JPH0599788A - 液晶デイスプレイ基板の検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 精度の高いＬＣＤ基板の検査を行うことがで
き、かつＬＣＤ基板の大型化に対して容易に対応できる
こと。 【構成】 ＬＣＤ基板２の４８０個のゲート用の電極パ
ッド３１及び１９２０個のドレイン用の電極パッド３２
に対して、各々２４０本のプロービング針を備えた２個
のプロービング基板Ｇ１、Ｇ２及び８個のプロービング
基板Ｐ１〜Ｐ８により夫々一括して接触させ、プロービ
ング基板Ｇ１、Ｇ２を介してゲ−ト用の電極パッド３１
にテスタ４により電圧を与える。テスタ４側の１６０本
の信号線４１とプロービング基板Ｐ１〜Ｐ２側の１９２
０本の信号線との間に、１９２０本の信号線のうちの１
番目から順番に１６０本ずつ、テスタ４側の１番目から
１６０番目までの信号線を夫々接続するための接続切り
替え部を設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、液晶デスプレイ基板の
検査装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）を用いたＬ
ＣＤ（液晶ディスプレイ）は非常に優れた高画質を提供
してくれるものとして注目されている。

【０００３】この種のＬＣＤ基板は、図５に模式的に示
すようにガラス基板１ａ上にＴＦＴ１ｂを形成すると共
に、例えばそのドレイン電極に電気的に接続した画素電
極１ｃを、当該ＴＦＴ１ｂと隙間を介して配置し、この
ように組み合わされた画素ユニットＵを多数配列してな
るものであり、例えば一辺が数百μｍ程度の角形の画素
ユニットＵが数十万個配列されている。そしてこのよう
なＬＣＤ基板１上に間隙を介して各画素ユニットＵに共
通な透明電極１ｄを対向して配列し、さらに前記間隙に
液晶１ｅを封入することによってＬＣＤが構成される。

【０００４】ところでＬＣＤ基板におけるパターンの微
細化が進み、大容量になればなる程、製造プロセス中の
微粒子などに起因して、例えばＴＦＴのゲート、ドレイ
ン間などのオープンショートや配線パターンと画素電極
とのショートといった欠陥が発生しやすくなるが、液晶
封入後に検査不良を見つけてもリペアすることができな
いため、ＬＣＤの各画素ユニットについて液晶封入前に
動作確認を行う必要がある。

【０００５】このため従来では、例えばガラス基板の裏
面側に画素電極と対向するように検査電極を設け、ゲー
ト電極に電圧を印加すると共に、前記検査電極にコモン
端子から電流を供給し、ドレイン電極に流れる電流を検
出して各ＴＦＴの良否を判定するようにしていた。そし
てこのような検査を行う装置としては、例えば図６に示
すようにＬＣＤ基板１の周縁に沿って夫々ガイド機構１
０、１１に案内されながらＸ、Ｙ方向に移動可能にプロ
ービング基板１２、１３を設け、各々が例えば縦の列に
並ぶＴＦＴのドレイン電極に接続され、Ｘ方向に一列に
配列された電極パッド１４に対してプロービング基板１
２のプロービング針を順次接触させると共に、各々が例
えば横の列に並ぶＴＦＴのゲートに接続され、Ｙ方向に
一列に配列された電極パッド１５に対してプロービング
基板１３の針を順次に接触させ、プロービング針により
接触されるパッド１４、１５の全ての組み合わせが得ら
れるようにプロービング基板１２、１３を駆動する装置
が知られている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで電極パッドの
大きさは例えば１００μｍ×２００μｍ程度の非常に小
さいものであるが、ＬＣＤ基板は今後更に大型化してい
く傾向にあるため、これに応じて電極パッドの数も増え
ていく。しかしながら上述のようにプロービング基板を
ＬＣＤ基板に対して順次移動させながら電極パッド群に
対して複数回接触させる検査装置においては、そのよう
な小さな電極パッドが多数並ぶ電極パッド群に対して、
いずれの電極パッドについてもプロービング針を電極パ
ッド内に正確に位置させるためには、ガイド機構１０、
１１を電極パッド群の列に対して極めて高い平行度で設
置しかつガイド機構１０、１１に対するプロービング基
板１２、１３の向きについても非常に高い位置精度が要
求されるため、このような寸法精度を確保して装置を組
み立てることは非常に困難である。

【０００７】本発明はこのような事情のもとになされた
ものであり、その目的は、ＬＣＤ基板の各電極パッドに
対して高い位置精度で針を接触させ、これにより高い精
度でＬＣＤ基板の検査を行うことのできる検査装置を提
供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明は、液晶ディスプ
レイの電極パッドにプロービング基板のプロービング針
を接触させ、この電極パッドから取り出される検査用の
信号をプロービング基板を介してテスタに導いて液晶デ
ィスプレイの検査を行う装置において、検査用の信号の
取り出しのための全ての電極パッドに対して分割して接
触される複数のプロービング基板と、これら複数のプロ
ービング基板全体の信号伝送路の数よりも少ない複数の
信号伝送路を有するテスタと、前記プロービング基板全
体の信号伝送路に対してテスタ側の前記複数の信号伝送
路を接続するための接続切り替え部とを設けてなること
を特徴とする。

【０００９】

【作用】例えば検査用の信号の取り出しのための電極パ
ッドの総数が１９２０個である場合、２４０本のプロー
ビング針を有するプロービング基板を８個用いて、これ
らプロービング基板により１９２０個の電極パッド全て
に接触させる。そしてプロービング基板全体の信号伝送
路の数（この数値例では１９２０）よりも少ない例えば
１６０個の信号伝送路を有するテスタを用い、プロービ
ング基板全体の信号伝送路群のうち接続切り替え部によ
り先ず１番目から１６０番目までを夫々テスタ側の１番
目から１６０番目に接続し、次いでプロービング基板側
の信号伝送路に対して順番に１６０個ずつテスタ側の１
番目から１６０番目の信号伝送路に順次接続し、こうし
て１９２０個全ての電極パッドについてプロービング基
板側からテスタ側へ検査用の信号を取り込み、ＬＣＤ基
板の良否を判定する。従ってプロービング基板の各々の
信号伝送路の数とテスタ側の信号路の伝送路の数とが一
致しているか否かにかかわらず、電極パッド群からの各
信号をテスタ側にて常に所定の順序で検出できる。

【００１０】

【実施例】図１及び図２は本発明の実施例を示す説明
図、図３は本発明の実施例で用いられるＬＣＤ基板の回
路構成の一例を示す回路図である。図において２はＬＣ
Ｄ基板であり、先ず図３を参照してＬＣＤ基板の回路構
成及び検査原理について述べる。

【００１１】ＬＣＤ基板２には、スイッチング素子であ
るＴＦＴ（薄膜トランジスタ）２１が縦横に多数列配列
されると共に、これらＴＦＴ２１の配列に対応してドレ
インライン２２及びゲートライン２３が夫々縦横に配線
されており、縦に並ぶＴＦＦ２１の各ドレイン電極は、
対応するドレインライン２２に共通に接触され、また横
に並ぶＴＦＦ２１の各ゲート電極は、対応するゲートラ
イン２３に共通に接続されている。更に全てのＴＦＦ２
１のソ−ス電極に対して容量成分Ｃを介してコモンライ
ン２３が接続されており、このコモンラインは例えばＬ
ＣＤ基板２の裏面側に検査用電極として埋設され、コモ
ン電極パッド３０及び抵抗成分Ｒを介してアースライン
２４に接続されている。前記ドレインライン２２の端部
及びゲートライン２３の端部は、各々電極パッド３１
（３２）及び抵抗成分Ｒを介してアースライン２４に接
続されており、ドレインライン２２用の電極パッド３１
は、例えばＬＣＤ基板２の一縁側及び他縁側に交互に配
列されている。

【００１２】また図３中電極パッド３０〜３２に夫々接
触している矢印は後述のプロービング針であり、電極パ
ッド３０には電源部Ｖ１が、電極パッド３１には電流検
出部Ｄが、電極パッド３２には電源部Ｖ２とバイアス電
源部Ｅとの直列回路が夫々プロービング針を介して接続
されている。これら電源部Ｖ１、Ｖ２、電流検出部Ｄ及
びバイアス電源部Ｅは、後述のテスタの中に組み込まれ
ており、ＬＣＤ基板の検査については、各ＴＦＴ２１の
ソース電極に電源部Ｖ１より交流電圧を与えておき、電
源部Ｖ２よりゲート電極に交流電圧を印加して、そのと
きにドレイン電極から得られる電流を電流検出部Ｄにて
検出し、その電流値にもとずいて例えばＴＦＴの各電極
間のトータル的なアドミッタンスを判断し、予め定めら
れた電流値との比較結果にもとづいてＴＦＴの良否が検
査される。 次に図１及び図２を参照しながら本発明の
実施例に係る検査装置の全体構成について述べると、図
１中４はテスタであり、このテスタ４には、接続切り替
え部５を介して、前記ＴＦＴ２１のドレイン電流を取り
出すための例えば８個のプロービング基板１００（Ｐ１
〜Ｐ８）が接続されると共に、ＴＦＴ２１にゲート電圧
を印加するための２個のプロービング基板２００（Ｇ
１、Ｇ２）が接続されている。そしてＬＣＤ基板２に
は、例えば１００μｍ×２００μｍの大きさの電極パッ
ド３１がＬＣＤ基板２の長辺に相当する一縁側及び他縁
側（図１中上縁側、下縁側）に夫々例えば９６０個づつ
横方向に百数＋μｍの間隔で配列されると共に、側縁側
に同様の大きさの電極パッド３２が同様の間隔で例えば
４８０個配列されており、各プロービング基板は、これ
ら電極パッド３１（３２）に夫々接触するように例えば
２４０本のプロービング針ｐを備え、更にこれらプロー
ビング針ｐに対応して２４０本の信号伝送路としての信
号線６（図１では便宜上単線で描いてある）を備えてい
る。なお各プロービング基板は、更に前記コモンライン
２３の電極パッドに電圧を印加するための専用のプロー
ビング針及び信号ライン（図１では図示せず）を有して
いる。

【００１３】前記プロービング基板１００、２００の取
り付け構造に関して図２により説明すると、３００は図
示しない支持体に支持されたベースプレートであり、プ
ロービング基板１００を取り付けるための例えば１個の
取り付け穴３０１とプロービング基板２００を取り付け
るための例えば８個の取り付け穴３０２とがＬＣＤ基板
２の電極パッド列３１、３２に夫々対応した位置に形成
されると共に、電極パッド３１、３２とプロービング針
ｐとの接触状態を観察するための覗き窓Ｗが形成されて
いる。そしてプロービング基板１００、２００は、前記
取り付け穴３０１、３０２の下方側に保持台３０３を介
して固定されており、信号線６はプロービング基板の上
面から取り付け穴３０１、３０２を介してベースプレー
ト３００の上面側に引き出されている。前記保持台３０
３は上部の前端部及び後端部がベースプレート３００の
上面に重なるように横に突出した形状に作られ、前記前
端部及び後端部にて、図示しないネジによりネジ穴３０
４を介してベースプレート３００に固定されている。保
持台３０３のネジ穴３０４をネジが遊貫される大きさに
設定しておくことにより、前記プロービング基板１０
０、２００について例えばＸ方向（横方向）、Ｙ方向
（縦方向）、Ｚ方向（高さ方向）、θ方向（鉛直軸回
り）の位置調整を行った後、当該プロービング基板をネ
ジ３０４によりベースプレート３００に位置固定するこ
とができる。

【００１４】前記プロービング基板Ｐ１〜Ｐ８のうちＰ
１〜Ｐ４で示すプロービング基板は、ＬＣＤ基板２の一
縁側に配列されたドレイン電流取り出し用の電極パッド
３１列に沿って、当該電極パッド３１列に対して交互に
両側に並んで配置されると共に、これら電極パッド３１
はプロービング基板Ｐ１〜Ｐ４のプロービング針ｐによ
って夫々図１中左側から順番に２４０個ずつ接触されて
おり、残りのＰ５〜Ｐ８で示すプロービング基板は、Ｌ
ＣＤ基板２の他縁側に配列された電極パッド３１列に沿
って同様に配列されると共に、これら電極パッド３１に
同様に接触している。また前記２個のプロービング基板
Ｇ１、Ｇ２はゲート電圧印加用の電極パッド３２に対し
て２４０個ずつ接触している。

【００１５】一方前記テスタ４は、プロービング基板Ｐ
１〜Ｐ８にて取り出されたドレイン電流を取り込むため
の例えば１６０本の信号伝送路である信号線４１と、接
続切り替え部５のスイッチングをコントロールするため
の制御線４２とを備えている。

【００１６】前記接続切り替え部５は、テスタ４側の信
号線４１が１６０本、プロービング基板Ｐ１〜Ｐ８の信
号線６の総数が１９２０（２４０×８）本であって、こ
れらをそのまま接続できないため、信号線４１と信号線
６との接続を切り替えて、プロービング基板Ｐ１〜Ｐ８
側の信号（ドレイン電流）をテスタ４側に取り込むこと
ができるように設けられたものであり、具体的には図４
に示すように構成されている。即ち前記接続切り替え部
５は、テスタ４側の１６０本の信号線に夫々接続される
１６０本のパターン配線よりなる信号路が配列されたバ
ックプレーン５１と、このバックプレーン５１の接続部
Ｃ１〜Ｃ８に、プロービング基板Ｐ１〜Ｐ８に夫々対応
して着脱自在に接続されたマルチプレクサＭ１〜Ｍ８と
を有してなる。ただし図４にて単線で示してある信号線
は、いずれも４０本の信号線に相当するものであり、Ｌ
１〜Ｌ４は、夫々テスタ４側の信号線１〜４０番、４１
〜８０番、８１〜１２０番、１２１〜１６０番に接続さ
れている。

【００１７】前記接続部Ｃ１〜Ｃ８と信号線Ｌ１〜Ｌ４
との関係については、接続部Ｃ１には左から順にＬ１〜
Ｌ４の信号線が接続され、接続部Ｃ２には左から順にＬ
３、Ｌ４、Ｌ１、Ｌ２の信号線が接続され、以後順次左
から信号線の配列がテスタ４側の信号線の番号で８０番
ずつずれており、結局Ｌ１〜Ｌ４の信号線の並びとＬ
３、Ｌ４、Ｌ１、Ｌ２の信号線の並びとが交互に配列さ
れることになる。

【００１８】また前記マルチプレクサＭ１〜Ｍ８はいず
れも同一の構成であり、前記接続部Ｃ１〜Ｃ８にて組に
なっているバックプレーン５１側の４本の信号線に夫々
接続される４本の信号路Ｎ１〜Ｎ４と、この信号路Ｎ
１、Ｎ２に夫々ショートされた２本の信号路Ｎ５、Ｎ６
と、これら信号路Ｎ１〜Ｎ６に夫々接続されたスイッチ
部Ｓ１〜Ｓ６とを備えている。これらスイッチ部Ｓ１〜
Ｓ６は、プロービング基板Ｐ１（Ｐ２〜Ｐ８）の信号線
に夫々接続された固定接点ａと、前記信号路Ｎ１〜Ｎ６
に夫々接続された第１接点ｂと、接地された第２接点ｃ
とを有してなる。前記第２接点ｃは、必ずしも接地しな
くともよいが、測定に係わらないプロービング基板Ｐ１
〜Ｐ８の信号線６と測定に係る信号線６との間の干渉を
避けるために接地した方が好ましい。なお図４において
プロービング基板Ｐ１〜Ｐ８に付した１〜１９２０まで
の数字は、例えばプロービング基板Ｐ１〜Ｐ８のプロー
ビング針ｐの通し番号、即ち電極パッド３１に予め割り
当てた通し番号である。

【００１９】また図１においてゲート電圧を印加するた
めのプロービング基板Ｇ１、Ｇ２の信号線６について
は、この例では直接テスタ４内の電源部Ｖ２（図３参
照）に接続されている。

【００２０】次に上述実施例の作用について述べる。先
ず検査対象となるＬＣＤ基板２を図示しない昇降台によ
り上昇させてプロービング針ｐに夫々電極パッドを接触
させ、例えばその針跡をＴＶカメラにより覗き窓Ｗを通
して観察し、観察結果にもとづいてプロービング基板１
００、２００の例えばＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向、θ方向
の位置調整を行う。その後全ての電極パッドに対してプ
ロービング基板Ｇ１、Ｇ２及びプロービング基板Ｐ１〜
Ｐ８を図１に示すように接触させ、図３にて述べたよう
にこれらプロービング基板に分散されプロービング針を
介してＬＣＤ基板２の各ＴＦＴのソース電極に例えば７
ＫＨｚの高周波電圧を印加すると共に、ドレイン用の電
極パッド３１及びゲート用の電極パッド３２をマトリク
ス的に選択して各ＴＦＴの良否を判定する。具体的には
例えばプロービング基板Ｇ１に接触する第１番目の電極
パッド３２を介して横に並ぶ第１列目のＴＦＴのゲート
電極にテスタ４側から７ＫＨｚの高周波電圧を印加し、
ドレイン用の１〜１９２０番目までの電極パッド３１か
らつまりプロービング基板Ｐ１〜Ｐ８のプロービング針
の１〜１９２０番目から接続切り替え部の切り替え動作
により１６０本ずつ選択して、１６０本分のドレイン電
流をテスタ４に取り込み、各電流値を予め定めた電流値
と比較して各ＴＦＴの良否を判定する。

【００２１】次いでゲート用の電極パッド３２のうち２
番目の電極パッド３２を選択して同様にドレイン電流を
テスタ４に取り込んで判定を行う。そしてプロービング
基板Ｐ１〜Ｐ８側から順次プロービング針１６０本分の
ドレイン電流を取り込む方法については、図４及び図５
に示すように先ずマルチプレクサＭ１のスイッチ部Ｓ１
〜Ｓ４をオン（接点ｂ側に切り替えた状態）にし、他の
スイッチ部をオフにすることにより１〜１６０番目のプ
ロービング針（プロービング基板側の１〜１６０番目の
信号線）が夫々テスタ４側の１〜１６０番目の信号線に
接続される。次いでマルチプレクサＭ１のスイッチ部Ｓ
５、Ｓ６及びマルチプレクサＭ２のスイッチ部Ｓ１、Ｓ
２をオンにし、他のスイッチ部をオフにすることにより
１６１〜３２０番目のプロービング針が夫々テスタ４側
の１〜１６０番目の信号線に接続され、こうしてマルチ
プレクサＭ１〜Ｍ８のスイッチ部を順番に４個ずつオン
にしていくことにより、１〜１９２０番目までのプロー
ビング針が順番に１６０本ずつ、テスタ４側の１〜１６
０番目までの信号線に夫々順次接続されていく。なお図
５においてＡ１〜Ａ１２は、スイッチ部の切り替え動作
の番号であり、夫々第１回目の切り替え〜第１２回目の
切り替えに対応するものである。

【００２２】このような実施例によれば、１番目から１
９２０番目までの電極パッド３２に対してテスタ４側の
１番目から１６０番目の信号線がサイクリックに順次接
続されるため、電極パッド３２に予め割り当てられた順
番通りにドレイン電流をテスタ４に取り込むことがで
き、従ってテスタ４側における信号処理が容易になる。
またプロービング基板を移動させるのではなく、信号線
の切り替えによってドレイン電流を順次取り込むため、
高速な検査が実現できる。そしてバックプレーン５１に
設けられた１６０本のテスタ４側の信号線を１組とする
接続部Ｃ１〜Ｃ８は、プロービング基板Ｐ１〜Ｐ８の各
々の信号線の数（２４０）とテスタ４側の信号線の数
（１６０）との差に相当する数（８０）だけ信号線の先
頭の番号を順次ずらして構成されているため、バックプ
レーン５１とプロービング基板Ｐ１〜Ｐ８との間に接続
されるマルチプレクサＭ１〜Ｍ８の各々を接続部Ｃ１〜
Ｃ８側の４本の信号線のうち２本を分岐した６本の信号
線とスイッチング部とよりなる同一構成とすることがで
き、従って例えばバックプレーンの接続部の数を８個以
上例えば１２個予め設けておくことにより、将来ＬＣＤ
基板の電極パッド数が増えても、プロービング基板を追
加すると共に、同一構成のマルチプレクサを余分に設け
てある接続部に差し込むことによって容易に増設するこ
とができる。またバックプレーン５１、マルチプレクサ
及びプロービング基板を各々着脱自在に接続できる構成
とすれば、例えばプロービング基板あるいはマルチプレ
クサが故障しても交換が容易である。

【００２３】ここでテスタ４側の１６０本の信号線を８
個のグループに分け、１〜２０番の信号線をプロービン
グ基板Ｐ１、２１〜４０番の信号線をプロービング基板
Ｐ２………１４１〜１６０番の信号線をプロービング基
板Ｐ８に割り当てると共に、各グループの１本の信号線
にプロービング基板側の信号線１２本を受け持たせ、例
えば１番の信号線にプロービング基板Ｐ１の１〜１２番
までの信号線をスイッチ部を介して受け持たせるように
すれば、スイッチ部の１２回の切り替えを行うことによ
りプロービング基板側の全信号線から信号をテスタ４に
取り込むことができる。しかしながらこのような方式で
は、プロービング基板を増設する場合には、接続切り替
え部全体を交換しなければならず、従ってこの例と比較
してみれば、上述実施例の構成は、増設に対応しやすい
ことがわかる。 以上において接続切り替え部としては
上述実施例の構成に限定されるものではなく、例えばテ
スタ側の１〜１６０番目までの信号線からサイクリック
に、即ち１、２…１６０、１、２…１６０番目…の順序
で例えばプロービング基板１２個分の２８８０本の信号
線を分岐して並べたバックプレーンを用いこれら信号線
に対してプロービング基板側の信号線を接続するように
してもよく、この場合にはマルチプレクサの各々を必ず
しも同一構成とすることはできないが、電極パッドから
のドレイン電流を所定の順序でテスタ側に取り込むこと
ができる。

【００２４】またテスタ側の信号伝送路の数及びプロー
ビング基板の信号伝送路の数は夫々１６０本、２４０本
に限定されるものではないし、これらの数が同一であっ
てもよい。

【００２５】更に本発明における信号伝送路とは、信号
線のみを意味するものではなく、テスタ及び／またはプ
ロービング基板が接続切り替え部に直結される場合など
には信号伝送端子部などが相当する。

【００２６】またゲート用のプロービング基板について
は、分割型のものに限らず、一体型のものを用いてもよ
い。なお、検査対象であるＬＣＤ基板の形状は長方形に
限らず三角形、多角形、台形など種々の形状であっても
よい。

【００２７】

【発明の効果】本発明によれば、ＬＣＤ基板における検
査用の全ての電極パッドに対して、複数のプロービング
基板を同時に接触させているため、プロービング基板を
電極パッド列に沿って繰り返し接触させるために移動さ
せるための機構を用いる場合に比べてプロービング針を
電極パッドに対して高い位置精度で容易に接触させるこ
とができ、この結果精度の高い検査を行うことができ
る。

【００２８】しかも信号を取り出すためのプロービング
基板については複数に分割してテスタ側の信号伝送路を
プロービング基板側の信号伝送路に対して順次に切り替
え接続する接続切り替え部を設けているため、ＬＣＤ基
板が大型化しても容易に増設することができ、拡張性が
良い。

【００２９】そしてＬＣＤ基板は一般のＩＣ回路とは異
なり同じ回路構成の素子が繰り返し配列されているた
め、ＬＣＤ基板が大型になっても例えば同一構成のプロ
ービング基板を追加することによって対応でき、従って
本発明の構成は様々なＬＣＤ基板の検査に対して非常に
有効である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例の全体構成を示す説明図であ
る。

【図２】プロービング基板の取り付け構造を示す斜視図
である。

【図３】本発明に係るＬＣＤ基板の検査の一例の原理を
示す回路図である。

【図４】本発明の実施例の要部を示す配線回路図であ
る。

【図５】本発明のマルチプレクサの入出力関係を示す説
明図である。

【図６】ＬＣＤの構成を示す説明図である。

【図７】従来のＬＣＤの検査装置を示す平面図である。

【符号の説明】

１、２ ＬＣＤ基板 ３１、３２ 電極パッド ４ テスタ ５ 接続切り替え部 ６ 信号線 １００ ベースプレート Ｐ１〜Ｐ８ プロービング基板 Ｍ１〜Ｍ８ マルチプレクサ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 液晶ディスプレイ基板の電極パッドにプ
   ロービング基板のプロービング針を接触させ、この電極
   パッドから取り出される検査用の信号をプロービング基
   板を介してテスタに導いて液晶ディスプレイ基板の検査
   を行う装置において、 検査用の信号の取り出しのための全ての電極パッドに対
   して分割して接触される複数のプロービング基板と、 これら複数のプロービング基板全体の信号伝送路の数よ
   りも少ない複数の信号伝送路を有するテスタと、 前記プロービング基板全体の信号伝送路に対してテスタ
   側の前記複数の信号伝送路を接続するための接続切り替
   え部とを設けてなることを特徴とする液晶ディスプレイ
   基板の検査装置。