JPH0926461A - テスト回路内蔵集積回路装置およびその集積回路装置の試験方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 テスト回路内蔵集積回路装置およびその集積
回路装置の試験方法に関し，簡単な構成で電極の接続試
験を簡単に行うことのできるテスト回路を提供すること
を目的とする。 【解決手段】 ＨもしくはＬの試験信号を電極に出力す
る電圧供給部と，電圧供給部の出力のオンもしくはオフ
を制御する接続制御部と，電圧供給部と該電極の間に接
続される抵抗回路と，電極に生じる電圧を検出する電圧
検出部とを備えて電極に生じる電圧により電極と接地端
子もしくは電源端子との接続の有無を判定するテスト回
路を内蔵する構成をもつ。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はテスト回路内蔵集積回路
装置およびその集積回路装置の試験方法に関するもので
ある。

【０００２】現在、集積回路装置は基板等に電極を接続
した時に接続が正しくなされたか，あるいは接続される
べきでない他の電極と短絡していないか等の接続試験を
含めて回路の論理試験を行うテスト回路を内蔵するに
は、大規模で複雑な回路が必要となる。集積回路装置の
高集積化が進むにつれ、テストの為の回路量も増加して
いることから、簡単な構成で電極の接続試験を簡単に行
うことのできるテスト回路の開発が望まれている。

【０００３】

【従来の技術】図９は従来の集積回路装置のバウンダリ
スキャンによるテスト回路である。図９において，２０
５は基板である。

【０００４】２１０は集積回路装置である。２１１はＬ
ＳＩ内部回路である。２１２はテスト回路１であって，
ＬＳＩ内部回路の論理および電極Ｔ₁ ，Ｔ₂，Ｔ₃ ，Ｔ
₄ と基板２０５の回路（図示せず）との接続試験をする
テスト回路である。

【０００５】２１３はテスト回路２であって，電極
Ｔ₅ ，Ｔ₆ ，Ｔ₇ ，Ｔ₈ と基板２０５の回路（図示せ
ず）との接続試験をするテスト回路である。テスト回路
Ａ（１１２）において，２２１はフリップフロップであ
って，電極Ｔ₁ に入力される試験データを保持するもの
である。

【０００６】２２２はフリップフロップであって，電極
Ｔ₂ に入力される試験データを保持するものである。２
２３はフリップフロップであって，電極Ｔ₃ に入力され
る試験データを保持するものである。

【０００７】２２４はフリップフロップであって，電極
Ｔ₄ に入力される試験データを保持するものである。２
２５は選択スイッチであって，通常の動作で電極Ｔ₁ を
選択し，試験においてフリップフロップ２２１の側に接
続するものである。

【０００８】２２６は選択スイッチであって，通常の動
作で電極Ｔ₂ を選択し，試験においてフリップフロップ
２２２の側に接続するものである。２２７は選択スイッ
チであって，通常の動作で電極Ｔ₃ を選択し，試験にお
いてフリップフロップ２２３の側に接続するものであ
る。

【０００９】２２８は選択スイッチであって，通常の動
作で電極Ｔ₄ を選択し，試験においてフリップフロップ
２２４の側に接続するものである。テスト回路２（２１
３）において，２３１はフリップフロップであって，電
極Ｔ₅ の試験データを保持するものである。

【００１０】２３２はフリップフロップであって，電極
Ｔ₆ の試験データを保持するものである。２３３はフリ
ップフロップであって，電極Ｔ₇ の試験データを保持す
るものである。

【００１１】２３４はフリップフロップであって，電極
Ｔ₈ の試験データを保持するものである。テスト回路２
（２１３）においては，選択スイッチは図示を省略され
ている。

【００１２】Ｔ₁ ，Ｔ₂ ，Ｔ₃ ，Ｔ₄ ，Ｔ₅ ，Ｔ₆ ，Ｔ
₇ ，Ｔ₈ は集積回路装置２１０の電極である。Ｔ₁₀はテ
スト電極であって，フリップフロップ（２２１〜２３
４）をスキャンするクロックを入力するものである。

【００１３】Ｔ₁₁はテスト電極であって，スキャン信号
を出力する電極である。図９の構成において，試験を行
う時は，まず，選択スイッチ２２５〜２２８を電極側に
接続し（図示されてはいないがテスト回路２においても
同様），各電極（Ｔ₁ 〜Ｔ₁₀）から試験データを入力す
る。

【００１４】そして，選択スイッチ（２２５〜２２８）
をフリップフロップ（２２１〜２２８）の側に接続す
る。ＬＳＩ内部回路を伝播した試験データは各フリップ
フロップ（２２１〜２２４，２３１〜２３４）に保持さ
れる。そこで，試験電極Ｔ₁₀からスキョンクロックを入
力し，試験電極Ｔ₁₁から各フリップフロップ（２２１〜
２２４，２３１〜２３４）に保持されている値を読み出
す。

【００１５】出力された試験結果を基に期待値と比較
し，ＬＳＩ内部回路２１１の故障および各電極（Ｔ₁ 〜
Ｔ₈ ）の接続状態の判定を行う。

【００１６】

【発明が解決しようとする課題】集積回路のパッケージ
の電極数の増加，狭ピッチ化が進む中で，特に電極と基
板の接続試験の重要性が増している。このような試験の
代表としてバウンダリスキャンがあるが，テスト回路が
比較的大規模であり，これを内蔵した集積回路のチップ
面積増加（すなわち高価格）をまねいている。

【００１７】本発明は電極接続試験を小規模な回路で簡
単に行うことのできるテスト回路を内蔵する集成回路装
置とその試験方法を提供することを目的とする。

【００１８】

【課題を解決するための手段】本発明は， Ｈもしく
はＬの試験信号を電極に出力する電圧供給部と，電圧供
給部の出力のオンもしくはオフを制御する接続制御部
と，電圧供給部と該電極の間に接続される抵抗回路と，
電極に生じる電圧を検出する電圧検出部とを備えて電極
に生じる電圧により電極と接地端子もしくは電源端子と
の接続の有無を判定するテスト回路を内蔵するようにす
る構成をもつ。あるいは ＨもしくはＬの試験信号を
抵抗を介して電極に出力する電圧供給部１と，電圧供給
部１の出力のオンもしくはオフの制御をする接続制御部
１と，電圧供給部１と電極の間に接続される抵抗回路
と，ＨもしくはＬの試験信号を抵抗を介することなく電
極に出力する電圧供給部２と，電圧供給部２の出力のオ
ンもしくはオフを制御する接続制御部２と，電極に生じ
る電圧を検出する電圧検出部とを備えて電極と接地端子
および電源端子および他の外部接続電極との接続の有無
を試験するテスト回路を内蔵する構成をもつ。

【００１９】図１は本発明の基本構成(1) であって，電
極と接地端子もしく電源端子との間の短絡の有無を判定
する場合の構成である。図１において，１は基板であっ
て，回路２の外部端子を接続する配線を持つものであ
る。

【００２０】２は回路２である。３は回路２の内部回路
である。４はテスト回路である。

【００２１】５は電圧供給部であって，ＨもしくはＬの
電圧を電極に供給するものである。６は接続制御部であ
って，電圧供給部と電極との接続制御をするものであ
る。７は電圧検出部であって，試験結果の電圧を検出す
るものである。

【００２２】８は抵抗回路である。Ｔ₁ は内部回路３の
動作モードの入力部である。内部回路３をテストモー
ド，通常モードにする選択信号を入力するものである。

【００２３】Ｔ₂ は接続制御部６の制御信号の入力部で
ある。Ｔ₃ は電圧供給部５の入力部である。Ｔ₄ は電圧
検出部７の検出電圧の出力部である。

【００２４】ＧＮＤは接地電極である。Ｐは電源Ｖｃｃ
に接続される電源電極である。Ｌ₁ は接地電極ＧＮＤに
接続される配線である。

【００２５】Ｌ₂ は電極Ｔ₁ に接続される配線である。
Ｌ₃ は電源電極Ｐに接続される配線である。なお，入力
部Ｔ₁ ，Ｔ₂ ，Ｔ₃ ，Ｔ₄ は信号入力をする電極もしく
は集積回路内部にテストデータ（テストパターン）を保
持する場合にはそのデータを入力するものである。

【００２６】図１の本発明の基本構成の動作を説明す
る。 電極Ｔ₁ と接地電極ＧＮＤの間の短絡試験をする場
合 Ｔ₁ にはテストモードとする信号を入力し，内部回路３
の出力はないようにする。

【００２７】Ｔ₂ には接続制御部６の制御信号を入力
し，電圧供給部５と電極Ｔ₅ との接続をとる。Ｔ₃ には
電圧供給部５の出力がＨとなる信号を入力する。

【００２８】この状態で電圧検出部７の出力部Ｔ₄ の電
圧を検出する。Ｔ₄ の電圧がＨであれば電極Ｔ₅ と接地
点ＧＮＤとの間の短絡はないと判定する。また，Ｔ₄ の
電圧がＬであれば電極Ｔ₅ と接地点ＧＮＤとの間の短絡
があると判定する。

【００２９】 電極Ｔ₅ と電源電極Ｐと間の短絡試験
をする場合 Ｔ₁ にはテストモードとする信号を入力し，内部回路３
の出力がないようにする。

【００３０】Ｔ₂ には接続制御部６の制御信号を入力
し，電圧供給部５と電極Ｔ₅ との接続をとる。Ｔ₃ には
電圧供給部５の出力がＬとなる信号を入力する。

【００３１】この状態で電圧検出部７の出力部Ｔ₄ の電
圧を検出する。Ｔ₄ の電圧がＬであれば電極Ｔ₅ と電源
電極Ｐとの間の短絡はないと判定する。また，Ｔ₄ の電
圧がＨであれば電極Ｔ₅ と電源電極Ｐとの間の短絡があ
ると判定する。

【００３２】図２は本発明の基本構成(2) であって，検
査対象の電極が接続されるべき他の電極と正しく接続さ
れているかいないかの試験，あるいは検査対象の電極が
接続されるべきでない他の電極と短絡していないかを試
験するための構成である。

【００３３】図２において，２１は基板であって，回路
Ａ（２２），回路Ｂ（３２），回路Ｃ（４２）の電極を
接続する配線をもつものである。

【００３４】２２は回路Ａであって，試験対象の回路で
あって試験対象の電極Ａをもつものである。２３は内部
回路であって，回路Ａ（２２）の内部の回路である。

【００３５】２４はテスト回路Ａである。２５は電圧供
給部１であって，抵抗回路２８を介して電極Ａに接続さ
れるものである。

【００３６】２６は接続制御部１であって，電圧供給部
１を制御するものである。２７は電圧検出部である。２
８は抵抗回路である。

【００３７】Ｔ₁ は電極Ａである。Ｔ₂ は内部回路２３
の動作モード（テストモード，通常モード）を定める信
号の入力部である。

【００３８】Ｔ₃ は接続制御部２６の制御信号の入力部
である。Ｔ₄ は電圧供給部２５の入力部である。Ｔ₅ は
電圧検出部２７の出力部である。

【００３９】３２は回路Ｂであって，試験対象の回路Ａ
（２２）に正しく接続されるべき回路である。３３は内
部回路であって，回路Ｂ（３２）の内部回路である。

【００４０】３４はテスト回路Ｂである。３５は電圧供
給部２であって，抵抗回路を介さずに電極Ｂに接続され
るものである。

【００４１】３６は接続制御部２であって，電圧供給部
２を制御するものである。３７は電圧検出部である。Ｔ
₆ は電極Ｂである。

【００４２】Ｔ₇ は内部回路３３の動作モード（テスト
モード，通常モード）を定める信号の入力部である。Ｔ
₈ は接続制御部３６の制御信号の入力部である。

【００４３】Ｔ₉ は電圧供給部３５に電圧を供給するも
のである。Ｔ₁₀は電圧検出部２７の出力部である。４２
は回路Ｃであって，試験対象の回路Ａ（２２）と接続の
ない回路である。

【００４４】４３は内部回路であって，回路Ｃ（４２）
の内部の回路である。４４はテスト回路Ｃである。４５
は電圧供給部２であって，抵抗を介さずに電極Ｃに接続
されるものである。

【００４５】４６は接続制御部であって，電圧供給部２
を制御するものである。４７は電圧検出部である。Ｔ₁₁
は電極Ｃである。

【００４６】Ｔ₁₂は内部回路４３の動作モード（テスト
モード，通常モード）を定める信号を入力するものであ
る。Ｔ₁₃は接続制御部２（４６）の制御信号の入力部で
ある。

【００４７】Ｔ₁₄は電圧供給部２（４５）の入力部であ
る。Ｔ₁₅は電圧検出部４７の出力部である。なお，
Ｔ₂ ，Ｔ₃ ，Ｔ₄ ，Ｔ₅ ，Ｔ₇ ，Ｔ₈ ，Ｔ₉ ，Ｔ₁₂，Ｔ
₁₃，Ｔ₁₄，Ｔ₁₅は信号を外部から入力する電極もしく
は，回路内部にテストデータ（テストパターン）をもつ
場合にはその信号入力部である。

【００４８】図３は本発明の抵抗回路の作用説明図であ
る。図３ (a)は回路Ｂの供給電圧がＨで回路Ａの供給電
圧がＬの場合の回路Ａの電圧検出部の検出電圧を示す。

【００４９】図３ (b)は回路Ｂの供給電圧がＬで回路Ａ
の供給電圧がＨの場合の回路Ａの電圧検出部の検出電圧
を示す。図３ (a)，図３ (b)において，２２は回路Ａで
ある。

【００５０】２３は回路Ｂである。２８は抵抗回路Ｒで
ある。図３ (a)のように，図３ (a)は回路Ｂの電圧供給
部２の供給電圧がＨで回路Ａの電圧供給部１の供給電圧
がＬの場合，抵抗回路２８に図示の向きに電流ｉが流
れ，電圧検出部の検出電圧はＨとなる。

【００５１】図３ (b)のように，回路Ｂの電圧供給部２
の供給電圧がＬで回路Ａの電圧供給部１の供給電圧がＨ
の場合，抵抗回路２８に図示の向きに電流ｉが流れ，電
圧検出部の検出電圧はＬとなる。

【００５２】従って，図３の構成において，検査対象の
電極Ａの回路Ａには抵抗回路２８を挿入し，回路Ａ（２
２）の電圧供給部１（２５）の出力電圧がＨであって，
回路Ｂ（３２）もしくは回路Ｃ（４２）から電極Ａ（Ｔ
₁ ）にＬの電圧が供給されたとき電圧検出部２７はＬを
検出する。また，その反対に回路Ａ（２２）の電圧供給
部１（２５）の出力電圧がＬであって，回路Ｂ（３２）
もしくは回路Ｃ（４２）から電極Ａ（Ｔ₁ ）にＨの電圧
が供給されたとき電圧検出部２７はＨを検出する。

【００５３】図２の構成の動作を説明する。 （，は前述）回路Ａ（２２）と正しく接続され
るべき回路Ｂ（３２）との接続が正しくなされているか
いないかを検査する場合 Ｔ₂ ，Ｔ₇ ，Ｔ₁₂にはテストモードの信号を入力し，回
路Ａ（２２），回路Ｂ（３２），回路Ｃ（４２）のそれ
ぞれの内部回路２３，３３，４３が出力をしなようにす
る。

【００５４】回路Ａ（２２）において，Ｔ₃ には接続制
御部２６が電圧供給部１（２５）の出力をオンとする信
号を与える（電圧供給部１（２５）が電極Ａに電圧を出
力するようにする）。

【００５５】電圧検出部２７の出力をＬとする。回路Ｂ
（３２）において，Ｔ₈ は接続制御部３６が電圧供給部
２（３５）の出力をオンとする信号を与える（電圧供給
部２（３５）が電極Ｂに電圧を出力する）。

【００５６】電圧供給部２（３５）の出力はＨとする。
回路Ｃ（４２）において，Ｔ₁₃には接続制御部２（４
６）が電圧供給部２（４５）をオフにする信号を与える
（電圧供給部２（４５）の出力がないようにする）。但
し，電極Ｔ₁₁と電極Ｔ₁ および電極Ｔ₆ の間で短絡がな
いことが検査されていることを前提とする。

【００５７】回路Ａ（２２）の電圧検出部２７の出力部
Ｔ₅ を調べ，Ｔ₅ がＨであれば電極Ａと電極Ｂは正しく
接続されていると判定する。出力部Ｔ₅ がＬであれば，
電極Ａと電極Ｂは接続さていないと判定する。

【００５８】上記において，回路Ａ（２２）の電圧供給
部１（２５）の供給電圧をＨ，回路Ｂ（３２）の電圧供
給部２（３５）の供給電圧をＬとし，電圧検出部２７の
出力部Ｔ₅ がＬであれば電極Ａと電極Ｂは正しく接続さ
れていると判定し，出力部Ｔ ₅ がＨであれば電極Ａと電
極Ｂは正しく接続されていなと判定するようにしても良
い。

【００５９】 （，，は前述）回路Ａ（２２）
が接続されるべきでない回路Ｃ（４２）と誤って接続さ
れていないかを検査する場合 Ｔ₂ ，Ｔ₆ ，Ｔ₁₁にはテストモードの信号を入力し，回
路Ａ（２２），回路Ｂ（３２），回路Ｃ（４２）のそれ
ぞれの内部回路２３，３３，４３の出力がないようにす
る。

【００６０】回路Ａ（２２）において，Ｔ₃ には電圧供
給部１（２５）の出力をオンとする信号を与える。電圧
供給部１（２５）出力電圧はＬとする。

【００６１】回路Ｃ（４２）において，Ｔ₁₃は電圧供給
部２（４５）の出力をオンとする信号を与える。電圧供
給部２（４５）の供給電圧はＨとする。

【００６２】回路Ｂ（３２）において，Ｔ₈ には電圧供
給部２（３５）の出力をオフとする信号を与える。回路
Ａ（２２）の電圧検出部２７の出力部Ｔ₅ を調べ，Ｔ₅
がＨであれば電極Ａと電極Ｃとの間で短絡があると判定
する。出力部Ｔ₅ がＬであれば，電極Ａと電極Ｃとの間
に短絡はないと判定する。

【００６３】上記において，回路Ａ（２２）の電圧供給
部１（２５）の出力をＨ，回路Ｃ（４２）の電圧供給部
２（４５）の供給電圧をＬとし，回路Ａ（２２）の電圧
検出部２７の出力部Ｔ₅ がＬであれば電極Ａと電極Ｃと
の間に短絡があると判定し，出力部Ｔ₅ がＨであれば電
極Ａと電極Ｃとの間に短絡がないと判定するようにして
も良い。

【００６４】

【作用】本発明によれば，回路の電極と基板もしくは他
の回路との接続状態を簡単な回路で高速に試験すること
ができる。そのため，回路の電極の接続試験が効率的に
できるだけでなく，回路の余分なテスト回路を省略でき
るので，その分，本来必要とする回路を集積化すること
ができるようになる。あるいは，論理テストするテスト
回路と一緒に本発明を構成した場合にも，電極の接続試
験だけを簡単に行うことができ，回路構成が簡単である
ので集積回路の設計上の負担が少ない。

【００６５】なお，本発明の電極の接続試験は，集積回
路装置内部もしくは外部において自身の電極同士の接
続，短絡を試験する場合，あるいは異なる集積回路装置
間での電極の接続，短絡を試験する場合のいかなる場合
にはも適用できるものである。

【００６６】

【実施例】図４は本発明の実施例構成を示し，異なる集
積回路装置間での電極接続試験をする場合を示す。

【００６７】図４において，５１は基板であって，集積
回路装置Ａ，集積回路装置Ｂ，集積回路装置Ｃ，集積回
路装置Ｄを接続するものである。

【００６８】５２は集積回路装置Ａである。５３は集積
回路装置Ｂである。５４は集積回路装置Ｃである。

【００６９】５５は集積回路装置Ｄである。集積回路装
置Ａ（５２）において，６１は内部回路である。

【００７０】６２はテスト回路であって，内部回路６１
の電極Ａ₅ の外部接続試験をするものである。６３は内
部回路である。

【００７１】６４はテスト回路であって，内部回路６３
の電極Ａ₆ の外部接続試験をするものである。Ａ₁ は内
部回路６１の動作モードを入力する端子である。

【００７２】Ａ₂ はテスト回路６２に信号入力をする端
子である。Ａ₃ は内部回路６３の動作モードを入力する
端子である。Ａ₄ はテスト回路６４に信号入力をする端
子である。

【００７３】Ａ₅ は内部回路６１の電極である。Ａ₆ は
内部回路６３の電極である。集積回路装置Ｂ（５３）に
おいて，７１は内部回路である。

【００７４】７２はテスト回路であって，内部回路７１
の電極Ｂ₅ の外部接続試験をするものである。７３は内
部回路である。

【００７５】７４はテスト回路であって，内部回路７３
の電極Ｂ₆ の外部接続試験をするものである。Ｂ₁ は内
部回路７１の動作モードを入力する端子である。

【００７６】Ｂ₂ はテスト回路７２に信号入力をする端
子である。Ｂ₃ は内部回路７３の動作モードを入力する
端子である。Ｂ₄ はテスト回路７４に信号入力をする端
子である。

【００７７】Ｂ₅ は内部回路７１の電極である。Ｂ₆ は
内部回路７３の電極である。集積回路装置Ｃ（５４）に
おいて，８１は内部回路である。

【００７８】８２はテスト回路であって，内部回路８１
の電極Ｃ₅ の外部接続試験をするものである。８３は内
部回路である。

【００７９】８４はテスト回路であって，内部回路８３
の電極Ｃ₆ の外部接続試験をするものである。Ｃ₁ は内
部回路８１の動作モードを入力する端子である。

【００８０】Ｃ₂ はテスト回路８２に信号入力をする端
子である。Ｃ₃ は内部回路８３の動作モードを入力する
端子である。Ｃ₄ はテスト回路８４に信号入力をする端
子である。

【００８１】Ｃ₅ は内部回路８１の電極である。Ｃ₆ は
内部回路８３の電極である。集積回路装置Ｄ（５５）に
おいて，９１は内部回路である。

【００８２】９２はテスト回路であって，内部回路９１
の電極Ｄ₅ の外部接続試験をするものである。９３は内
部回路である。

【００８３】９４はテスト回路であって，内部回路９３
の電極Ｄ₆ の外部接続試験をするものである。Ｄ₁ は内
部回路９１の動作モードを入力する端子である。

【００８４】Ｄ₂ はテスト回路９２に信号入力をする端
子である。Ｄ₃ は内部回路９３の動作モードを入力する
端子である。Ｄ₄ はテスト回路９４に信号入力をする端
子である。

【００８５】Ｄ₅ は内部回路９１の電極である。Ｄ₆ は
内部回路９３の電極である。Ｌ₁ は基板５１の配線であ
って，電極Ａ₅ と電極Ｂ₅ を接続するものである。

【００８６】Ｌ₂ は基板５１の配線であって，電極Ａ₆
と電極Ｂ₆ を接続するものである。Ｌ₃ は基板５１の配
線であって，電極Ｃ₅ と電極Ｄ₅ を接続するものであ
る。Ｌ₄ は基板５１の配線であって，電極Ｃ₆ と電極Ｄ
₆ を接続するものである。

【００８７】図５は本発明のテスト回路の実施例１であ
って，本発明の基本構成(1) の実施例である。図５にお
いて，１１１は集積回路装置である。

【００８８】１１５はゲート回路であって，内部回路で
ある。１２１はテスト回路である。１２２は電圧供給部
（ＤＶ）であって，テスト時にのみ有効なゲートであ
る。

【００８９】１２３は電圧検出部（ＲＶ）であってテス
ト時にのみ有効なゲートである。１２４は抵抗Ｒであ
る。Ａ₁ は接地端子（ＧＮＤ）である。

【００９０】Ａ₂ はゲート回路の外部接続端子である。
Ａ₃ は電源端子であって，Ｖｃｃは電源である。Ｔ₁ は
ＥＮＡＢＬＥ信号の入力端子であって，ゲート回路１１
５および電圧供給部（ＤＶ）１２２の制御信号となるも
のである。電圧供給部（ＤＶ）１２２に対してはその否
定論理で制御する。

【００９１】ＥＮＡＢＬＥ＝Ｈは通常動作であり，ＥＮ
ＡＢＬＥ＝Ｌはテストモードである。ＥＮＡＢＬＥ＝Ｈ
のとき，ゲート回路１１５は有効，ゲートＤＶ（電圧供
給部）１２２はハイインピーダンス状態となる。

【００９２】ＥＮＡＢＬＥ＝Ｌのとき，ゲート回路１１
５はハイインピーダンスとなり，ゲートＤＶ（１２２）
は有効となる。Ｔ₂ はＤＲＩＶＥ信号入力端子であっ
て，電圧供給部（ゲート（ＤＶ））１２２に供給する信
号である。

【００９３】Ｔ₃ は電圧検出部（ゲート（ＲＶ））１２
３の出力電圧（ＳＥＮＳＥ信号）の検出電極である。図
５の構成の動作を説明する。

【００９４】 電極Ａ₂ と接地電極Ａ₁ （ＧＮＤ）と
の短絡を試験する場合 ＥＮＡＢＬＥ信号はＬにして，テストモードとする。Ｄ
ＲＩＶＥ信号をＨにする。

【００９５】ＳＥＮＳＥ信号がＨであれば，接地電極Ａ
₁ （ＧＮＤ）と電極Ａ₂ との間に短絡はないと判定す
る。ＳＥＮＳＥ信号がＬであれば，接地端子Ａ₁ （ＧＮ
Ｄ）と電極Ａ₂ との間に短絡があると判定する。

【００９６】 電極Ａ₂ と電源端子Ａ₃ との短絡を試
験する場合 ＥＮＡＢＬＥ信号はＬにして，テストモードとする。Ｄ
ＲＩＶＥ信号をＬにする。

【００９７】ＳＥＮＳＥ信号がＬであれば，電源電極Ａ
₃ と電極Ａ₂ との間に短絡はないと判定する。ＳＥＮＳ
Ｅ信号がＨであれば，接地電極Ａ₃ と電極Ａ₂ との間に
短絡があると判定する。

【００９８】図６は本発明の実施例２であって，対象集
積回路装置と他の集積回路装置との接続および短絡の有
無を試験する場合の実施例である。図６において，１３
１は集積回路装置Ａであって，試験対象の集積回路装置
である。

【００９９】１３２は集積回路装置Ｂであって，他の集
積回路装置である。１３３は集積回路装置Ｃであって，
他の集積回路装置である。集積回路装置Ａにおいて，１
４１はゲート回路である。

【０１００】１４２はテスト回路である。１４３は電圧
供給部１（ＤＶ１）であって，ゲートである。１４４は
電圧供給部２（ＤＶ２）であって，ゲートである。

【０１０１】１４５は電圧検出部（ＲＶ）であって，ゲ
ートである。１４６は抵抗Ｒである。Ｔ₁ はゲート回路
１４１の制御信号（ＥＮＡＢＬＥ０）の入力電極であ
る。Ｔ₂ はゲート（ＤＶ１）１４３の制御信号（ＥＮＡ
ＢＬＥ１）の入力電極である。

【０１０２】Ｔ₃ はゲート（ＤＶ１）１４３の入力信号
（ＤＲＩＶＥ１）の入力電極である。Ｔ₄ はゲート（Ｄ
Ｖ２）１４４の制御信号（ＥＮＡＢＬＥ２）の入力電極
である。

【０１０３】Ｔ₅ はゲート（ＤＶ２）１４４の入力信号
（ＤＲＩＶＥ２）の入力電極である。Ｔ₆ はゲート（Ｒ
Ｖ）１４５の出力電圧（ＳＥＮＳＥ）の出力電極であ
る。

【０１０４】Ｔ₇ はゲート回路１４１の電極である。Ｔ
₈ は接地電極（ＧＮＤ）である。Ｔ₉ は電源端子であ
る。

【０１０５】集積回路装置Ｂにおいて，１５１はゲート
回路である。１５２はテスト回路である。

【０１０６】１５３は電圧供給部１（ＤＶ１）であっ
て，ゲートである。１５４は電圧供給部２（ＤＶ２）で
あって，ゲートである。１５５は電圧検出部（ＲＶ）で
あって，ゲートである。

【０１０７】１５６は抵抗Ｒである。Ｔ₁₁はゲート回路
１５１の制御信号（ＥＮＡＢＬＥ０）の入力電極であ
る。Ｔ₁₂はゲート（ＤＶ１）１５３の制御信号（ＥＮＡ
ＢＬＥ１）の入力電極である。

【０１０８】Ｔ₁₃はゲート（ＤＶ１）１５３の入力信号
（ＤＲＩＶＥ１）の入力電極である。Ｔ₁₄はゲート（Ｄ
Ｖ２）１５４の制御信号（ＥＮＡＢＬＥ２）の入力電極
である。

【０１０９】Ｔ₁₅はゲート（ＤＶ２）１５４の入力信号
（ＤＲＩＶＥ２）の入力電極である。Ｔ₁₆はゲート（Ｒ
Ｖ）１５５の出力電圧（ＳＥＮＳＥ）の出力電極であ
る。

【０１１０】Ｔ₁₇はゲート回路１５１の電極である。集
積回路装置Ｃにおいて，１６１はゲート回路である。

【０１１１】１６２はテスト回路である。１６３は電圧
供給部１（ＤＶ１）であって，ゲートである。１６４は
電圧供給部２（ＤＶ２）であって，ゲートである。

【０１１２】１６５は電圧検出部（ＲＶ）であって，ゲ
ートである。１６６は抵抗Ｒである。Ｔ₂₁はゲート回路
１６１の制御信号（ＥＮＡＢＬＥ０）の入力電極であ
る。Ｔ₂₂はゲート（ＤＶ１）１６３の制御信号（ＥＮＡ
ＢＬＥ１）の入力電極である。

【０１１３】Ｔ₂₃はゲート（ＤＶ１）１６３の入力信号
（ＤＲＩＶＥ１）の入力電極である。Ｔ₂₄はゲート（Ｄ
Ｖ２）１６４の制御信号（ＥＮＡＢＬＥ２）の入力電極
である。

【０１１４】Ｔ₂₅はゲート（ＤＶ２）１６４の入力信号
（ＤＲＩＶＥ２）の入力電極である。Ｔ₂₆はゲート（Ｒ
Ｖ）１６５の出力電圧（ＳＥＮＳＥ）の出力電極であ
る。

【０１１５】Ｔ₂₇はゲート回路１６１の電極である。図
７は本発明の実施例２の動作例である。図７において，
対象となる電極は図６の集積回路装置Ａの各入力電極で
ある。

【０１１６】ＥＮＡＢＬＥ０，ＥＮＡＢＬＥ１，ＥＮＡ
ＢＬＥ２はそれぞれ電極Ｔ₁ ，Ｔ₂，Ｔ₄ の入力信号で
ある。ＤＲＩＶＥ１，ＤＲＩＶＥ２はそれぞれ電極
Ｔ₃ ，Ｔ₅ の入力信号である。

【０１１７】その他の電極は図６の集積回路装置Ｃの各
入力電子である。ＥＮＡＢＬＥ０，ＥＮＡＢＬＥ１，Ｅ
ＮＡＢＬＥ２はそれぞれ電極Ｔ₂₁，Ｔ₂₂，Ｔ₂₄の入力信
号である。

【０１１８】ＤＲＩＶＥ１，ＤＲＩＶＥ２はそれぞれ電
極Ｔ₂₃，Ｔ₂₅の入力信号である。，正しい接続先は図６
の集積回路装置Ｂの各入力電極である。

【０１１９】ＥＮＡＢＬＥ０，ＥＮＡＢＬＥ１，ＥＮＡ
ＢＬＥ２はそれぞれ電極Ｔ₁₁，Ｔ₁₂，Ｔ₁₄の入力信号で
ある。ＤＲＩＶＥ１，ＤＲＩＶＥ２はそれぞれ電極
Ｔ₁₃，Ｔ₁₅の入力信号である。

【０１２０】ＳＥＮＳＥ信号は集積回路装置Ａ（１３
１）の電圧検出部（ＲＶ）１４５の出力信号である。Ｈ
はハイレベルの信号，Ｌはローレベルの信号，Ｘは任意
である。

【０１２１】図７を参照して図６の構成の動作を説明す
る。通常動作の場合対象となる電極（集積回路装置Ａ
（１３１）の電極）のＥＮＡＢＬＥ０，ＥＮＡＢＬＥ
１，ＥＮＡＢＬＥ２を全てＨにして，ゲート回路１４１
のみを有効とし，ゲート（ＤＶ１）１４３，ゲート（Ｄ
Ｖ２）１４４は無効とする。

【０１２２】その他の電極（集積回路装置Ｃ（１３３）
の電極）のＥＮＡＢＬＥ０，ＥＮＡＢＬＥ１，ＥＮＡＢ
ＬＥ２を全てＨにして，ゲート回路１６１のみを有効と
し，ゲート（ＤＶ１）１６３，ゲート（ＤＶ２）１６４
は無効とする。

【０１２３】正しい接続先の電極（集積回路装置Ｂ（１
３２）の電極）のＥＮＡＢＬＥ０，ＥＮＡＢＬＥ１，Ｅ
ＮＡＢＬＥ２を全てＨにして，ゲート回路１５１のみを
有効とし，ゲート（ＤＶ１）１５３，ゲート（ＤＶ２）
１５４は無効とする。

【０１２４】短絡，接続試験を行う場合には，接地電
極との短絡試験，電源電極との短絡試験，対象ＬＳ
Ｉとの短絡試験，接続先との接続試験の順番に試験を
行う。但し，接地電極との短絡試験と電源電極との
短絡試験の順番は入れ替えても良い。

【０１２５】 接地電極との短絡試験 対象となる電極（集積回路装置Ａ（１３１）の電極）の
ＥＮＡＢＬＥ０はＬとして，ゲート回路１４１は無効と
する。

【０１２６】ＥＮＡＢＬＥ１をＬとして，ゲート（ＤＶ
１）１４３を有効とし，ＤＲＩＶＥ１にＨを入力する。
ＥＮＡＢＬＥ２はＨとしてゲート（ＤＶ２）１４４は無
効とする。

【０１２７】その他の電極（集積回路装置Ｃ（１３３）
の電極）のＥＮＡＢＬＥ０はＬとして，ゲート回路１６
１は無効とする。ＥＮＡＢＬＥ１をＬとして，ゲート
（ＤＶ１）１６３を有効とし，ＤＲＩＶＥ１にＨを入力
する。

【０１２８】ＥＮＡＢＬＥ２はＨとしてゲート（ＤＶ
２）１６４は無効とする。正しい接続先の電極（集積回
路装置Ｂ（１３２）の電極）のＥＮＡＢＬＥ０はＬとし
て，ゲート回路１５１は無効とする。

【０１２９】ＥＮＡＢＬＥ１をＬとして，ゲート（ＤＶ
１）１５３を有効とし，ＤＴＩＶＥ１にＨを入力する。
ＥＮＡＢＬＥ２はＨとして，ゲート（ＤＶ２）１５４は
無効とする。

【０１３０】なお，接地電極との短絡試験では，その他
の電極（集積回路装置Ｃ），正しい接続先（集積回路装
置Ｂ）のＥＮＡＢＬＥ１，ＥＮＡＢＬＥ２をＨとしてＤ
Ｖ（１），ＤＶ（２）を無効としておいても良い。

【０１３１】集積回路装置Ａ（１３１）のＳＥＮＳＥ信
号（電極Ｔ₇ ）の出力がＨであれば短絡なし，Ｌであれ
ば短絡ありと判定する。 電源電極との短絡試験 対象となる電極（集積回路装置Ａ（１３１））のＥＮＡ
ＢＬＥ０はＬとして，ゲート回路１４１は無効とする。

【０１３２】ＥＮＡＢＬＥ１をＬとして，ゲート（ＤＶ
１）１４３を有効とし，ＤＲＩＶＥ１にＬを入力する。
ＥＮＡＢＬＥ２はＨとして，ゲート（ＤＶ２）１４４は
無効とする。

【０１３３】その他の電極（集積回路装置Ｃ１３３）の
ＥＮＡＢＬＥ０はＬとして，ゲート回路１６１は無効と
する。ＥＮＡＢＬＥ１をＬとして，ゲート（ＤＶ１）１
６３を有効とし，ＤＲＩＶＥ１にＬを入力する。

【０１３４】ＥＮＡＢＬＥ２はＨとして，ゲート（ＤＶ
２）１６４は無効とする。正しい接続先の電極（集積回
路装置Ｂ（１３２）のＥＮＡＢＬＥ０はＬとして，ゲー
ト回路１５１は無効とする。

【０１３５】ＥＮＡＢＬＥ１をＬとして，ゲート（ＤＶ
１）１５３を有効とし，ＤＲＩＶＥ１にＬを入力する。
ＥＮＡＢＬＥ２はＨとしてゲート（ＤＶ２）１５４は無
効とする。

【０１３６】なお，接地電極との短絡試験では，その他
の電極（集積回路装置Ｃ），正しい接続先（集積回路装
置Ｂ）のＥＮＡＢＬＥ１，ＥＮＡＢＬＥ２をＨとしてＤ
Ｖ（１），ＤＶ（２）を無効としておいても良い。

【０１３７】集積回路装置Ａ（１３１）のＳＥＮＳＥ信
号（電極Ｔ₆ ）の出力がＬであれば短絡なし，Ｈであれ
ば短絡ありと判定する。 対象ＬＳＩの電極の短絡試験 対象ＬＳＩの短絡試験は図６の集積回路装置Ａの外部接
続電極が集積回路装置Ｃの外部接続電極と短絡している
か，いないかを試験するものである。

【０１３８】この試験方法は，対象ＬＳＩ（集積回路装
置Ａ）のゲート（ＤＶ１）１４３にＨ，短絡試験の対象
電極のゲート（ＤＶ２）１６４にＬを入力する場合と，
対象ＬＳＩ（集積回路装置Ａ）のゲート（ＤＶ１）１４
３にＬ，短絡試験の対象電極のゲート（ＤＶ２）１６４
にＨを入力する場合の２通りの方法があるが，前者につ
いて説明する。

【０１３９】対象となる電極（集積回路装置Ａ（１３
１））のＥＮＡＢＬＥ０はＬとして，ゲート回路１４１
は無効とする。ＥＮＡＢＬＥ１をＬとして，ゲート（Ｄ
Ｖ１）１４３を有効とし，ＤＲＩＶＥ１にＬを入力す
る。

【０１４０】ＥＮＡＢＬＥ２はＨとして，ゲート（ＤＶ
２）１４４は無効とする。その他の電極（集積回路装置
Ｃ（１３３））のＥＮＡＢＬＥ０はＬとして，ゲート回
路１６１は無効とする。

【０１４１】ＥＮＡＢＬＥ１はＨとして，ゲート（ＤＶ
１）１６３を無効とする。ＥＮＡＢＬＥ２はＬとし，Ｄ
ＲＩＶＥ２をＨとしてゲート（ＤＶ２）１６４にＨを入
力する。

【０１４２】正しい接続先の電極（集積回路装置Ｂ（１
３２））のＥＮＡＢＬＥ０はＬとして，ゲート回路１５
１は無効とする。ＥＮＡＢＬＥ１はＨとして，ゲート
（ＤＶ１）１５３は無効とする。

【０１４３】ＥＮＡＢＬＥ２をＨとして，ゲート（ＤＶ
２）１５４を無効とする。このとき，対象となる電極
（図６の電極Ｔ₇ ）とその他の電極（図６の回路接続電
極Ｔ₂₇）との間に短絡があれば，抵抗Ｒのためにゲート
（ＲＶ）１４５には集積回路装置Ｃのゲート（ＤＶ２）
１６４の出力電圧Ｌが検出され，短絡がなければ，集積
回路装置Ａのゲート（ＤＶ１）１４３の出力電圧Ｈが検
出される。そのため，集積回路装置Ａ（１３１）のＳＥ
ＮＳＥ信号（図６の電極Ｔ₇ ）の出力がＬであれば短絡
あり，Ｈであれば短絡なしと判定する。

【０１４４】また，前述したように この試験方法は対
象ＬＳＩ（集積回路装置Ａ）のＤＶ１にＬ，短絡試験の
対象電極（集積回路装置Ｃ）のゲート（ＤＶ２）１６４
にＨを入力しても行うことができる。この場合には，対
象となる電極（電極Ｔ₇ ）とその他の電極（回路接続電
極Ｔ₂₇）との間に短絡があれば，抵抗Ｒのためにゲート
（ＲＶ）１４５には集積回路装置Ｃのゲート（ＤＶ２）
１６４の出力電圧Ｈが検出され，短絡がなければ，集積
回路装置Ａのゲート（ＤＶ１）１４３の出力電圧Ｌが検
出される。そのため，集積回路装置Ａ（１３１）のＳＥ
ＮＳＥ信号（出力電極Ｔ₇ ）の出力がＨであれば短絡あ
り，Ｌであれば短絡なしと判定する。

【０１４５】 接続先との接続試験 接続先との接続試験は，対象となる電極（集積回路装置
Ａ）が正しい接続先（集積回路装置Ｂ）の外部接続電極
と正しく接続されているか，いないかを試験するもので
ある。

【０１４６】この試験方法は，対象ＬＳＩ（集積回路装
置Ａ）のゲート（ＤＶ１）１４３にＬ，接続試験の対象
電極（集積回路装置Ｂ）のゲート（ＤＶ２）１５４にＨ
を入力する場合と，対象ＬＳＩ（集積回路装置Ａ）のゲ
ート（ＤＶ１）１４３にＨ，接続試験の対象電極（集積
回路装置Ｂ）のゲート（ＤＶ２）１５４にＬを入力する
場合の２通りの方法があるが，前者について説明する。

【０１４７】対象となる電極（集積回路装置Ａ）のＥＮ
ＡＢＬＥ０はＬとして，ゲート回路１４１は無効とす
る。ＥＮＡＢＬＥ１をＬとして，ゲート（ＤＶ１）１４
３を有効とし，ＤＲＩＶＥ１にＬを入力する。

【０１４８】ＥＮＡＢＬＥ２はＨとしてゲート（ＤＶ
２）１４４は無効とする。その他の電極（集積回路装置
Ｃ）のＥＮＡＢＬＥ０はＬとして，ゲート回路１６１は
無効とする。

【０１４９】ＥＮＡＢＬＥ１はＨとして，ゲート（ＤＶ
１）１６３を無効とする。ＥＮＡＢＬＥ２はＬとし，Ｄ
ＲＩＶＥ２をＨとしてゲート（ＤＶ２）１６４にＨを入
力する。ＥＮＡＢＬＥ２をＨとしてゲート（ＤＶ２）１
６４を無効としておいても良い。

【０１５０】正しい接続先の電極（集積回路装置Ｂ）の
ＥＮＡＢＬＥ０はＬとして，ゲート回路１５１は無効と
する。ＥＮＡＢＬＥ１はＨとしてゲート（ＤＶ１）１５
３は無効とする。

【０１５１】ＥＮＡＢＬＥ２をＬ，ＤＲＩＶＥ２をＨと
してゲート（ＤＶ２）１５４にＨを入力する。このと
き，対象となる電極（電極Ｔ₇ ）とその他の電極（回路
接続電極Ｔ₁₇）とが正しく接続されていれば，抵抗Ｒの
ためにゲート（ＲＶ）１４５には集積回路装置Ｂのゲー
ト（ＤＶ１）１５３の出力電圧Ｈが検出され，接続がな
ければ，集積回路装置Ａのゲート（ＤＶ１）１４３の出
力電圧Ｌが検出される。そのため，集積回路装置Ａ（１
３１）のＳＥＮＳＥ信号（電極Ｔ₆ ）の出力がＨであれ
ば正しく接続されているとし，Ｌであれば接続なしと判
定する。

【０１５２】また，前述したように この試験方法は対
象ＬＳＩ（集積回路装置Ａ）のゲート（ＤＶ１）１４３
にＨ，接続試験の対象電極（集積回路装置Ｂ）のゲート
（ＤＶ２）１４４にＬを入力しても行うことができる。
ごの場合には，このとき，対象となる電極（電極Ｔ₇ ）
とその他の電極（回路接続電極Ｔ₁₇）との間に接続があ
れば，抵抗Ｒのためにゲート（ＲＶ）１４５には集積回
路装置Ｂのゲート（ＤＶ２）１５４の出力電圧Ｌが検出
され，接続がなければ集積回路装置Ａのゲート（ＤＶ
１）１４３の出力電圧Ｈが検出される。そのため，集積
回路装置Ａ（１３１）のＳＥＮＳＥ信号の出力がＬであ
れば接続あり，Ｈであれば接続なしと判定する。

【０１５３】図８は本発明の実施例３である。図８は，
各ケートに入力する制御信号（ＥＮＡＢＬＥ０，ＥＮＡ
ＢＬＥ１，ＥＮＡＢＬＥ２），ＤＲＩＶＥ信号（ＤＲＩ
ＶＥ１，ＤＲＩＶＥ２）のパターンを集積回路装置の内
部に保持し，テスト内容に応じて選択して供給する場合
を示す。

【０１５４】図８において，１１１は集積回路装置であ
る。１４１はゲート回路であって，内部回路である。

【０１５５】１４２はテスト回路である。１４３は電圧
供給部１（ＤＶ１）である。１４４は電圧供給部２（Ｄ
Ｖ２）である。

【０１５６】１４５は電圧検出部（ＲＶ）である。１４
６は抵抗Ｒである。１８０はテスト信号入力部であっ
て，テストモードを選択する信号の入力部である。

【０１５７】１８１はテストデータ保持部であって，図
７のテストパターンを保持するものである。１８２はテ
ストモード選択部であって，テストする内容を選択し，
テスト内容に応じたテストパターンをテストデータ保持
部１８１から取り出し，各ゲートに入力するものであ
る。

【０１５８】

【発明の効果】本発明によれば，簡単な回路構成で電極
の接続試験を行うことができる。そのため，集積回路装
置におけるテスト回路の占める割合を小さくすることが
できる。

【０１５９】本発明によれば，回路の電極と基板もしく
は他の回路との接続状態を簡単な回路で高速に試験する
ことができる。そのため，回路の電極の接続試験が効率
的にできるだけでなく，回路の余分なテスト回路を省略
できるので，その分，本来必要とする回路を集積化する
ことができるようになる。あるいは，論理テストするテ
スト回路と一緒に本発明を構成した場合にも，電極の接
続試験だけを簡単に行うことができ，回路構成が簡単で
あるので集積回路の設計上の負担を少なくすることがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の基本構成(1) を示す図である。

【図２】本発明の基本構成(2) を示す図である。

【図３】本発明のテスト回路の抵抗回路の作用説明図で
ある。

【図４】本発明の実施例構成を示す図である。

【図５】本発明のテスト回路の実施例１を示す図であ
る。

【図６】本発明の実施例２を示す図である。

【図７】本発明の実施例２の動作例を示す図である。

【図８】本発明の実施例３を示す図である。

【図９】本発明の集積回路装置のテスト回路を示す図で
ある。

【符号の説明】

１：基板 ２：回路 ３：内部回路 ４：テスト回路 ５：電圧供給部 ６：接続制御部 ７：電圧検出部 ８：抵抗回路

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 本木 孝哉 石川県河北郡宇ノ気町字宇野気ヌ98番地の ２ 株式会社ピーエフユー内 (72)発明者 塩澤 聡 石川県河北郡宇ノ気町字宇野気ヌ98番地の ２ 株式会社ピーエフユー内

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ＨもしくはＬの試験信号を電極に出力す
   る電圧供給部と，電圧供給部の出力のオンもしくはオフ
   を制御する接続制御部と，電圧供給部と該電極の間に接
   続される抵抗回路と，該電極に生じる電圧を検出する電
   圧検出部とを備えて電極に生じる電圧により電極と接地
   端子もしくは電源端子との接続の有無を判定するテスト
   回路を内蔵することを特徴とするテスト回路内蔵集積回
   路装置。
2. 【請求項２】 電圧供給部および接続制御部を制御端子
   付きゲート回路により構成し、電圧検出部をゲート回路
   により構成することを特徴とする請求項１に記載のテス
   ト回路内蔵集積回路装置。
3. 【請求項３】 ＨもしくはＬの試験信号を抵抗を介して
   電極に出力する電圧供給部１と，電圧供給部１の出力の
   オンもしくはオフの制御をする接続制御部１と，電圧供
   給部１と電極の間に接続される抵抗回路と，Ｈもしくは
   Ｌの試験信号を抵抗を介することなく電極に出力する電
   圧供給部２と，電圧供給部２の出力のオンもしくはオフ
   を制御する接続制御部２と，該電極に生じる電圧を検出
   する電圧検出部とを備えて電極と接地端子および電源端
   子および他の外部接続電極との接続の有無を試験するテ
   スト回路を内蔵することを特徴とするテスト回路内蔵集
   積回路装置。
4. 【請求項４】 電圧供給部１および接続制御部１を制御
   端子付きゲートにより構成し、電圧供給部２および接続
   制御部２を制御端子付きゲート回路により構成し、電圧
   検出部をゲート回路により構成することを特徴とする請
   求項３に記載のテスト回路内蔵集積回路装置。
5. 【請求項５】 請求項１もしくは２の記載のテスト回路
   内蔵集積回路装置の試験方法において，電圧供給部の出
   力する試験信号をＨとし，電圧検出部の検出電圧がＨの
   とき試験対象の電極と接地端子との間に短絡はないと判
   定し，電圧検出部の検出電圧がＬのとき試験対象の電極
   と接地端子との間に短絡があると判定することを特徴と
   する集積回路装置の試験方法。
6. 【請求項６】 請求項１もしくは２に記載のテスト回路
   内蔵集積回路装置の試験方法において，電圧供給部の出
   力する試験信号をＬとし，電圧検出部の検出電圧がＬの
   とき試験対象の電極と電源端子との間に短絡はないと判
   定し，電圧検出部の検出電圧がＨのとき試験対象の電極
   と電源端子との間に短絡があると判定することを特徴と
   する集積回路装置の試験方法。
7. 【請求項７】 請求項３もしくは４に記載のテスト回路
   内蔵集積回路装置の試験方法において，試験対象の電極
   を電極Ａ，電極Ａに接続されるべき電極を電極Ｂ，電極
   Ａと接続されるべきでない電極を電極Ｃとし，該電極Ａ
   のテスト回路をテスト回路Ａ，該電極Ｂのテスト回路を
   テスト回路Ｂ，該電極Ｃのテスト回路をテスト回路Ｃと
   したとき，テスト回路Ａの電圧供給部１の出力がオン，
   電圧供給部２の出力がオフになるようにそれぞれの制御
   信号を設定し，電圧供給部１の出力をＨもしくはＬに設
   定し，テスト回路Ｂの電圧供給部１および電圧供給部２
   の出力がオフになるようにそれぞれの制御信号を設定
   し，テスト回路Ｃの電圧供給部１の出力がオフ，電圧供
   給部２の出力がオンになるようにそれぞれの制御信号を
   設定し，電圧供給部２の出力はテスト回路Ａの電圧供給
   部１の出力値と異なるように設定し，テスト回路Ａの電
   圧検出部が，テスト回路Ａの電圧供給部１の出力電圧を
   検出したときは電極Ａと電極Ｃとの間に短絡はないと判
   定し，テスト回路Ａの電圧検出部がテスト回路Ｃの電圧
   供給部２の出力電圧を検出したときは電極Ａと電極Ｃと
   の間に短絡があると判定することを特徴とする集積回路
   装置の試験方法。
8. 【請求項８】 請求項３もしくは４に記載のテスト回路
   内蔵集積回路装置の試験方法において，試験対象の電極
   を電極Ａ，電極Ａに接続されるべき電極を電極Ｂ，電極
   Ａと接続されるべきでない電極を電極Ｃとし，該電極Ａ
   のテスト回路をテスト回路Ａ，該電極Ｂのテスト回路を
   テスト回路Ｂ，該電極Ｃのテスト回路をテスト回路Ｃと
   したとき，テスト回路Ａの電圧供給部１の出力がオン，
   電圧供給部２の出力がオフになるようにそれぞれの制御
   信号を設定し，電圧供給部１の出力をＨもしくはＬに設
   定し，テスト回路Ｂの電圧供給部１の出力がオフ，電圧
   供給部２の出力がオンになるようにそれぞれの制御信号
   を設定し，電圧供給部２の出力はテスト回路Ａの電圧供
   給部１の出力値と異なるように設定し，テスト回路Ｃの
   電圧供給部１および電圧供給部２の出力がオフになるよ
   うにそれぞれの制御信号を設定し，テスト回路Ａの電圧
   検出部が，テスト回路Ａの電圧供給部１の出力電圧を検
   出したときは電極Ａと電極Ｂとの間に接続はないと判定
   し，テスト回路Ａの電圧検出部がテスト回路Ｂの電圧供
   給部２の出力電圧を検出したときは電極Ａと電極Ｂとの
   間に接続があると判定することを特徴とする集積回路装
   置の試験方法。
9. 【請求項９】 請求項８において，電極Ａと電極Ｃとの
   間に短絡はないことが試験により確認されている状態に
   おいて，電極Ｃの電圧供給部２の出力はオンになるよう
   に制御信号を設定し，電圧供給部２の出力値は電極Ａの
   電圧供給部１の出力値と異なるように設定することを特
   徴とする集積回路装置の試験方法。