JP2003161757A - 電圧測定方法 - Google Patents
電圧測定方法Info
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- JP2003161757A JP2003161757A JP2001363520A JP2001363520A JP2003161757A JP 2003161757 A JP2003161757 A JP 2003161757A JP 2001363520 A JP2001363520 A JP 2001363520A JP 2001363520 A JP2001363520 A JP 2001363520A JP 2003161757 A JP2003161757 A JP 2003161757A
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Abstract
テスタによりフォトモスリレーのオン抵抗を測定する場
合に適用して、ICテスタにおいて、駆動源により検査
対象を駆動した状態で、電流駆動により電圧を測定する
場合に、測定精度の劣化を有効に回避することができる
ようにする。 【解決手段】 本発明は、検査対象7の駆動用端子の一
端を定電圧源4Aにより一定電圧に保持し、この駆動用
端子の他端を駆動源4Cに接続した状態で、測定端子に
定電流4Bを接続して端子電圧を測定する。
Description
し、例えばICテスタによりフォトモスリレーのオン抵
抗を測定する場合に適用することができる。本発明は、
検査対象の駆動用端子の一端を定電圧源により一定電圧
に保持し、この駆動用端子の他端を駆動源に接続した状
態で、測定端子に定電流源を接続して端子電圧を測定す
ることにより、ICテスタにおいて、駆動源により検査
対象を駆動した状態で、電流駆動により電圧を測定する
場合に、測定精度の劣化を有効に回避することができる
ようにする。
Cテスタにより各種製品の特性を検査して出荷するよう
になされている。このためICテスタにおいては、スイ
ッチユニットにおける接続の設定により、検査対象との
間の接続を切り換えて種々の特性を測定することができ
るようになされ、さらにはプローブの交換により種々の
検査対象に対応できるようになされている。
よりフォトモスリレー7を検査する場合を示すブロック
図である。ここでフォトモスリレー7は、発光ダイオー
ド7Aと、MOS型トランジスタによる受光部7Bとに
よるフォトカップラーである。
して、コントローラ3により制御可能な複数台の測定ユ
ニット4A、4B、……をプローブ5に接続して構成さ
れ、検査対象の形状に応じてプローブ5を交換し、さら
にはスイッチユニット2の接点、測定ユニット4A、4
B、……の動作をコントローラ3により切り換えて各種
製品に対応できるようになされている。
等により構成され、測定ユニット4A、4B、……、ス
イッチユニット2等の動作を制御し、また測定ユニット
4A、4B、……による測定結果を集計して処理する。
れ定電圧源、定電流源等による駆動源、電流測定回路、
電圧測定回路等による測定回路を有するユニットであ
り、駆動源の出力ラインLF、この出力ラインに対応す
るアースラインEF、測定回路のセンシングラインL
S、このセンシングラインLSに対応するアースライン
ESが設けられるようになされている。測定ユニット4
A、4B、……は、コントローラ3の制御により、出力
ラインLFへの出力を切り換え、またセンシングライン
LSによる測定対象を切り換え、測定結果をコントロー
ラ3に出力するようになされている。
応するようにコンタクトピンを配置してなる治具であ
り、検査対象の形状に応じて交換されるようになされて
いる。プローブ5は、各コンタクトピンに、駆動用の電
源等を供給する出力ラインFと、測定用のセンシングラ
インSとが設けられるようになされている。
制御により、プローブ5と測定ユニット4A、4B、…
…との接続を切り換える機構であり、マトリックス状に
配置した複数スイッチの接点を切り換えることにより、
測定ユニット4A、4B、……の出力ラインLF、対応
するアースラインEFをプローブ5の出力ラインFに接
続し、また測定ユニット4A、4B、……のセンシング
ラインLS、対応するアースラインESをプローブ5の
センシングラインSに接続する。
例えば発光ダイオード7Aの電圧電流特性を測定する場
合には、所望の測定ユニットの出力ラインLF及びセン
シングラインLSを発光ダイオード7Aのアノードに接
続するように、また対応するアースラインEF、ESを
発光ダイオード7Aのカソードに接続するように、スイ
ッチユニット2の接点を設定した後、この測定ユニット
により電圧を可変しながら電流を測定することにより、
コントローラ3で測定結果を取得できるようになされて
いる。
7のオン抵抗を測定する場合、第1及び第2の測定ユニ
ット4A及び4BのアースラインEF、ESが測定ユニ
ット4A及び4Bの出力端で接続された状態で、例えば
第1の測定ユニット4Aの出力ラインLF及びセンシン
グラインLSを、測定用端子の一端である受光部7Bの
一端に接続するように、また対応するアースラインE
F、ESを測定用端子の他端である受光部7Bの他端に
接続するように、スイッチユニット2の接点を設定す
る。また第2の測定ユニット4Bの出力ラインLF及び
センシングラインLSを、駆動用端子の一端である発光
ダイオード7Aのアノードに接続するように、また対応
するアースラインFE、ESを駆動用端子の他端である
発光ダイオード7Aの他端に接続するように、スイッチ
ユニット2の接点を設定する。
ット4Bより5〔mA〕の定電流で発光ダイオード7A
を駆動し、この状態で、第1の測定ユニット4Aより1
00〔mA〕の定電流を受光部7Bに供給すると共に、
受光部7Bの端子電圧を検出する。また図6に示すよう
に、第1の測定ユニット4Aの出力ラインLF及びセン
シングラインLS、対応するアースラインEF、ESの
接続を切り換え、同様にして第1の測定ユニット4Aよ
り100〔mA〕の定電流を受光部7Bに供給すると共
に、受光部7Bの端子電圧を検出する。ICテスタ1で
は、この受光部7B側の端子電圧と印加電流とをコント
ローラ3により処理して、オン抵抗を検出する。
査対象について、測定ユニット4A、4B、……の動
作、スイッチユニット2の設定を切り換えて、種々の項
目を測定、検査できるようになされている。
成による、フォトモスリレー7のオン抵抗の測定におい
ては、比較的、オン抵抗が大きな場合には、実用十分な
精度を確保できるものの、オン抵抗が1〔Ω〕以下にな
ると測定精度が著しく劣化することが判った。
レー7についてこれを詳細に検討したところ、受光部7
Bを定電流駆動してコンタクトピンの部分で各端子間の
電圧を測定すると、この部位では、オン抵抗に対応する
端子間電圧が正しく測定されるのに対し、測定ユニット
4B側では正しい測定結果を得ることが困難なことが判
った。
の各ラインがケーブルによりコンタクトピンから測定ユ
ニット4A、4B、……まで引き回され、測定ユニット
4A、4B、……の根元の部分で共通に接地されている
ことにより、このケーブルのインピーダンスにより矢印
Aにより示すように、アースラインを通って測定ユニッ
ト4Bに戻る電流が迷走し、これにより測定誤差が大き
くなったものと考えられる。
フォトモスリレー7におけるオン抵抗の測定だけでな
く、この種のICテスタにおいて、信号源、電流源、電
流源等の駆動源により検査対象を駆動した状態で、電流
駆動により電圧を測定する場合に広く発生すると考えら
れる。
で、この種のICテスタにおいて、駆動源により検査対
象を駆動した状態で、電流駆動により電圧を測定する場
合に、測定精度の劣化を有効に回避することができる電
圧測定方法を提案しようとするものである。
め請求項1の発明においては、スイッチユニットにおけ
る接続の設定により、検査対象との間の接続を切り換え
て検査対象の特性を測定するICテスタにおける電圧測
定方法において、検査対象の駆動用端子の一端を定電圧
源により一定電圧に保持し、駆動用端子の他端を定電圧
源に接続した状態で、検査対象の測定端子に定電流源を
接続して、測定端子の端子電圧を測定する。
の構成において、定電流源による電流値と、端子電圧と
により測定端子間の抵抗値を検出する。
トにおける接続の設定により、検査対象との間の接続を
切り換えて検査対象の特性を測定するICテスタにおけ
る電圧測定方法において、検査対象の駆動用端子の一端
を定電圧源により一定電圧に保持し、駆動用端子の他端
を定電圧源に接続した状態で、検査対象の測定端子に定
電流源を接続して、測定端子の端子電圧を測定すること
により、測定端子の他端に接続された定電圧源によっ
て、この他端側のインピーダンスを極めて小さな値に設
定することができ、これにより測定端子間の抵抗値が小
さい場合でも、アース側電流の迷走による測定端子の電
圧の変動を防止することができ、その分、測定精度を向
上することができる。
項1の構成において、定電流源による電流値と、端子電
圧とにより測定端子間の抵抗値を検出することにより、
高い精度により微小な抵抗値を測定することができる。
発明の実施の形態を詳述する。
したICテスタを示すブロック図である。このICテス
タ21において、図4について上述したICテスタ1と
同一の構成は、対応する符号を付して示し、重複した説
明は省略する。
7の製造工程において、測定ユニット4A、4B、4
C、……、スイッチユニット2の設定の切り換えによ
り、発光ダイオード7Aの各種特性、受光部7Bの各種
特性、発光ダイオード7Aと受光部7Bとの間の応答特
性等を測定する。これらの特性の測定のうち、オン抵抗
の測定においては、この図1に示す接続にスイッチユニ
ット2の設定が切り換えられる。
テスタ21は、第1〜第3の測定ユニット4A〜4Cの
アースラインEF、ESが出力端で接続された状態で、
第1の測定ユニット4Aの出力ラインLF、センシング
ラインLSが駆動用端子の一端である発光ダイオード7
Aのカソードに接続され、第3の測定ユニット4Cの出
力ラインLF、センシングラインLSが駆動用端子の他
端である発光ダイオード7Aのアノードに接続される。
これに対して第2の測定ユニット4Bの出力ラインL
F、センシングラインLSが測定用端子の一端である受
光部7Bの一端に接続され、測定用端子の他端である受
光部7Bの他端が、第1の測定ユニット4Aのアースラ
インEF、ESに接続される。
Cのうち、第1の測定ユニット4Aは、定電圧駆動によ
り駆動用端子の他端である発光ダイオード7Aのカソー
ド電位を一定電圧に保持し、これによりこの発光ダイオ
ード7Aのカソードに接続されてなるアース側ラインの
インピーダンスを十分に小さな値に保持するようになさ
れている。なおこの実施の形態においては、第1の測定
ユニット4Aは、カソード電位を0〔V〕に保持するよ
うになされている。
定電流により受光部7Bを駆動し、受光部7Bの端子電
圧を測定し、第3の測定ユニット4Cは、定電流により
発光ダイオード7Aを駆動する。
21は、発光ダイオード7Aのカソードを測定ユニット
4Aによる定電圧源により一定電圧に保持した状態で、
測定ユニット4Cにより発光ダイオード7Aを発光させ
て受光部7Bをオン状態に設定し、測定ユニット4Bに
より定電流駆動して電圧測定することにより、受光部7
Bのオン抵抗を測定するようになされている。なおこの
実施の形態においては、発光ダイオード7Aを5〔m
A〕の定電流により駆動し、この状態で、受光部7Bを
100〔mA〕の定電流により駆動するようになされ、
受光部7Bで約10〔V〕の端子電圧を検出するように
なされている。
についてオン抵抗を測定すると、図1において、黒丸に
より示す第2の測定ユニット4Bの出力ラインLF、セ
ンシングラインLS、第1の測定ユニット4Aのアース
ラインEF、ESの接続を、×印に示す接続に切り換
え、これにより受光部7Bの接続を切り換え、逆極性に
よりフォトモスリレー7のオン抵抗を測定する。
すように、この場合も、ICテスタ21は、発光ダイオ
ード7Aのカソードを測定ユニット4Aによる定電圧源
により一定電圧に保持した状態で、測定ユニット4Cに
より発光ダイオード7Aを発光させて受光部7Bをオン
状態に設定し、測定ユニット4Bにより定電流駆動して
電圧測定することにより、受光部7Bのオン抵抗を測定
するようになされている。
測定対象である製品の形状に応じてプローブ5が交換さ
れ、これによりプローブ5に配置されたコンタクトプロ
ーブが検査対象の端子に接触できるように設定される。
またコントローラ3の制御により、測定する特性に応じ
てスイッチユニット2の接続が切り換えられ、これによ
り検査対象との間の接続が切り換えられる。
抵抗を測定する場合、ICテスタ21においては、駆動
用端子である発光ダイオード7Aのアノードに定電流源
に設定してなる測定ユニット4Cが接続され、また駆動
用端子の他端である発光ダイオード7Aの他端が定電圧
源に設定された測定ユニット4Aに接続され、これによ
りこの駆動用端子の他端が一定電圧に保持される。
の発光ダイオード7Aのカソード側である測定端子にお
いては、インピーダンスを十分に小さな値に保持するよ
うになされ、これにより駆動用端子の他端より測定ユニ
ット側に戻るリターン電流が他のラインを迷走する現象
を防止することができ、この現象による測定端子の電圧
の変動を防止することができる。
に設定した測定ユニット4Bにより測定端子側を駆動
し、この測定ユニット4Bにより端子間電圧を測定し
て、高い精度により端子間電圧を測定することができ、
この測定結果に基づいてオン抵抗を高い精度による測定
することができる。
電圧源により一定電圧に保持し、この駆動用端子の他端
を駆動源に接続した状態で、測定端子に定電流源を接続
して端子電圧を測定することにより、ICテスタにおい
て、駆動源により検査対象を駆動した状態で、電流駆動
により電圧を測定する場合に、測定精度の劣化を有効に
回避することができる。
オン抵抗の測定に本発明を適用する場合について述べた
が、本発明はこれに限らず、この種のICテスタにおい
て、定電流、定電圧、交流電源等による駆動源検査対象
を駆動した状態で、この検査対象を電流駆動して電圧を
測定する場合に広く適用することができる。
の駆動用端子の一端を定電圧源により一定電圧に保持
し、この駆動用端子の他端を駆動源に接続した状態で、
測定端子に定電流源を接続して端子電圧を測定すること
により、ICテスタにおいて、駆動源により検査対象を
駆動した状態で、電流駆動により電圧を測定する場合
に、測定精度の劣化を有効に回避することができる。
ロック図である。
に供する接続図である。
する接続図である。
に供する接続図である。
する接続図である。
ントローラ、4A〜4C……測定ユニット、5……プロ
ーブ、7……フォトモスリレー、
Claims (2)
- 【請求項1】スイッチユニットにおける接続の設定によ
り、検査対象との間の接続を切り換えて前記検査対象の
特性を測定するICテスタの電圧測定方法において、 前記検査対象の駆動用端子の一端を定電圧源により一定
電圧に保持し、前記駆動用端子の他端を駆動源に接続し
た状態で、 前記検査対象の測定端子に定電流源を接続して、前記測
定端子の端子電圧を測定することを特徴とする電圧測定
方法。 - 【請求項2】前記定電流源による電流値と、前記端子電
圧とにより前記測定端子間の抵抗値を検出することを特
徴とする請求項1に記載の電圧測定方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001363520A JP2003161757A (ja) | 2001-11-29 | 2001-11-29 | 電圧測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001363520A JP2003161757A (ja) | 2001-11-29 | 2001-11-29 | 電圧測定方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003161757A true JP2003161757A (ja) | 2003-06-06 |
Family
ID=19173846
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001363520A Pending JP2003161757A (ja) | 2001-11-29 | 2001-11-29 | 電圧測定方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2003161757A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113359022A (zh) * | 2021-07-01 | 2021-09-07 | 深圳群芯微电子有限责任公司 | 一种筛选光mos继电器的测量方法、电路及装置 |
-
2001
- 2001-11-29 JP JP2001363520A patent/JP2003161757A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN113359022A (zh) * | 2021-07-01 | 2021-09-07 | 深圳群芯微电子有限责任公司 | 一种筛选光mos继电器的测量方法、电路及装置 |
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