JPH02229450A - ラインの検査方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は、ラインの検査方法に関する。

（従来の技術） 複数ライン例えば平行ラインを有するものとして、マト
リックス配線基板であるＬＣＤ　（液晶ディスプレー）
基板を挙げることができる。

この種のＬＣＤの場合、液晶駆動素子であるＴＰＴをマ
トリックス状に多数配置し、その各列毎にＴＰＴのソー
スを横方向に配線した共通のソースライン（画面の走査
ラインに対応する）に接続し、このラインを基板の横方
向の両端部に設けたソースリード電極に接続している。

一方、各行毎にＴＰＴのゲートを縦方向に配線した共通
のゲートライン（画面の信号ラインに対応する）に接続
し、このラインを基板の縦方向の両端部に設けたゲート
リード電極に接続している。

ここで、上記のソースラインあるいはゲートラインの途
中に、万一断線が生じている場合には、ＬＣＤ画面上に
線欠陥となってしまう。また、ライン間にショートが発
生している場合にも画面に欠陥が生ずる。そこで、従来
よりこの種のＬＣＤ基板をブロープ装置にセットし、こ
のプローブ装置にて上記ソースラインあるいはゲートラ
インの断線及び隣接ライン間の短絡の有無を検査してい
る゛。

上記の断線検査を行う場合には、例えばソースラインの
場合にはこのライン両端に存在するソースリード電極に
、ブローブ針あるいはフィルム電極をコンタクトし、テ
スタより上記ラインに通電することでその断線の有無を
確認している。

（発明が解決しようとする課題） この種のマトリックス配線基板では、その基板上の一辺
あるいは他の辺上に多数の電極を有するので、上記断線
検査を行う場合には、この電極ピッチに合せて形成した
多数のブローブ針を有するブローブカードを一括してラ
イン両端の電極にコンタクトし、あるいは上記電極ピッ
チと同様のピッチで形成された電極パターンを有するフ
ィルム電極を一括してコンタクトするようにしていた。

このように、検査効率上ライン両端の電極に一括コンタ
クトして断線検査を行うものが好ましいが、このライン
両端の多数の電極に正確にコンタクトするためには、そ
の位置決め動作が非常に煩雑な作業となっていた。この
ため、この位置決め作用に要する時間分だけ検査のスル
ーブットが低下していた。

また、ＬＣＤ基板に形成される対向側の電極は、各ライ
ンの断線検査には必要であるが、ユーザーはこのような
対向電極を使用することはなく、微細処理化に伴い基板
上の占有面積を少なくしたい近年では、この様な対向電
極面積を極力小さくするニーズが高かった。

そこで、本発明の目的とするところは、たとえ基板上の
電極パッドが小面積，微小ピッチのものであっても、各
ラインの断線及びライン間の短絡検査を極めて容易に行
うことができるラインの検査方法を提供することにある
。

［発明の構成］ （課題を解決するため手段） 本発明は、複数本それぞれ絶縁して配線された各ライン
の断線及びライン間の短絡を検査するにあたり、 各ラインの断線検査を行う場合には、この各ラインの一
端側を一括してショートさせ、上記ラインの他端側の電
極に個別的にコンタクトすることで各ライン毎に切り換
えて通電し、 ライン間の短絡検査を行う場合には、上記ライン他端側
の一括ショート状態を解除し、隣接ラインの一方より通
電して他方からの出力をモニタするものである。

（作　用） 各ラインの断線検査を行う際には、ラインの一端側をシ
ョートさせているので、この一端側は共通の配線で済み
、他端側のみ個別的にコンタクトするもので喉い。した
がって、対向辺の一辺にのみ個別的なコンタクトを実施
できるコンタクト部を配置すれば足り、対向辺の他辺に
ついては個別的なコンタクトが不要となるので、この分
位置合わせが簡易化される。なお、個別的なコンタクト
が必要なライン他端側では、例えば１本のブロープ針等
を順次移動させてコンタクトするものであってもよく、
あるいは電極ピッチと同一のピッチで導電部を形成した
コンタクト部を、上記他の辺の各電極に一括してコンタ
クトするものであってもよい。そして、この対向する電
極の一方よりテスタを介して通電し、他方側の出力をモ
ニタすることにより、各ラインの断線の有無を容易に検
査することができる。

ライン間の短絡を検査する場合には、ラインー端側のシ
ョート状態を解除し、隣接ラインの端部にコンタクトし
て通電すれば良い。

（実施例） 以下、本発明をＬＣＤ基板のブローブ装置に適用したー
実施例について、図面を参照して具体的に説明する。

このブローブ装置の構成を説明する前に、ここでＬＣＤ
基板の構成について、基板面を模式化して表した第４図
を参照して説明する。

アクティブマトリックス方式の液晶基板７０上には、透
明電極，パッシベイト膜，配向膜などを備えた多数のビ
クセル８０が形成されている。

これらのピクセル８０には、それぞれれＭＯＳ型ＴＦＴ
８１が配置されており、このＭＯＳ型ＴＦＴ８１のゲー
トは、それぞれゲートライン（信号ラインとも称する）
８２ａ．８２ｂ，８２ｃ・・・に、ソースは、それぞれ
ソースライン（走査ラインとも称する）８３ａ，８３ｂ
，８３ｃ・・・に接続されている。また、ＭＯＳ型ＴＦ
Ｔ８　１のドレインは、それぞれピクセル８０内の透明
電極に接続されている。

ざらに、前記ゲートライン８３ａ，８３ｂ．８３ｃ・・
・は、基板１０の端部に形成したゲートリード電極８４
　ａ，８４　ｂ，８４　ｃ・・・と、その対向電極８４
　ａ’　，８４　ｂ”，８４　ｃ’　−・−にそれぞれ
接続されている。また、前記ソースライン８３ａ．８３
ｂ，８３ｃも同様に、ソースリード電極８５ａ，８５ｂ
．８５ｃ−・・と、その対向電極８　５　ａ　’　，　
８　５　ｂ　’　８　５　ｃ　’　・・・にそれぞれ接
続されている。

尚、上記対向電極は各ライン，ライン間の短絡，断線を
検査するために用いるもので、一方、ＴＰＴの機能検査
に使用する電極としては、ＴＰＴのゲート，ソース．ド
レインに接続された各電極であり、すなわちゲートリー
ド電極８４ａ，８４ｂ，８　４　ｃ　・−，　　ソース
リード電極８５ａ，８５ｂ，８５ｃ・・・及び透明電極
である。

次に、上記の液晶基板７０を検査する装置、特に基板７
０上の各ゲートラインあるいはソースラインの断線の有
無を検査するための構成について説明する。

このブローブ装置は、第１図（Ｂ）に示すように、前記
液晶基板７０を載置して支持する載置台１を有し、この
載置台１はその載置而の直交２軸方向であるＸ，Ｙ軸、
このＸ，Ｙ軸に直交する高さ方向であるＺ軸、このＺ軸
の回りの回転方向であるθ方向にそれぞれ移動可能とな
っている。

次に、前記載置台１に載置された液晶基板７０の前記ソ
ースリード電極あるいはゲートリード電極にコンタクト
して、各ラインの断線の検査を行うための構成について
説明する。

液晶基板７０の一辺に平行な方向、例えば前記ソースリ
ード電極の配列方向に沿った方向を長手軸とする導電ゴ
ム部材２が設けられ、この導電ゴム部材２は前記ＬＣＤ
基板７０の一辺の長さ分に亘る範囲に形成されている。

この導電ゴム部材２は、少なくとも前記ソースリード電
極に接触する側の全面が導電性ゴムによって形成され、
この導電ゴム部材２を前記ソースリード電極に接触する
ことによって、この一辺上の全ソースリード電極をショ
ートすることが可能となっている。

一方、前記ＬＣＤ基板７０の一辺に対向する辺上のソー
スリード電極に個別的にコンタクト可能なブローブヘッ
ド４が設けられている。このブローブヘッド４は、前記
対向辺上の各ソースリード電極の形成ピッチと同一ピッ
チの電極パターンを有してなるフィルム電極６を基板８
に支持して構成している。前記フィルム基板６の一端は
カールされ、ＬＣＤ基板７０との間に柔軟部材例えばフ
エルト１０を介在させた電極構造となっている。

そして、前記ＬＣＤ基板７０を搭載した載置台１を２方
向上方に移動することで、ＬＣＤ基板７０の対向辺上の
全てのソースリード電極を前記フィルム電極６に一括し
てコンタクト可能となっている。尚、前記導電ゴム部材
２及びブローブヘッド４の前記基板８の各パターンは、
図示しないテスタに接続されている。

次に、上記ブローブヘッドを用いての、各ラインの断線
検査方法について説明する。

まず、載置台１上にＬＣＤ基板７０を載置し、この載置
台１のＸ，Ｙ，　　θ方向の各移動により、ＬＣＤ基板
７０のアライメント動作を実行する。

次に、この載置台１を２方向上方に移動させ、この載置
台１上のＬＣＤ基板７０の例えばソースリード電極と、
前記導電ゴム部材２及びブローブヘッド４のフィルム電
極６とを接触させる。ここで、第１図（Ａ）のＬＣＤ基
板７０の左辺に存在するソースリード電極は、フイルム
電極６上の電極パターンに正確にコンタクトさせる必要
があるが、ＬＣＤ基板７０の右辺に存在するソースリー
ド電極は、導電ゴム部材２との接触によってこれらを全
てショートさせるものであればよく、したがってこの右
辺のソースリード電極と導電ゴム部材２との位置合せは
、左辺の電極のものと比較すればかなりのラフな位置合
せですむ。しかも、本実施例では導電ゴム部材２によっ
て一括コンタクトを実現しているので、一括コンタクト
される電極パッドに多少の凹凸があっても、ゴムの弾性
変形によって確実に接触できる点で優れている。

ここで、例えば図示しないテスターの駆動によって、第
１図（Ａ）に示すＬＣＤ基板７０の１ライン目に相当す
るソースラインに接続されたフイルム電極パターンを介
して、このラインに通電する。そして、このような通電
によって得られる出力は、前記導電ゴム部材２を介して
テスターにてモニタされることとなる。そして、この１
ライン目のソースライン途中において万一断線が生じて
いる場合には、前記導電ゴム部材２を介して人力される
出力電流値として所定の値が得られないため、このモニ
タ結果によって１ライン目のソースラインが断線してい
るか否かを検出することができる。同様にして、２ライ
ン目のソースラインに接続されるフィルム電極パターン
を介してこの出力をテスターにてモニタすることにより
、各ラインの断線の有無を、順次連続して得ることがで
きる。

このように、各ラインの断線の有無を検査するためには
、このラインの両端側の電極にコンタクトし、このライ
ンに通電することによって達成することができる。この
際、ラインの一端側の電極のみ個別的にコンタクトを行
い、その他端側の電極についてはその辺上の全ての電極
を一括してショートしたとしても、結果的にその１ライ
ンにのみ通電することができる。

そして、このようにＬＣＤ基板７０の一辺上の全電極を
ショートさせる構成は、その他端側の電極のように個別
的にコンタクトを要するものに比べれば、その位置合せ
等は極めて簡易にすみ、したがって従来のように両端側
の電極に個別的にコンタクトしたものと比較すれば、そ
の作業は大幅に簡易化される。

尚、上記実施例ではＬＣＤ基板７０のソースラインの断
線有無について説明したが、第１図（Ａ）に示す構成に
てこのソースラインと直交するゲートラインの断線の有
無を検査するにためには、もしパッドピッチが同一であ
れば例えば載置台１を９０度回転し、ブローブヘッド４
及び導電ゴム部材２の下方に前記ゲートリード電極が配
置されるように設定すめばよい。この他、ＬＣＤ基板７
０の４辺にそれぞれブローブヘッド４，導電ゴム部材２
を２組配置しておけば、載置台１を移動せずにこの２種
の辺の断線検査を行うことができる。

尚、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本
発明の要旨の範囲で種々の変形実施が可能である。例え
ば、上記実施例では、ＬＣＤ基板７０の１辺に存在する
全ての電極を一括してショ一卜する構成としたが、この
ようなものに限らず例えば上記１辺上の複数個の電極を
一括してショートさせ、導電ゴム部材２をその１辺上に
沿って移動することで、全辺の電極を順次ショートさせ
る構成であってもよい。

またこれに対応させて、ブローブヘッド４側も他の辺に
一括させて個別的にコンタクトするものに限らず、同様
に複数個の電極を一括コンタクトし、ブローブヘッドの
移動により全ての電極パッドに順次コンタクトさせる構
成としてもよい。

また、通常この種のＬＣＤ基板７０の検査にあっては、
上記のようなラインの断線検査のみに限らず、ライン間
の短絡あるいはライン工程の抵抗値の検査等を合わせて
実施するものであり、したがって、通常はＬＣＤ基板７
０の対向辺にそれぞれ第１図（Ａ）に示すようなブロー
ブヘッドを２つ配置するものが一般的である。したがっ
て、このような場合には、ＬＣＤ基板７０の電極とブロ
ーブヘッド４との間に上記のような導電ゴム部材２を配
置し、ブロニブヘッド４のフィルム電極６の各電極パタ
ーンを前記導電ゴム部材２によってショートさせ、結果
的に第１図（Ａ）に示すようにＬＣＤ基板７０の１辺上
の全電極をショートさせるものであってもよい。

また、第１図（Ａ）に示すように、ＬＣＤ基板７０の左
辺に使用するブローブヘッド４の構成としては、下記に
述べるようなフィルム電極構成を採用するものが好まし
い。

ここで、ＬＣＤ基板７０の電極について第３図を参照し
て説明すると、実際のＬＣＤ基板７０の電極は、同図に
示すように複数グループの電極群に分割され、各電極グ
ループ間ではギャップのある配列となっているものが多
い。この際、このＬＣＤ基板７０の電極配列と同様に、
フィルム電極６の各電極パータン６ａの配列を第２図（
Ｂ）に示すように配列すると、下記のような問題があっ
た。

すなわち、等間隔で電極パターン６ａが形成されている
範囲は、このパターン６ａの形成によって比較的高い剛
性を有するが、所定領域にわたってパターンの全く存在
しない領域６ｂについてはフィルムの剛性のみであり、
上記の等間隔パターンを有する部位に比べてその剛性が
低くなっている。このようなフィルム電極６をＬＣＤ基
板７０に接触させた場合には、等間隔で電極パターンが
形成され比較的剛性の高い部所は変形せずに所定ピッチ
で正確に基板７０に接触することになるが、パターンの
全く形成されていない剛性の弱い部位６ｂは、第２図（
Ｃ）に示すように、その部分が変形することが多い。そ
して、同図に示すように変形をおこすと、フィルム電極
６上の電極パターンのピッチずれ及びこの結果生ずるコ
ンタクト不良が発生することになる。

そこで、第２図（Ａ）に示すように、本来パターンの必
要のない箇所にも、同図に示すようにダミーパターン６
Ｃを形成しておくことが好ましい。

このようなダミーパターン６Ｃを形成しておくことで、
フィルム電極の長で方向に沿った各位置での合成は等し
くなり、したがって、第２図（Ｃ）に示すような変形が
なくなるので、コンタクト不良を確実に防止することが
できる。

上記実施例では、ＬＣＤ基板７０の一辺に沿って形成さ
れた電極パッドとの個別的なコンタクトを行うためのブ
ローブヘッドの構成として、フィルム電極６を有するも
のとしたが、この他ブローブ針を前記電極パッドピッチ
と同一ピッチで多数配列形成したものを用いることがで
きる。

上記のブローブ方式の他に、ＬＣＤ基板７ｏの各電極パ
ッドとの個別的なコンタクトをとるための構成として、
第５図に示すものを挙げることができる。

同図に示すブローブヘッドは、例えば矩形状のガイド軸
４０に、コンタクト用の導電性板バネ４２と絶縁シ一ト
４４とを交互に積層して挿入支持したものである。ここ
で、前記コンタクト用導電性板バネ４２と絶縁シ一ト４
４との形状は、第６図（Ａ），（Ｂ）に示すように前記
ガイド軸４０に挿入される穴部４　２　ａ，　４４　ａ
を有し、かつその先端側が湾曲部４２ｂ．４４ｂとして
構成されている点は共通であるが、コンタクト用導電性
板バネ４２はさらに前記湾曲部４２ｂより下方に突出す
るコンタクト部４２ｃを有している点で相違している。

このような構成のブローブヘッドよれば、コンタクト用
導電性板バネ４２と絶縁シ一ト４４との厚み調整により
、ブローブ電極の微小ピッチ配列が可能となる。ところ
で、多数の板バネによってプローブヘッドを構成した従
来例としては、第７図に示すものがある。これは、コン
タクト用導電性板バネ５０にサポート用のスリット５２
を設け、一方、この板バネ５０を支持するための基板５
４にもその端部にスリット５６を設け、上記サポート用
スリット５２を基板５４のスリット５６に挿入するこ占
で所定ピッチの電極ブローブを構成していた。

しかし、第７図のような構成のものでは、その配列ピッ
チが基板５４が設けたスリット５６の精度に左右され、
その加工精度によって微小ピッチ配列が不可能となって
いた。この点、第５図に示すものであれば、そのピッチ
配列は板バネ４２あるいは絶縁シ一ト４４の厚み調整に
より実現できるので累積ビッチずれのない調整が可能と
なる。

次に、ライン一端側の一括ショート状態，そのショート
状態の解除を、ＬＣＤ基板ｌｏ上に形成したスイッチン
グ素子によって実行する実施例について説明する。

第８図において、ＬＣＤ基板１０上には、その横方向に
平行なゲートライン１００の左端に接続されたゲートラ
イン電極Ｇ，，Ｇ２，・・・ＧＹが設けられ、かつ、そ
の縦方向に平行なＸ本のドレインライン１０２の上端に
接続されたドレインライン電極Ｄ，，Ｄ２，・・・Ｄｘ
が設けられている。そして、この各ライン１００，１０
２の交点付近には、この両ラインに接続されたＴＦＴ８
　１が設けられ、上記両ライン１００，１０２にマトリ
クス配線されている。

さらに、本実施例の特徴的構成として、前記ゲートライ
ン１００と平行に２本の共通ライン１０６．１０８が形
成され、この両共通ライン１０６，１０８の左端にはそ
れぞれＯＤＭ？！極，ＯＤＢｍ極が設けられている。さ
らに、この共通ライン１０６，１０８の間には、前記Ｘ
本のドレインライン電極に対応してＴＦＴ１０４がそれ
ぞれ設けられ、このＴＦＴ１０４のドレインは前記Ｘ本
の各ドレインライン１００に接続され、そのソースは前
記共通ライン１０６にそれぞれ接続され、そのゲートは
、前記共通ライン１０８にそれぞれ接続されている。同
様に、前記ドレインライン１０２と平行に２本の共通ラ
イン１１０，１１２が形成され、この両共通ライン１１
０，１１２の間に配置されたＹ個のＴＦＴ１０４も、同
様に前記ゲートライン１００，共通ライン１１０，１１
２に接続されている。

このように、本実施例のＬＣＤ基板１０は、その左端及
び上端にのみ電極パッドを有し、ゲートライン電極及び
ドレインライン電極に対向する対向電極は有しない構成
となっている。従って、このＬＣＤ基板１０の電気的特
性を検査するためのブローブ装置としては、ＬＣＤ基板
１０の左端にて、（Ｙ＋２）本の電極パターンを有する
前記フィルム電極６と、ＬＣＤ基板１０の上端側にて、
（Ｘ＋２）本の電極パターンを有する前記フィルム電極
６を有するものであれば足りる。

次に、上記ＬＣＤ基板１０の各ラインの断線検査及びラ
イン間の短絡検査を行う方法について説明する。

まず、Ｘ本のドレインライン１０２の断線検査を行うた
めに、ＬＣＤ基板１０の横方向に沿って配列された（Ｘ
＋２）個の電極パッド、及びＬＣＤ基板１０の縦方向に
沿って形成された（Ｙ＋２）個の電極パッドに、それぞ
れフィルム電極６をコンタクトする。次に、ＬＣＤ基板
１０上のＯＤＢ電極に、前記フィルム電極を介してバイ
アス電圧を印加する。そうすると、このＯＤＢ電極を左
端に有する共通ライン１０８に接続されたＴＰＴ１０４
は、そのドレイン，ソース間が導通するようにオン動作
され、結局Ｘ本の各ドレインライン１０２が全て共通ラ
イン１０６と導通され、Ｘ本のドレインライン１０２の
一端側がショート状態に設定されることになる。

上述した状態は、前記実施例において導電ゴムを機械的
にコンタクトした場合と同様となり、従って、これ以降
は各ドレインライン電極Ｄ１，Ｄ２．・・・Ｄｘにそれ
ぞれ検査用信号を切り換えて入力し、その出力をＯＤＭ
電極を介してテスタにてモニターすることで、各ドレイ
ンライン１０２の断線検査を実施することが可能となる
。

次に、ＯＤＢ電極へのバイアス電圧を、ＴＰＴ１０４が
ＯＦＦするように印加すると、ＴＦＴ１０４のドレイン
．ソース間は非導通状態と設定されるので、ドレインラ
イン１０２の一端側の一括ショート状態を解除すること
ができる。従って、この状態にて各ドレインライン電極
に検査用信号を入力し、その隣りのドレインライン電極
からの出力をテスタにてモニターすることにより、隣接
ライン間の短絡状態の検査を実施することが可能となる
。

尚、同様にしてゲートライン１００の各ラインの断線検
査及びライン間の短絡検査も実施可能となる。

このように、上記実施例ではＬＣＤ基板１０上にスイッ
チング素子であるＴＦＴ１０４を形成しておき、このＴ
ＦＴ１０４のオン，オフ動作によってライン一端側のシ
ョート状態，ショート状態の解除を実施することができ
、対向電極を用いなくても上記検査の実施が可能となる
。尚、上記のようなスイッチング素子としては、ＬＣＤ
基板１０を製造するための半導体製造工程と同一工程に
て形成できるものが好ましく、本実施例では画素を駆動
するためのＴＦＴ８１と同様なＴＰＴ１０４にて構成し
ている。また、断線検査以外の通常動作時には、ＴＦＴ
１０４がオフとなるようなバイアスを印加しておくこと
で、通常動作時には支障を与えることがない。

尚、上記のようなスイッチング素子と各ラインとの配列
方法については種々の変形実施が可能であり、例えば上
記実施例においてＯＤＭ電極より検査用信号パターンを
与え、各ドレインライン電極Ｄ，，Ｄ２，・・・Ｄｘか
らの出力をモニターするものであってもよい。

この他、第９図〜第１２図に示すものを挙げることがで
きる。

第９図に示すものは、左端にそれぞれ電極バッド１２２
を有する平行ライン１２０の右端側に、これと直交する
方向に沿って２本の共通ライン１２４，１２６を設け、
この両共通ライン１２４，１２６の間に、前記電極パッ
ド１２２の数に対応したＴＰＴ１２８を設けている。そ
して、前記ＴＰＴ１２８のソースは、前記平行ライン１
２０にそれぞれ接続され、ＴＰＴ１２８のドレインは共
通ライン１２４にそれぞれ接続され、ＴＦＴ１２８のゲ
ートは共通ライン１２６にそれぞれ接続されている。尚
、前記共通ライン１２６は、ＯＧＦ／ＯＧＢ電極付近で
他方の共通ライン１２４に結合されている。

この場合、ＯＧＦ／ＯＧＢ電極よりゲートバイアスを兼
ねる検査用信号を与えると、全ての平行ライン１２０は
一方の共通ライン１２４に接続され、この結果一括ショ
ート状態を得ることができる。そして、ＯＧＦ／ＯＧＢ
電極を介して与えられた検査用信号の出力を、前記電極
パッド１２２をスキャンしながらモニターすることによ
り、各平行ライン１２０の断線検査を行うことが可能と
なる。

第１０図に示すものは、全ての平行ライン１２０の断線
検査を一度に行うものを示している。

すなわち、各平行ライン１２０の一端側はＴＦＴ１２８
のゲートに接続されている。そして、ＴＦＴ１２８のソ
ースは、次の段のＴＦＴ１２８のドレイに接続されるよ
うに配線され、最下段のＴＦＴ１２８のソースが共通ラ
イン１２６を介してＯＧＭ電極に接続されるようになっ
ている。また、最上段のＴＰＴ１２８のドレインは、Ｏ
ＧＦ電極に接続されている。ここで、各平行ライン１２
０の電極バッド１２２に同時にゲートバアイスを印加す
ると、ＴＦＴ１２８が全てオン動作され、この状態にて
ＯＧＦ電極より検査用信号を入力すると、全ての平行ラ
イン１２２に断線がない場合にのみＯＧＦ電極より所定
の信号が出力されることになる。一方、いずれかの平行
ライン１２０にて断線がある場合には、このラインをゲ
ートバイアスラインとするＴＦＴ　１　２８がオンされ
ないため、ＯＧＭｍ極より所定の出力が現れず、この結
果断線が生じている旨を認知することが可能となる。

第１１図は、隣接する２本の平行ライン１２ｏ，１２０
を同時に断線検査する構成を示している。

すなわち、平行ライン１２０のうちの奇数本目のライン
の一端側には、ＴＰＴ　１　２８のドレインが接続され
、このＴＰＴ１２８のソースはこれに隣接する偶数ライ
ン目の平行ライン１２０に接続されている。一方、各Ｔ
ＰＴ１２８のゲートは共通ライン１２４に接続され、Ｏ
ＧＢｍ極を介してゲートバイアスが印加されるようにな
っている。ここで、ＴＰＴ１２８にゲートバイアスをか
けてこの全てのＴＰＴ１２ｇをオン動作させた状態で、
まず−ライン目の平行ライン１２０の電極パッド１２２
より検査信勺を与えると、一ライン目，ニライン目の平
行ライン１２０，１２０に断線がない限り、ＯＧＭ電極
を介して所定の出力を得ることができる。上記のような
動作を、隣接する奇数ライン，偶数ラインを一組として
順次検査することによって、全ての平行ライン１２０の
断線検査を行うことが可能となる。

第１２図に示すものは、一端に電極バッド１２２をそれ
ぞれ有する平行ライン１２０の他端側に、これと直交す
る方向に２本の共通ライン１２４，１２６を設け、この
共通ライン１２４，１２６間に前記電極パッド１２２の
数だけ配置したＴＰＴ１２８を設けている。そして、こ
のＴＰＴ１２８のドレインはそれぞれ共通ライン１２４
に接続され、そのソースは共通ライン１２６にそれぞれ
接続されている。また、そのゲートは前記各平行ライン
１２０に接続されている。この場合、各電極パッド１２
２をそれぞれスキャンしながらゲートバイアスを印加し
てＴＰＴ１２８をオンさせ、ＯＧＦ電極より信号パター
ンを与え、この出力をＯＧＭ電極を介してモニターする
ことで、各ライン１２０の断線検査を行うことができる
。

尚、上記のような断線．短絡検査のために基板上に付加
された構成は、そのまま基板に残しておいても良いし、
あるいはスイッチング素子に接続される配線を、検査終
了後にレーザ光等によってカットするものであっても良
い。また、例えばブローブ装置と連結されたレーザリペ
ア装置を有する場合には、一括ショート状態を実現する
共通ラインを予め基板に形成しておき、断線検査後にこ
れをカットし、この後にライン間の短絡検査を行うよう
にすれば、スチッチング素子を基板上に形成しなくても
済む。

尚、上記実施例はマトリックス配線基板としてＬＣＤを
例にとり説明したが、サーマルヘッド等の他のマトリッ
クス配線基板、あるいは単に複数ラインを有する他の種
々の基板の検査にも同様に適用することが可能である。

［発明の効果］ 以上説明したように、本発明よれば、複数ラインの各ラ
インの断線．ライン間の短絡検査を行うにあたり、この
ラインの一端をショートし、ラインのこれとは逆の電極
に個別的にコンタクトして順次断線検査を行い、ショー
ト状態を解除したライン開いただの短絡検査を行うこと
で、一括してショートする側の位置合せが比較的ラフで
すむので、従来の位置合わせ作業が簡易化され、この結
果検査のスルーブットを向上できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明方法が実施されるプローブ装置の一例を
示すもので、同図（Ａ）は同装置の平面図、同図（Ｂ）
は同装置の正面図、第２図はフィルム電極を説明するも
ので、同図（Ａ）はダミーパターンを形成したフィルム
電極の説明図、同図（Ｂ）はダミーパターンのないフィ
ルム電極の説明図、同図（Ｃ）はダミーパターンのない
場合のコンタクト時に発生する変形不良を説明するため
の説明図、第３図は複数グループ電極群に分割されたＬ
ＣＤ基板を示す概略説明図、第４図は、ＬＣＤ基板のパ
ターン構成を説明するための概略説明図、第５図は板バ
ネと絶縁シートとを積層しテ構成したブローブヘッドの
概略説明図、第６図（Ａ），（Ｂ）はそれぞれ第６図の
板バネ，絶縁シートの正面図、第７図は板バネ方式の従
来のプローブヘッドの概略説明図、第８図〜第１２図は
、それぞれ基板上に形成したスイッチング素子の切り換
えによって検査を実施する構成例を示す概略説明図であ
る。 １・・・載置台、２・・・導電ゴム部材、４・・・ブロ
ーブヘッド、６・・・フィルム電極、８・・・基板、７
０・・・ＬＣＤ基板、８３ａ，８３ｂ，８３ｃ−”）−
スライン、８　２　ａ　，　８　２　ｂ　，　　８　２
　ｃ−・・ゲートライン、１０４，１２８・・・スイッ
チング素子。 代理人　弁理士　井　　上　　　一（他１名）第 図 （Ｂ） 第 図 （Ａ） （Ｂ） 第７ 図 第 因 第 図 晃 １Ｉ 図 第 図

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）複数本それぞれ絶縁して配線された各ラインの断
   線及びライン間の短絡を検査するにあたり、各ラインの
   断線検査を行う場合には、この各ラインの一端側を一括
   してショートさせ、上記ラインの他端側の電極に個別的
   にコンタクトすることで各ライン毎に切り換えて通電し
   、 ライン間の短絡検査を行う場合には、上記ライン他端側
   の一括ショート状態を解除し、隣接ラインの一方より通
   電して他方からの出力をモニタすることを特徴とするラ
   インの検査方法。
2. （２）各ラインの一端側には、この各ラインをショート
   可能なスイッチング素子が形成され、この各スイッチン
   グ素子の切り換えにより上記検査を行うものである特許
   請求の範囲第１項記載のラインの検査方法。
3. （３）各ラインの一端側に接離可能な導電性ゴムを配置
   し、この導電性ゴムの接触，非接触の切り換えにより上
   記検査を行うものである特許請求の範囲第１項記載のラ
   インの検査方法。