KR100329945B1 - 전극 패턴 검사 장치 및 전극 패턴 검사 방법 - Google Patents

전극 패턴 검사 장치 및 전극 패턴 검사 방법 Download PDF

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Abstract

정전류 인가용 단자로 투명 전극의 일단에 직류 정전류를 인가하고, 전압 검출용 단자로 인접하는 투명 전극의 일단으로부터 전압을 측정함과 동시에, 브러시형 접지 단자로 투명 전극 근방의 공통 전극을 접지한다. 투명 전극에 단선이 있으면, 직류 정전류 인가 회로가 전압 포화 상태를 검출하고, 쇼트가 있으면, 직류 전압 검출 회로가 전압의 변화를 검출한다. 쇼트·단선 기억 회로는, 검출된 상기 전압의 변화를 결함 정보로서 기억하고, 이 결함 정보에 기초하여 단선 또는 쇼트를 검출한다. 이에 따라, 그 일단이 공통 전극과 접속되어 있는 스트라이프형의 전극 패턴의 검사를, 전극 패턴의 위치 정밀도등에 영향을 받지 않고 확실하게 실행할 수 있는 전극 패턴 검사 장치 및 그 방법을 제공할 수 있다.

Description

전극 패턴 검사 장치 및 전극 패턴 검사 방법{ELECTRODE PATTERN INSPECTING DEVICE AND ELECTRODE PATTERN INSPECTING METHOD}
본 발명은, 기판 상에 형성된 스트라이프형의 전극 패턴에 생기는 결함을 검사하는 전극 패턴 검사 장치, 및 전극 패턴 검사 방법에 관한 것이다.
종래부터, 고정밀한 문자나 도형을 표시 가능하게 하는 대형의 액정 표시 소자에서는, 액정 표시 소자를 구성하는 한쌍의 투광성 기판의 한쪽에, 복수의 스트라이프형의 투명 전극이 매우 미세한 피치의 전극 패턴이 되도록 형성되어 있다.
이러한 투명 전극이 부착된 투광성 기판의 제조 공정에서, 상기 전극 패턴의 결함을 검사하기 위한 기술로서, ① 일본국 공개 특허 공보 「특개평5-333357호 공보(공개일 1993년 12월 17일)」에 개시되어 있는 방법이나, ② 일본국 공개 특허 공보「특개평2-230188호 공보(공개일 1990년 9월 12일)」에 개시되어 있는 방법이 일반적으로 이용되고 있다.
상기 ①의 방법에서는, 도 6에 도시된 바와 같이, 제1 전압 검사용 단자(102), 전압 인가용 단자(103), 제2 전압 검사용 단자(104), 검사 전압 인가 회로(105), 결함 검출 회로(106), 및 쇼트·단선 기억 회로(107)를 구비하는 검사 장치(101)를 이용한다. 상기 전압 인가용 단자(103)는 검사 전압 인가 회로(105)에 접속되어 있고, 제1·제2 전압 검사용 단자(102·104)는 결함 검출 회로(106)에 접속되어 있다. 또한, 결함 검출 회로(106)는 쇼트·단선 기억 회로(107)에 접속되어 있음과 동시에 접지되어 있다.
투광성 기판(120) 상에는 상술된 바와 같이 복수의 스트라이프형의 투명 전극(전극 패턴 : 121…)이 형성되어 있고, 그 중 하나인 투명 전극(121a)의 일단에 상기 전압 인가용 단자(103)를 접촉시키고, 타단에 제1 전압 검사용 단자(102)를 접촉시킨다. 동시에, 투명 전극(121a)에 인접하는 투명 전극(121b)의 타단에 제2 전압 검사용 단자(104)를 접촉시킨다. 상기 검사 전압 인가 회로(105)에 의해 전압을 공급했을 때에, 전압 인가용 단자(103)와 제1 전압 검사용 단자(102) 사이에서 도통이 보이지 않으면, 결함 검출 회로(106)가 투명 전극(121a)에 단선의 결함이 있다고 검출한다. 또한, 전압 인가용 단자(103)와 제2 전압 검사용 단자(104)사이에서 도통이 보이면, 결함 검출 회로(106)가 투명 전극(121a·121b) 사이에 쇼트의 결함이 있다고 검출한다. 검출한 상기 각 결함 정보는 쇼트·단선 기억 회로(107)에 출력되고 기억된다.
전압 인가용 단자(103), 제1·제2 전압 검사용 단자(102·104)의 3개의 단자를, 스트라이프형의 투명 전극(121···)에 직교하는 방향으로 주사함으로써, 투광성 기판(120) 상의 모든 투명 전극(121···)에 대해 단선 및 쇼트의 유무를 검사할 수 있다.
이에 대해 ②의 방법으로는, 도 7에 도시된 바와 같이, 스트라이프형의 투명 전극(전극 패턴 : 123)의 주위에 형성되고, 상기 투명 전극(123)과 하나 간격으로 접속되어 있는 공통 전극(124)을 갖는 투광성 기판(122)을 이용하고 있다. 즉, ②의 방법에 이용되는 투광성 기판(122)은, 공통 전극(124)에 접속된 투명 전극(123a)과 접속되지 않은 투명 전극(123b)을 하나간격으로 교대로 설치하는 구성으로 되어 있다. 또한, 도 7에 도시된 바와 같이, 이 방법으로 이용되는 검사 장치(110)의 구성은, 2개의 전압 검사용 단자를 이용하지 않고, 하나의 전압 검사용 단자(108)를 이용하는 것외에는, 상기 ①의 방법으로 이용되는 검사 장치(101)의 구성과 거의 동일하다.
상기 전압 인가용 단자(103)를 상기 공통 전극(124)에 접촉시키는 한편, 전압 검사용 단자(108)를 투명 전극(123)의 일단에 접촉시켜 투명 전극(123)에 직교하는 방향으로 주사한다. 공통 전극(124)에 접속되지 않은 투명 전극(123a)의 경우, 쇼트가 없으면 결함 검출 회로(106)는 전압 검사용 단자(108)로부터 전압을 검출하지 않고, 쇼트가 있으면 전압을 검출한다. 이에 대해 공통 전극(124)에 접속되어 있는 투명 전극(123b)의 경우, 단선이 없으면 결함 검출 회로(106)는 전압 검사용 단자(108)로부터 전압을 검출하지만, 단선이 있으면 전압을 검출하지 않는다.
따라서, 투명 전극(123)에 단선이나 쇼트의 이상이 없으면, 투명 전극(123···)을 주사해 가면, 전압을 검출하는 투명 전극(123)(공통 전극(124)과 접속되어 있는 투명 전극(123b))과 검출하지 않은 투명 전극(123)(공통 전극(124)과 접속되지 않은 투명 전극(123a))이 교대로 나타내지만, 단선 또는 쇼트가 있으면, 전압을 검출하는 투명 전극(123) 또는 검출하지 않은 투명 전극(123)이 연속하여 보이게 된다.
그래서, 전압을 검출한, 또는 하지 않은 투명 전극(123)이 연속하여 존재하는 것을 단선 또는 쇼트의 결함으로서 결함 검출 회로(106)에서 검출하고, 결함 정보로서 쇼트·단선 기억 회로(107)에 출력하고, 쇼트·단선 기억 회로(107)에서는 상기 결함 정보를 기억한다.
그런데, 상술된 종래의 검사 방법으로는, 하기와 같은 문제점이 있다.
우선, ①의 방법으로는, 검사 가능한 투명 전극(121)이 완전한 스트라이프형의 것에 한정되어 버린다. 이것은, ①의 방법으로 이용되는 전압 인가용 단자(103)와 제1·제2 전압 검사용 단자(102·104)는 투명 전극(121)의 단부에 대해 점접촉하기 때문에, 투명 전극(121)의 어느 한 단부의 피치가 다르면 바른 전기 회로가 형성되지 않고, 검사를 할 수 없게 되기 때문이다.
또한, ①의 방법은, 각 단자의 위치와 투광성 기판(120) 상에 형성된 복수의 투명 전극(121···) 사이에 높은 위치 정밀도가 필요해진다. 즉, 각 단자의 평행 상태가 정확하고 또한 정밀도 좋게 설정되지 않으면, 투명 전극(121···) 사이에 바른 전기 회로가 형성되지 않게 된다. 마찬가지로, 투광성 기판(120) 상에서 투명 전극(121···)의 위치가 정확하고 또한 정밀도 좋게 형성되지 않으면, 검사하는 투광성 기판(120)마다 각 단자의 평행 상태를 설정해야한다. 이러한 높은 위치 정밀도를 실현하기 위해서는, 고정밀도의 위치 결정 기구가 필요해지고, 비용의 증대를 초래한다.
또한, ①의 방법으로는, 투명 전극(121)의 일단이 상술한 공통 전극(124)에 전부 접속되어 있는 전극 패턴의 검사를 할 수 없다. 즉, ①의 방법으로는, 전압 인가용 단자(103) 및 제1 전압 검사용 단자(102)를 동일한 투명 전극(121a)의 양끝에 접촉시키고, 인접하는 투명 전극(121b)에 제2 전압 검사용 단자(104)를 접촉시키지만, 투광성 기판(120)에 투명 전극(121···) 모두와 접속되는 공통 전극(124)이 설치된다고 하면(도시하지 않음), 검사 전압 인가 회로(105)에 의한 전압의 인가에 의해 공통 전극(124)을 통해 인접하는 투명 전극(121a·121b)의 양방에 동일하게 전압이 걸리게 된다. 그 때문에, 제1·제2 전압 검사용 단자(102·104)로부터 동일한 값의 전압이 검출되게 된다.
이 경우, 전압 인가용 단자(103)와 제1 전압 검사용 단자(102)가 접촉하고있는 투명 전극(121a)에서는, 단선은 검출할 수 있지만, 제2 전압 검사용 단자(104)가 접촉하고 있는 투명 전극(121b)에서는, 제1 전압 검사용 단자(102)와 접촉하고 있는 투명 전극(121a)과 공통 전극(124)을 통해 전기적으로 접속되기 때문에, 쇼트의 검출을 할 수 없게 된다.
마찬가지로, 상기 ②의 방법으로도, 투명 전극(123···)의 일단이 상술된 공통 전극(124)에 전부 접속되어 있는 전극 패턴(도시하지 않음)의 검사를 할 수 없다. 이 ②의 방법은, 스트라이프형의 투명 전극(123···)이 1개 간격으로 공통 전극(124)과 접속되어 있는 전극 패턴에 대한 검사 방법이다. 그 때문에, 투명 전극(123···)의 모두가 공통 전극(124)과 접속되어 있는 전극 패턴의 경우에서는, 상기 ①의 방법과 같이 단선의 검출은 가능해지지만, 인접하는 투명 전극(123a·123b)으로부터 동일하게 전압이 검출되기 때문에, 이들 투명 전극(123a·123b) 사이의 쇼트를 검출할 수 없게 된다.
본 발명의 목적은, 그 일단이 공통 전극과 접속되어 있는 스트라이프형의 전극 패턴의 검사를, 전극 패턴의 위치 정밀도 등에 영향을 받지 않고 확실하게 실행할 수 있는 전극 패턴 검사 장치 및 그 방법을 제공하는 것이다.
상기된 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 전극 패턴 검사 장치는,
한쪽 단부가 공통 전극에 의해 상호 접속된 복수의 전극 중, 검사 대상의 전극에 대해 정전류를 인가하고, 상기 정전류에 의한 전압의 변화를 검출하는 전류 인가부와,
상기된 검사 대상의 전극에 인접하는 전극의 전압을 측정하고, 상기 전압의 변화를 검출하는 전압 검출부와,
상기 공통 전극을 접지하는 접지부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기된 구성에 따르면, 복수의 전극의 한쪽 단부가 공통 전극에 의해 상호 접속된 전극 패턴에 대해, 각 전극의 단선의 유무, 및 각 전극과 그것에 인접하는 전극과의 쇼트의 유무가 검사된다.
그런데, 종래의 전극 패턴 검사 장치를 이용하여, 각 전극과 그것에 인접하는 전극과의 쇼트의 검사를 행하는 경우에는, 검사 대상의 전극에 전압을 인가하고, 상기 전극에 인접하는 전극의 전압을 측정하였다. 그리고, 측정된 전압이 제로가 아닌 경우, 이들 전극사이에 쇼트가 존재한다고 판단하였다.
그러나, 이 방법으로는, 복수의 전극의 한쪽 단부가 공통 전극에 의해 상호 접속된 전극 패턴의 검사를 행할 수 없었다. 왜냐하면, 이러한 전극 패턴에서는, 각 전극과 그것에 인접하는 전극이 공통 전극을 통해 접속되기 때문에, 전극 사이에 쇼트가 없어도, 인접하는 전극의 전압이 제로가 아니기 때문이다.
이에 대해, 본 발명의 상기 구성에 따르면, 공통 전극이 접지부에 의해 접지되므로, 전극 패턴에 결함이 없는 경우, 상기 전류 인가부로부터 검사 대상의 전극에 인가된 정전류는, 상기 접지부를 통해 접지로 유입된다. 따라서, 인가된 정전류는, 상기 전극에 인접하는 전극에는 흐르지 않기 때문에, 상기 전압 검출부의 검출하는 전압치는 제로가 된다. 한편, 검사 대상의 전극과 그것에 인접하는 전극사이에 쇼트가 존재하는 경우에는, 상기 전압 검출부에 의해 제로가 아닌 전압이 검출된다. 이와 같이, 본 발명의 전극 패턴의 검사 장치를 이용함에 따라, 종래의 검사 장치로는 할 수 없던 쇼트의 검사가 가능해진다.
또한, 검사 대상의 전극에 단선이 있는 경우에는, 상기 전극의 저항이 무한대가 되므로, 상기 전류 인가부의 검출하는 전압치로부터 이러한 단선의 존재를 아는 것이 가능하다.
또한, 본 발명의 전극 패턴 검사 장치는,
상기 전류 인가부가, 상기된 검사 대상의 전극에서의 다른 단부에 접촉하는 전류 인가 단자를 지니고,
상기 전압 측정부는, 상기된 검사 대상의 전극에 인접하는 전극에서의 다른쪽의 단부에 접촉하는 전압 검출 단자를 지니고,
상기 접지부는, 상기 공통 전극에 접촉하는 접지 단자를 가짐과 동시에,
상기 전류 인가 단자 및 전압 검출 단자는, 각 전극과 점접촉하는 형상을 갖는 한편, 상기 접지 단자는, 공통 전극과 면에서 접촉하는 형상을 갖는 구성인 것이 바람직하다.
상기 구성에 따르면, 정전류를 인가하기 위한 전류 인가 단자, 및 전압을 측정하기 위한 전압 검출 단자가, 각 전극과 점접촉하는, 예를 들면 바늘형(프로브형)의 형상을 갖고 있으므로, 이들의 단자가 미세한 복수의 전극에 대해 한번에 접촉하지 않고, 정확한 검사를 행할 수 있다.
또한, 상기 접지 단자가 공통 전극과 면에서 접촉하는 형상을 지니고, 이들의 접촉 면적이 크기 때문에, 전극 패턴의 위치 정밀도에 영향을 받지 않고 확실하게 검사를 행할 수 있다. 즉, 전극의 위치에 어긋남이 생기는 경우라도, 접지 단자와 공통 전극이 확실하게 접촉하므로, 고정밀도의 위치 정렬 장치등을 이용하지 않고 정확한 검사를 행하는 것이 가능하다. 또한, 공통 전극의 폭이 좁아도 검사가 가능하므로, 전극 패턴의 설계의 제약이 작아지고, 설계의 자유도를 보다 향상시킬 수 있다.
또한, 접지 단자와 공통 전극과의 접촉 면적이 크기 때문에, 공통 전극 상에서 접지 단자를 주사할 때에, 접촉 저항을 작게 유지할 수도 있다. 그 때문에, 고속이고 또한 안정적인 검사를 실현할 수 있다.
또한, 상기된 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 전극 패턴 검사 방법은,
복수의 전극의 한쪽 단부를 상호 접속하는 공통 전극을 접지하는 스텝 a와, 상기 복수의 전극 중, 검사 대상의 전극에 대해 정전류를 인가하고, 상기 정전류에 의한 전압의 변화를 검출하는 스텝 b와,
상기된 검사 대상의 전극에 인접하는 전극의 전압을 측정하고, 상기 전압의 변화를 검출하는 스텝 c를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기된 방법에 따르면, 공통 전극을 접지해 두고, 검사 대상의 전극에 대해 정전류를 인가하고, 상기 전극에 인접하는 전극의 전압을 측정한다. 즉, 공통 전극을 접지함으로써, 상기 공통 전극에 의해 상호 접속된 복수의 전극끼리 전기적으로 분리할 수 있다. 따라서, 검사 대상의 전극에 전류를 인가했을 때에, 그것에 인접하는 전극의 전압을 측정함으로써, 이들 전극사이의 쇼트의 유무를 검사할 수 있다.
본 발명의 또 다른 목적, 특징, 및 우수한 점은, 이하에 도시된 기재에 의해 충분히 알 수 있는 것이다. 또한, 본 발명의 이익은, 첨부 도면을 참조한 다음 설명으로 명백해질 것이다.
도 1은, 본 발명의 실시의 일형태에 따른 전극 패턴 검사 방법을 실행하는 검사 장치의 구성을 나타내는 모식도.
도 2는, 도 1에 도시된 검사 장치의 정보 전달 경로를 포함하는 구성을 나타내는 블럭도.
도 3(a)은, 도 1에 도시된 검사 장치에 의해 검사되는 투광성 기판상의 투명 전극에 발생한 쇼트를 나타내는 설명도이고, 도 3(b)은, 도 3(a)에 도시된 쇼트를 갖는 투명 전극의 등가 회로를 도시한 도면.
도 4(a)는, 도 1에 도시된 검사 장치로 검출한, 투명 전극에 결함이 없는 경우의 전압의 파형을 나타내는 그래프이고, 도 4(b)는, 단선이 있는 경우의 전압의 파형을 나타내는 그래프이고, 도 4(c)는, 쇼트가 있는 경우의 전압의 파형을 나타내는 그래프.
도 5(a)·(b)는, 도 1에 도시된 검사 장치에서, 단자와 투명 전극 및 공통 전극과의 접촉 상태를 나타내는 설명도이고, 도 5(c)·(d)는, 종래의 검사 장치에서, 단자와 투명 전극 및 공통 전극과의 접촉 상태를 나타내는 설명도.
도 6은, 종래의 전극 패턴 검사 장치의 일례를 나타내는 모식도.
도 7은, 종래의 전극 패턴 검사 장치의 다른 예를 나타내는 모식도.
도 8(a)은, 직류 전압 검출 회로의 내부 저항이 충분히 큰 경우에, 도 3(b)에 도시된 투명 전극의 등가 회로에 전류가 흐르는 상태를 나타내는 설명도이고, 도 8(b)은, 직류 전압 검출 회로의 내부 저항이 투명 전극과 거의 동일한 경우에, 도 3(b)에 도시된 투명 전극의 등가 회로에 전류가 흐르는 상태를 나타내는 설명도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
2 : 정전류 인가용 단자
3 : 브러시형 접지 단자
4 : 전압 검출용 단자
5 : 직류 정전류 인가 회로
6 : 직류 전압 검출 회로
7 : 쇼트·단선 기억 회로
21 : 투명 전극
22 : 공통 전극
〔실시 형태 1〕
본 발명의 실시의 일형태에 대해 도 1 내지 도 5(a) - (d)에 기초하여 설명하면 이하와 같다. 또, 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니다.
본 발명에 따른 전극 패턴 검사 장치 및 전극 패턴 검사 방법은, 예를 들면 도트 매트릭스 표시형의 액정 표시 소자에 이용되는 투광성 기판 상에 형성되어 있는 스트라이프형의 투명 전극에서, 단선 혹은 쇼트의 존재를 검출하기 위해 적당히 이용되는 것이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 검사 장치(1)는, 정전류 인가용 단자(2), 브러시형 접지 단자(접지 단자 : 3), 전압 검출용 단자(4), 직류 정전류 인가 회로(전류 인가 수단 : 5), 직류 전압 검출 회로(전압 검출 수단 : 6), 쇼트·단선 기억 회로(기억 판정 수단, 기억 판정부 : 7)를 구비하고 있다.
상기 정전류 인가용 단자(2)는 직류 정전류 인가 회로(5)와 접속되어 있다. 또한, 브러시형 접지 단자(3)는 접지되어 있다. 또한, 전압 검출용 단자(4)는 직류 전압 검출 회로(6)에 접속되어 있음과 동시에 접지되어 있다. 직류 정전류 인가 회로(5) 및 직류 전압 검출 회로(6)는 쇼트·단선 기억 회로(7)에 접속되어 있다.
상기 검사 장치(1)에 의해 결함이 검출되는 투광성 기판(기판 : 20)은, 도 1에 도시된 바와 같이 그 표면 상에, 예를 들면 폭 0.1㎜로 되어 있는 복수 라인의 스트라이프형의 투명 전극(전극 패턴, 스트라이프형 전극 : 21···)이, 예를 들면 0.11㎜의 등간격의 피치가 되도록 형성되어 있다. 이들 복수의 투명 전극(21···)이 형성되어 있는 주위에는, 직사각형의 투명 전극(21···)의 길이 방향으로 직교하는 방향, 즉 투명 전극(21···)이 배열하고 있는 방향을 따르는 방향을 따라 1개의 공통 전극(22)이 형성되어 있다.
이 공통 전극(22)은 쇼트링으로서 기능함으로써, 투명 전극(21…)의 정전기 장해를 방지할 수 있다. 그 때문에 액정 표시 소자의 제조시에, 정전기에 의한 불량의 발생을 피하고, 양품율을 향상시킬 수 있다. 도 1에서는, 공통 전극(22)은 투명 전극(21···)과 마찬가지로 직사각형이고, 상기 복수의 투명 전극(21···) 모든 일단과 개개에 접속되어 있다. 이 공통 전극(22)은 쇼트링으로서 기능함과 함께, 본 발명에 따른 전극 패턴 검사 방법을 저해하지 않은 것이면, 그 형상은 특별히 한정되는 것이 아니다.
상기 공통 전극(22)과 투명 전극(21···)을 접속하는 접속부의 구성은 특별히 한정되는 것이 아니지만, 본 실시 형태에서는, 예를 들면 도 1에 도시된 바와 같이, 투명 전극(21···)을 9개마다 통합하고, 각 투명 전극(21)의 전극 폭을 좁혀 공통 전극(22)과 접속시키는 인출부(23)로 되어 있는 구성을 예로 들 수 있다.
상기 정전류 인가용 단자(2)는, 피검사 대상이 되는 투명 전극(21)에서의 공통 전극(22)에 대향하는 측의 끝(인출부(23)와는 반대측이 되는 끝)과 접촉하고 있고, 직류 정전류 인가 회로(5)로부터 공급되는 정전류를 투명 전극(21)에 인가한다. 도 1에서는, 피검사 대상이 되는 투명 전극(21)은, 투광성 기판(20)의 가장 끝에 위치하는 투명 전극(21a)이고, 이 투명 전극(21a)의 독립단에 정전류 인가용 단자(2)가 접촉하고 있다. 또, 이하의 설명에서는, 투명 전극(21)에서의 인출부(23)와는 반대측이 되는 끝을 독립단으로 한다.
전압 검출용 단자(4)는, 정전류 인가용 단자(2)가 접촉하고 있는 투명 전극(21)에 인접하는 투명 전극(21)(1피치 간격을 갖고 배치하고 있는 투명 전극(21))의 독립단과 접촉하고, 투명 전극(21)의 저항의 변화에 따른 소정치이상의 전압치의 유무를 검출한다. 이 전압 검출용 단자(4)는, 도 1에서는, 상기 투명 전극(21a)에 인접하는 투명 전극(21b)과 접촉하고 있다.
상기 정전류 인가용 단자(2) 및 전압 검출용 단자(4)의 구체적인 구성으로는 특별히 한정되는 것이 아니라, 종래의 전극 패턴 검사 장치에 이용되고 있는 단자를 적당히 이용할 수 있다.
브러시형 접지 단자(3)는 피검사 대상이 되는 투명 전극(21)(도 1에서는 투명 전극(21a)) 근방의 공통 전극(22)과 접촉하고, 투명 전극(21)에 단선이나 쇼트의 결함이 없는 경우에, 인가한 직류 정전류를 이웃한 투명 전극으로 흐르지 않도록 상기 직류 정전류를 흡수하여 접지로 방출한다. 상기 정전류 인가용 단자(2) 및 전압 검출용 단자(4)는 투명 전극(21···)과 점접촉하고 있지만, 이 브러시형 접지 단자(3)는 공통 전극(22)과는 점접촉하지 않고, 보다 넓은 면형으로 접촉하고 있다.
브러시형 접지 단자(3)의 구체적인 구성으로는 특별히 한정되는 것이 아니라, 전기 도전성을 갖는 브러시형의 재질로 이루어져 있고, 공통 전극(22)을 상처를 입히지 않은 것이면 된다. 또, 공통 전극(22)과 접촉하는 접지 단자의 형상은, 인가된 직류 정전류를 방출할 수 있는 것이면 특별히 한정되는 것이 아니지만, 후술된 상기 각 단자의 주사를 보다 고속이고 또한 확실하게 행하기 위해서는, 상기 브러시형 접지 단자(3)와 같이 공통 전극(22)과 면형으로 접촉할 수 있는 형상인 것이 특히 바람직하다.
상기 정전류 인가용 단자(2), 브러시형 접지 단자(3), 및 전압 검출용 단자(4)는 후술된 바와 같이, 투명 전극(21···)의 배열하고 있는 방향, 즉 공통 전극(22)의 길이 방향을 따라 주사 수단(주사부)에 의해 주사되도록 이루어져 있다. 이들 3단자를 주사하는 주사 수단의 구성은 특별히 한정되는 것이 아니라, 예를 들면 3단자를 구동 모터를 이용한 주사 수단에 의해 일정 속도로 주사하는 구성을 예로 들 수 있다.
상기 주사 수단은, 투광성 기판(20) 상에서, 상기 3단자가 접촉하고 있는 투명 전극(21)의 위치를 특정할 수 있는 구성을 구비하는 것이 매우 바람직하다. 예를 들면, 주사 수단이 상술된 구동 모터를 이용한 구성이면, 상기 구동 모터로부터 응답 신호를 발하도록 함으로써, 투광성 기판(20) 상에서 3단자를 어느 정도 주사했는지를 용이하게 알기 위해, 투명 전극(21···)의 위치를 용이하게 특정할 수 있다.
직류 정전류 인가 회로(5)는 정전류 인가용 단자(2)에 직류 정전류를 공급함과 함께, 이 직류 정전류의 공급에 수반하는 전압의 변화를 검출한다. 직류 전압 검출 회로(6)는, 전압 검출용 단자(4)에 의해 측정된, 투명 전극(21)에 인가된 직류 정전류에 의해 상기 투명 전극(21)의 저항치에 따른 전압의 변화를 검출한다. 쇼트·단선 기억 회로(7)는, 검출된 상기 전압의 변화를 결함 정보로서 기억하고, 이 결함 정보에 기초하여, 투명 전극(21)에 생기는 단선 또는 쇼트를 검출한다.
이상과 같이, 본 실시 형태의 검사 장치(1)는, 검사 대상의 전극에 대해 정전류를 인가하고, 상기 정전류에 의한 전압의 변화를 검출하는 전류 인가부와, 상기된 검사 대상의 전극에 인접하는 전극의 전압을 측정하고, 상기 전압의 변화를 검출하는 전압 측정부와, 상기 공통 전극을 접지하는 접지부를 갖고 있다.
상기 전류 인가부는, 직류 정전류 인가 회로(5)와, 상기된 검사 대상의 전극에서의 다른 단부에 접촉하는 정전류 인가용 단자(전류 인가 단자 : 2)를 갖고 있다. 상기 전압 측정부는, 직류 전압 검출 회로(6)와, 상기된 검사 대상의 전극에 인접하는 전극에서의 다른 단부에 접촉하는 전압 검출용 단자(전압 검출 단자 : 4)를 갖고 있다. 상기 접지부는, 상기 공통 전극(22)에 접촉하는 브러시형 접지 단자(접지 단자 : 3)를 갖고 있다.
이와 같이, 공통 전극(22)을 접지해 두고, 검사 대상 전극에 정전류를 인가했을 때의 인접 전극의 전압을 측정함으로써, 검사 대상 전극과 그 인접 전극과의 쇼트의 유무를 검사할 수 있다.
이어서, 상기 검사 장치(1)를 이용한 단선 및 쇼트의 검출 방법(본 발명에 따른 전극 패턴 검사 방법)에 대해 설명한다. 본 발명에서는, 직류 정전류의 인가에 의해 생기는 전압의 변화를 검출하는 전압 검출 공정을 실시한 후에, 얻어지는 결함 정보에 기초하여, 투명 전극(21)에 단선 또는 쇼트가 있는지 검출하는 결함 검출 공정을 실시한다. 또, 본 발명의 검사 방법으로는 상기 이외의 그 밖의 공정을 포함하고 있어도 좋다.
상술된 바와 같이, 정전류 인가용 단자(2)를 투명 전극(21a)의 독립단과 접촉시키고, 브러시형 접지 단자(3)를 공통 전극(22)과 접촉시키고, 또한 전압 검출용 단자(4)를, 인접하는 투명 전극(21b)의 독립단과 접촉시킨다. 그리고, 정전류 인가용 단자(2)에 직류 정전류 인가 회로(5)로부터 직류 정전류를 인가한다. 본 실시 형태에서는, 예를 들면 0.5㎃의 직류 정전류를 인가한다.
상기 직류 정전류는, 투명 전극(21a)을 통해 브러시형 접지 단자(3)에 흐른다. 여기서, 브러시형 접지 단자(3)는 접지되어 있으므로, 투명 전극(21a·21b)에 단선이나 쇼트가 없으면, 인가된 직류 정전류는 브러시형 접지 단자(3)에 흡수되어 방출된다. 따라서 투명 전극(21a·21b)에 결함이 없으면, 전압 검출용 단자(4)에 전압이 검출되지 않는다.
이에 대해, 투명 전극(21a 또는 21b)에 단선이 존재하면, 단선 부위에서 직류 정전류의 흐름이 멈추어지므로, 투명 전극(21a·21b)의 저항이 무한대가 된다. 직류 정전류 인가 회로(5)는 이 저항에 따라 전압을 상승시키고자 하기 위해 전압 포화 상태가 발생한다. 직류 정전류 인가 회로(5)는, 이 전압 포화 상태를 전압의 변화로서 검출하고, 쇼트·단선 기억 회로(7)로 출력한다.
마찬가지로 투명 전극(21a·21b) 사이에 쇼트가 존재하면, 정전류 인가용 단자(2)로부터 흐른 직류 정전류는, 투명 전극(21a)으로부터 쇼트 부위를 경유하여 투명 전극(21b)에 흐른다. 즉 직류 정전류는, 투명 전극(21a)과 투명 전극(21b)으로 분배되어 브러시형 접지 단자(3)에 달한다. 그 결과, 전압 검출용 단자(4)는 상기 투명 전극(21b)으로 분배되는 직류 정전류의 흐름에서의 저항에 상당하는 전압을 측정하고, 직류 전압 검출 회로(6)는, 이 측정된 전압의 변화를 검출하여, 쇼트·단선 기억 회로(7)로 출력한다. 여기까지의 프로세스가 전압 검출 공정에 상당한다.
또한, 정전류 인가용 단자(2), 브러시형 접지 단자(3), 및 전압 검출용 단자(4)의 3단자를 접촉시킨 상태에서, 투명 전극(21···)의 배열 방향, 즉 직사각형의 투명 전극(21···)과 직교하는 방향으로 주사하면서 상술된 전압의 변화의 검출, 즉 전압 검출 공정을 반복한다.
이 때 상기 3단자의 주사는 도시하지 않은 주사 수단에 의해 이루어지지만, 상기 주사 수단은 투광성 기판(20) 상에서의 3단자의 위치를 정보로서 출력 가능하게 되어 있다. 즉, 주사 수단은, 상기 3단자가 투광성 기판(20) 상의 어떤 투명 전극(21)에 접촉하고 있는지를 정보로서 출력할 수 있다. 그 때문에, 전압의 변화가 검출된 투명 전극(21)의 위치가, 주사 수단으로부터 쇼트·단선 기억 회로(7)에 출력되게 된다.
쇼트·단선 기억 회로(7)는 이들 전압의 변화 및 상기 전압의 변화가 검출된 투명 전극(21)의 위치를 결함 정보로서 기억한다. 그리고, 이 결함 정보에 기초하여, 투명 전극(21)에 생기는 단선 또는 쇼트를 검출함과 함께, 이 투명 전극(21)의투광성 기판(20) 상의 위치도 특정한다. 그 결과, 결함이 있는 투명 전극(21)을 용이하게 한정할 수 있다.
상술된 검사 방법을 실행하는 본 발명에 관한 검사 장치(1)에서는, 도 2에 도시된 바와 같이, 직류 정전류 인가 회로(5), 직류 전압 검출 회로(6), 및 주사 수단(8)으로부터 쇼트·단선 기억 회로(7)로 정보가 출력되도록 이루어져 있다. 이 경우, 직류 정전류 인가 회로(5) 및 직류 전압 검출 회로(6)로부터는, 전압의 변화가 정보로서 출력되고, 주사 수단(8)으로부터는 상기 3단자의 위치, 즉 투광성 기판(20) 상의 투명 전극(21)의 위치가 정보로서 출력된다.
쇼트·단선 기억 회로(7)에서는, 이들 정보를 결함 정보로서 기억하고, 또한 이 결함 정보에 기초하여, 단선 또는 쇼트가 생기는 투명 전극(21)을 한정한다. 이 때, 도 2에 도시된 바와 같이, 검사 장치(1)는 표시 수단(표시부 : 9)을 구비하는 것이 매우 바람직하다. 이 표시 수단(9)은, 쇼트·단선 기억 회로(7)가 한정된 투명 전극(21)에 관한 정보를 표시하고, 사용자에게 통지하기 위한 것이다.
표시 수단(9)으로는, 구체적으로는 CRT 표시 장치나 액정 표시 장치등의 표시 장치를 예로 들 수 있다. 또한, 표시되는 정보는 특별히 한정되는 것이 아니지만, 전압의 변화의 상황이나, 검출된 결함의 종류(단선이나 쇼트), 결함이 검출된 투명 전극(21)의 구체적인 위치등을 예로 들 수 있다. 이에 따라, 사용자는 투광성 기판(20) 상에 생기는 결함의 내용을 용이하고 또한 확실하게 파악할 수 있다.
본 실시 형태에서의 쇼트·단선 기억 회로(7)는 기억 판정 수단이고, 상기 결함 정보를 기억함과 함께, 결함 정보에 기초하여 결함을 판정(결함의 종류나 결함이 생기는 투명 전극(21)의 특정)하고 있다. 그러나, 본 발명에서는, 기억과 판정을 별개의 구성으로 행해도 된다. 즉, 기억 수단과 판정 수단이 각각 독립한 별개의 구성이라도 좋다.
상기 쇼트의 검출에 대해 더욱 상세히 설명한다.
도 3(a)에 도시된 바와 같이, 스트라이프형의 투명 전극(21···) 중, 인접하는 투명 전극(21c·21d)사이에 쇼트 부위(24)가 있다고 한다.
정전류 인가용 단자(2)는 투명 전극(21c)의 독립단인 위치 A에 점접촉하고 있고, 전압 검출용 단자(4)는 인접하는 투명 전극(21d)의 독립단인 위치 B에 점접촉하고 있다(도 3(a)에는 도시하지 않음). 또한 브러시형 접지 단자(3)는 공통 전극(22)에서의 투명 전극(21c·21d) 근방인 위치 E에 면형으로 접촉하고 있다. 또한, 쇼트 부위(24)는, 투명 전극(21c·21d)에서의 위치 C 및 위치 D를 가교하도록 존재하고 있다고 한다.
또, 도 3(a)에서는 쇼트 부위(24)는, 직사각형의 투명 전극(21c·21d)에서의 중앙부보다도, 독립단측으로 기운 위치에 존재하는 경우를 예로 들 수 있다.
본 실시 형태에 따른 검사 장치(1)에 의해 위치 A로부터 도 3(a)에는 도시하지 않은 정전류 인가용 단자(2)로부터 직류 정전류가 인가되면, 쇼트 부위(24)를 경유하여, 투명 전극(21c)으로부터 투명 전극(21d)에 상기 직류 정전류의 일부가 분배되어 흐른다. 도 3(a)에서는 위치 A-C-E와 A-C-D-E의 두개의 순로에서 직류 정전류가 흐른다. 여기서, 위치 A로부터 위치 C까지의 투명 전극(21c)의 저항과, 위치 C로부터 위치 D(쇼트 부위(24))의 저항과, 위치 C로부터 위치 E까지의 투명전극(21c)의 저항을 합성하여 얻을 수 있는 합성 저항치에 대해, 직류 정전류에 의한 전압이 전압 검출용 단자(4)에 의해 측정된다.
구체적으로는, 도 3(a)에 도시된 쇼트 부위(24)를 갖는 인접하는 투명 전극(21c·21d)을 등가 회로도에 재기록하면 도 3(b)에 도시된 바와 같은 5개의 저항으로 이루어지는 회로도가 된다. 도 3(b)에서는 도 3(a)에서의 A-C 사이의 투명 전극(21c)의 저항을 R1로 하고, C-E 사이의 투명 전극(21c)의 저항을 R3으로 한다. 한편, B-D 사이의 투명 전극(21d)의 저항을 R2로 하고, D-E 사이의 투명 전극(21d)의 저항을 R4로 하고, C-D 사이(쇼트 부위(24))의 저항을 r로 하면, 도 3(b)에 도시된 바와 같이, A-E 사이의 R1·R3의 저항과 B-E 사이의 R2·R4의 저항 사이에 r의 저항이 브릿지형으로 설치되는 구성이 된다.
본 실시 형태에서의 검사 장치(1)에서는, 상기된 바와 같이, 투명 전극(21c·21d) 사이에 쇼트 부위(24)가 존재하고, 도 3(b)에 도시된 바와 같은 구성의 전기 회로가 성립하면, 직류 전압 검출 회로(6)의 내부 저항이 충분히 크기 때문에, 상기 직류 전압 검출 회로(6) 내에는 전류가 흐르지 않는다. 그렇기 때문에, 상술된 바와 같이, 도 3(a)에서의 위치 A-C-E와 A-C-D-E의 두가지의 순로에서 직류 정전류가 흐른다.
이 점을 보다 구체적으로 설명하면, 도 8(a)에 도시된 바와 같이, 위치 A로부터 정전류 인가용 단자(2)에 의해 투명 전극(21c)으로 도입되는 직류 정전류를 I로 하면, 상기 직류 정전류 I는, 쇼트 개소(위치 C)에서, 그대로 투명 전극(21c)으로 흘러 위치 E에 달하는 전류 i1과, 쇼트 위치를 통해, 이웃한 투명 전극(21d)으로 유입되는 전류 i2로 분배된다. 여기서, 전압 검출용 단자(4)를 통해 위치 B에 접속되는 직류 전압 검출 회로(6) 내에는 전류가 흐르지 않으므로, 전류 i2는, 위치 D-B 사이에는 흐르지 않고, 위치 D-E 사이를 흘러, 최종적으로 브러시형 접지 단자(3)에 달하여 접지에 떨어뜨려지게 된다.
이와 같이, 직류 정전류가 흐르는 경로에는, 도 8(a)에 도시된 바와 같이, 위치 A-C의 투명 전극(21c)에 대응하는 R1, 위치 C-D의 쇼트 위치에 대응하는 r, 위치 C-E의 투명 전극(21c)에 대응하는 R3, 및 위치 D-E 투명 전극(21d)에 대응하는 R4의 4개의 저항이 존재하게 되므로, 이들 각 저항의 합성 저항치와 직류 정전류에 기초하여 전압이 결정된다.
여기서, 상기 전류 i1, 전류 i2, 저항 R3, 저항 r, 및 저항 R4로부터, 다음 관계식이 성립하고, 전류 i2가, r, R3, R4및 i1의 식으로서 얻을 수 있다.
R3× i1= (r+R4) × i2
i2= {R3/(r + R4)} × i1
여기서, R4≒ R3이기 때문에,
i2≒ {R3/(r+R3)} × i1
이 성립하고, 또한 상기 전류 I = i1+ i2이기 때문에,
i2≒ {R3/(r+R3)} × (I-i2)
가 성립하기 때문에, 다음 관계식 (a)를 얻을 수 있다.
또한, 상술된 바와 같이 위치 B-D 사이에는 전류가 흐르지 않기 때문에, 따라서 위치 B-D 사이에는 전위 강하가 생기지 않는다. 그렇기 때문에, 위치 B에서 측정되는 전압 V는 위치 D의 전위와 등가가 되고, 도 8(a)의 등가 회로가 성립하기 때문에, 상기 전압 V=R4× i2≒ R3× i2가 된다. 이것을 상기된 수학식 (1a)에 도입하면, 최종적으로 다음 수학식 (1)이 도출된다.
즉, 위치 B에 접촉하는 전압 검출용 단자(4)는, 상기 합성 저항치 및 직류 전류에 기초하는 수학식 (1)로 표시되는 전압 V를 측정한다.
또, 도 1에 도시된 바와 같이, 직류 전압 검출 회로(6)는 접지되어 있으므로, 위치 B의 기준 전위를 투광성 기판(20)과 동일한 기준 전위로 할 수 있다(모두 기준 전위를 0V로 함). 그렇기 때문에, 상기 전압 V의 측정치를 안정화시킬 수 있다.
전압 검출용 단자(4)로 측정된, 상기 수학식 (1)로 표시되는 전압 V는, 도시하지 않은 증폭기에 의해 증폭되고, 직류 전압 검출 회로(6)로 인식된다. 직류 전압 검출 회로(6)는, 전압 0V의 상태로부터 이 전압 V가 측정됨에 따라, 전압의 변화를 검출한다.
상기 쇼트 부위(24)가 존재하면 수학식 (1)로 표시되는 전압 V가 검출되지만, 쇼트 부위(24)가 존재하지 않고 정상적인 투명 전극(21)에서는, 도 3(b)에 도시된 바와 같은 전기 회로가 형성되지 않기 때문에, 상기 전압 V도 검출되지 않는다. 또한, 단선이 있는 경우에도 도 3(b)에 도시된 바와 같은 전기 회로는 형성되지 않기 때문에 상기 전압 V가 형성되지 않은 데다가, 정상적인 투명 전극(21)과는 다른 전압(전압 포화 상태)이 검출된다. 따라서, 공통 전극(22)을 갖는 투광성 기판(20) 상의 투명 전극(21…)을 검사하는 것에 있어서, 전압의 변화를 검출함으로써 정상·단선·쇼트의 구별이 명료해지고, 종래보다도 용이하고 또한 확실한 결함의 검사 방법을 실현할 수 있다.
또, 투명 전극(21c·21d) 사이에 존재하는 쇼트 부위(24)의 존재 위치에 따라서는, 도 3(b)에서의 R1, r, R3및 R4의 합성 저항치는 변화하므로, 상기 전압 V의 크기도 변화한다.
또한, 직류 전압 검출 회로(6)의 내부 저항 R0이 충분히 크게 설정되어 있는 것은, 상기 내부 저항 R0에 대한 전압 검출용 단자(4)로 측정되는 상기 전압 V의 비 V/R0이 거의 0이 될 정도로, 내부 저항 R0이 크게 설정되게 된다. 이 경우, 상기전압 V의 크기에 대한 내부 저항 R0의 크기의 범위로서는, 인가 전류나 투명 전극(21)의 저항등을 감안한 후에, 상기 비 V/R0≒0이라고 간주할 수 있으면 특별히 한정되는 것이 아니지만, 106∼108Ω의 범위내인 것이 바람직하다.
상술된 본 발명의 전극 패턴 검사 방법을 스텝화하여 설명하면, 우선 스텝 a (이하 스텝을 S라고 함)로서, 복수의 전극의 한쪽 단부를 상호 접속하는 공통 전극을 접지하고, 이어서 Sb로서, 상기 복수의 전극 중, 검사 대상의 전극에 대해 정전류를 인가하고, 상기 정전류에 의한 전압의 변화를 검출하고, 이어서 Sc로서, 상기된 검사 대상의 전극에 인접하는 전극의 전압을 측정하고, 상기 전압의 변화를 검출한다.
그 후, Sd로서, 상기 복수의 전극에서의 검사 대상의 전극의 위치를 특정한다. 또한, Se로서, 상기 Sb 및 Sc 에서 검출된 전압의 변화, 및 상기 Sd에서 특정된 검사 대상의 전극의 위치를 기억함과 함께, 상기 전극의 결함을 판정하고, 이 Se에서 기억된 상기 전극의 위치, 및 판정된 상기 전극의 결함을, Sf에서 표시하게 된다.
본 발명에 따른 검사 방법으로 검출되는 전압의 변화는, 구체적으로는 도 4(a)∼(c)의 그래프로 나타낸 바와 같은 파형이 된다. 이들 그래프에서는, 종축이 검출되는 전압의 크기를, 횡축이 검사 시간(투광성 기판(20) 상의 투명 전극(21···)을 3단자가 주사하는 시간)을 나타내고 있다.
우선, 투명 전극(21)이 정상이면, 상술된 바와 같이, 정전류 인가용 단자(2)로부터 인가되는 직류 정전류는 브러시형 접지 단자(3)로부터 방출시되고, 이웃한 투명 전극(21)으로 유입되지 않는다. 따라서, 전압 검출용 단자(4)로부터 검출되는 전압은 0V가 된다. 그렇기 때문에, 도 4(a)에 도시된 바와 같이, 투명 전극(21)의 구성이 정상이면, 측정되는 전압의 파형은 거의 0V의 직선형이 되고, 전압의 변화를 거의 볼 수 없다.
또, 도 4(a)에 도시된 바와 같이, 결함이 없는 투명 전극(21)이라도, 정전류 인가용 단자(2)로부터 직류 정전류가 인가되면, 정전류 인가용 단자(2) 및 전압 검출용 단자(4)로 측정되는 전압에는 다소의 변동이 보인다. 그래서, 단선 또는 쇼트에서의 전압의 변화와 상기 전압의 변동을 구별하기 위해, 도 4(a)∼(c)에 파선으로 나타내고 있는 검출 임계치를 설정해 둔다. 이 검출 임계치는, 투명 전극(21)의 구성이나 인가되는 직류 정전류등에 의해 적절하게 변화하는 것으로써, 그 구체적인 수치는 특별히 한정되는 것이 아니다.
이 검출 임계치를 넘는 값의 전압이 측정된 경우, 직류 정전류 인가 회로(5) 및 직류 전압 검출 회로(6)는 단선 또는 쇼트인 것을 인식하고, 전압의 변화를 정보로서 쇼트·단선 기억 회로(7)에 출력하게 된다.
이어서, 투명 전극(21)에 단선이 존재하면, 상술된 바와 같이 단선 부위에서 직류 정전류의 흐름이 멈추어지므로, 투명 전극(21)의 저항이 무한대가 된다. 그 결과 직류 정전류 인가 회로(5)에서의 전압은 포화 상태가 되므로, 도 4(b)에 도시된 바와 같이 상기 검출 임계치를 대폭 상회하는 파형이 나타난다. 직류 정전류 인가 회로(5)는 이것을 전압의 변화로서 검출하고, 쇼트·단선 기억 회로(7)에 정보로서 출력한다.
한편, 투명 전극(21)에 도 3(a)에 도시된 바와 같은 쇼트 부위(24)가 존재하면, 상술된 바와 같이 쇼트 부위(24)를 포함하는 도 3(b)에 도시된 바와 같은 전기 회로가 형성된다. 그 때문에 전압 검출용 단자(4)는, R1, r, R3및 R4의 저항을 합성하여 얻어지는 합성 저항치 및 직류 정전류에 따른 전압 V(수학식 (1) 참조)를 검출한다. 이 때도 도 4(c)에 도시된 바와 같은, 상기 검출 임계치를 넘는 전압의 파형이 나타난다. 직류 전압 검출 회로(6)는 이것을 전압의 변화로서 검출하고, 쇼트·단선 기억 회로(7)에 정보로서 출력한다.
정전류 인가용 단자(2) 및 전압 검출용 단자(4)는 소정의 속도로 투명 전극(21···)의 독립단을 연속하여 주사하고, 이것에 수반하여 브러시형 접지 단자(3)도 공통 전극(22) 상을 주사한다. 그 때문에, 도 4(a)∼(c)에 도시된 바와 같은 전압의 파형은, 상기 각 단자가 주사한 투명 전극(21···)의 수량, 즉 주사한 투명 전극(21···)의 폭에 상응하여 얻을 수 있다. 따라서, 도 4(b)·(c)에 도시된 바와 같은 전압의 파형이 얻어진 경우에는, 상기 파형의 폭은, 상기 각 단자가 주사한 투명 전극(21···)의 수량에 대응하게 된다.
그렇기 때문에, 상기 파형의 폭으로부터, 예를 들면 연속하여 투명 전극(21···)에 단선이 존재하는 것도 판정할 수 있다. 이 판정 결과도 쇼트·단선 기억 회로(7)가 정보로서 기억한다.
여기서, 종래의 검사 장치에서는, 공통 전극(22)과 단자는 점으로 접촉하였다. 즉, 공통 전극(22)과 단자와의 접촉 상태는, 정전류 인가용 단자(2)나 전압 검출용 단자(4)와 투명 전극(21···)과의 독립단과 접촉 상태와 동일하였다. 이에 대해 본 발명에 따른 검사 장치(1)에서는, 브러시형 접지 단자(3)는 공통 전극(22)과 점이 아니라 면형으로 접촉하고 있어, 종래의 경우보다도 접촉 면적이 커지고 있다.
종래와 같이, 공통 전극(22) 및 투명 전극(21)의 독립단과 각 단자가 모두 점접촉하고 있으면, 각 단자의 위치와 투명 전극(21···) 사이에 높은 위치 정밀도가 필요해진다. 구체적으로는, 투광성 기판(20)에 대한 각 단자의 주사 방향의 평행성이나, 투광성 기판(20) 상에 형성되어 있는 투명 전극(21···)의 배치의 정밀도등에 고정밀도가 필요해진다.
예를 들면, 도 5(c)에 도시된 바와 같이, 제1 단자(11) 및 제2 단자(12)가 공통 전극(22) 및 투명 전극(21)의 독립단과 각각 점접촉하고 있다. 여기서, 각 단자(11·12)의 위치 관계에 어긋남이 생기거나, 형성되어 있는 투명 전극(21)의 위치에 어긋남이 생기면, 도 5(d)에 도시된 바와 같이, 제2 단자(12)는 투명 전극(21) 상에서의 위치가 틀어질 뿐이지만, 공통 전극(22)의 폭이 좁기 때문에, 제1 단자(11)는 공통 전극(22) 상으로부터 탈선하여 공통 전극(22)과 접촉할 수 없게 된다. 이 현상은, 투광성 기판(20)의 설계 상, 공통 전극(22)의 폭을 충분히 확보할 수 없는 경우에는, 보다 한층 현저해진다.
이에 대해 본 발명에 따른 검사 장치(1)에서는, 공통 전극(22)에 접촉하고 있는 제1 단자(11)가 브러시형 접지 단자(3)이다. 따라서, 도 5(a)에 도시된 바와같이 투명 전극(21)의 독립단과 제2 단자(12) (본 실시 형태에서는, 정전류 인가용 단자(2) 또는 전압 검출용 단자(4))가 점접촉함과 함께, 브러시형 접지 단자(3)는 공통 전극(22)과 면형으로 접촉한다.
그 결과, 브러시형 접지 단자(3) 및 제2 단자(12)의 위치 관계에 어긋남이 생기거나, 형성되는 투명 전극(21)의 위치에 어긋남이 생기거나 해도, 도 5(b)에 도시된 바와 같이, 브러시형 접지 단자(3)가 공통 전극(22)과 면형으로 접촉하고 있으므로, 상기 각 어긋남을 흡수하는 것이 가능해진다. 그렇기 때문에, 브러시형 접지 단자(3)는 확실하게 공통 전극(22)과 접촉하고, 제2 단자(12)도 확실하게 독립단에 접촉할 수 있다.
따라서, 본 발명에 따른 검사 장치(1)에서는, 검사시에 엄밀한 위치 정렬을 행하지 않아도 검사를 실행할 수 있으므로, 고정밀도의 위치 정렬 장치등을 이용할 필요가 없다. 그 때문에, 투광성 기판(20)의 단면을 핀등으로 눌러 위치 고정하는 것만으로 검사를 실행할 수 있다. 또한, 투광성 기판(20) 상에서의 공통 전극(22)의 폭을 충분히 얻을 수 없어도 검사가 가능해지므로, 전극 패턴의 설계의 제약이 작아지고, 설계의 자유도를 보다 향상시킬 수 있다.
또한, 브러시형 접지 단자(3)와 공통 전극(22)과의 접촉 면적이 크기 때문에, 공통 전극(22) 상에서 브러시형 접지 단자(3)를 주사할 때에, 접촉 저항을 작게 유지할 수도 있다. 그 때문에, 3단자를 보다 원활하게 주사하는 것이 가능해지므로, 고속이고 또한 안정적인 검사를 실현할 수 있다.
또, 접지 단자로서는, 상기 브러시형 접지 단자(3)에 한정되는 것이 아니라,공통 전극(22)과 면형으로 접촉할 수 있고, 주사시에 어긋남이 생겨도 그 어긋남을 흡수할 수 있는 구성이면 된다.
또한, 접지 단자이외의 단자(정전류 인가용 단자(2) 및 전압 검출용 단자(4))는 투명 전극(21)과 점접촉하는, 예를 들면 바늘형(프로브형)의 형상인 것이 매우 바람직하다. 접지 단자이외의 단자의 예를 들면 브러시형이면, 상기 단자는, 미세한 스트라이프형의 투명 전극(21) 복수에 걸쳐 접촉하게 되므로, 확실한 검사를 할 수 없게 된다.
이상과 같이, 본 발명에 따른 전극 패턴 검사 방법 및 장치는, 3개의 단자를 이용하여, 일단이 공통 전극에 접속된 복수의 투명 전극의 독립단을 주사함과 함께, 상기 투명 전극 근방의 공통 전극도 주사하여 전압을 검출함으로써, 투명 전극에서의 단선 및 쇼트를 용이하게 검출할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 검사 방법 및 검사 장치에서는, LSI를 접속하는 투명 전극의 형상이나 인출부의 위치에 관계 없이, LSI 접속 부위도 포함시킨 검사가 가능해진다. 그 때문에, 검사가 필요한 영역 모두를 확실하게 검사할 수 있다.
또, 본 실시 형태에서는, 액정 표시 소자에 이용되는 투광성 기판 상에 형성되어 있는 투명 전극의 결함의 검사를 예로 들었지만, 본 발명은 이것에 한정되는 것이 아니라, 예를 들면 스트라이프형의 전극 패턴을 갖는 평면 표시 장치 기판이나 프린트 배선 기판등에 대해서도 적용할 수 있다.
〔실시 형태 2〕
본 발명의 실시의 다른 형태에 대해 도 3(a)(b) 및 도 8(b)에 기초하여 설명하면, 이하와 같다. 또, 본 발명은 이것에 한정되는 것이 아니다. 또한, 설명의 편의상, 상기 실시 형태1에서 사용한 부재와 동일한 기능을 갖는 부재에는 동일 번호를 부기하여, 그 설명을 생략한다.
상기 실시 형태1에서는, 직류 전압 검출 회로(6)의 내부 저항을 크게 하기 위해, 상기 직류 전압 검출 회로(6)에 전류가 흐르지 않고, 도 3(a)·(b)에서의 B 점의 전위를 측정하고 있지만, 본 실시 형태에서는, 직류 전압 검출 회로(6)의 내부 저항을, 투명 전극(21)의 저항과 같은 정도로 함으로써, 실질적으로 D-B 사이의 전류를 측정한다.
즉, 상기 실시 형태1에서 설명된 바와 같이, 도 3(a)에 도시된 바와 같이, 인접하는 투명 전극(21c)(위치 A-C-E)과 투명 전극(21d)(위치 B-D-E) 사이에 쇼트 부위(24)(위치 C-D)가 있다고 하고, 정전류 인가용 단자(2)가 위치 A에, 전압 검출용 단자(4)가 위치 B에, 브러시형 접지 단자(3)가 위치 E에 접촉한다고 한다.
본 실시 형태에서는, 검사 장치(1)의 정전류 인가용 단자(2)로부터 위치 A에 대해 직류 정전류가 인가되면, 쇼트 부위(24)를 경유하여, 투명 전극(21c)으로부터 투명 전극(21d)으로 상기 직류 정전류의 일부가 분배되어 흐르고, 또한 투명 전극(21d)으로부터 전압 검출용 단자(4)(직류 전압 검출 회로(6))에 직류 정전류의 일부가 흐른다.
즉, 본 실시 형태에서의 검사 장치(1)에서는, 상기된 바와 같이 투명 전극(21c·21d) 사이에 쇼트 부위(24)가 존재하고, 도 3(b)에 도시된 바와 같은 구성의 전기 회로가 성립하면, 직류 전압 검출 회로(6)의 내부 저항이 투명 전극(21)과 거의 동일하기 때문에, 상기 직류 전압 검출 회로(6) 내에 전류가 유입된다. 그렇기 때문에, 도 3(a)에서의 위치 A-C-E, A-C-D-E, 및 A-C-B의 3가지 순로에서 직류 정전류가 흐른다.
이 점을 보다 구체적으로 설명하면, 도 8(b)에 도시된 바와 같이, 위치 A로부터 정전류 인가용 단자(2)에 의해 투명 전극(21c)에 인가된 직류 정전류 I는, 쇼트 개소(위치 C)에서, 그대로 투명 전극(21c)으로 흘러 위치 E에 달하는 전류 i1과, 쇼트 위치를 통해, 이웃한 투명 전극(21d)으로 유입되는 전류 i2로 분배된다. 여기서, 전압 검출용 단자(4)를 통해 위치 B에 접속되는 직류 전압 검출 회로(6) 내에 전류가 유입되므로, 전류 i2는, 더욱 위치 D로부터 위치 E에 흐르는 전류 i3과, 위치 D로부터 위치 B에 흐르는 전류 i4로 분배된다.
위치 D-E 사이를 흐르는 전류 i3은, 최종적으로 브러시형 접지 단자(3)에 달하여 접지에 떨어진다. 한편, 위치 D-B 사이를 흐르는 전류 i4는, 또한 직류 전압 검출 회로(6) 내를 유입하고, 상기 직류 전압 검출 회로(6)에 접속되어 있는 접지에 떨어뜨린다. 또, 직류 전압 검출 회로(6) 내의 내부 저항을 R0으로 하고, 직류 전압 검출 회로(6)가 접지와 접속되어 있는 위치를 위치 F로 한다.
이와 같이, 직류 정전류가 흐르는 경로에는, 도 8(b)에 도시된 바와 같이, 위치 A-C의 투명 전극(21c)에 대응하는 R1, 위치 C-D의 쇼트 위치에 대응하는 r, 위치 C-B의 투명 전극(21d)에 대응하는 R2, 위치 C-E의 투명 전극(21c)에 대응하는 R3, 위치 D-E 투명 전극(21d)에 대응하는 R4, 및 직류 전압 검출 회로(6) 내의 내부 저항 R0의 6개의 저항이 존재하게 되므로, 이들 각 저항의 합성 저항치와 직류 정전류과 기초하여 전압이 결정된다.
여기서, 상기 전류 I, 전류 i1, 전류 i2, 전류 i3, 및 전류 i4사이에는, 다음 관계식(b)이 성립한다.
또한, 상기 전류 i1, 전류 i2, 및 전류 i3과, 저항 r, 저항 R3, 및 저항 R4로부터, 다음 관계식이 성립한다.
R3× i1= r × i2+ R4× i3
여기서, R3·R4에 비교하여 r은 적어 무시할 수 있기 때문에,
R3× i1≒ R4× i3
이 성립하고, 이 관계식으로부터, i1을, R3, R4, i3으로 나타내는 다음 수학식 (c)가 성립한다.
또한, 전류 i3, 전류 i4, 저항 R4, 저항 R2, 및 저항 R0으로부터, 다음 관계식이 성립한다.
R4× i3- (R2+ R0) × i4
이 관계식으로부터, i3을, R4, R2, R0, i4로 나타내는 다음 수학식 (d)가 성립한다.
또한, 수학식 (1b)에, 수학식 (1c) 및 수학식 (1d)를 대입하면,
I = i1+ i3+ i4
= {(R4/R3) × i3} + i3+ i4
= {(R4/R3) + 1} × i3+ i4
= {(R4+ R3)/R3} × {(R2+ R0)/R4} × i4+ i4
= [{(R4+ R3)(R2+ R0) + R3R4}/R3R4] × i4
가 된다. 여기서, R1≒ R2, 및 R3≒ R4가 성립하는 것으로부터,
I = {2R3(R1+R0)+R3 2} /R3 2× i4
= {2(R1+R0)+R3}/R3×i4
가 성립하기 때문에, 다음 수학식 (1e)를 얻을 수 있다.
또한, 상술된 바와 같이 위치 D-B-F 사이에 전류가 흐르기 때문에, 측정되는 전압 V는 V=R0×i4가 된다. 이것을 상기 수학식 (1e)에 도입하면, 최종적으로 다음 수학식 (2)가 도출된다.
즉, 위치 B에 접촉하는 전압 검출용 단자(4)는, 투명 전극(21c)에서의 저항 R1및 R3과, 직류 전압 검출 회로(6) 내의 내부 저항을 R0으로 결정되는 수학식 (2)로 표시되는 전압 V를 측정한다.
전압 검출용 단자(4)로 측정된, 상기 수학식(2)로 표시되는 전압 V는, 도시하지 않은 증폭기에 의해 증폭되고, 직류 전압 검출 회로(6)로 인식된다. 직류 전압 검출 회로(6)는, 전압 0V의 상태로부터 이 전압 V가 측정됨에 따라, 전압의 변화를 검출한다.
상기 쇼트 부위(24)가 존재하면 수학식(2)로 표시되는 전압 V가 검출되지만, 쇼트 부위(24)가 존재하지 않고 정상적인 투명 전극(21)에서는, 도 8(b)에 나타낸 바와 같은 전기 회로가 형성되지 않기 때문에, 상기 전압 V도 검출되지 않는다.또한, 단선이 있는 경우에도 도 8(b)에 도시된 바와 같은 전기 회로는 형성되지 않기 때문에 상기 전압 V가 형성되지 않는 데다가, 정상적인 투명 전극(21)과는 다른 전압(전압 포화 상태)이 검출된다. 따라서, 공통 전극(22)을 갖는 투광성 기판(20) 상의 투명 전극(21…)을 검사하는 것에 있어서, 전압의 변화를 검출함으로써 정상·단선·쇼트의 구별이 명료해지고, 종래보다도 용이하고 또한 확실한 결함의 검사 방법을 실현할 수 있다.
또, 투명 전극(21c·21d) 사이에 존재하는 쇼트 부위(24)의 존재 위치에 의해서는, 도 8(b)에서의 R1및 R3의 각 저항치는 변화하므로, 상기 전압 V의 크기도 변화한다.
또한, 상기 직류 전압 검출 회로(6)의 내부 저항 R0는, 수∼수100Ω(100∼ 102Ω)정도의 범위 내(투명 전극(21)의 저항과 거의 동일함)이므로, 본 실시 형태에 따른 검사 장치(1)는, 실질적으로는, 전압 검출용 단자(4)로 측정한 상기 전압 V로부터, 도 8(b)에서의 위치 D-B-F 사이를 흐르는 전류 i4를 검출하게 된다. 그 때문에, 본 실시 형태에서 상술된 「전압(의 변화)를 검출한다」라는 표현, 및 「전압 검출 수단(직류 전압 검출 회로(6))」 라고 하는 구성은, 「전류를 검출한다」라는 표현, 및「직류 전류 검출 회로(6)」로 하는 쪽이 바람직하다고 할 수도 있지만, 본 실시 형태에 따른 검사 장치(1)의 구성은, 상기 내부 저항 R0의 차이 외에, 상기 실시 형태1에서의 검사 장치(1)의 구성과 대략 동일하기 때문에, 설명의 편의상,상기 표현이나 구성을 실시 형태1과 동일하게 해 둔다.
이상과 같이, 본 발명에 따른 전극 패턴 검사 방법 및 장치에서는, 전극 패턴이 정상이면, 전류 인가 수단에 의해 공급되는 직류 정전류는, 정전류 인가용 단자로부터 전극 패턴을 따라 흐르고, 공통 전극을 통해 접지 단자에 흡수되어 방출된다. 그 때문에, 인접하는 전극 패턴에 접촉하고 있는 전압 검출용 단자에 전류가 유입되지 않기 때문에, 전압을 측정하지 않는다.
또한, 전극 패턴에 단선이 생기면, 직류 정전류가 단선 부위에서 멈춰지므로 저항이 무한대가 되고, 이에 따라 전류 인가 수단은 저항에 따른 전류를 공급하려고 하는 전압을 올리기 때문에 전압이 포화 상태가 된다.
한편, 전극 패턴에 쇼트가 생기면, 직류 정전류의 모두가 접지 단자까지 도달하지 않고, 일부가 쇼트 부위를 통해 인접하는 전극 패턴으로 유입하고, 전압 검출용 단자에 이른다. 그 때문에, 인접하는 전극 패턴에 접촉하고 있는 전압 검출용 단자는, 전극 패턴과 전압 검출 회로의 내부 저항에 따른 전압을 측정하게 된다.
즉, 본 실시 형태에서는, 상기 전압 검출 수단의 내부 저항이, 전극 패턴의 저항과 거의 동일한 값으로 설정되어 있다. 그 때문에, 전극 패턴사이에서 쇼트하는 위치로부터 전압 검출 수단에 대해 전류가 흐르고, 이 때의 전압을 전압 검출 수단이 측정하게 된다. 그렇기 때문에 상기 전압 검출 수단은, 실질적으로는 쇼트 위치로부터 전압 검출 수단에 대해 흐르는 전류를 검출하게 된다. 그 결과, 상기 실시 형태 1과는 달리, 쇼트 결함의 발생을 전류의 변화로서 확실하게 검출할 수있다.
본 발명에 따르면 일단이 공통 전극과 접속되어 있는 스트라이프형의 전극 패턴의 검사를 전극 패턴의 위치 정밀도 등에 영향을 받지 않고 확실하게 실행할 수 있다.
전극의 위치에 어긋남이 생기는 경우라도, 접지 단자와 공통 전극이 확실하게 접촉하므로, 고정밀도의 위치 정렬 장치등을 이용하지 않고 정확한 검사를 행하는 것이 가능하다. 또한, 공통 전극의 폭이 좁아도 검사가 가능하므로, 전극 패턴의 설계의 제약이 작아지고, 설계의 자유도를 보다 향상시킬 수 있다.
또한, 접지 단자와 공통 전극과의 접촉 면적이 크기 때문에, 공통 전극 상에서 접지 단자를 주사할 때에, 접촉 저항을 작게 유지할 수도 있다. 그 때문에, 고속이고 또한 안정적인 검사를 실현할 수 있다.
발명의 상세한 설명의 항에서 이루어진 구체적인 실시 형태, 또는 실시예는, 어디까지나, 본 발명의 기술 내용을 밝히는 것으로써, 그와 같은 구체예에만 한정하여 협의로 해석되는 것이 아니라, 본 발명의 정신과 다음에 기재되는 특허 청구 사항의 범위 내에서, 여러가지로 변경하여 실시할 수 있는 것이다.

Claims (13)

  1. 전극 패턴 검사 장치에 있어서,
    한쪽 단부가 공통 전극에 의해 상호 접속된 복수의 전극 중, 검사 대상의 전극에 대해 정전류를 인가하고, 상기 정전류에 의한 전압의 변화를 검출하는 전류 인가부와,
    상기 검사 대상의 전극에 인접하는 전극의 전압을 측정하고, 상기 전압의 변화를 검출하는 전압 검출부와,
    상기 공통 전극을 접지하는 접지부
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 전극 패턴 검사 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 전류 인가부는, 상기 검사 대상의 전극에서의 다른 단부에 접촉하는 전류 인가 단자를 구비하고,
    상기 전압 검출부는, 상기 검사 대상의 전극에 인접하는 전극에 있어서의 다른 단부에 접촉하는 전압 검출 단자를 구비하며,
    상기 접지부는, 상기 공통 전극에 접촉하는 접지 단자를 구비하며,
    상기 전류 인가 단자, 상기 전압 검출 단자, 및 상기 접지 단자를 구동하여 상기 복수의 전극을 주사함과 함께, 상기 복수의 전극에 있어서의 검사 대상의 전극의 위치를 특정하는 주사부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전극 패턴 검사장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 전류 인가부 및 상기 전압 검출부에 의해 검출된 전압의 변화, 및 상기 주사부에 의해 특정된 검사 대상의 전극의 위치를 기억함과 함께, 상기 전극의 결함을 판정하는 기억 판정부와,
    상기 기억 판정부에 의해 기억된 상기 전극의 위치, 및 상기 기억 판정부에 의해 판정된 상기 전극의 결함을 표시하는 표시부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전극 패턴 검사 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 전류 인가부는, 상기 검사 대상의 전극에 있어서의 다른 단부에 접촉하는 전류 인가 단자를 구비하고,
    상기 전압 검출부는, 상기된 검사 대상의 전극에 인접하는 전극에 있어서의 다른쪽의 단부에 접촉하는 전압 검출 단자를 구비하며,
    상기 접지부는, 상기 공통 전극에 접촉하는 접지 단자를 구비하며,
    상기 전류 인가 단자 및 상기 전압 검출 단자는, 각 전극과 점접촉하는 형상을 갖는 한편, 상기 접지 단자는, 상기 공통 전극과 면접촉하는 형상을 포함하는 것을 특징으로 하는 전극 패턴 검사 장치.
  5. 기판 상에 스트라이프형으로 등간격으로 복수 형성되어 있고, 상기 기판의 외주부에 형성되는 공통 전극에 일단이 접속되어 있는 전극 패턴에 대해, 전류를 인가함으로써, 상기 전극 패턴의 단선 및 쇼트를 검출하는 전극 패턴 검사 장치에 있어서,
    피검사 대상이 되는 전극 패턴의 공통 전극에 대향하는 측의 끝에 접촉하고, 상기 전극 패턴에 직류 정전류를 인가하는 정전류 인가용 단자와,
    상기 전극 패턴에 인접하는 전극 패턴의 공통 전극에 대향하는 측의 끝에 접촉하고, 전압을 측정하는 전압 검출용 단자와,
    접지와 접속되어 있고, 상기 전극 패턴의 근방의 공통 전극에 접촉하는 접지 단자와,
    상기 정전류 인가용 단자에 직류 정전류를 공급함과 함께, 상기 직류 정전류의 공급에 수반하는 전압의 변화를 검출하는 전류 인가 수단과,
    상기 전압 검출용 단자에 의해 측정된 전압의 변화를 검출하는 전압 검출 수단과,
    상기 전류 인가 수단 및 상기 전압 검출 수단으로 검출된 전압의 변화를 결함 정보로서 기억하고, 상기 결함 정보에 기초하여, 전극 패턴에 생기는 단선 및 쇼트를 검출하는 기억 판정 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 전극 패턴 검사 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 정전류 인가용 단자, 상기 전압 검출용 단자, 및 상기 접지 단자를 소정 방향으로 주사함과 함께, 상기 각 단자들의 주사에 의해 전압의 변화가 검출된 전극 패턴의 기판 상의 위치를 검출하는 주사 수단을 구비하고,
    상기 기억 판정 수단은, 전압의 변화에 더해 전극 패턴의 위치를 결함 정보로서 기억하고, 상기 결함 정보에 기초하여, 단선 및 쇼트 중 적어도 어느 하나가 생기는 전극 패턴을 검출하고, 상기 전극 패턴의 위치를 특정하는 것을 특징으로 하는 전극 패턴 검사 장치.
  7. 제5항에 있어서,
    상기 정전류 인가용 단자 및 상기 전압 검출용 단자는 전극 패턴과 점접촉하는 형상을 갖고 있음과 함께, 상기 접지 단자는, 공통 전극과 면형태로 접촉하는 형상을 포함하는 것을 특징으로 하는 전극 패턴 검사 장치.
  8. 제5항에 있어서,
    상기 전압 검출 수단의 내부 저항을 R0으로 하고, 측정된 상기 전압을 V로 했을 때에, V/R0의 값이 거의 0이 되도록 내부 저항 R0이 크게 설정되는 것을 특징으로 하는 전극 패턴 검사 장치.
  9. 제5항에 있어서,
    상기 전압 검출 수단의 내부 저항이, 전극 패턴의 저항과 거의 동일한 값으로 설정되어 있는 것을 특징으로 하는 전극 패턴 검사 장치.
  10. 전극 패턴 검사 방법에 있어서,
    복수의 전극의 한쪽 단부를 상호 접속하는 공통 전극을 접지하는 단계 a와,
    상기 복수의 전극 중, 검사 대상의 전극에 대해 정전류를 인가하고, 상기 정전류에 의한 전압의 변화를 검출하는 단계 b와,
    상기 검사 대상의 전극에 인접하는 전극의 전압을 측정하고, 상기 전압의 변화를 검출하는 단계 c
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 전극 패턴 검사 방법.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 복수의 전극에서 검사 대상의 전극의 위치를 특정하는 단계 d를더 포함하는 것을 특징으로 하는 전극 패턴 검사 방법.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 단계 b 및 c에서 검출된 전압의 변화, 및 상기 단계 d에서 특정된 검사 대상의 전극의 위치를 기억함과 함께, 상기 전극의 결함을 판정하는 단계 e와,
    상기 단계 e에 있어서 기억된 상기 전극의 위치, 및 상기 단계 e에 있어서 판정된 상기 전극의 결함을 표시하는 단계 f를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전극 패턴 검사 방법.
  13. 기판 상에 스트라이프형으로 등간격으로 복수 형성되어 있고, 상기 기판의 외주부에 형성되는 공통 전극에 일단이 접속되어 있는 전극 패턴에 대해, 전류를 인가함으로써, 상기 전극 패턴의 단선 및 쇼트를 검출하는 전극 패턴 검사 방법에 있어서,
    피검사 대상이 되는 전극 패턴 근방에 상기 공통 전극을 접지하고, 상기 전극 패턴의 공통 전극에 대향하는 측의 끝으로부터 직류 정전류를 인가함과 함께, 상기 전극 패턴에 인접하는 전극 패턴의 공통 전극에 대향하는 측의 끝에서의 전압의 변화와, 상기 직류 정전류의 인가에 수반되는 전압의 변화를 검출하는 전압 검출 공정과,
    또한, 상기 전압 검출 공정을 복수의 전극 패턴에 대해 연속하여 실시하고, 상기 전압의 변화 및 상기 전압의 변화가 검출된 전극 패턴의 기판 상의 위치에 대한 결함 정보에 기초하여 전극 패턴에 생기는 단선 및 쇼트를 검출함과 함께, 상기 전극 패턴의 위치를 특정하는 결함 검출 공정
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 전극 패턴 검사 방법.
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