JP7346259B2 - 測定システム - Google Patents
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Description
本発明の第1の実施形態に係る測定システム1は、図1に示すように、光プローブ群111~光プローブ群11mを配置した光プローブアレイ12と、光回路部20の光信号選択器211~光信号選択器21mを備える(m:2以上の整数)。以下において、光プローブ群111~光プローブ群11mを総称して「光プローブ群11」とも称し、光信号選択器211~光信号選択器21mを総称して「光信号選択器21」とも称する。このように、測定システム1は、m個の光プローブ群11とm個の光信号選択器21を備える。光信号選択器21のそれぞれは、制御回路50によって動作が制御される。
Pmn=(Imn-I1)×P0/(I0-I1)+(Imn-I0)×P1/(I1-I0) ・・・(1)
式(1)で、Imnは測定対象物100の出力電流値であり、Pmnは出力電流値Imnを換算した光出力である。ここで、I1≧Imn>I0とする。
本発明の第2の実施形態に係る測定システム1aは、図8に示すように、光回路部20が、光信号選択器211~光信号選択器21mから出力される光信号をそれぞれ分岐する光分岐カプラ231~光分岐カプラ23mを有する。以下において、光分岐カプラ231~光分岐カプラ23mを総称して「光分岐カプラ23」とも称する。更に、図8に示す測定システム1aは、光分岐カプラ23から出力される光信号の一方が入力する選択スイッチ24、および選択スイッチ24から出力される光信号が入力する分光器25を備える。測定システム1aは、光分岐カプラ23、選択スイッチ24および分光器25を有する点が、図1に示した測定システム1と異なる。
図9に、第2の実施形態の変形例に係る測定システム1bを示す。測定システム1bでは、測定システム1aの光分岐カプラ23および選択スイッチ24の代わりに、分岐スイッチ26が使用されている。分岐スイッチ26は、m個の光信号選択器21からそれぞれ出力される光信号から1つの光信号を選択し、カップリング機能により選択した光信号を第1光信号と第2光信号に分岐する。分光器25は、分岐スイッチ26から出力される第1光信号を分光する。分岐スイッチ26から出力される第2光信号は、光電変換器27によって電気信号に変換される。通常、光電変換器27側に分岐する第2光信号を大きくとり、分光器25側に分岐する第1光信号を少な目に設定する。
上記のように本発明は実施形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。
10…光プローブ
111~11m…光プローブ群
12…光プローブアレイ
20…光回路部
211~21m…光信号選択器
22…光電変換モジュール
231~23m…光分岐カプラ
24…選択スイッチ
25…分光器
26…分岐スイッチ
27…光電変換器
30…電気プローブ
311~31m…電気プローブ群
32…電気プローブアレイ
40…電気回路部
411~41m…ドライバ回路
50…制御回路
51…データ処理装置
61…光プローブヘッド
62…光プローブ駆動装置
63…電気プローブヘッド
64…電気プローブ駆動装置
100…測定対象物
300…半導体基板
310…測定範囲
Claims (7)
- 測定対象物の測定に使用される測定システムであって、
n本の光プローブをそれぞれ有するm個の光プローブ群を配置した光プローブアレイ(n、m:2以上の整数)と、
それぞれが前記光プローブ群のいずれかと1対1に対応し、対応する前記光プローブ群のn本の前記光プローブからそれぞれ出力される光信号から1つの光信号を選択して出力するm個の光信号選択器と、
前記光信号選択器を制御する制御回路と
を備え、
n本の前記光プローブがそれぞれ別個の前記測定対象物と同時に光学的に接続し、
前記制御回路の制御により、前記光プローブ群に含まれるすべての前記光プローブから出力される光信号が選択されるまで、前記光信号選択器による光信号の選択の切り替えを繰り返す
ことを特徴とする測定システム。 - それぞれが前記光プローブ群のいずれかと1対1に対応して配置され、対応する前記光プローブ群の前記光プローブと組をなす電気プローブを有するm個の電気プローブ群と、
それぞれが前記電気プローブ群のいずれかと1対1に対応し、対応する前記電気プローブ群の前記電気プローブに電気信号を供給するm個のドライバ回路と
を更に備え、
前記測定対象物に前記電気プローブを介して入力された電気信号に応じて前記測定対象物から出力された光信号を前記光プローブが受光することを特徴とする請求項1に記載の測定システム。 - 前記制御回路が、前記ドライバ回路の動作と前記光信号選択器の動作を対応させて、前記ドライバ回路が電気信号を供給する前記測定対象物から出力された光信号を前記光信号選択器から出力させることを特徴とする請求項2に記載の測定システム。
- m個の前記光信号選択器からそれぞれ出力される光信号を電気信号に変換し、変換した電気信号の1つを選択して出力する光電変換モジュールを更に備えることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の測定システム。
- それぞれが前記光信号選択器のいずれかと1対1に対応し、対応する前記光信号選択器から出力される光信号を第1光信号と第2光信号に分岐するm個の光分岐カプラと、
m個の前記光分岐カプラからそれぞれ出力される前記第1光信号から1つの前記第1光信号を選択して出力する選択スイッチと、
前記選択スイッチから出力される前記第1光信号を分光する分光器と
を更に備えることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の測定システム。 - m個の前記光分岐カプラからそれぞれ出力される前記第2光信号を電気信号に変換し、変換した電気信号の1つを選択して出力する光電変換モジュールを更に備えることを特徴とする請求項5に記載の測定システム。
- m個の前記光信号選択器からそれぞれ出力される光信号から1つの光信号を選択し、選択した光信号を第1光信号と第2光信号に分岐する分岐スイッチと、
前記分岐スイッチから出力される前記第1光信号を分光する分光器と、
前記分岐スイッチから出力される前記第2光信号を電気信号に変換する光電変換器と
を更に備えることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の測定システム。
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