいて制御されることを特徴とする請求項
１〜請求項３のいずれか一項記載の多数の端子を有する
基板等の検査装置。 - 【請求項５】 被検査体上に設けられた各端子に固定型
プローブユニットの固定プローブ針を接触させて導通検
査を行う工程と、 上記導通検査において導通不良と判定された上記端子に
可動ヘッドに取り付けられた可動プローブ針を接触さ
せ、上記導通不良と判定された端子に接触している固定
プローブ針と上記可動プローブ針間の導通検査を行う工
程とを含むことを特徴とするの多数の端子を有する基板
等の検査方法。 - 【請求項６】 被検査体上に設けられた多数の端子のそ
れぞれに対応し得る固定プローブ針とその両端外側に同
一ピッチで設けられた予備のプローブ針とを有する固定
型プローブユニットの上記固定プローブ針を上記被検査
体の各端子に接触させて導通検査を行う工程と、 上記被検査体を保持するステージを上記端子の一ピッチ
分だけ移動させ、上記予備のプローブ針の一つおよび上
記各固定プローブ針を上記被検査体の各端子に接触させ
ると共に、上記導通検査で導通不良と判定された端子の
導通検査を行う工程とを含むことを特徴とする多数の端
子を有する基板等の検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36051897A JP3361982B2 (ja) | 1997-12-26 | 1997-12-26 | 複数の端子を有する基板等の検査装置および検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36051897A JP3361982B2 (ja) | 1997-12-26 | 1997-12-26 | 複数の端子を有する基板等の検査装置および検査方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11190764A true JPH11190764A (ja) | 1999-07-13 |
| JP3361982B2 JP3361982B2 (ja) | 2003-01-07 |
Family
ID=18469747
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP36051897A Expired - Fee Related JP3361982B2 (ja) | 1997-12-26 | 1997-12-26 | 複数の端子を有する基板等の検査装置および検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3361982B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008008716A (ja) * | 2006-06-28 | 2008-01-17 | Fujitsu Ltd | 接触試験装置および接触試験方法 |
| JP2009128326A (ja) * | 2007-11-28 | 2009-06-11 | Nec Corp | 位置調整装置及び位置調整方法 |
-
1997
- 1997-12-26 JP JP36051897A patent/JP3361982B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008008716A (ja) * | 2006-06-28 | 2008-01-17 | Fujitsu Ltd | 接触試験装置および接触試験方法 |
| JP2009128326A (ja) * | 2007-11-28 | 2009-06-11 | Nec Corp | 位置調整装置及び位置調整方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3361982B2 (ja) | 2003-01-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2009244077A (ja) | 基板検査装置及びその方法 | |
| JP3371869B2 (ja) | ベアチップｌｓｉ搭載基板の高速テスト装置 | |
| JP5208787B2 (ja) | 回路基板検査装置および回路基板検査方法 | |
| JP4247076B2 (ja) | 基板検査システム、及び基板検査方法 | |
| JPH11190764A (ja) | 多数の端子を有する基板等の検査装置および検査方法 | |
| JPH07201935A (ja) | プローブカード及び検査方法 | |
| JP5420303B2 (ja) | 回路基板検査装置および回路基板検査方法 | |
| JPH07109842B2 (ja) | テープキャリアのテスト方法 | |
| JPH1090359A (ja) | 波形プローブ装置およびこれを用いる検査方法 | |
| KR20050067759A (ko) | 반도체 검사장치 | |
| JPH0595030A (ja) | 自動検査装置 | |
| JPH06347502A (ja) | プリント基板試験方法 | |
| JPH0758168A (ja) | プローブ装置 | |
| JP3153834B2 (ja) | 半導体装置のテスト装置及び半導体装置の検査方法 | |
| JPH11344542A (ja) | デバイス検査方法およびデバイス検査装置 | |
| KR101363608B1 (ko) | 번인보드 테스트용 지그 | |
| JP4062424B2 (ja) | メモリテストシステム及びメモリテスト方法 | |
| JPH0563327A (ja) | 検査用ランド付き印刷配線板およびその検査方法 | |
| JPH03283599A (ja) | セラミック多層基板の導通検査方法 | |
| JPS62225965A (ja) | 短絡検出装置 | |
| JPS6122268A (ja) | プリント基板検査機 | |
| JPS6345544A (ja) | プリント基板検査装置 | |
| JP2009250659A (ja) | 治具試験装置及び治具試験方法 | |
| JPH08178992A (ja) | 回路基板検査方法及びその装置 | |
| JPH08146089A (ja) | 電子回路基板のテスト装置およびテスト装置用治具 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |