KR20100096546A - 액정패널 검사장치 및 검사방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 액정패널 검사장치 및 검사방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 프루브 콘택에 의한 전기신호를 통해 액정패널로부터 구현된 테스트 화상을 비쥬얼 테스트하는, 이른바 오토프루브 검사장치 및 이를 이용한 액정패널의 검사방법에 관한 것이다.
본 발명의 특징은 프로브블록이 각각 마이크로 단위로 수평이동 할 수 있도록 하는 것이다. 이로 인하여, 액정패널의 종류 또는 액정패널에 실장되는 구동회로의 종류에 따라 접속패드의 개수, 간격 및 배열이 다른 다양한 종류의 액정패널을 오토프로브의 교체 없이 검사공정을 진행할 수 있다.
따라서, 기존의 액정패널의 종류에 따라 오토프로브를 교체할 필요가 없어 검사 공정시 공정상의 편리함을 가져올 수 있으며, 공정시간 및 공정비용을 절감할 수 있다.
또한, 오토프로브 교체 후 별도의 테스트공정을 진행하지 않아도 됨으로써, 공정상의 효율성을 더욱 향상시킬 수 있다.
오토프로브, 프로브블록, 프로브니들, 패드, 액정표시장치
Description
본 발명은 액정패널 검사장치 및 검사방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 프루브 콘택에 의한 전기신호를 통해 액정패널로부터 구현된 테스트 화상을 비쥬얼 테스트하는, 이른바 오토프루브 및 이를 이용한 액정패널의 검사방법에 관한 것이다.
근래에 들어 사회가 본격적인 정보화 시대로 접어듦에 따라 대량의 정보를 처리 및 표시하는 디스플레이(display) 분야가 급속도로 발전해 왔고, 이에 부응하여 여러 가지 다양한 평판표시장치가 개발되어 각광받고 있다.
이 같은 평판표시장치의 구체적인 예로는 액정표시장치(Liquid Crystal Display device : LCD), 플라즈마표시장치(Plasma Display Panel device : PDP), 전계방출표시장치(Field Emission Display device : FED), 전기발광표시장치(Electroluminescence Display device : ELD) 등을 들 수 있는데, 이들 평판표시 장치는 박형화, 경량화, 저소비전력화의 우수한 성능을 보여 기존의 브라운관(Cathode Ray Tube : CRT)을 빠르게 대체하고 있다.
이중 특히 액정표시장치는 콘트라스트 비(contrast ratio)가 크고 동화상 표시에 적합하며 소비전력이 적다는 특징을 보여 노트북, 모니터, TV 등의 다양한 분야에서 활용되고 있는데, 이의 화상구현원리는 액정의 광학적 이방성과 분극성질을 이용하는 것으로, 주지된 바와 같이 액정은 분자구조가 가늘고 길며 배열에 방향성을 갖는 광학적 이방성과, 전기장 내에 놓일 경우 그 크기에 따라 분자배열 방향이 변화되는 분극성질을 띤다.
즉, 일반적인 액정표시장치는 액정구동을 위한 어레이층(array layer)과 컬러구현을 위한 컬러필터층(color-filter layer)이 갖추어진 제 1 및 제 2 기판 사이로 액정층을 개재해서 합착시킨 액정패널을 필수구성요소로 하며, 이는 내부의 전기장으로 액정분자의 배열방향을 변화시켜 투과율 차이를 발생시키게 된다.
이러한 액정패널의 투과율 차이는 그 배면에 놓인 백라이트(back light)의 빛을 통해 컬러필터의 색 조합이 반영되어 컬러화상의 형태로 디스플레이 된다.
한편, 일반적인 액정표시장치 제조공정은 제 1 및 제 2 기판을 얻기 위한 기판제조공정과, 액정패널을 완성하는 셀(cell)공정 그리고 액정패널과 백라이트를 일체화시키는 모듈(module)공정으로 구분될 수 있다.
이중 기판제조공정에서는 박막증착(thin film deposition), 포토리소그라피(photo-lithography), 식각(etching) 등의 과정을 수 차례 반복해서 각 기판에 어레이층과 컬러필터층을 구현하고, 셀공정에서는 제 1 또는 제 2 기판 중 어느 하 나에 합착을 위한 씰패턴(seal pattern)을 형성한 후 액정층을 사이에 두고 양 기판을 대면 합착시켜 액정패널을 완성하며, 이렇게 완성된 액정패널은 모듈공정에서 편광판과 구동회로 등이 부착된 후 백라이트와 일체화되어 액정표시장치를 이룬다.
이때 특히 셀공정의 최종단계로서, 구동회로 부착 전(前)의 액정패널에 오토 프로브라 지칭되는 프로브블록(probe block)을 통한 접촉에 의한 전기신호를 인가하여 테스트화상을 구현토록 하고, 이를 작업자의 육안으로 확인하는 비쥬얼 테스트를 통해 불량여부를 판정하는 액정패널 검사단계가 진행된다.
한편, 이러한 검사단계 시 검사 대상인 액정패널의 종류 또는 액정패널에 실장되는 구동회로의 종류에 따라 액정패널에 형성된 접속패드의 개수, 간격 및 배열이 달라지게 된다.
따라서, 검사 대상에 따라 적합한 프로브블록이 실장된 오토프로브로 교체하여 검사를 진행해야 하는 불편함이 있다.
이는, 교체에 의한 공정상의 불편함을 초래하게 되며, 공정시간 증가 및 공정비용 상승의 문제점을 야기하게 된다.
또한, 교체 후에도 프로브블록의 정상동작을 확인하기 위한 별도의 테스트공정을 진행해야 하는 번거로움이 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 검사 대상에 따라 적합함 프로브블록이 실장된 오토프로브의 교체에 따른 번거로움을 해소하고, 보다 간단하고 편리하게 다양한 형태의 접속패드에 대해 공용하여 사용할 수 있는 새로운 오토프로브를 제공하고자 하는 것을 목적으로 한다.
전술한 바와 같은 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 다수의 패드가 노출된 액정패널이 실장되는 중앙의 실장공간과; 상기 실장공간의 일 가장자리를 따라 형성된 제 1 레일 상에 수평이동 하도록 배치된 다수의 프로브블록과; 상기 액정패널의 다수의 패드와 전기적으로 접속되며, 상기 다수의 프로브를록 각각에서 인출된 다수의 프루브니들을 포함하는 액정패널 검사장비를 제공한다.
이때, 상기 다수의 프로브블록은 미세조정수단을 통해 마이크로 단위로 수평 이동하며, 상기 제 1 레일과 수직한 제 2 레일을 포함한다.
그리고, 상기 제 2 레일 상에 다수의 프로브블록이 배치되며, 상기 실장공간의 배면에는 상기 액정패널에 빛을 공급하는 백라이트유닛과; 상기 다수의 프로브블록 각각으로 상기 액정패널의 구동을 위한 전기신호를 공급 및 제어하는 콘트롤박스를 포함한다.
또한, 상기 프로브니들은 지그재그 형태 또는 열을 지은 형태로 반복배치되며, 상기 프로브니들은 포고핀이다.
여기서, 본 발명은 액정패널 검사장비를 이용한 액정패널 검사방법으로서, 상기 백라이트유닛을 턴 온하는 단계와; 상기 다수의 프로브블록을 상기 미세조정 수단을 통해 상기 레일 상에서 수평이동하여, 상기 액정패널 상에 노출된 패드와 상기 프로브블록의 상기 프로브니들을 접속시키는 단계와; 상기 다수의 프로브블록 각각에 전기신호를 공급하여 상기 액정패널의 테스트화상을 표시하는 단계와; 상기 테스트화상을 통해 상기 액정패널의 이상유무를 확인하는 단계를 포함하는 액정패널 검사방법을 제공한다.
위에 상술한 바와 같이, 본 발명에 따라 오토프로브를 프로브블록이 각각 마이크로 단위로 수평이동 할 수 있도록 함으로써, 액정패널의 종류 또는 액정패널에 실장되는 구동회로의 종류에 따라 접속패드의 개수, 간격 및 배열이 다른 다양한 종류의 액정패널을 오토프로브의 교체 없이 검사공정을 진행할 수 있는 효과가 있다.
이로 인하여, 기존의 액정패널의 종류에 따라 오토프로브를 교체할 필요가 없어 검사 공정시 공정상의 편리함을 가져올 수 있으며, 공정시간 및 공정비용을 절감할 수 있는 효과가 있다.
또한,오토프로브 교체 후 별도의 테스트공정을 진행하지 않아도 됨으로써, 공정상의 효율성을 더욱 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시예를 상세히 설명한다.
도 1은 액정표시장치용 액정패널의 제조공정을 단계별로 나타낸 공정 흐름도이다.
도시한 바와 같이, 제 1 단계(St1)는, 컬러필터기판인 상부기판과 어레이기판인 하부기판을 각각 형성한 후, 배향막을 도포하기 전에 기판 상에 존재할 수 있는 이물질을 제거하기 위한 과정으로 초기세정하는 단계이다.
제 2 단계(St2)는, 컬러필터기판과 어레이기판 상에 배향막을 형성하는 단계이며, 제 3 단계(St3)는, 컬러필터기판과 어레이기판 사이에 개재될 액정이 새지 않도록 실패턴을 인쇄하고, 컬러필터기판과 어레이기판 사이의 갭을 정밀하고 균일하게 유지하기 위해 일정한 크기의 스페이서를 산포하는 공정이다.
제 4 단계(St4)는, 양 기판 중 선택된 한 기판 상에 액정을 적하하는 단계이며, 제 5 단계(St5)는, 컬러필터기판과 어레이기판의 합착공정 단계이며 이후, 합착된 기판 상태로 보조 검사 공정을 실시하는 제 6 단계(St6)를 진행한다.
보조 검사 공정은 액정셀에 구성된 게이트 및 데이터라인에 셀 외곽부에 형성된 검사패드를 통해 전압을 인가하면서 육안관측 또는 현미경 관측을 통해 진행된다.
여기서, 보조 검사 공정은 화면상에 나타나는 얼룩 등을 관찰하는 목시검사로 대형이물질이나, 러빙불량에 의한 화면상에 발생될 수 있는 얼룩을 검사할 수 있다.
그러나, 보조 검사 공정을 통해 검출될 수 있는 불량요인은 한계가 있다. 예를 들면 단락 및 단선과 같은 선결함(Line defect) 및 점결함(Point defect) 등은 검출이 불가능하다.
제 7 단계(St7)는, 기판을 셀 단위로 절단하는 단계이며, 마지막으로 액정패널의 주 검사 공정으로, 제 6 단계(St6)에서의 보조 검사 공정보다 좀더 정밀한 검사 공정으로 전기신호를 인가하는 방식의 오토 프로브(auto probe)검사가 이루어진다.
오토 프로브 검사는 보조 검사 공정에서 검출되지 못한 선결함(Line defect) 및 점결함(Point defect)등을 검출하기 위한 공정으로 외부로 노출된 패드에 프로브 콘택(probe contact)에 의한 전기신호를 인가하여 실질적으로 액정패널을 모의로 구동시킴으로써 각각의 불량을 검출하게 된다.
오토 프로브 검사 공정을 거쳐 양질의 액정셀을 선별하게 된다. 이를 위해 통상 오토프로브라 지칭되는 액정패널 검사장비가 동원된다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 액정패널 검사장비에 대한 사시도이다.
도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 오토프로브(100)는 사각의 프레임 형상을 나타낼 수 있는데, 이의 중앙에는 액정패널(110)이 실장될 수 있는 실장공간(103)이 정의되고, 이러한 실장공간(103)의 적어도 두 가장자리를 따라서는 복수개의 게이트 및 데이터프로브블록(probe block : 105, 107)이 배열되어 있다.
이때 게이트 및 데이터프로브블록(105, 107)의 말단에는 각각 액정패널(110)의 신호공급배선인 게이트 및 데이터접속패드(이하, 접속패드라 함 : 미도시)와 일대일 대응 접속되는 복수의 프로브니들(probe needle : 미도시)이 인출된다.
이때, 액정패널(110)은 게이트 및 데이터라인(미도시)을 통해 복수의 화소가 매트릭스 형태로 배열되는 하부의 어레이기판(112)과 상부의 컬러필터기판(114)이 액정층(미도시)을 사이에 두고 서로 대면 합착되어 있으며, 이때, 어레이기판(112)은 컬러필터기판(114) 보다 면적이 커서 합착 시, 어레이기판(112)의 일측 가장자리가 외부로 노출된다.
이렇듯, 외부로 노출된 어레이기판(112)의 일측 가장자리에는 게이트 및 데이터라인(미도시)과 접속되는 복수개의 게이트 및 데이터접촉패드(미도시)가 존재한다.
따라서, 실제 액정패널(110)의 화상구현 시(時) 게이트 및 데이터라인(미도시)으로 공급되는 게이트 및 데이터신호와 실질적으로 동일한 테스트신호가 출력되므로, 이를 통해 액정패널(110)은 테스트화상을 위한 투과율 차이를 나타낸다.
그리고 비록 도면상에 나타나지는 않았지만, 이러한 오토프로브(100) 배면에는 액정패널(110)을 향해 빛을 공급하는 백라이트유닛(미도시)이 배치되고, 이로써 액정패널(110)의 테스트화상은 외부로 디스플레이 될 수 있다.
아울러 이들 상하의 오토프로브(100)와 백라이트유닛(미도시)은 소정높이의 테스트테이블(미도시)에 장착될 수 있으며, 여기에는 사용자 조작에 의해 게이트 및 데이터프로브블록(105, 107)의 프로브니들(미도시)을 통해 액정패널(110)로 공급되는 테스트신호를 제어하는 콘트롤박스(미도시)가 갖추어진다.
따라서 작업자는 오토프로브(100)에 액정패널(110)을 장착한 후 백라이트유닛(미도시)을 턴-온(turn on) 시키고, 컨트롤박스(미도시)를 이용해서 게이트 및 데이터프로브블록(105, 107)의 프로브니들(미도시)을 통해 액정패널(110)로 소정의 전기신호를 인가한다.
이에 따라 액정패널(110)로부터는 테스트화상이 구현되며, 작업자는 이를 육안으로 검사해서 점 결함(dot defect) 내지는 라인 결함(line defect)과 같은 불량여부를 확인한다.
한편, 본 발명의 복수개의 게이트 및 데이터프로브블록(105, 107)은 프로브니들(미도시)이 정확한 접촉 지점에 위치되고, 액정패널(110)의 접촉패드(미도시)에 효과적으로 대응할 수 있도록, 복수개의 게이트 및 데이터프로브블록(105, 107)이 각각 수평 이동가능한 것을 특징으로 한다.
즉, 복수개의 게이트 및 데이터프로브블록(105, 107)은 게이트 및 데이터프로브블록(105, 107)이 배열된 길이방향을 따라 형성된 레일(109a, 109b)을 통해 각각 수평 이동할 수 있다.
이에 대해 좀더 자세히 살펴보면, 복수개의 게이트프로브블록(107)은 도면상으로 정의한 x축 방향으로 형성된 레일(109b) 상에 형성되어, 리니어모터와 같은 구동제어수단(미도시)의 작동에 의해 레일(109b) 상에서 전후방향으로 수평이동 할 수 있으며, 복수개의 데이터프로브블록(105)은 도면상으로 정의한 y축 방향으로 형성된 레일(109a) 상에 형성되어, 이 역시 레일(109a) 상에 각각 전후방향으로 수평 이동할 수 있다.
한편, 각각의 게이트 및 데이터프로블록(105, 107)의 수평이동은 미세하게 조정할 수 있는데, 이를 위해 컨트롤박스(미도시) 내부에는 게이트 및 데이터프로블록(105, 107)이 마이크로 단위의 움직임을 갖도록 조절할 수 있는 미세조정수단 (미도시)이 마련되어 있다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 프로브블록의 모습을 나타낸 사시도이며, 도 4는 도 3의 프로브블록이 수평이동하는 모습을 나타낸 사시도이다.
도 3에 도시한 바와 같이, 프로브블록(105a, 105b)은 복수의 프로브니들(121a, 121b)과 프로브니들(121a, 121b)이 인출된 프로브헤드(123a, 123b)와 프로브헤드(123a, 123b)를 지지하는 프로브지지부(125a, 125b)로 이루어진다.
이러한 프로브블록(105a, 105b)은 적어도 2개 이상의 복수개로 구비되어 레일(109a) 상에 구성되며, 각각의 프로브블럭(105a, 105b)에 집속된 프로브니들(121a, 121b)은 2열로 지그재그 형태로 배치되거나, 열을 지은 형태로 배치될 수 있다.
이때, 프로브니들(121a, 121b)이 열을 지은 형태는 프로브니들(121a, 121b)이 일방향으로 열을 지어 배치되거나, 열이 다수개로 이루어질 수 있다. 열이 다수개로 이루어질 경우, 각 열의 프로브니들(121a, 121b)은 행 방향으로 서로 열을 지을 수 있으며, 또는 지그재그 형태로 배치될 수 있다.
여기서, 프로브니들(121a, 121b)은 신축이 자유로운 포고핀(pogo pin)을 사용하는 것이 바람직하다.
포고핀은 스프링과 같은 탄성부재의 양단에 결합된 한쌍의 탐침으로 구성된다. 이때, 일측 탐침이 액정패널(도 2의 110)의 접속패드(미도시)에 접촉하고 타측 탐침이 액정패널(도 2의 110)에 전기적 신호를 인가하는 외부회로(미도시)에 접촉되어 액정패널(도 2의 110)과 외부회로(미도시)가 전기적으로 연결된다.
이때, 본 발명의 프로브블록(105a, 105b)은 프로브지지부(125a, 125b)가 안착된 레일(109a)을 통해 리니어모터와 같은 구동제어수단(미도시)의 작동에 의해 레일(109b) 상에서 전후방향으로 수평이동 할 수 있다.
이에 대해 도 4를 참조하여 좀더 자세히 살펴보도록 하겠다.
도 4에 도시한 바와 같이, 제 1 위치(A)에 있던 프로브블록(105a)은 레일(109a) 상에서 수평이동하여 제 2 위치(B)로 이동할 수 있다.
즉, 레일(109a) 상에 위치하는 프로브블록(105a)은 레일(109a) 상에서 전후방향으로 수평이동 할 수 있으며, 이러한 프로브블록(105a)의 수평이동은 미세조정수단(미도시)을 통해 마이크로 단위로 움직일 수 있다.
본 발명의 상세한 설명 및 도면상에서는 하나의 프로브블록(105a) 만이 수평이동 한 모습을 나타내었으나, 레일(109a) 상에 구비된 모든 프로브블록(105a, 105b)은 각각 수평이동 할 수 있다.
즉, 일예로 제 1 프로브블록(105a)은 레일(109a) 상의 일방향으로 약 10마이크로 단위로 수평이동 할 수 있으며, 이때, 제 2 프로브블록(105b)은 제 1 프로브블록(105a)이 수평이동한 반대방향인 레일(109a) 상의 타방향으로 약 20마이크로 단위로 수평이동 할 수 있다.
이와 같이, 오토프로브(도 2의 100)를 프로브블록(105a, 105b)이 마이크로 단위로 수평이동 할 수 있도록 함으로써, 액정패널(도 2의 110)의 종류 또는 액정패널(도 2의 110)에 실장되는 구동회로의 종류에 따라 접속패드의 개수, 간격 및 배열이 다른 다양한 종류의 액정패널(도 2의 110)을 오토프로브(도 2의 100)의 교 체 없이 검사공정을 진행할 수 있다.
이로 인하여, 기존과 같이 액정패널(도 2의 110)의 종류에 따라 오토프로브(도 2의 100)을 교체할 필요가 없어 검사 공정시 공정상의 편리함을 가져올 수 있으며, 공정시간 및 공정비용을 절감할 수 있다.
또한, 오토프로브(도 2의 100) 교체 후 별도의 테스트공정을 진행하지 않아도 됨으로써, 공정상의 효율성을 더욱 향상시킬 수 있다.
이에 따라 본 발명에 따른 오토프로브를 이용하면 액정패널의 검사과정이 보다 간단하게 된다. 이에 대하여 첨부한 도 5a ~ 5b를 참조하여 좀더 자세히 살펴보도록 하겠다.
도 5a ~ 도 5b는 본 발명의 실시예에 따른 오토프로브를 이용한 액정패널의 검사방법을 나타낸 공정사시도이다.
도 5a에 도시한 바와 같이, 작업자는 오토프로브(도 2의 100)의 실장공간(도 2의 103) 내에 액정패널(110)을 안착시킨 후 프로브블록(105a, 105b)의 프로브니들(121a, 121b)을 액정패널(110)의 패드(130)와 일대일 대응 접속시킨다.
이때 참고로, 도시된 것처럼 액정패널(110)은 하부의 제 1 기판(112)이 상부의 제 2 기판(114) 보다 사이즈가 커서 제 1 기판(112)의 가장자리가 외부로 노출되며, 여기에는 게이트 및 데이터라인(미도시)으로부터 인출된 게이트 및 데이터패드(미도시, 130)가 위치된다.
본 도면에서는 설명의 편의를 위하여 데이터패드(130) 만을 도시하였으며, 프로브블록 역시 데이터프로브블록(105a, 105b) 만을 도시하였다.
그리고, 각각의 프로브블록(105a, 105b)은 액정패널(110)에 형성된 패드(130)와 정확하게 접촉되도록 각각의 프로브블록(105a, 105b)의 움직임을 미세하게 조정할 수 있다.
이를 위해 오토프로브(도 2의 100) 내에는 마이크로 단위의 움직임을 조절할 수 있는 미세조정수단(미도시)이 마련되어 있으며, 이러한 미세조정수단(미도시)을 통해 각각의 프로브블록(105a, 105b)의 이송로를 제공하는 레일(109a)이 형성되어 있다.
따라서, 각각의 프로브블록(105a, 105b)은 오토프로브(도 2의 100)에 구성된 레일(109a)을 통해 도 5b에 도시한 바와 같이 전후 방향으로 수평 이동한다.
이에, 프로브블록(105a, 105b)은 이들 패드(130)를 통해 데이터라인(미도시)에 일대일 대응 접속될 수 있다.
따라서, 액정패널(110)의 종류 또는 액정패널(110)에 실장되는 구동회로의 종류에 따라 접속패드의 개수, 간격 및 배열이 다른 다양한 종류의 액정패널(110)을 오토프로브(도 2의 100)의 교체 없이 검사공정을 진행할 수 있다.
그 다음으로는 백라이트유닛(2)을 턴 온(turn-on)시킨 후 콘트롤박스(미도시)를 조작해서, 패드(130)와 프로브니들(121a, 121b)이 접촉된 상태로 프로브니들(121a, 121b)을 통해 전기신호를 액정패널(110)로 인가한다.
여기서, 액정패널(110)로 인가되는 전기신호는 실제 액정패널(110)의 화상구현 시(時) 게이트 및 데이터라인(미도시)으로 공급되는 게이트 및 데이터신호와 실질적으로 동일한 테스트신호가 출력되므로, 이를 통해 액정패널(110)은 테스트화상 을 위한 투과율 차이를 나타낸다.
이에 따라 액정패널(110)로부터는 테스트화상이 디스플레이되고 작업자가 육안으로 식별가능한 화상이 표시되어, 작업자는 테스트화상을 육안으로 검사해서 점 결함(dot defect) 내지는 라인 결함(line defect)과 같은 불량여부를 검사한다.
이를 통해 액정패널(110)의 이상유무를 확인함으로써, 양질의 액정패널(110)을 선별하게 된다.
한편, 도시하지는 않았지만 본 발명의 실시예에 따른 오토프로브(도 2의 110)는 액정패널(110)의 반입 및 반출을 위한 반송부를 더 포함할 수 있고, 액정패널(110)이 안착되는 상부에는 카메라를 더 포함할 수 있다.
여기서, 반송부는 일측 카세트에 적재된 액정패널(110)을 하나씩 취출하여 오토 프로브(도 2의 110) 상의 실장공간(103)에 반입시키고, 검사가 끝난 액정패널(110)을 실장공간에서 반출시켜 타측 카세트에 하나씩 적재한다.
그리고, 카메라는 검사가 이루어지는 액정패널(110)을 촬영하여, 촬영된 이미지를 화면으로 제공할 수 있다. 이에, 작업자는 화면을 보면서 프로브블록(105a, 105b)의 위치를 조절할 수 있고 액정패널(110)에 발생된 불량여부를 확인할 수 있다.
본 발명은 상기 실시예로 한정되지 않고, 본 발명의 취지를 벗어나지 않는 한도내에서 다양하게 변경하여 실시할 수 있다.
도 1은 액정표시장치용 액정패널의 제조공정을 공정을 단계별로 나타낸 공정 흐름도.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 액정패널 검사장비에 대한 사시도.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 프로브블록의 모습을 나타낸 사시도.
도 4는 도 3의 프로브블록이 수평이동하는 모습을 나타낸 사시도.
도 5a ~ 도 5b는 본 발명의 실시예에 따른 오토 프로브를 이용한 액정패널의 검사방법을 나타낸 공정사시도.
Claims (8)
- 다수의 패드가 노출된 액정패널이 실장되는 중앙의 실장공간과;상기 실장공간의 일 가장자리를 따라 형성된 제 1 레일 상에 수평이동 하도록 배치된 다수의 프로브블록과;상기 액정패널의 다수의 패드와 전기적으로 접속되며, 상기 다수의 프로브를록 각각에서 인출된 다수의 프루브니들을 포함하는 액정패널 검사장비.
- 제 1 항에 있어서,상기 다수의 프로브블록은 미세조정수단을 통해 마이크로 단위로 수평 이동하는 액정패널 검사장비.
- 제 1 항에 있어서,상기 제 1 레일과 수직한 제 2 레일을 포함하는 액정패널 검사장비.
- 제 1 항에 있어서,상기 제 2 레일 상에 다수의 프로브블록이 배치되는 액정패널 검사장비.
- 제 4 항에 있어서,상기 실장공간의 배면에는 상기 액정패널에 빛을 공급하는 백라이트유닛과;상기 다수의 프로브블록 각각으로 상기 액정패널의 구동을 위한 전기신호를 공급 및 제어하는 콘트롤박스를 포함하는 액정패널 검사장비.
- 제 1 항에 있어서,상기 프로브니들은 지그재그 형태 또는 열을 지은 형태로 반복배치되는 액정패널 검사장비.
- 제 1 항에 있어서,상기 프로브니들은 포고핀인 액정패널 검사장비.
- 제 5 항의 기재에 따른 액정패널 검사장비를 이용한 액정패널 검사방법으로 서,상기 백라이트유닛을 턴 온하는 단계와;상기 다수의 프로브블록을 상기 미세조정수단을 통해 상기 레일 상에서 수평이동하여, 상기 액정패널 상에 노출된 패드와 상기 프로브블록의 상기 프로브니들을 접속시키는 단계와;상기 다수의 프로브블록 각각에 전기신호를 공급하여 상기 액정패널의 테스트화상을 표시하는 단계와;상기 테스트화상을 통해 상기 액정패널의 이상유무를 확인하는 단계를 포함하는 액정패널 검사방법.
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