JP2004028645A - 光デバイス測定装置及び光デバイス測定用の受光ユニット - Google Patents
光デバイス測定装置及び光デバイス測定用の受光ユニット Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004028645A JP2004028645A JP2002182089A JP2002182089A JP2004028645A JP 2004028645 A JP2004028645 A JP 2004028645A JP 2002182089 A JP2002182089 A JP 2002182089A JP 2002182089 A JP2002182089 A JP 2002182089A JP 2004028645 A JP2004028645 A JP 2004028645A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- optical device
- light receiving
- optical
- measuring apparatus
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 146
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims abstract description 41
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims abstract description 23
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 73
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 19
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 claims description 7
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 3
- 239000012466 permeate Substances 0.000 abstract 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 27
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 22
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 15
- 230000008859 change Effects 0.000 description 11
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 4
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 3
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 2
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/42—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J9/00—Measuring optical phase difference; Determining degree of coherence; Measuring optical wavelength
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Semiconductor Lasers (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
【解決手段】光デバイスから出射された光を受ける受光素子と、該受光素子を透過した前記出射光を光ファイバに導入する導入部とを備えた光デバイス測定装置を提供する。本装置によると、受光素子を透過した光が更に光ファイバに導入される。この光ファイバに光の諸特性を測定できる装置を接続することにより、光の絶対値的な特性と伝送特性等のパラメータ的な特性とを測定できる。
【選択図】 図7
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、光デバイスから出射された光(以下、出射光と言う)を測定する測定技術に関する。より詳しくは、光デバイスからの出射光に関して、例えば全光量を知るための絶対値的な測定と、光の諸特性を表す波長、伝送特性等のようなパラメータを確認するための分析的な測定とを、同時に実行できる測定装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
光デバイス、例えば光半導体からの出射光を測定する場合には、その光をどのような形態で捉え試験するかが1つのポイントとなる。一般には、光半導体チップなどのベアな状態での光出力試験と、光半導体チップをモジュール内に格納して光ファイバー付きの光モジュールの状態にして行う光出力試験との2通りの測定試験が知られている。
【0003】
また、出射光の測定試験としては、光出力(パワー)を確認するための測定と、スペクトラム、波長、伝送特性などのようなパラメータを確認する測定、すなわち光の絶対値的な測定と分析的な測定とが実行されている。これら2種類の測定により、出射光の全特性を捉えることができる。
【0004】
ところで、上記2種の光測定試験は、一方が絶対的であり、他方が分析的である。よって、光を測定する意図が全く異なるので、これに用いる測定手法、機構が全く異なる。そこで、従来においては、この2種類の測定は時や場所を異なる測定装置で実行されているという実情がある。
【0005】
図1及び図2は、従来において光半導体からの出射光(レーザ光)を測定する様子を例示した図である。図1は、出射光の伝送特性等のパラメータを測定する様子を模式的に示した図である。図1ではベアな状態の光半導体チップ1から出力された出射光2を光ファイバ3に導入して測定する様子を示している。従来、出射光2のスペクトラム、波長(周波数)、伝送特性等のパラメータ的特性を確認する場合には、このような手法で光を捕捉していた。なお、この例では光ファイバ3の前端に集光レンズ4が接続されており、図示しない自動調芯を用いて集光レンズ4に十分な光が導入されるように調整される。
【0006】
また、図2は、出射光2の出力を測定するため全光を捕捉する様子を模式的に示した図である。光の絶対値パワーは再現性をもって測定することが必要であり、この場合には図2に示すような測定法が実行されている。図2では、光モジュール5内の光半導体チップ1からの出射光が、光学系6、光ファイバ7及び光コネクタ8を介して出力され、その光のほぼ全量を受けるように受光素子としてのフォトディテクタ(PD)10が配置されている。
【0007】
なお、図1ではベア状態の光半導体チップ1からの出射光を光ファイバ3に導入して光の諸特性を測定する場合、図2では光モジュール5に収納されている光半導体チップ1からの出射光を光コネクタ8のフェルール部9から出射してフォトディテクタ(PD)10で全量測定する場合を例示している。しかし、これに限らず、ベア状態の光半導体チップ1からの出射光をPD10で全量測定する場合や、フェルール部9から出射光を光ファイバ3に導入する測定形態もある。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
更に図3及び4は、ベアな状態にある光半導体としてのレーザチップ11からの出射光を測定する従来の測定装置の構成を例示した図である。
【0009】
図3に示す測定装置では、集光レンズ14付きの光ファイバ13に、キャリア12に搭載されたレーザチップ11から出射されたレーザ光が導入されるようになっている。光ファイバ13に導入されたレーザ光は、光スイッチ(光SW)を介して光パワー計測ユニット15、光波長計測ユニット16に供給されると共に、伝送特性評価装置17にも供給される。この図3の測定装置では、例えば、波長特性、デジタル伝送、アナログ伝送等の光伝送特性を測定する分析的な試験が実行されている。この時、光ファイバ13に導入される光量は、一般に全光量の数10%程度が限界であり、従って、光パワー計測ユニット15に供給される光量は相対値となる。
【0010】
また、図4に示す測定装置では、レーザチップ11から出射されたレーザ光のほぼ全量が受光できるように受光素子としてのフォトダイオード18が配置されている。このフォトダイオード18からの出力は、電極を介して、光−電気(I−L)計測ユニット19に供給されるようになっている。
【0011】
この図4の測定装置を用いて、光出力特性を測定する重要な試験が実行される。この試験では光の出力を絶対値として評価する必要があり、測定の再現性が重要である。この測定装置は、常に同じ条件で全光量に近い条件で受光できるように設定されている。
【0012】
従来において、上記2つの測定装置を用いた光測定に関して、光の絶対パワーの測定と、光波長等の諸特性の測定とは、前述のように全く異なる試験であると考えられてきた。よって、別々の試験工程が設定され、図3及び図4で示したように別の試験設備で光の計測が行われていた。
【0013】
しかしながら、このように光デバイスの試験を切り分けて実施すると、光デバイスを評価するという点で共通でありながら、試験工程の合理化、自動化、短手番化を促進することが困難となる。また、一方の試験の測定データを用いることで他方の試験の精度向上が図れるような場合でも、このように装置が別々であるとデータの取り扱いが面倒である。その結果として、光デバイスの評価に多くの時間とコストを要することにもなる。
【0014】
したがって、本発明の主な目的は、光デバイスからの出射光の特性を効率良く測定できる測定装置を提供することである。
【0015】
【課題を解決するための手段】
上記目的は請求項1に記載の如く、光デバイスから出射された光を受ける受光素子と、該受光素子を透過した前記出射光を光ファイバに導入する導入部とを備えた光デバイス測定装置により達成される。請求項1記載の発明によれば、受光素子を透過した光が更に光ファイバに導入される。この光ファイバに光の諸特性を測定できる装置を接続することにより、光の絶対値的な特性と伝送特性等のパラメータ的な特性とを一つの装置で測定できるようになる。これにより、試験設備を共用できるので時間及び空間の有効利用が図られる。よって、光デバイスの測定手順の向上を図ることができる。
【0016】
上記構成において、例えば、前記光ファイバと前記導入部とが光学的に直接接続されている構成としてもよい。また、上記構成において、前記導入部が集光レンズを備えている。また、前記受光素子の前で前記出射光を平行光に変換する第1レンズと、前記受光素子を透過した前記平行光を前記導入部に向けて集光する第2レンズとの少なくとも一方を備えている。この場合、前記受光素子と前記第2レンズとの間に更に反射防止用のアイソレータが配置されている構成としてもよい。また、上記構成において、前記受光素子からの出力と前記光ファイバからの出力とを用いて、光の特性を測定するように設定することもできる。更に、前記受光素子からの出力と、前記光ファイバからの出力とが同時に測定可能に設定されば、一方の出力データを他の修正に用いることができるので、測定をより高度なものにできる。更に、上記構成において、光−電気出力特性(I−L特性)を前記受光素子の出力に基づいて得ると共に、伝送特性を前記光ファイバからの出力に基づいて得るように構成してもよい。また、前記光ファイバからの出力に基づいて得た波長データを、前記受光素子の波長感度の補正又は波長チューニングに用いることもできる。更に、前記光デバイスが光モジュール内に配設され、該光デバイスの温度を制御する温度制御機構を備えていれば、より適切な状態で光デバイスを評価できる。
【0017】
また、上記目的は、請求項11に記載のように、光デバイスから出射された光を受ける受光素子と、該受光素子を透過した前記出射光を光ファイバに導入する導入部とを含む光デバイス測定用の受光ユニットによっても達成することができる。このような光ユニットを用いると、従来別に行っていた測定を連続して、或いは同時に行うことができるようになる。上記構成の受光ユニットにおいて、前記受光素子の前で前記出射光を平行光に変換する第1レンズと、前記受光素子を透過した前記平行光を集光する第2レンズとの少なくとも一方を含む構成としてもよい。また、前記第2レンズが集光する位置に前記導入部が配置されていることが望ましい。更に、前記第1レンズは、前記光デバイスからの出射光をダイレクトに受ける構成としてもよい。また、前記第1レンズは、光モジュールに収納されている光デバイスからの出射光を光ファイバを介して受ける構成としてもよい。また、前記受光素子と前記第2レンズとの間に反射防止用のアイソレータが更に配置された構成としてもよい。
【0018】
更に、上記目的は、請求項17に記載する、光デバイスから出射された光を測定する方法であって、前記出射光の絶対値的特性の測定と、前記出射光のパラメータ的特性の測定とを連続して行う光デバイスの測定方法により達成できる。本発明によると、絶対値的特性の測定と出射光のパラメータ的特性の測定とを連続して行うので、従来と比較して時間の短縮化を図ることができる。
【0019】
また、上記目的は、請求項18に記載のように、光デバイスから出射された光を測定する方法であって、前記出射光の絶対値的特性の測定と、前記出射光のパラメータ的特性の測定とを同時に行う構成により達成することができる。本発明によると、絶対値的特性の測定と出射光のパラメータ的特性の測定とを連続して行うので、従来と比較して時間の短縮化を図れ、更に一方のデータを他方の測定データの修正に用いることも可能となるので高度な測定が可能となる。上記方法において、前記絶対値的な特性として光の全出力を、前記パラメータの測定として伝送特性を測定するように構成してもよい。また、前記伝送特性で得たデータを、前記全出力特性の測定データの修正に用いるよう構成してもよい。
【0020】
【発明の実施の形態】
以下、図面に基づいて本発明をより詳細に説明する。
【0021】
図5は、本発明に係る一主要部分の構成を模式的に表した図である。図5(A)は概念的な主要部の構成、図5(B)はより実用的な主要部の構成を示している。
【0022】
本発明の実施形態で共有する構成は、図5(A)に示すように、受光素子として光透過性のフォトディテクタ(PD)22が出射光20をほぼ全量受光できるように配設され、更にその背後(出射光20の進行方向において下流)に光ファイバ24が配置されている。なお、この例では、好ましい形態として光ファイバ24の前端に集光レンズを備えた導入部25が形成されている。ただし、集光レンズを用いることなく、光学的に光ファイバ24と導入部25とを直結する構成であってもよい。
【0023】
上記の構成により、上記PD22に接続された電極23A、23Bにより光の静特性(光出力の絶対値)が計測可能となっている。また、光ファイバ24の出力に基づいて伝送特性等の光パラメータの計測が可能となっている。
【0024】
より好ましい構成を示す図5(B)では、PD22よりもフェルール32側に第1のレンズとしてコリメータレンズ28と、PD22と導入部25との間に第2のレンズとしてコリメータ集光レンズ29とを配置している。本図5(B)で示す構成では、コリメータレンズ28を設けることにより光源からPD22を配置する距離を変更する自由度が得られる。また、下流にコリメータ集光レンズ29を設けることで、出射光を効率良く導入部25に導くことができる。
【0025】
なお、図5では図示せぬ光モジュール内に設けた光半導体チップからの出射光を光ファイバ33を介して導入し、光コネクタ30端部のフェルール32から出射させる場合について例示している。
【0026】
図5に示すように、PD22で出射光20のほぼ全光量を受光し、その下流に設けた光導入部25で更に出射光20を受光できるように設計することで、従来においては別途に行っていた測定試験を連続して、或いは同時に行うことが可能となる。そのため光出力の絶対値的な測定と、光学的な諸特性の測定とを同じ装置で実行できる。よって、測定試験を短手番化して光デバイスを効率的に評価できるようになる。その結果、光デバイスをローコストで市場に供給できる。
【0027】
なお、図5(B)では、第1のレンズ28及び第2のレンズ29を同時に設けた構成を例示しているが、いずれか一方としてもよい。レンズ28を省略するときには、PD22の位置を出射光20側に近づけて全量を受光できるように調整する。レンズ29を省略した場合は平行光となるが、この状態でも光導入部25で所定量の光を確保することで測定が可能である。
【0028】
以下更に、図を参照しながら本発明の実施例を説明する。
【0029】
図6は本発明の第1実施例に係る光デバイス測定用の受光ユニット50の概要構成を示した図である。また、図7はこの受光ユニット50を含む光デバイス測定装置の概要構成を示した図である。本実施例ではベア状態の光半導体チップ(レーザチップ)11からの射出光42を測定する場合を示している。
【0030】
まず、図6を参照すると、受光ユニット50の内部には、前端(図においては左端)から射出光(レーザ光)42を平行光に変換するコリメータレンズ51、光透過型のフォトディテクタ52、このフォトディテクタ52を透過した光を集光するコリメータ集光レンズ54が順に配設されている。光透過型のフォトディテクタ52の端子部はワイヤ53によりボンディングされており、受光ユニット50の外周部に形成したコネクタ部55と電気的に接続されている。よって、コネクタ部55からフォトディテクタ52からの光−電気(I−L)変換信号59が得られるようになっている。上記レーザ光42はレーザキャリア41の所定位置に配置したレーザチップ11から出射される。このレーザ光42を最適に受光できる位置に受光ユニット50が設定されている。
【0031】
また、受光ユニット50の右端側を閉塞するように集光受光部60が形成されている。この集光受光部60内の集光レンズ61は、コリメータ集光レンズ54により集光された光を効率良く受ける位置に配置されている。集光レンズ61に導入された光は光ファイバ62側に供給される。但し、本実施形態では、集光レンズ61を使用せずに、一般的な光コネクタフェルール端へ直接、光学的に接合してもよい。
【0032】
図7は、上記受光ユニット50を組込んだ状態の測定装置40の概要を示している。レーザキャリア41の所定位置にレーザチップ11を設置し、レーザ光42を射出するように設定されている。このレーザ光42を最適に受光できる位置に、受光ユニット50が固定されている。受光ユニット50の外周部に形成した上記コネクタ部55には、I−L計測ユニット65が接続され、フォトディテクタ52からの受信信号(光−電気変換信号)が供給される。尚、当該コネクタ部55には高周波信号や変調光信号の取り出しが可能な高周波コネクタを適用する。また、集光レンズ61で導入した光は光ファイバ62及び光スイッチを介して光波長計測ユニット63に供給されると共に、分散状態が均一になるように伝送分散を補償するファイバ67で分散補償された光が伝送特性評価装置68に供給されるようになっている。
【0033】
本実施例の装置によれば、従来において個別に行っていた系統の異なる試験を一括して実行できるようになる。なお、上記I−L計測ユニット65による光の絶対値出力の測定と、光波長計測ユニット63及び伝送特性評価装置68によるパラメータ特性の測定とは、同時に行うことで試験の効率化を図ることができる。
【0034】
ただし、本測定装置40で必要により2種類の測定試験を、連続して或いは時間をおいて実行するように設定してもよいことは言うまでもない。
【0035】
次に、図8は本発明の第2実施例に係る光デバイス測定用の受光ユニット70の概要構成を示した図である。前述した第1実施例の受光ユニット50はレーザチップ11からのレーザ光をダイレクトに受けるタイプであったが、本実施例の受光ユニット70は光モジュール内に収納したレーザチップからのレーザ光を光ファイバを介して受光するタイプである。なお、図8では、図6で説明した第1実施例の受光ユニット50と同様となる部位には同一の符号を付し重複する説明は省略する。
【0036】
本実施例の受光ユニット70は、第1実施例で示した受光ユニット50の左端に光コネクタ73を接続した構成となる。本受光ユニット70は、レーザチップを格納する光モジュールから延びた光ファイバ72の端部に接続されるオス型の光コネクタ73を有している。そして、前述した受光ユニット50と同様の構成を有する右側部分(以下、受光ユニット本体75という)は、このオス型の光コネクタ73に接続できるようにメス型に形成されている。光コネクタ73の前端のフェルール74からレーザ光42が出射され、受光ユニット本体75に導入される。
【0037】
図9は、図8に示した受光ユニット70の変形例を示した図である。この変形例においける受光ユニット本体75は、フォトディテクタ52とコリメータ集光レンズ54との間に、更に反射防止用のアイソレータ77を配置させている。このような構成にするとコリメータ集光レンズ54側により均質なレーザ光を供給できるようになるとともに、伝送特性等の各種パラメータ諸特性の測定精度の向上が期待できる。
【0038】
更に、図10を参照して、図8及び図9に示した受光ユニット70を組込み込んだ実施例の光測定装置80について説明する。図10は本発明に係る光デバイス測定装置80の概要構成を示した図である。この測定装置は、図2で示した光モジュールからの光を測定する従来測定装置に対するものである。本実施例装置80の場合には、基台81の中央部位置に光半導体チップ(レーザチップ)を内蔵している光モジュール82が配置されている。光モジュール82内部には、サーミスタ及びペルチェ素子84が搭載されており、光モジュール82内のレーザチップの温度を制御できるようになっている。また、光モジュール82からは複数の端子83が引出されており、基台81に形成した図示しない配線と接続されている。基台81上に図示されないプリント基板とモジュールの複数端子83との接触を介して、後述するI−L計測ユニット85、温度制御ユニット87等が電気的に接続されている。
【0039】
光モジュール82からのレーザ光は光ファイバ72を介して、オス型の光コネクタ73のフェルール部74先端から射出されるようになっている。このオス型光コネクタ73はメス型の受光ユニット本体75と接続可能に設定されている。前述したように、この受光ユニット本体75側の構成は第1実施例の受光ユニット50と同様である。
【0040】
本実施例装置80は、本装置全体の計測を制御する制御コンピュータ88を備えている。このコンピュータ88はディスプレイ89を備えており、制御内容を視認できるようになっている。コンピュータ88は、光パワーを測定するI−L計測ユニット85、光の波長データを測定する光波長計測ユニット86及び光モジュール82の温度を制御する温度コントロールユニット87等を全体的に制御している。
【0041】
I−L計測ユニット85は、基台81上に図示されないプリント基板及びコネクタ部55に接続されている。I−L計測ユニット85は、レーザドライブ信号を供給して光モジュール82からレーザ光を出射させると共に、フォトディテクタ52から光−電気(I−L)変換信号を得ている。光波長計測ユニット86は、光ファイバ62を介して集光レンズ61に導入された光を受光し、この出力に基づいて波長データを生成させる。この波長データはI−L計測ユニット85にも供給されている。温度コントロールユニット87は、コンピュータ89の下でペルチェ素子82を駆動して、光モジュール82内部のレーザチップ温度が所定範囲となるようにコントロールしている。
【0042】
本測定装置80では、I−L測定を行いながらリアルタイムに波長データを取得できる。よって、測定中での波長の変化による影響を補正しながら、高感度に光の絶対値を測定することが可能となる。
【0043】
図11は波長/電流に対する感度の変化を例示した図である。供給するレーザ電流の変化(増加)により光出力が上昇し、レーザ発振波長が長波長方向に変化する。このとき、レーザ発振波長の変化に対応するフォトディテクタ52の波長感度は、図11において点Aから点B、点Cへと順に変化する。すなわち、レーザ掃引による電流密度変化により、波長が変化した光パワーにおける精度が低下してしまう。
【0044】
しかし、本実施例装置の場合には、光の絶対値出力を測定しながら、同時に光波長変化を高い応答性をもって追従できるので、電流密度の増加による波長変化をリアルタイムに捉えることができる。そして、予め記憶した既知の波長感度データから光出力の算出を補正することで、発振波長変動に依存しない極めて高精度なパワー測定が可能となる。
【0045】
特に、近年の半導体レーザは、ハイパワー化傾向にあり本実施例装置で実行している補正処理を行いながら光の絶対値出力を測定すると、高精度に光の絶対値出力を特定できるので極めて有用である。
【0046】
また、従来においては、多波長の光デバイスを用いる場合、例えば図12に示すように波長チューニングを別の装置で行ってから、複数(図12では4つ)の波長λについてI−L試験工程を行っていた。しかし、本実施例装置80では、波長データを随時得ながらI−L測定ができるので、試験工程を簡素化しかつ高精度な測定結果を得られるという利点がある。
【0047】
また、一般にレーザモジュールの内部にはモニタ用のフォトディテクタ(PD)が実装されている。このモニタ用PDの信号(Im)を取り込みレーザドライブ電流にフィードバックして出力パワーを一定にする制御が実行されている。この制御はIm−APC制御と称されている。多波長レーザなどの波長チューニングでは、このIm−APC制御を行いながらモジュール内部の温度を変化させて所望のターゲット波長にチューニングしている。ところが、実際に内部温度の変化によりモニタ電流の制御が一定であっても、出力値がIm−APC制御開始時のパワーから僅かに変動することがある。この問題について、予め一定の規格を設定し、Im−APC制御の下で出力パワーの変動を監視し、選別することで製品となる光ディバイスの信頼性を向上させることができる。前述した実施例の測定装置によれば、この選別を波長チューニングを行いながら同時に実行できるという利点もある。
【0048】
以上本発明の好ましい実施例について詳述したが、本発明は係る特定の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
【0049】
【発明の効果】
以上詳述したところから明らかなように、本発明によれば、従来においては別々に行っていた光デバイスから出射される光測定試験を一つの装置で行うことができるようになる。よって、本発明を採用することにより光デバイスの測定試験を効率的に行えるようになる。
【0050】
更に、一方の試験の測定データを他方の測定に利用することが容易となり、測定データを補正或いは調整しながら測定できるので信頼性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来において出射光の伝送特性等を測定する様子を模式的に示した図である。
【図2】従来において出射光の出力を測定するため全光を捕捉する様子を模式的に示した図である。
【図3】従来の分析的な試験を行う測定装置を示した図である。
【図4】従来の光の絶対値出力の試験を行う測定装置を示した図である。
【図5】本発明に係る一主要部分の構成を模式的に表した図である。
【図6】第1実施例に係る光デバイス測定用の受光ユニットの概要構成を示した図である。
【図7】図6の受光ユニットを含む光デバイス測定装置の概要構成を示した図である。
【図8】第2実施例に係る光デバイス測定用の受光ユニットの概要構成を示した図である。
【図9】図8に示した受光ユニットの変形例を示した図である。
【図10】第2実施例の受光ユニットを含む光デバイス測定装置の概要構成を示した図である。
【図11】波長/電流に対する感度の変化を例示した図である。
【図12】多波長の光デバイスを測定する場合の従来での波長チューニング工程と試験工程と関係を示すブロック図である。
【符号の説明】
11 光半導体チップ(光デバイス)
13 光ファイバ
14 集光レンズ(導入部)
18 フォトディテクタ(受光素子)
19 I−L計測ユニット
40 光デバイス測定装置
50 受光ユニット
51 コリメータレンズ(第1レンズ)
52 フォトディテクタ
54 コリメータ集光レンズ(第2レンズ)
77 アイソレータ
Claims (20)
- 光デバイスから出射された光を受ける受光素子と、該受光素子を透過した前記出射光を光ファイバに導入する導入部とを備えたことを特徴とする光デバイス測定装置。
- 請求項1に記載の光デバイス測定装置において、
前記光ファイバと前記導入部とが光学的に直接接続されていることを特徴とする光デバイス測定装置。 - 請求項1に記載の光デバイス測定装置において、
前記導入部が集光レンズを備えていることを特徴とする光デバイス測定装置。 - 請求項1に記載の光デバイス測定装置において、
前記受光素子の前で前記出射光を平行光に変換する第1レンズと、前記受光素子を透過した前記平行光を前記導入部に向けて集光する第2レンズとの少なくとも一方を備えていることを特徴とする光デバイス測定装置。 - 請求項4に記載の光デバイス測定装置において、
前記受光素子と前記第2レンズとの間に更に反射防止用のアイソレータが配置されていることを特徴とする光デバイス測定装置。 - 請求項1に記載の光デバイス測定装置において、
前記受光素子からの出力と前記光ファイバからの出力とを用いて、光の特性を測定することを特徴とする光デバイス測定装置。 - 請求項6に記載の光デバイス測定装置において、
前記受光素子からの出力と、前記光ファイバからの出力とが同時に測定可能に設定されていることを特徴とする光デバイス測定装置。 - 請求項7に記載の光デバイス測定装置において、
光−電気出力特性を前記受光素子の出力に基づいて得ると共に、伝送特性を前記光ファイバからの出力に基づいて得ることを特徴とする光デバイス測定装置。 - 請求項8に記載の光デバイス測定装置において、
前記光ファイバからの出力に基づいて得た波長データを、前記受光素子の波長感度の補正又は波長チューニングに用いることを特徴とする光デバイス測定装置。 - 請求項1から9のいずれかに記載の光デバイス測定装置において、
前記光デバイスが光モジュール内に配設され、該光デバイスの温度を制御する温度制御機構を備えていることを特徴とする光デバイス測定装置。 - 光デバイスから出射された光を受ける受光素子と、該受光素子を透過した前記出射光を光ファイバに導入する導入部とを含むことを特徴とする光デバイス測定用の受光ユニット。
- 請求項11に記載の受光ユニットにおいて、
前記受光素子の前で前記出射光を平行光に変換する第1レンズと、前記受光素子を透過した前記平行光を集光する第2レンズとの少なくとも一方を含むことを特徴とする受光ユニット。 - 請求項12に記載の受光ユニットにおいて、
前記第2レンズが集光する位置に前記導入部が配置されていることを特徴とする受光ユニット。 - 請求項11から13のいずれかに記載の受光ユニットにおいて、
前記第1レンズは、前記光デバイスからの出射光をダイレクトに受けることを特徴とする受光ユニット。 - 請求項11から13のいずれかに記載の受光ユニットにおいて、
前記第1レンズは、光モジュールに収納されている光デバイスからの出射光を光ファイバを介して受けることを特徴とする受光ユニット。 - 請求項12から15のいずれかに記載の受光ユニットにおいて、
前記受光素子と前記第2レンズとの間に反射防止用のアイソレータが更に配置されていることを特徴とする受光ユニット。 - 光デバイスから出射された光を測定する方法であって、
前記出射光の絶対値的特性の測定と、前記出射光のパラメータ的特性の測定とを連続して行うことを特徴とする光デバイスの測定方法。 - 光デバイスから出射された光を測定する方法であって、
前記出射光の絶対値的特性の測定と、前記出射光のパラメータ的特性の測定とを同時に行うことを特徴とする光デバイスの測定方法。 - 請求項17又は18に記載の光デバイスの測定方法において、
前記絶対値的な特性として光の全出力を、前記パラメータの測定として伝送特性を測定することを特徴とする光デバイスの測定方法。 - 請求項19に記載の光デバイスの測定方法において、
前記伝送特性で得たデータを、前記全出力特性の測定データの修正に用いることを特徴とする光デバイスの測定方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002182089A JP2004028645A (ja) | 2002-06-21 | 2002-06-21 | 光デバイス測定装置及び光デバイス測定用の受光ユニット |
US10/463,806 US20030234924A1 (en) | 2002-06-21 | 2003-06-18 | Optical device measuring apparatus and light receiving unit available for such optical device measuring apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002182089A JP2004028645A (ja) | 2002-06-21 | 2002-06-21 | 光デバイス測定装置及び光デバイス測定用の受光ユニット |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004028645A true JP2004028645A (ja) | 2004-01-29 |
Family
ID=29728309
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002182089A Pending JP2004028645A (ja) | 2002-06-21 | 2002-06-21 | 光デバイス測定装置及び光デバイス測定用の受光ユニット |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20030234924A1 (ja) |
JP (1) | JP2004028645A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016008951A (ja) * | 2014-06-26 | 2016-01-18 | 富士通株式会社 | 光源検査方法 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20110200284A1 (en) * | 2009-06-12 | 2011-08-18 | Igor Zhovnirovsky | Fiber Optic Jack with High Interface Mismatch Tolerance |
US8766165B1 (en) | 2009-06-12 | 2014-07-01 | Applied Micro Circuits Corporation | Pattern-based optical lens testing apparatus having a module comparing a viewed image representation to a copy of target pattern and method for using the same |
US9088357B2 (en) | 2012-09-28 | 2015-07-21 | Applied Micro Circuits Corporation | Imaging system for passive alignment of engines |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4223216A (en) * | 1979-01-22 | 1980-09-16 | Rockwell International Corporation | Means for sensing and color multiplexing optical data over a compact fiber optic transmission system |
JPH06112583A (ja) * | 1992-09-25 | 1994-04-22 | Ando Electric Co Ltd | 外部共振器型半導体レーザ光源 |
JP3846918B2 (ja) * | 1994-08-02 | 2006-11-15 | 富士通株式会社 | 光伝送システム、光多重伝送システム及びその周辺技術 |
JP2001127377A (ja) * | 1999-10-28 | 2001-05-11 | Hitachi Ltd | 光送信装置および光伝送装置 |
US6211957B1 (en) * | 2000-03-03 | 2001-04-03 | Lucent Technologies, Inc. | In-line all-fiber polarimeter |
-
2002
- 2002-06-21 JP JP2002182089A patent/JP2004028645A/ja active Pending
-
2003
- 2003-06-18 US US10/463,806 patent/US20030234924A1/en not_active Abandoned
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016008951A (ja) * | 2014-06-26 | 2016-01-18 | 富士通株式会社 | 光源検査方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20030234924A1 (en) | 2003-12-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20210116295A1 (en) | Diagnostic waveguide for optical chip testing | |
US11187613B2 (en) | Opto electrical test measurement system for integrated photonic devices and circuits | |
US9791512B2 (en) | Test apparatus, test method, calibration device, and calibration method | |
JP3774630B2 (ja) | 光学装置及び光スペクトラム・アナライザ | |
US20130169968A1 (en) | Reflectivity measuring device, reflectivity measuring method, membrane thickness measuring device, and membrane thickness measuring method | |
JPH11326198A (ja) | 対象物検査用光学装置 | |
JP2000035376A (ja) | 光学部品テスタ | |
CA2222002A1 (en) | Method and circuit for detecting laser mode hop | |
JP5653722B2 (ja) | テラヘルツ波イメージング装置 | |
CN102628736A (zh) | 一种激光线宽测量装置 | |
US6822984B2 (en) | Device for and method of testing semiconductor laser module | |
US6762829B2 (en) | Measurement of optical properties of passive optical devices using the matrix method | |
JP2004028645A (ja) | 光デバイス測定装置及び光デバイス測定用の受光ユニット | |
US11435392B2 (en) | Inspection method and inspection system | |
US6897948B2 (en) | Variable-wavelength light source apparatus | |
CN113504462B (zh) | 测试装置及测试方法 | |
JP2000346882A (ja) | 電気光学サンプリングプローバ及び測定方法 | |
US20230314216A1 (en) | Pulsed-light spectroscopic device | |
US6342947B1 (en) | Optical power high accuracy standard enhancement (OPHASE) system | |
JP2001183398A (ja) | 測定信号出力装置 | |
CN117470507A (zh) | 一种光学器件的损耗测试装置及损耗测试方法 | |
JPH05157635A (ja) | 光ファイバ式温度分布測定装置 | |
KR20040100246A (ko) | 점광원 측정용 분광현미경 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040709 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040727 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040924 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050304 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050428 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060322 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060519 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060613 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20061017 |