JP6781120B2

JP6781120B2 - 検査装置

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Publication number: JP6781120B2
Application number: JP2017158070A
Authority: JP
Inventors: 治新井
Original assignee: Micronics Japan Co Ltd
Current assignee: Micronics Japan Co Ltd
Priority date: 2017-08-18
Filing date: 2017-08-18
Publication date: 2020-11-04
Anticipated expiration: 2037-08-18
Also published as: US20190056458A1; TWI708302B; US10969442B2; KR102165295B1; TW201913848A; JP2019035694A; KR20190019841A

Description

本発明は、検査装置に関する。

従来から、プローブカードなど、様々な種類の検査装置が使用されている。例えば、被検査体が受光デバイスであるＣＭＯＳイメージセンサーなどの受光デバイス検査用のプローブカードや、特許文献１及び特許文献２で開示されるような被検査体が発光デバイスである発光デバイス検査用のプローブカードなどが使用されている。

特開昭６２−５８６５０号公報特開平７−２０１９４５号公報

特許文献１及び特許文献２で開示されるような、被検査体から発光される光を受光する受光部を有する従来の検査装置においては、受光部を交換することがユーザーに望まれる場合がある。例えば、複数の受光部を有する検査装置において一部の受光部が故障し、これを交換することが望まれる場合がある。さらには、複数種類の被検査体を検査可能な構成の検査装置において、検査する被検査体の種類に応じて受光部を取り付け及び取り外しすることが望まれる場合がある。

しかしながら、特許文献１で開示される検査装置（非接触形プローブカード）においては、受光部が光伝送ケーブルで構成されており、受光部を交換する場合に光伝送ケーブルごと交換しなければならないので、受光部の交換を容易にすることができる構成にはなっていない。

また、特許文献２で開示される検査装置（半導体検査装置）においては、受光部が光ファイバーと一体的に構成されているもの（受光部の交換を容易にすることができない構成）のほか、様々な種類の受光部としての受光装置を備える構成が開示されている。しかしながら、特許文献２では、受光装置の小型化、構造の簡易化、低価格化に言及しているにすぎず、受光装置と該受光装置で受光した光の経路との関係が明らかではないため、受光部の交換を容易にすることができる構成にはなっていないと言える。

このように、被検査体から発光される光を受光する受光部を有する従来の検査装置においては、受光部の交換が困難である。

そこで、本発明の目的は、検査装置において被検査体から発光される光を受光する受光部の交換を容易にすることである。

本発明の第１の態様に係る検査装置は、被検査体から発光される光を受光する受光部を保持する保持部と、前記受光部で受光した前記光の経路である光伝送路が形成された光経路形成部と、を備え、前記光伝送路は、前記受光部とは別部材で形成されていることを特徴とする。

本態様によれば、受光部を保持する保持部と、受光部で受光した光の経路が形成された光経路形成部と、を別々に備えている。また、受光部と光伝送路とを別々に備えている。このため、例えば、保持部を光経路形成部から取り外して該保持部から任意の受光部を取り外すことや、受光部を保持する保持部ごと交換することなどにより、受光部を容易に交換することができる。

本発明の第２の態様に係る検査装置は、前記第１の態様において、前記被検査体に接触するプローブと、前記プローブと電気的に繋がる電気配線と、を備えることを特徴とする。

本態様によれば、被検査体に接触するプローブと、該プローブと電気的に繋がる電気配線と、を備える。このため、例えば、プローブを介して被検査体に電圧を印加して被検査体を発光させるなどすることで、被検査体の検査を容易にすることができる。

本発明の第３の態様に係る検査装置は、前記第１又は第２の態様において、前記受光部は、前記被検査体から発光される前記光を収束するレンズであり、前記保持部と前記光経路形成部とは、前記光の進行方向において離れた位置に配置されていることを特徴とする。

本態様によれば、受光部は被検査体から発光される光を収束するレンズである。このため、被検査体から発光される光を効率よく集めることができる。また、保持部と光経路形成部とは光の進行方向において離れた位置に配置されているので、レンズにより収束する光を焦点位置近傍で効率よく集めることができる。

本発明の第４の態様に係る検査装置は、前記第３の態様において、前記光の進行方向における前記保持部と前記光経路形成部との間隔を調整する間隔調整部を備えることを特徴とする。

本態様によれば、光の進行方向における保持部と光経路形成部との間隔を調整する間隔調整部を備えるので、該間隔を調整することで、レンズにより収束する光を特に焦点位置近傍で集めることができる。

本発明の第５の態様に係る検査装置は、前記第４の態様において、前記間隔調整部は、ネジを有することを特徴とする。

本態様によれば、間隔調整部はネジを有するので、簡単に間隔調整ができるとともに簡単に間隔調整部を形成できる。

本発明の第６の態様に係る検査装置は、前記第３から第５のいずれか１つの態様において、前記光経路形成部は、前記被検査体から発光された前記光が前記レンズにより収束する位置に前記光の進行方向を変えるミラーを有することを特徴とする。

本態様によれば、被検査体から発光された光がレンズにより収束する位置に光の進行方向を変えるミラーを有するので、レンズにより収束する光を焦点位置近傍で集めることができるとともに、光の進行方向を変えることで光経路形成部に光経路を好適に配置できる。

本発明の第７の態様に係る検査装置は、前記第１から第６のいずれか１つの態様において、前記保持部は、前記受光部を取り付け及び取り外し可能に構成されていることを特徴とする。

本態様によれば、保持部は受光部を取り付け及び取り外し可能に構成されているので、例えば複数の受光部のうち一部の受光部のみが故障した場合に、故障した受光部のみを交換することができる。

本発明の第８の態様に係る検査装置は、前記第７の態様において、前記受光部は、前記受光部の取り付け及び取り外し方向と交差する方向に突出する突出部を有し、前記保持部は、前記受光部が取り付けられた際に、前記受光部の取り付け及び取り外し方向において前記突出部に対して接触する接触部を有することを特徴とする。

本態様によれば、受光部は該受光部の取り付け及び取り外し方向と交差する方向に突出する突出部を有し、保持部は受光部の取り付け及び取り外し方向において突出部に対して接触する接触部を有する。このような構成とすることで、保持部に対する受光部の取り付け及び取り外し構成を簡単に形成できる。

本発明の第９の態様に係る検査装置は、前記第８の態様において、前記保持部は、前記受光部が取り付けられた際に、前記受光部の取り付け及び取り外し方向において前記接触部とは反対側から前記突出部を押さえる押さえ部を有することを特徴とする。

本態様によれば、保持部は、受光部の取り付け及び取り外し方向において接触部とは反対側から突出部を押さえる押さえ部を有するので、受光部が取り付けられた際に受光部を確りと保持することができる。

本発明の第１０の態様に係る検査装置は、前記第１から第９のいずれか１つの態様において、前記受光部は、前記保持部に形成された貫通孔に組み付けられ、前記光の進行方向と交差する方向の端部における少なくとも一部に有機絶縁膜がコーティングされていることを特徴とする。

本態様によれば、受光部は、光の進行方向と交差する方向の端部における少なくとも一部に有機絶縁膜がコーティングされている。このため、受光部の端部と貫通孔の内面との間に介在する有機絶縁膜がクッションの役割を果たし、受光部を保持部の貫通孔内に保持させることができる。

本発明の実施例１に係る検査装置を表す概略断面図である。本発明の実施例１に係る検査装置の保持部を表す概略平面図である。本発明の実施例１に係る検査装置の保持部を表す概略断面図である。本発明の実施例１に係る検査装置の受光部を表す概略断面図である。本発明の実施例２に係る検査装置の光路形成部及び保持部を表す概略断面図である。本発明の実施例２に係る検査装置の光路形成部及び保持部を表す概略断面図である。

以下に、本発明の一実施例に係る検査装置１について説明する。
［実施例１］（図１〜図４）
最初に、実施例１の検査装置１の概要について説明する。
図１は、本実施例の検査装置１を表す概略断面図である。

本実施例の検査装置１は、被検査体４（シリコンウェハ）が発光デバイスである発光デバイス検査用のプローブカードである。図１で表されるように、本実施例の検査装置１は、プローバ２のステージ５に載せられた被検査体４の検査を実行可能な検査装置である。また、被検査体４の検査の際には、検査装置１は電気特性測定機器６及び光特性測定機器７を有するテスタ３に接続される。検査装置１には電気伝送用の端子８及び光伝送用の端子９が設けられており、テスタ３には電気伝送用の端子１０及び光伝送用の端子１１が設けられている。そして、端子８と端子１０とを電気伝送用のケーブル１２で繋ぎ、端子９と端子１１とを光伝送用のケーブル１３で繋ぐことで、検査装置１はテスタ３に接続される。

また、図１で表されるように、本実施例の検査装置１は、詳細は後述する受光部１７を保持する保持部１４を備えている。また、プローブ１８が取り付けられる（プローブ１８と接続される）電気伝送路２０と、受光部１７で受光した光を伝送する光伝送路１９と、が混成されて形成される混成基板１５を備えている。さらに、電気伝送路２０と端子８とを繋ぐ不図示の電気伝送路（電気配線）が形成された電気配線基板１６を備えている。なお、本実施例の保持部１４はセラミックスで形成されており、特にその素材に限定は無いが、絶縁体で形成されていることが好ましい。

ここで、保持部１４と混成基板１５との間にはスペーサー２１が形成されており、保持部１４と混成基板１５との間に隙間Ｇが形成されている。詳細は後述するが受光部１７の混成基板１５と対向する側の端部には凸レンズ１７ｃ（図４参照）が形成されており、隙間Ｇは凸レンズ１７ｃから照射される光の焦点が光伝送路１９のミラーＭの位置に合うように調整されている。
なお、光伝送路１９における複数形成された各受光部１７（凸レンズ１７ｃ）と対向する位置にはミラーＭが設けられている。また、光伝送路１９における端子９と対向する位置にもミラーＭが設けられている。そして、各受光部１７と対向する位置のミラーＭは、何れも、端子９と対向する位置のミラーＭまで光伝送路１９を介して繋がっている。光伝送路１９がこのような構成をしていることにより、全ての受光部１７のうちいずれの受光部１７から光が照射されても端子９に光が伝送される構成になっている。

上記のように、本実施例の検査装置１は被検査体４が発光デバイスである発光デバイス検査用のプローブカードであるので、被検査体４には電気的接続部としてのウェハパッド２３と発光部２２とが形成されている。本実施例の検査装置１は、ステージ５に載せられた被検査体４に対してプローブ１８がウェハパッド２３と接触して電気的に接続し、発光部２２から照射される光を受光部１７で受光する構成になっている。そして、本実施例の検査装置１は、テスタ３の電気特性測定機器６でプローブ１８と被検査体４の電気的接続を確認しながら、テスタ３の光特性測定機器７で発光部２２から照射される光の受光部１７での受光の有無を確認することで、被検査体４の検査を実行可能な構成となっている。

詳細には、検査装置１は、テスタ３から端子１０、ケーブル１２及び端子８を介して電気を伝送し、電気配線基板１６の不図示の電気伝送路、混成基板１５の電気伝送路２０、プローブ１８（電気入力用プローブ）及びウェハパッド２３（電気入力用ウェハパッド）を介して、被検査体４に電気を伝送する。そして、被検査体４に伝送された電気により、発光部２２から光が照射されるとともに、ウェハパッド２３（電気出力用ウェハパッド）からプローブ１８（電気出力用プローブ）に電気が伝送される。発光部２２から照射された光は、受光部１７、光伝送路１９、端子９、ケーブル１３及び端子１１を介してテスタ３に伝送される。ウェハパッド２３（電気出力用ウェハパッド）からプローブ１８（電気出力用プローブ）に伝送された電気は、混成基板１５の電気伝送路２０、電気配線基板１６の不図示の電気伝送路、端子８、ケーブル１２及び端子１０を介してテスタ３に伝送される。

上記のように、本実施例の検査装置１は、被検査体４から発光される光を受光する受光部１７を保持する保持部１４と、受光部１７で受光した光の経路である光伝送路１９が受光部１７とは別部材で形成された光経路形成部としての混成基板１５と、を備えている。このように、本実施例の検査装置１は、受光部１７を保持する保持部１４と受光部１７で受光した光の経路が形成された混成基板１５とを別々に備えている。また、受光部１７と光伝送路１９とを別々に備えている。このため、例えば、保持部１４を混成基板１５から取り外して該保持部１４から任意の受光部１７を取り外すことや、受光部１７を保持する保持部１４ごと交換することなどにより、受光部１７を容易に交換することができる。別の表現をすると、本実施例の検査装置１は、複数の受光部１７を有しており、そのうちの一部の受光部１７のみを容易に交換することができるとともに、全部の受光部１７をまとめて交換することができる。

ここで、本実施例の検査装置１は、被検査体４に接触するプローブ１８と、プローブ１８と電気的に繋がる電気配線としての電気伝送路２０と、を備えている。このため、プローブ１８を介して被検査体４に電圧を印加して被検査体４の発光部２２を発光させることで、被検査体４の検査を容易にすることができる。
ただし、このような構成の検査装置１に限定されない。プローブ１８や電気伝送路２０を備えない構成とし、プローブ及び電気伝送路を有する外部装置を用いて被検査体４の発光部２２を発光させる構成としてもよい。
なお、本実施例のプローブ１８と電気的に繋がる電気配線（電気伝送路２０）はポゴピン（スプリングコネクタ）であるが、プローブ１８と電気的に繋がり電気を伝送可能なものであればその材質や形状（配置）など特に限定なく様々な電気配線を用いることができる。

次に、本実施例の検査装置１の保持部１４について詳細に説明する。
ここで、図２は本実施例の検査装置１の保持部１４を表す概略平面図であり、正確には、保持部１４を構成する一部材である基体部１４ａを表す概略図である。なお、図２では、基体部１４ａの一部領域Ｘについて拡大して表している。また、図３は本実施例の検査装置１の保持部１４を表す概略断面図であり、保持部１４を基体部１４ａと押さえ部１４ｂとに分解した分解図になっている。また、図４は本実施例の検査装置１の受光部１７を表す概略断面図である。

図３で表されるように、本実施例の保持部１４は、基体部１４ａと押さえ部１４ｂとを有している。そして、基体部１４ａに形成された穴部２４に受光部１７を差し込んだ状態にして押さえ部１４ｂで押さえることで、保持部１４は受光部１７を保持する構成になっている。

また、本実施例の保持部１４は、ネジ穴３３を介してネジ３１をネジ穴３２にネジ止めすることで、押さえ部１４ｂを基体部１４ａに対して固定できる。そして、保持部１４は、ネジ３１をネジ穴３２から取り外すことで、押さえ部１４ｂを基体部１４ａから分離できる。

このような構成となっていることで、本実施例の保持部１４は、受光部１７を取り付け及び取り外し可能に構成されている。このため、本実施例の検査装置１は、例えば複数の受光部１７のうち一部の受光部１７のみが故障した場合に、故障した受光部１７のみを交換することができる構成になっている。

また、上記のように、本実施例の保持部１４は、基体部１４ａに形成された穴部２４に受光部１７を差し込んだ状態にして押さえ部１４ｂで押さえることで、保持部１４は受光部１７を保持する構成になっている。詳細には、基体部１４ａの穴部２４に形成された載置部２６に受光部１７の被載置部１７ｆを載置部２６に載置させ、押さえ部１４ｂの穴部２８の外周領域３０で受光部１７の被押さえ部１７ｅを押さえることで、保持部１４は受光部１７を保持する構成になっている。

別の表現をすると、本実施例の受光部１７は該受光部１７の取り付け及び取り外し方向Ａと交差する方向Ｂに突出する突出部１７ｄを有し、保持部１４（基体部１４ａ）は受光部１７が取り付けられた際に受光部１７の取り付け及び取り外し方向Ａにおいて突出部１７ｄの被載置部１７ｆに対して接触する接触部としての載置部２６を有している。このような構成としていることで、本実施例の検査装置１は、保持部１４に対する受光部１７の取り付け及び取り外し構成を簡単に形成できている。

また、図２で表されるように、基体部１４ａにおける受光部１７の保持用の穴部２４の周囲には、プローブ１８の保持用の穴部２５が複数設けられている。また、図３で表されるように、押さえ部１４ｂには、基体部１４ａにおける穴部２５の位置と対応する位置に、プローブ１８の保持用の穴部２９が設けられている。保持部１４にこのような配置で穴部２５及び穴部２９が設けられていることで、穴部２５及び穴部２９にプローブ１８が通された状態で該プローブ１８は検査装置１に保持される。

また、上記のように、本実施例の保持部１４は、受光部１７が取り付けられた際に受光部１７の取り付け及び取り外し方向Ａにおいて載置部２６とは反対側から突出部１７ｄの被押さえ部１７ｅを押さえる押さえ部１４ｂを有している。このため、本実施例の検査装置１は、受光部１７が取り付けられた際に受光部１７を確りと保持することができる構成になっている。
なお、本実施例の保持部１４は、このように押さえ部１４ｂを有しているが、受光部１７が保持部１４に適切に保持できる構成であれば、押さえ部１４ｂを有しない構成としてもよい。

次に、図４を参照して受光部１７をさらに詳しく説明する。
図４で表されるように、本実施例の受光部１７は、被検査体４の発光部２２から照射される光が入射される入射部１７ａと、該光の伝送経路である経路部１７ｂと、混成基板１５の光伝送路１９に向けて該光を出射する凸レンズ１７ｃと、経路部１７ｂの周囲に形成されるとともにクラッド材で構成される突出部１７ｄと、を有している。そして、突出部１７ｄには、受光部１７の取り付け及び取り外し方向Ａにおいて、混成基板１５側に被押さえ部１７ｅが形成され、被検査体４側に被載置部１７ｆが形成されている。

このような構成により、本実施例の受光部１７は、被検査体４から発光される光を収束するレンズになっている。このため、本実施例の受光部１７は、被検査体４から発光される光を効率よく集めることができる構成になっている。
そして、受光部１７がこのような構成になっていることにより、図１で表されるように、保持部１４と混成基板１５とは、光の進行方向において離れた位置に配置されている。このため、本実施例の検査装置１は、レンズにより収束する光を効率よく集めることができる構成になっている。保持部１４と混成基板１５とが離れていない場合よりも保持部１４と混成基板１５とが離れている場合の方が、レンズにより収束する光をより焦点位置近傍で集めることができるためである。

なお、受光部１７の素材や形状などに特に限定は無い。入射部１７ａ、経路部１７ｂ及び凸レンズ１７ｃは光を伝送可能な素材であればよく、突出部１７ｄは光を伝送可能な素材でなくてもよい。ただし、経路部１７ｂは、突出部１７ｄよりも屈折率が低い材質で形成されていることが好ましい。また、入射部１７ａ、経路部１７ｂ及び凸レンズ１７ｃと突出部１７ｄとを同じ素材などで一体的に成形してもよいし、受光部１７が保持部１４に適切に保持できる構成であれば、突出部１７ｄを有しない形状としてもよい。また、入射部１７ａを凸レンズにすることや、光伝送路１９に向けて光を出射する側を凸レンズ以外の構成にすることも可能である。このように、受光部１７の素材について特に限定は無いが、性能や製造のし易さの観点などから、受光部１７は合成樹脂製であることが好ましい。

また、本実施例の受光部１７は保持部１４に形成された貫通孔（穴部２４）に組み付けられており、本実施例の突出部１７ｄは、その周囲（光の進行方向と交差する方向の端部である側面部分１７ｇ）に有機絶縁膜がコーティングされている。このように、受光部１７は、光の進行方向と交差する方向の端部における少なくとも一部に有機絶縁膜がコーティングされていることが好ましい。これにより、有機絶縁膜は、受光部１７と保持部１４の穴部２４との間でクッションの役割を果たし、受光部１７を穴部２４に組み付けて保持させることができる。詳細には、受光部１７の取り付け及び取り外し方向Ａに沿う方向、並びに、該方向Ａと交差する方向Ｂに沿う方向、にガタつくことを抑制できる。有機絶縁膜としては、絶縁性の有機材料で形成された膜であれば特に限定はない。
なお、本実施例の保持部１４は押さえ部１４ｂを有している構成であるが、受光部１７の周囲に有機絶縁膜がコーティングされていれば、押さえ部１４ｂを有していない構成であっても保持部１４の穴部２４に受光部１７を確りと保持（固定）させることが可能である。
ここで、有機絶縁膜の膜厚については特に限定は無いが、受光部１７の周囲（側面部分１７ｇ）にコーティングされた有機絶縁膜が、側面部分１７ｇと穴部２４の内周面との間に介在して、該内周面に押し付けられる程度の厚みがあることが好ましい。

また、図１で表されるように、本実施例の検査装置１においては、混成基板１５は被検査体４から発光された光がレンズである受光部１７により収束する位置（焦点位置近傍）に光の進行方向を変えるミラーを有している。このため、本実施例の検査装置１は、受光部１７により収束する光を焦点位置近傍で集めることができるとともに、光の進行方向を変えることで混成基板１５に光経路（光伝送路１９）を好適に配置している。

本実施例の検査装置１は、スペーサー２１により、保持部１４と混成基板１５とが光の進行方向において離れた位置に固定されて配置される構成である。しかしながらこのような構成に限定されない。保持部１４と混成基板１５との間隔（隙間Ｇ）を変更可能である構成であることがさらに好ましい。
そこで、保持部１４と混成基板１５との間隔を変更可能な実施例について以下に説明する。

［実施例２］（図５）
図５は、本実施例の検査装置の混成基板１５（光路形成部）及び保持部１４を表す概略断面図である。なお、上記実施例１と共通する構成部材は同じ符号で示しており、詳細な説明は省略する。
なお、本実施例の検査装置は、混成基板１５及び保持部１４の接続部分以外の構成は、実施例１の検査装置１と同様の構成である。

図５で表されるように、本実施例の検査装置は、光の進行方向における保持部１４と混成基板１５との間隔（隙間Ｇ）を調整する間隔調整部３４（間隔調整部３４ａ）を備えている。このため、本実施例の検査装置は、該間隔を調整することで、レンズ（保持部１４）により収束する光を特に焦点位置近傍で集めることができる。

また、本実施例の間隔調整部３４ａは、ネジ３５（ネジ３５ａ）を有する構成である。このため、簡単に間隔調整ができるとともに簡単に間隔調整部を形成できる。

なお、本実施例の保持部１４にはネジ穴３６が形成されており、間隔調整部３４ａは、ネジ３５ａをネジ穴３６嵌め合わせ、ネジ３５ａの締め具合で間隔調整ができる構成になっている。

［実施例３］（図６）
図６は、本実施例の検査装置の混成基板１５（光路形成部）及び保持部１４を表す概略断面図である。なお、上記実施例１と共通する構成部材は同じ符号で示しており、詳細な説明は省略する。
なお、本実施例の検査装置は、混成基板１５及び保持部１４の接続部分以外の構成は、実施例１の検査装置１と同様の構成である。

図６で表されるように、本実施例の検査装置も、実施例２の検査装置と同様、光の進行方向における保持部１４と混成基板１５との間隔（隙間Ｇ）を調整する間隔調整部３４（間隔調整部３４ｂ）を備えている。このため、本実施例の検査装置も、実施例２の検査装置と同様、該間隔を調整することで、レンズ（保持部１４）により収束する光を特に焦点位置近傍で集めることができる。

また、本実施例の間隔調整部３４ｂも、実施例２の検査装置と同様、ネジ３５（ネジ３５ｂ）を有する構成である。このため、簡単に間隔調整ができるとともに簡単に間隔調整部を形成できる。

ここで、本実施例の検査装置は、混成基板１５に対して保持部１４を位置決めする位置決め部３７を備えている。本実施例の位置決め部３７は、平面視（図６を上から見た状態）で半円形の２つの構成部材を組み合わせて平面視で全体として円形となるように使用する構成（平面視で円形の構成部材を２分割することが可能な構成）になっている。また、位置決め部３７は、混成基板１５に対して外側（受光部１７の取り付け及び取り外し方向Ａと交差する方向Ｂ）から被せることが可能な構成になっている。混成基板１５にはネジ穴３９が形成されており、ネジ３５ｂをネジ穴３９嵌め合わせる構成になっている。また、位置決め部３７は、ネジ３５ｂの締め具合により、混成基板１５に対して間隔の調整方向（隙間Ｇを広げる方向及び狭める方向）に移動可能な構成となっている。そして、位置決め部３７は、保持部１４の載置面４０を有するとともに保持部１４の位置決め及び固定が可能なネジ３８を備えている。詳細には、ネジ３８は、位置決め部３７の円周状の外周壁４１に等間隔で配置されており、保持部１４の外周面４２を方向Ｂに沿って押し付け可能な長さとなっている。本実施例の位置決め部３７は、各ネジ３８による外周面４２の締め付け量を調整することで、保持部１４を載置面４０に沿って移動させること（混成基板１５に対する保持部１４の方向Ｂにおける位置の微調整及び固定）が可能な構成になっている。
なお、上記のように、本実施例の検査装置においては、間隔調整部３４ｂは複数のネジ３８を備えており、複数方向から保持部１４の位置決め及び固定が可能な構成であるが、保持部１４の位置決め及び固定手段はこのような構成に限定されない。また、位置決め部３７の構成や形状についても特に限定は無い。

本発明は、上述の実施例に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の構成で実現することができる。例えば、発明の概要の欄に記載した各形態中の技術的特徴に対応する実施例中の技術的特徴は、上述の課題の一部又は全部を解決するために、あるいは、上述の効果の一部又は全部を達成するために、適宜、差し替えや、組み合わせを行うことが可能である。また、その技術的特徴が本明細書中に必須なものとして説明されていなければ、適宜、削除することが可能である。

１…検査装置、２…プローバ、３…テスタ、４…被検査体、５…ステージ、
６…電気特性測定機器、７…光特性測定機器、８…電気伝送用の端子、
９…光伝送用の端子、１０…電気伝送用の端子、１１…光伝送用の端子、
１２…電気伝送用のケーブル、１３…光伝送用のケーブル、１４…保持部、
１５…混成基板（光経路形成部）、１６…電気配線基板、１７…受光部、
１７ａ…入射部、１７ｂ…経路部、１７ｃ…凸レンズ、１７ｄ…突出部、
１７ｅ…被押さえ部、１７ｆ…被載置部、
１７ｇ…側面部分（光の進行方向と交差する方向の端部）、１８…プローブ、
１９…光伝送路（受光部１７で受光した光の経路）、２０…電気伝送路（電気配線）、
２１…スペーサー、２２…発光部、２３…ウェハパッド（電気的接続部）、
２４…穴部（貫通孔）、２５…穴部、２６…載置部、２８…穴部、２９…穴部、
３０…穴部２８の外周領域、３１…ネジ、３２…ネジ穴、３３…ネジ穴、
３４…間隔調整部、３４ａ…間隔調整部、３４ｂ…間隔調整部、３５…ネジ、
３６…ネジ穴、３７…位置決め部、３８…ネジ、３９…ネジ穴、
４０…保持部１４の載置面、４１…外周壁、４２…外周面、
Ｇ…保持部１４と混成基板１５との間の隙間、Ｍ…ミラー

Claims

被検査体から発光される光を受光する複数の受光部を保持する保持部と、
前記受光部で受光した前記光の経路である光伝送路が形成された光経路形成部と、を備え、
前記光伝送路は、前記受光部とは別部材で形成されており、
前記保持部は、前記受光部を押さえる押さえ部を有し、１つの当該保持部で複数の前記受光部を保持するとともに、１つの前記押さえ部で複数の前記受光部を押さえる構成となっていることを特徴とする検査装置。
請求項１に記載の検査装置において、
前記光経路形成部は基板であり、
前記光伝送路は、前記基板に沿って形成されていることを特徴とする検査装置。
請求項１または２に記載の検査装置において、
前記保持部は、前記受光部を取り付け及び取り外し可能に構成されていることを特徴とする検査装置。
請求項３に記載の検査装置において、
前記受光部は、前記受光部の取り付け及び取り外し方向と交差する方向に突出する突出部を有し、
前記保持部は、前記受光部が取り付けられた際に、前記受光部の取り付け及び取り外し方向において前記突出部に対して接触する接触部を有することを特徴とする検査装置。
請求項４に記載の検査装置において、
前記保持部は、前記受光部が取り付けられた際に、前記受光部の取り付け及び取り外し方向において前記接触部とは反対側から前記突出部を押さえる押さえ部を有することを特徴とする検査装置。
請求項５に記載の検査装置において、
前記保持部は、複数の第１貫通孔が形成され、前記受光部を取り付け及び取り外し可能に前記第１貫通孔内において保持し、
前記受光部は、前記受光部の取り付け及び取り外し方向において前記光伝送路と対向する側に凸状となる凸レンズを有し、
前記保持部は、前記受光部が取り付けられた際に前記受光部の取り付け及び取り外し方向において前記突出部に対して接触する接触部を有し、
前記押さえ部は、前記第１貫通孔に対応する複数の第２貫通孔が設けられるとともに、前記受光部が取り付けられた際に前記受光部の取り付け及び取り外し方向において前記接触部とは反対側から前記突出部を押さえ、
前記凸レンズは、前記押さえ部によって前記突出部が押さえられる際に前記第２貫通孔内に位置することを特徴とする検査装置。
請求項１から６のいずれか１項に記載の検査装置において、
前記被検査体に接触するプローブと、
前記プローブと電気的に繋がる電気配線と、
を備えることを特徴とする検査装置。
請求項１から７のいずれか１項に記載の検査装置において、
前記受光部は、前記被検査体から発光される前記光を収束するレンズであり、
前記保持部と前記光経路形成部とは、前記光の進行方向において離れた位置に配置されていることを特徴とする検査装置。
請求項８に記載の検査装置において、
前記光の進行方向における前記保持部と前記光経路形成部との間隔を調整する間隔調整部を備えることを特徴とする検査装置。
請求項９に記載の検査装置において、
前記間隔調整部は、ネジを有することを特徴とする検査装置。
請求項８から１０のいずれか１項に記載の検査装置において、
前記光経路形成部は、前記被検査体から発光された前記光が前記レンズにより収束する位置に前記光の進行方向を変えるミラーを有することを特徴とする検査装置。
請求項１から１１のいずれか１項に記載の検査装置において、
前記受光部は、前記保持部に形成された貫通孔に組み付けられ、前記光の進行方向と交差する方向の端部における少なくとも一部に有機絶縁膜がコーティングされていることを特徴とする検査装置。