JPS62225965A - 短絡検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は、たとえば７１ヘリクス状に配置されたリード
電極を有する液晶表示装置の製造工程におしプる検査に
際し、交叉するリード電極間の短絡部分を検出するのに
最適な短絡検出方法に関する。

（従来の技術） 近年、液晶表示装置は、ＣＲＴなどのディスプレイと比
較して消費電力低減化、薄型軽量化等の特徴を有し、Ｔ
Ｖ受像機、マイクロコンピュータ、ワードプロセッサ等
のディスプレイとして実用化されつつある。

このような液晶表示装置は、たとえばアクティブマトリ
クス駆動方式により画像面積が３ｃｍｘ　５ｃｍ程度の
ものが実用化され、さらに２５ＣｍＸ３５ＣＴＩｌ程度
のものが試作化されている。

一般に上記したアクティブ７１〜リクス駆動方式による
液晶表示装置は、透明電極膜が形成された第１のガラス
基板と、縦横の画素ごとに透明表示電極およびＴＰＴ等
のメモリ機能を有した素子が形成された第２のガラス基
板とから構成される。

また第２のガラス基板上には互いに絶縁状態にされたリ
ード電極が縦横に形成され、これらリード電極は各素子
の各端子に接続されている。そしてこれら第１のガラス
基板と第２のガラス基板とが所定の間隙をもって前記透
明電極膜と前記リード電極とが対向するように配置され
、この間隙に液晶が封入されてなる。

ところで互いに絶縁状態にされた縦横のリード電極間の
間隙は非常に微少であるため、短絡か生じることがあり
、このため従来から製造工程において短絡検査が必要と
されている。

そのような検査の一例として、液晶封入前に、リード電
極の露出された駆動回路との接続用の接続端子に−ピン
づつ全ピンに作業者がテスター等のプローバピンを当接
させることにより、各画素ごとの短絡不良の検査が行わ
れる。

（発明が解決しようとする問題点） ところで、画像面積が３ＣＩＩＩＸ　５ｃｍ程度の液晶
表示装置においては、画素数が限られているため、この
ような検査方法で行なうことができるか、画像面積が２
５ｃｍｘ３５ｃｍ程度の大画像となった場合、たとえば
画素数が２００万個になるため、このような検査方法で
は莫大な時間を要し、コストアップの要因となる。

また近年、画質を向上させることを目的として、画素密
度はさらに高まる傾向にある。この場合、画素が微細化
されるのに伴い、上記した接続端子は微細化され、さら
に隣接する接続端子間の間隔も微細化されるので、作業
者が所定の接続端子にプローバピンを当接させることが
できなくなる。

したがって、製品完成後に実際に動作させて短絡検査を
行なわなければならず、歩留り低下の原因となる。

さらにまた、大画像の液晶表示装置は、実用化された画
像面積が３ＣＴＩＩＸ　５Ｃ１１程度のものと比較して
短絡不良が生じる頻度が非常に高く、実用化にあたり、
さらには製造ラインの自動化にあたり、上記した短絡不
良検査の自動化できる方法、装置等の開発が強く要望さ
れている。

本発明は上記した事情に鑑みて創案されたもので、自動
的に短時間でかつ確実に短絡不良を検出することができ
る短絡検出方法を提供することを目的としている。

［発明の構成］ （問題点を解決するための手段〉 ずなわら本発明の短絡検出方法は、Ｘ方向に所定のピッ
チで多数列設された第１の電極群と、この第１の電極群
に絶縁して交叉覆る如くＹ方向に所定のピッチで多数列
設された第２の電極とを備えた電子部品の前記第１の電
極と前記第２の電極間に電気的接触子を接触さけて短絡
の有無を検出する方法において、前記接触子を前記第１
および第２の電極群沿って夫々に苅応して夫々複数倍の
ピッチでＸおよびＹ方向に配置された接触子を備えた接
触子保持部材と、この接触子保持部材および前記電子部
品をＸ、Ｙ方向に相対的に移動させる移動手段と、前記
第１の電極群に沿って配置された各接触子と前記第２の
電極群に沿って配置された各接触子間の短絡の有無を検
出する短絡検出手段とを備えている。

（作　用） 本発明の短絡検出方法において、比較的小数の接触子で
マトリリクス状に配列された全電極間の短絡の検査を、
自動的に短時間でかつ確実に短絡不良を検出することが
できる。

すなわち、電子部品の全電極数のプローバピンを設けれ
ば、瞬時に一度の接触で検査が終了するが、密度が高く
集積化された全電極に接触させることは極めて困難であ
った。この点に着目して比較的短時間に正確に検査でき
る方法を得るものである。

（実施例〉 以下、本発明方法を７１〜リクス型液晶表示装置に適用
した実施例の詳細を図面に基づいて説明する。

第１図は本発明の一実施例の方法に用いられる短絡検出
装置を示す図である。

同図に示すように、この装置は、所定の位置に液晶表示
装置１が載置されるＸＹテーブル２と、このＸＹテーブ
ル２を図中矢印Ｘ、Ｙ方向に駆動させる第１の駆動部３
と、ＸＹテーブル２上に所定の間隔をもって配置され多
数のブローバピンを有するベース４と、このベース４を
上下方向（図中矢印Ｚ方向）に駆動させる第２の駆動部
５と、短絡の有無を検出する判定部６と、第１および第
２の駆動部３．５および判定部６を制御する制御装置（
図示せず）とからその主要部が構成されている。

またＸＹテーブル２上に載置される液晶表示装置１は、
第２図および第３図にホずＪ：うに、大きさたとえば横
３５０ｍ高さ２５０ｍｎ、であり、透明電極膜（図示せ
ず）が形成された矩形状の第１のガラス基板８と、縦横
の画素ごとに透明表示電極（図示せず）およびＴＰＴ等
のメモリ機能を有した素子（四示せず）が形成された矩
形状の第２ガラス基板１０とから構成されている。また
第２のガラス基板１０上には、互いに絶縁状態にされた
透明のリード電極７．９が縦横（Ｘ方向、Ｙ方向）に形
成され、これらリード電極７．９は各素子の各端子に接
続されている。上記リード電極７は所定のピッチたとえ
はば８０μｍ、リード線幅８０μｍで位置方向たとえば
Ｙ方向に多数たとえば１ｏｏｏパッド列設され、リード
電極９は上記リード電極７と直交する方向に所定のピッ
チたとえば上記したピッチで多数たとえば２０００パッ
ド列設されている。

なお、ＴＰＴの構造については当業者において周知でお
るから説明を省略する。

また第２のガラス基板１０は、表示部１０ａと接続部１
０ｂとからなり、表示部’１０ａにおいては、第１のガ
ラス基板８の透明電極膜とこの第２のガラス基板１０の
リード電極７．９とが対向しスペーサー１１を介して微
少な間隙を有するように第１のガラス基板８が搭載され
ており、また接続部１０ｂにおいては、矩形状の一辺の
近傍にこの第２のガラス基板１０のリード電極９とそれ
ぞれ接続され駆動回路と接続するための露出されたＸ方
向の接続端子９ａが多数列設され、直交する他辺の近傍
にリード電極７とそれぞれ接続された同様のＹ方向の接
続端子７ａが多数列設されている。

またこれら接続端子７ａ、９ａは長さがＬで、同一のピ
ッチＬ１５をもって列設されている。

なお、この液晶表示装置は第１のガラス基板８と第２の
ガラス基板１０との間隙に液晶が封入されて完成品とさ
れるが、本実施例においては、液晶封入前の半製品が用
いられている。

一方、上記ベース４は、第４図に示すように、−〇　一 液晶表示装置１とほぼ同一の矩形状とされ、液晶表示装
置１の第２のガラス基板１０上に形成された接続端子７
ａ、９ａと対応する一辺および直交する他辺の近傍にＸ
方向、Ｙ方向のプローバピン４ｘ・・・４ｘ、４ｙ・・
・４ｙがＸＹテーブル２に向けてピッチＬの間隔たとえ
ば第５図の接続端子列で判るように、５本の接続端子ご
とのピッチで多数埋入固定されている。

また上記判定部６は、Ｘ方向、Ｙ方向のプローバピン４
ｘ、　４ｙと接続されＸ方向の各プローバピン４ｘとＹ
方向の各プローバピン４ｙとの導通の有無を判別しその
結果を２値化信号として出力する判別回路６ａと、液晶
表示装置１の接続端子の交叉位置に対応して前記２値化
信号を記憶するメモリ回路６ｂと、このメモリ回路６ｂ
から出力された結果を表示する表示装置６ｃとからなる
。

上記導通の有無はブローバピン４ｘ、ｙ間に電流を流し
、流れるかどうかの検出により判断する。

次に、このように構成された装置の短絡検出の方法を、
第５図に示す液晶表示装置１の一部拡大図に基づいて説
明する。

まず、ＸＹテーブル２上の所定の位置に液晶表示装置１
を載置し、この短絡検出装置をＯＮ状態とする。

そして制御部の制御により以下の動作が行なわれる。

第１の駆動部３の駆動によりＸＹテーブル２は、この上
に載置された液晶表示装置１のＸ方向の接続端子９ａ■
、■・・・■の（イ）位置およびＹ方向の接続端子７ａ
■、■・・・■の（へ）位置上にベース４の各プローバ
ピン４Ｘ、４ｙが位置するように移動する。

次に、第２の駆動部５の駆動によりベース４は、プロー
バピン４ｘ、４ｙの先端が接続端子７ａ、９ａに当接す
る位置まで下降し、しかる後、判定部６において、短絡
の有無の判定が行なわれる。

この場合、判定部６において、Ｘ方向の接続端子９ａ■
とＹ方向の接続端子７ａ■とが交叉する位置での短絡の
有無が判別回路６ａにより判別され、この結果の２値化
信号がメモリ回路６ｂに入力され、記憶される。

次に、第２の駆動部５の駆動によりベース４は所定の位
置まで上昇し、さらに第１の駆動部３の駆動によりＸＹ
テーブル２は、図中矢印Ｘ方向に接続端子９ａ、９ａ間
のピッチＬ１５と同一量、つまりＸ方向の接続端子９■
、■・・・■の（イ〉位置上にＸ方向のブローバピン４
Ｘが位置し、Ｙ方向の接続端子７ａ■、■・・・■の（
ト〉位置上にＹ方向のプローバピン４ｙが位置するよう
に移動する。

その後、第２の駆動部５の駆動によりベース４は、プロ
ーバピン４ｘ、４ｙの先端が接続端子７ａ、９ａに当接
する位置まで下降し、しかる後、上記した場合と同様に
、この場合、Ｘ方向の接続端子９ａ■とＹ方向の接続端
子７ａ■とが交叉する位置の短絡の有無が判別回路６ａ
により判別され、この結果の２値化信号がメモリ回路６
ｂに入力され、記憶される。

このような動作を順次行ない、Ｘ方向の接続端子９ａ■
〜■とＹ方向の接続端子７ａ■とが交叉する位置の短絡
の有無が判別回路６ａにより判別され、この結果の２値
化信号がメモリ回路６ｂに入力され、記憶される。

なお、この場合、Ｙ方向のプローバピン４ｙがＹ方向の
接続端子７ａ■に当接する位置は、（へ）〜（ヌ）に順
次移動されていく。

このような判別が終了した後、第１の駆動部３の駆動に
よりＸＹテーブル２は、図中矢印Ｘ方向の初期位置つま
りＸ方向の接続端子９ａ■の位置上にＸ方向のプローバ
ピン４ｘが位置するようにかつ図中矢印Ｙ方向に接続端
子７ａ、７ａ間のピッチＬ１５と同一量つまりＹ方向の
接続端子７ａ■の位置上にＹ方向のプローバピン４ｙが
位置するように移動する。

その後、第２の駆動部５の駆動によりベース４は、プロ
ーバピン４Ｘ、　４ｙの先端が接続端子７ａ、ｇａに当
接する位置まで下降し、Ｘ方向の接続端子９ａ■とＹ方
向の接続端子７ａ■とが交叉する位置の短絡の有無が判
別回路６ａにより判別され、この結果の２値化信号がメ
モリ回路６ｂに入力され、記憶される。

そして上述した場合と同様の動作によりＸ方向の接続端
子９■〜■とＹ方向の接続端子７ａ■とが交叉する位置
の短絡の有無が判別回路６ａにより判別され、この結果
の２値化信号がメモリ回路６ｂに入力され、記憶される
。

なお、この場合、Ｘ方向のブローバピン４ｘがＸ方向の
接続端子９ａ■〜■に当接する位置は、（ロ）位置であ
り、またＹ方向の接続端子７ａ■に当接する位置は（へ
）〜（ヌ）に順次移動されていく。

以下、同様にＸ方向の接続端子９ａ■〜■とＹ方向の接
続端子７ａ■、■、［相］とが交叉する位置の短絡の有
無が判別され、全て交叉位置についての短絡の有無がメ
モリ回路６ｂに記憶される。

なお、この場合、Ｘ方向のプ１］−バピン４ＸがＸ方向
の接続端子９ａ■〜■に当接する位置は（ハ）、（ニ）
、（ホ）の順番で移動する。

しかる後、この結果が表示装置６Ｃに表示される。

そしてこの表示装置６Ｇの表示から液晶表示装置１に短
絡を有することが発見された場合、不良品として処理さ
れ、あるいはその短絡部分が常法により修復される。

しかして本実施例によれば、たとえば画像面積か２５Ｃ
ＴＩＸ３５ＣＴｌで画素数が２００７５ｉ個の大画像の
液晶表示装置においても、ＸＹテーブル２を所定のピッ
チでＸ方向に５回×Ｙ方向に５回、つまり２５回移動さ
せるだけで全ての交叉位置での短絡の有無を判別するこ
とができ、測定時間を実用的レベルまで低減することが
できる。

また、画素が微細化され、接続端子７ａ、９ａが微細化
され、その間隔も微細化された場合においても、プロー
バピン４ｘ、４ｙを微細化し、これら間隔も微細化し、
さらにＸＹテーブル２の駆動を精密化すれば同様に実施
することができる。

さらにまた、接続端子７ａ、９ａの数やピッチが変った
場合、ベース４をその数やピッチに合せたブ］］−バピ
ン４ｘ、４ｙを右づるものに交換すれば同様に実施する
ことかでき、ぞの汎用性は非常に高い。

なお、本実施例において、プローバピン４Ｘ、４ｙを導
電性ゴムとし、またはベース４とプローバピン４ｘ、　
４ｙとの間にスプリング等の弾性部材を介挿し、このプ
ローバピン４Ｘ、４ｙを接続端子７ａ、９ａに弾性的に
当接することにより、プローバピン４ｘ、ｑ、ｙと接続
端子７ａ、９ａ間の導通を確実なものとすることができ
、さらに確実な検査を行うことができる。

また、本実施例における駆動系は従来から用いられてい
るワイヤーボンドマシン等の駆動系を用いることができ
、特別な設協導人を必要としない。

ざらにまた本実施例によれは被測定物である液晶表示装
置は液晶封入前の半製品であったが、本発明はこれに限
定さ１することなく、たとえば液晶注入後おるいは封止
後においｒ＝ｂ同様に実施することかできる。

また、本実施例によれば、Ｘ方向の接続端子９ａ■〜■
とＹ方向の接続端子７ａ■とが交叉する位置の短絡の有
無の判別を終了した後、第１の駆動部３の駆動によりＸ
Ｙテーブル２は、図中矢印Ｘ方向の初期位置つまりＸ方
向の接続端子９■の位置上にＸ方向のプローバピン４Ｘ
か位置するようにされるものであったが、本発明はこれ
に限定されることなく、Ｘ方向の接続端子９■〜■とＹ
方向の接続端子７ａとが交叉づる位置の短絡の有無の判
別を終了した後、第１の駆動部３の駆動によりＸＹテー
ブル２は、図中矢印Ｘ方向の逆方向つまりＸ方向の接続
端子９ａ■、■・・・■の位置上にＸ方向のプローバピ
ン４Ｘが位置するように順次移動してＹ方向の接続端子
７ａとの短絡の有無を判別していくことにより、検出時
間をさらに短縮することができる。

さらに上記実施例においては、交叉する接続端子間の短
絡の有無を検出するものであったが、この実施例におけ
るベース４のブローバピンに隣接させて接続端子間のピ
ッチで新たなブローバピンを埋入固定することにより、
交叉する接続端子間の短絡の有無ばかりでなく、隣接す
る接続端子間の短絡の有無も同時に検出することができ
る。この場合において、隣接する接続端子間の短絡が検
出された場合、たとえばＹＡＧレーザをその短絡部分に
照射することにより修復することができる。

また上記実施例て゛は電子部品として液晶表示装置に適
用した例について説明したが、マトリクス状に高集積度
で配列された装置への検査であれば何れにも適用できる
。

［発明の効果］ 以上説明したように本発明の短絡検出方法によれば、電
極の数が多数になった場合においても、また電極が微細
化され、ざらにピッチが微細化された場合においても、
自動的に短時間でかつ確実に短絡不良を検出することが
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明方法の一実施例を説明するだめのの短絡
検出装置を示す斜視図、第２図は第１図液晶表示装置を
示す斜視図、第３図は第２図の平面図、第４図は第１図
のベースを示す斜視図、第５図は第１図装置による短絡
検出を説明するための液晶表示装置の一部拡大平面図で
ある。 １・・・・・・・・・液晶表示装置、２・・・・・・・
・・ＸＹテーブル、３・・・・・・・・・第１の駆動部
、４・・・・・・・・・ベース、４ｘ、４．ｙ・・・・
・・・・・プローバピン、５・・・・・・・・・第２の
駆動部、６・・・・・・・・・判定部、７．７・・・７
．９．９・・・９・・・・・・・・・リード電極７ａ、
７ａ・・・７ａ、９ａ、９ａ・・・９ａ・・・・・・・
・・接続端子 出願人　　　　　東京エレクトロン株式会社代理人　弁
理士　須　山　佐　− 第１図 第３図 Ｘ 第５図

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）Ｘ方向に所定のピッチで多数列設された第１の電
   極群と、この第１の電極群に絶縁して交叉する如くＹ方
   向に所定のピッチで多数列設された第２の電極とを備え
   た電子部品の前記第１の電極と前記第２の電極間に電気
   的接触子を接触させて短絡の有無を検出する方法におい
   て、前記接触子を前記第１および第２の電極群沿って夫
   々に対応して夫々複数倍のピッチでＸおよびＹ方向に配
   置された接触子を備えた接触子保持部材と、この接触子
   保持部材および前記電子部品をＸ、Ｙ方向に相対的に移
   動させる移動手段と、前記第１の電極群に沿って配置さ
   れた各接触子と前記第２の電極群に沿って配置された各
   接触子間の短絡の有無を検出する短絡検出手段とを備え
   ていることを特徴とする短絡検出方法。
2. （２）接触子保持部材および電子部品のＸ、Ｙ方向の相
   対的な移動は、ＸまたはＹ方向の電極群を一電極づつ順
   次一ピッチ分選択移動させて一方向の短絡の有無を検出
   する手段と、この手段終了後他の方向に一ピッチ分づつ
   選択移動させて他方向の短絡の有無を検出することを特
   徴とする特許請求の範囲第１項記載の短絡検出方法。
3. （３）電子部品のＸ方向およびＹ方向に設けられる電極
   群の接触子保持部材から接触操作される部分の長さは、
   少なくとも接触子のピッチ分の長さを有するものでる特
   許請求の範囲第１項記載の短絡検出方法。