JP2000035376A - 光学部品テスタ - Google Patents

光学部品テスタ

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JP2000035376A
JP2000035376A JP11109099A JP10909999A JP2000035376A JP 2000035376 A JP2000035376 A JP 2000035376A JP 11109099 A JP11109099 A JP 11109099A JP 10909999 A JP10909999 A JP 10909999A JP 2000035376 A JP2000035376 A JP 2000035376A
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optical component
optical
tester
light beam
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JP11109099A
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Edgar Leckel
エドガー・レッケル
Helmut Sennewald
ヘルミュット・センネヴァルド
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Hewlett Packard Co
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    • G01MEASURING; TESTING
    • G01MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M11/00Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
    • G01M11/30Testing of optical devices, constituted by fibre optics or optical waveguides
    • G01M11/33Testing of optical devices, constituted by fibre optics or optical waveguides with a light emitter being disposed at one fibre or waveguide end-face, and a light receiver at the other end-face

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 波長依存性の光学部品の特性を明らかにする
ための改良された測定装置を提供すること。 【解決手段】 光学部品(100)の波長依存特性を決定す
るための光学部品テスタ(10)。該テスタは、前記光学部
品(100)に刺激信号を加えるためのチューナブルレーザ
源(20)と、該刺激信号に関する前記光学部品(100)の応
答を受信するための1つ又は2つ以上の応答装置(80A〜
80Z)とを機能ユニットとして備えている。該テスタは更
に、前記機能ユニットに接続されてその機能を制御する
制御ユニット(60)を備えている。前記機能ユニットは好
適には信号プロセッサ(170)に接続されたマイクロコン
トローラ(150)を備え、これにより、該信号プロセッサ
が、機能ユニットに接続され、該テスタにおける全ての
タイミングクリティカル操作の処理を責務とするものと
なる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、光学部品の波長依
存特性の判定に関する。
【0002】
【従来の技術】光学部品の測定を行うためには、その部
品のタイプ及びそのスペクトル帯域幅によって一般に決
まる様々な要件を満たさなければならない。例えば、光
増幅器の入力におけるポンプカプラは、50nm以上のスペ
クトル帯域幅を有する可能性があり、一方、波長分割多
重化(WDM)デマルチプレクサは、その各チャネル毎
に僅か0.2nmのスペクトル幅しか有していない可能性が
ある。とりわけ、WDMまたは稠密WDM(DWDM)
デバイスといった最近の光学デバイスは、1つの入力と
複数の出力を備えており、その各出力が異なる波長帯域
幅特性を有している場合がある。こうしたデバイスの測
定では、必要な特性を求めるために、一出力当たり数千
の測定ポイントを必要とする場合が多く、一出力当たり
1つのパワーメータが前記測定ポイントを同期して得な
ければならない。
【0003】波長依存性の光学部品の特性を明らかにす
るための既知の測定装置(例えば、ISBN 0-13-534330-
5、358〜382ページのDennis Dericksonによる「Fiber o
ptictest and measurement」を参照のこと)は、通常
は、波長計、トラッキングフィルタ、及び光学パワーメ
ータと組み合わせられ(上記文献の360ページ)、標準
的なインターフェイス(例えばHPIB)を介して接続され
た、チューナブルレーザ源をベースにしたものである。
チューナブルレーザ源を利用する代わりに、光スペクト
ルアナライザと組み合わせて広帯域幅の光源を用いるこ
とが可能であるが(上記文献中の368fページ)、チュー
ナブルレーザ源(約10-6nm)に比べると分解帯域幅が制
限される(約0.1...0.05nm)。
【0004】EP-A-453 176は、光ファイバによって伝送
されるテスト信号のパルス幅を最適化する光学的な障害
点測定器を開示している。該障害点測定器は、刺激信号
を送り出すためのレーザ源と、該刺激信号に関する応答
を受信するための応答装置とを備えた、光学的な時間領
域反射率計(OTDR)である。前記レーザ源及び応答装置
は両方ともマイクロプロセッサにより制御可能である。
【0005】EP-A-548 935は、光ファイバにおける有効
屈折率を測定するための装置を開示している。この装置
は、光学部品に刺激信号を加えるためのチューナブルレ
ーザ源と、該刺激信号に関する光学部品の応答を受信す
るための受信器とを備えている。該チューナブルレーザ
源及び受信器の動作を制御するために制御ユニットがそ
れらに接続されている。
【0006】US-A-5,644,417は、電気光学モジュールの
送信データ依存性ジッタを測定するための自動システム
を開示している。このシステムは、レーザ源と、レーザ
信号に対する応答を受信するための受信器と、該システ
ムを制御するためのPCとを含むものである。
【0007】US-A-4,664,522は、回折格子で回折する外
部光源から一対の検出器への光を受光する光導波路スペ
クトルアナライザを開示している。前記検出器からのデ
ータは、コンピュータにより処理され解析される。
【0008】既知の測定装置のいずれにおいても不利な
点は、極めて複雑で高コストのものとなる場合が多いか
かる測定装置が、一般に測定速度において、または測定
精度において、あるいは、その両方において制限を有す
るものとなり、このため、最近の光学部品の特性を明ら
かにするために適用できないか、または、十分でないと
いう点である。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、波長
依存性の光学部品の特性を明らかにするための改良され
た測定装置を提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】これは、特許請求の範囲
における独立項による光学部品の波長依存特性を決定す
るための光学部品テスタ及びそれに対応する方法によっ
て解決される。その他の有利な実施態様については、そ
の従属項に見いだすことができる。
【0011】本発明によれば、テスタ内における操作を
タイミングを重要とする操作(以下タイミングクリティ
カル操作と称す)とタイミングを重要としない操作(以
下非タイミングクリティカル操作と称す)との分離を提
供し、これにより、処理速度及びタイミング挙動を改善
する。これは、テスタ内における全てのタイミングクリ
ティカル操作の処理を責務とする特定の信号プロセッサ
により実現される。
【0012】本発明による光学部品テスタは、該テスタ
と同一か又は類似の測定速度及び/又は精度を提供する
従来のテスタと比較して複雑でなく低コストのものとな
る。さらに、本発明による光学部品テスタは、その各機
能ユニットの整合性の改善と制御ユニットによる中央制
御とに起因して、最新の光学部品の特性判断に関する一
層高い測定速度及び/又は測定精度を提供することによ
り、性能を高めることを可能にするものである。テスタ
の設定及び修正、並びにトリガ信号の処理及び送出も、
制御ユニットにより中央で操作することが可能となる。
【0013】更に、本発明によれば、高コストとなる個
別部品の調整と比較して、「スイッチ・オン・レディ・
トゥ・ゴー(スイッチを入れるとすぐに作動可能状態に
なる)」モードのターンキーとして光学部品テスタを提
供することが可能になる。ファームウェア及びユーザイ
ンターフェイスは、ここの用途の必要性(利用可能性)
に合わせて調整することが可能である。更に、光学部品
テスタは、1つの箱にまとめることが可能であり、これ
によりスペース及び価格に関する経済的な解決がもたら
される。
【0014】光学部品テスタ内の機能ユニット及び/又
は外部装置のトリガは、フレキシブルなトリガ装置によ
り実施することが可能であり、該トリガ装置はソフトウ
ェア制御式のものとすることが望ましい。
【0015】望ましい実施態様では、光学部品テスタ
は、波長計及び/又は減衰器を機能ユニットとして備え
る。波長計の入力及び/又は減衰器の入力にチューナブ
ルレーザ源の出力を直接結合することにより、該減衰器
の出力が、光学部品に刺激信号を加えるための改善され
た外部出力を提供する。このため、当業界で既知の個別
部品からなる測定装置に関して「波長」対「パワーフラ
ットネス(出力の平坦性)」が増すことにより、出力に
おける光学出力パワーの増大を達成すること、またほと
んどの場合、レーザ刺激の性能の向上を達成することが
可能になる。
【0016】チューナブルレーザ源は、本出願人による
欧州特許出願第97121649.4号に開示のような低ノイズチ
ューナブルレーザ源として実施するのが望ましい。更
に、波長計は、やはり本出願人による欧州特許出願第97
107247.5号に開示のような波長計として実施して、0.05
nm未満の波長分解能と高い動的性質とを併せ持つ高速刺
激応答測定を可能にすることが望ましい。
【0017】制御ユニットに(事前)較正データ及び/
又は設定データをロードして、機能ユニットの長時間を
要する較正を回避することにより、更に改良を加えるこ
とが可能であり、これにより、データを記憶すると共に
要求に応じて取り出せるようにするのが望ましい。
【0018】刺激及び/又は応答波長掃引は、波長計を
用いてチューナブルレーザ源の線形波長調整を確実なも
のにすることにより線形波長モードで実施し、又はこれ
とは対照的に、チューナブルレーザ源を第1の波長から
第2の波長へと移行させることにより定速度モードで実
施し、これにより、波長計が各測定ポイント毎に波長の
測定を行うようにするのが好ましい。チューナブルレー
ザ源と波長計との間で波長修正ループが存在しないた
め、後者のモードのほうが高速となる。
【0019】チューナブルレーザ源は、応答装置とは無
関係にレーザ源としてのみ利用することができるのは明
らかである。
【0020】
【発明の実施の形態】図1には、本発明による光学部品
テスタ10の概要を示すブロック図である。光学部品テス
タ10は、チューナブルレーザ源(TLS)20、波長計(W
M)30、及び減衰器(AT)40を備えており、これらは、
汎用バス(図示せず)または独立したデータバス50A,50
B,50Cを介して制御ユニット60に接続されている。制御
ユニット60は、汎用バス(図示せず)または独立したバ
ス70を介して1つ以上の応答装置80A〜80Zに接続されて
いる。本明細書において用いられるバスという用語は、
当業界で既知のあらゆる種類の適当な接続を表すもので
ある。
【0021】制御装置60は、チューナブルレーザ20、波
長計30、減衰器40、及び、応答装置80A〜80Zといった、
光学部品テスタ10内の機能ユニットの機能を制御する。
制御ユニット60は、更に、機能ユニット間の通信を支援
し、設定情報またはトリガ情報といった機能ユニットの
及び機能ユニット間の対話に関する情報を提供する。
【0022】各機能ユニットがバスを介して制御ユニッ
ト60に接続される本発明による光学部品テスタ10のアー
キテクチャによれば、全ての機能ユニットを(空間的
に)交換可能なモジュールとして実施することが可能で
あり、即ち、各機能ユニットの位置が固定されることが
ない。機能ユニットが同じ外径を有する場合、例えば、
チューナブルレーザ源20の位置と波長計30の位置とを交
換することが可能であり、その逆もまた可能である。更
に、エルビウムをドープしたファイバ増幅器(EDFA)を
既知の時間領域消光(TDE)方法を用いてテストするた
めに、2つ以上のレーザ源が必要とされる場合には、応
答装置80A〜80Zの1つ又は2つ以上を追加のレーザ源に
交換することが可能である。このため、他の追加的な機
能ユニットを備えることが可能となる。
【0023】もちろん、波長計30及び減衰器40は、本発
明の目的にとって必須ではないが、本発明の望ましい実
施態様の場合、単独でまたはそれらの組み合わせにより
随意選択的な機能を提供するものとなる。完璧を期し
て、下記の本発明に関する説明では、波長計30及び減衰
器40を含めるものとする。波長計30及び減衰器40の一方
又はその両者を省略した場合には、それに応じて光学部
品テスタ10の機能が低下することになり、例えば、(後
述の)線形波長操作が実施できなくなり、又は、減衰器
40によりパワーレンジに影響を与えるができなくなる。
【0024】検査対象となる装置(DUT)100の光学
特性を測定するための操作において、チューナブルレー
ザ源20の出力20Aは、波長計30の入力30A及び減衰器40の
入力40Aに接続される。減衰器40の出力40Bは、刺激信号
を供給するためにDUT100の入力110に接続される。D
UT100は、1つ以上の出力100A〜100Zを提供する可能
性があり、その各出力は、応答装置80A〜80Zのそれぞれ
の入力120A〜120Zに接続することが可能である。ただ
し、これとは異なる用途の場合には、他の接続が必要に
なる可能性がある。
【0025】望ましい実施態様の場合、チューナブルレ
ーザ源20の出力20Aは、波長計30の入力30A及び減衰器40
の入力40Aに直接接続され、該減衰器40の出力40Bによ
り、DUT100に刺激信号を加えるための、光学部品テ
スタ10の唯一の(外部)出力が提供されるようになって
いる。
【0026】波長計30も減衰器40も用いない場合には、
チューナブルレーザ源20の出力20Aは、DUT100に刺激
信号を加えるための出力を提供する。また、波長計30の
みを用いる場合には、該波長計30は、DUT100に刺激
信号を加えるための追加の出力(図示せず)を提供す
る。
【0027】望ましい実施態様では、本出願人による欧
州特許出願第97121649.4号に開示の低ノイズチューナブ
ルレーザ源がチューナブルレーザ源20として用いられ
る。該チューナブルレーザ源は、レーザビームを放出す
るための半導体及び/又はファイバ増幅器を備えた光学
共振器を提供するものとなる。波長依存性のミラーは、
レーザビームを受光して、波長分離を施されたレーザビ
ームを反射する。ビームスプリッタは、波長分離を施さ
れたレーザビームを分割して、増幅器に向けて送られる
フィードバックビームと、チューナブルレーザ源の光学
共振器から結合されるべき出力ビームとを生成する。こ
の出力ビーム(「低ノイズ出力」)は、再び増幅器を通
った後にフィードバックビームから結合される可能性の
ある出力ビーム(「大パワー出力」)に関して特に改善
されたS/N比を提供するものとなる。しかし、その
「大パワー出力」は、「低ノイズ出力」よりもかなり大
きなパワーを提供するものとなる。チューナブルレーザ
源20は、「大パワー出力」並びに「低ノイズ出力」を提
供可能なものである。従って、パワーレベルの低下に起
因して、DUT100に直接接続される外部出力20Bとして
「低ノイズ出力」が提供されるのが望ましい。チューナ
ブルレーザ源20の調整を大パワー出力20Aにより行い、
これにより、低ノイズ出力20Bが大パワー出力20Aと同じ
波長仕様を呈し、信号の純度(「信号」対「総ノイズ」
の比)が高くなるようにすることが可能である。
【0028】一般に、チューナブルレーザ源20は、2つ
以上のレーザ出力を提供することが可能であり、従って
(波長計30に対する)2つ以上の内部出力または(DU
T100に対する)外部出力を有することが可能である、
ということが理解されよう。
【0029】波長計30は、本出願人による欧州特許出願
第97107247.5号に開示の波長計として実施するのが望ま
しい。該波長計は、測定すべき入射ビームの光学パワー
によって決まる波長を備えた光ビームを生成する光学部
品を備えている。光信号が、第1の測定チャネルにおけ
る光信号に対しπ/2だけ遅延される第2の測定チャネ
ルが設けられている。所望の遅延を得るために、第1及
び第2の測定チャネルが、それぞれ異なるエタロンを備
えており、又は、波長計が、単一の遅延板を備えてい
る。波長計の較正後、光学部品により生成されたビーム
の光学パワーが測定される。該光学パワーの測定値が較
正データのパワー値と比較され、前記光学パワーの測定
値に対応する較正データの波長が求められる。PC等の
コントローラが、測定された波長と所望の波長との比較
を行い、レーザ源により生成される信号の波長を自動的
に調整する。
【0030】第1の光ビームの波長を測定するための
(欧州特許出願第97107247.5号による)望ましい波長計
30は、前記第1の光ビーム内またはその一部内に配置さ
れて第1の光学パワーを有する第2の光ビームを生成す
る第1の光学部品を備えており、これにより、前記第2
の光ビームの前記第1の光学パワーが前記第1の光ビー
ムの波長によって決まることになる。第1のパワー検出
器は、前記第2の光ビームの光学パワーを検出し、第1
のアロケータ(即ち割り当て手段)が、測定すべき前記
第1の光ビームの波長に対する、前記第1の光学部品に
より生成される前記第2の光ビームの光学パワーの依存
性に基づいて、前記検出された第1の光学パワーに波長
の割り当てを行う。また、前記第1の光ビーム内または
その一部内に配置されて第2の光学パワーを有する第3
の光ビームを発生する第2の光学部品が設けられ、これ
により、前記第3の光ビームの前記第2の光学パワーが
前記第3の光ビームの波長によって決まることになる。
第2のパワー検出器は、前記第3の光ビームの前記第2
の光学パワーを検出し、第2のアロケータが、測定すべ
き前記第1の光ビームの波長に対する、前記第2の光学
部品により生成される前記第3の光ビームの前記第2の
光学パワーの依存性に基づいて、前記検出された第2の
光学パワーに波長の割り当てを行う。前記第1及び第2
の光学部品により生成される光学パワーは、波長の増大
と共に周期的に発振し、前記第2の光ビームに対して前
記第3の光ビームが遅延される。
【0031】処理速度及びタイミング挙動を改善するた
め、制御ユニット60は、バス160を介して信号プロセッ
サ(SP)170に接続されたマイクロコントローラ(μC)
150を備えることが可能であり、これにより、信号プロ
セッサ170は、バス50A,50B,50Cを介して、チューナブル
レーザ源20、波長計30、及び減衰器40に接続されること
になる。マイクロコントローラ150は、主として、例え
ば、チューナブルレーザ源20の設定またはトリガの設定
といった測定のための設定を提供し、測定結果の処理を
行い、及び外部装置との通信を提供することに関して責
務を負うものである。これに対し、信号プロセッサ170
は、主として、チューナブルレーザ源20の精確な調整、
または精確な時間における(例えばチューナブルレーザ
源20、波長計30、減衰器40、及び応答装置80A〜80Zのた
めの)重要なトリガ信号の送出といった全てのタイミン
グクリティカル操作の処理について責務を負うものであ
る。
【0032】一例では、マイクロコントローラ150は、
まず(例えば、波長計30及び減衰器40と組み合わせた調
整レーザ源20の特定のセッティング及び/又は較正に関
するデータを提供することにより)特定の測定に関する
基本的な設定を開始し、特定の期待されるレーザ信号を
DUT100に送出できるようにする。実際に送出される
レーザ信号が必要とされるレーザ信号から逸脱している
場合には、信号プロセッサ170がチューナブルレーザ源2
0の精確な調整を得るためのあらゆる手段及び方策を提
供し、又はそのための個々のステップを開始することに
なる。更に、信号プロセッサ170は、精確な時間が重要
となる(precise time critical)トリガ信号の送出を操
作し、これにより、各レーザ信号が所定の(必要とされ
る)時点で送出され、及び波長計30により決定される所
定の波長でDUT100の特定のレーザ入力信号に応答装
置80A〜80zの各測定結果を明確に割り当てることができ
るようにする。
【0033】欧州特許出願第97107247.5号に開示の波長
計が用いられる場合には、マイクロコントローラ150は
また、波長計30に対する開始値として測定すべき期待波
長に関するデータを供給する。
【0034】制御ユニット60は、好適には、例えば、制
御ユニット60、信号プロセッサ170、トリガ装置200、応
答装置80A〜80Z、及び/又は光学部品テスタ10の装置全
体に関する、(事前)較正データ及び/又は設定データ
を格納したメモリ130に結合される。一例では、メモリ1
30は、波長に対するチューナブルレーザ源20のパワー依
存性に関するデータ、及び波長に対する波長計30及び/
又は減衰器40の減衰挙動に関するデータを格納したもの
となる。このデータにより、制御ユニット60が、特定の
波長及び振幅のレーザ信号を送出するためにチューナブ
ルレーザ源20及び波長計30の事前較正を行うことが可能
になる。このため、機能ユニットの冗長な較正ステップ
を短縮させ、また回避することさえ可能になる。
【0035】高速波長調整及び制御を可能にするため、
信号プロセッサ170に関する(事前)較正データを信号
プロセッサ170の(図示しない随意選択の)メモリにロ
ードすることにより(例えばチューナブルレーザ源20の
調整中における波長のセッティング及び修正に関する)
より迅速な応答が可能となる。
【0036】制御ユニット60は、更に、チューナブルレ
ーザ源20、波長計30、減衰器40、及び応答装置80A〜80Z
といった機能ユニットの個々の機能を起動させ開始させ
るトリガ信号を送出するためのトリガ装置(TRIGGER)2
00を備えることが可能である。従って、該トリガ装置20
0は、バス205を介してマイクロコントローラ150と接続
され、ひいては、バス160を介して信号プロセッサ170
に、及びバス70を介して応答装置80A〜80Zに接続され
る。トリガ装置200は、内部モジュール及び/又は外部
モジュールを互いに接続することが可能であることが望
ましく、レベル制御またはエッジ制御を施されることが
望ましい。
【0037】トリガ装置200は、ハードウェア部品のほ
ぼ全ての機能の設定及び修正をソフトウェア手段により
行うことができるよう実施し、実際の要求に応じてトリ
ガ装置200をプログラムできるようにすることが望まし
い。これは、例えば、低コストでスペース要件が小さい
フィールドプログラマブルゲートアレイ(FPGA)を用い
て実施することが可能である。
【0038】トリガ信号のタイミングを改善するため
に、トリガ装置200は好適には、ライン210を介して信号
プロセッサ170に直接接続され、信号プロセッサ170から
制御入力信号を受信し、またライン220を介して信号プ
ロセッサ170に直接接続されて該信号プロセッサ170に制
御出力信号を送出するものとなる。従って、トリガ装置
200は好適には、それぞれの信号入力ライン230A〜230Z
を介して応答装置80A〜80Zのそれぞれに直接接続されて
各応答装置にトリガ信号を送出し、信号出力ライン240A
〜240Zのそれぞれを介して該応答装置80A〜80Zのそれぞ
れに直接接続されて各応答装置からそれぞれのレディ
(作動可能)信号を受信するものとなる。更に、トリガ
装置200は、光源、受信器、電流源、信号生成器等の外
部の機能ユニットをトリガするための外部トリガ入力25
0及び外部トリガ出力260を備えることも可能である。
【0039】トリガ装置200は、必要に応じてチューナ
ブルレーザ源、波長計30、及び減衰器40に直接接続する
ことも可能であることは明らかである。
【0040】望ましい実施態様では、トリガ装置200
は、例えばEDFAをテストするためのTDE法に適用
することが可能な高速ハードウェアトリガリングのため
に最適化される。トリガ装置200は、複数のレーザ源を
オン/オフさせるよう同時にトリガを行うことが可能で
あり、例えば、その際にレーザ源間の遅延時間がマイク
ロ秒又はそれ以下の範囲になることを保証することによ
り、TDE法をサポートすることが可能となる。
【0041】図2は、トリガ装置200の一実施態様を示
している。信号プロセッサ170からトリガ装置200に供給
される制御入力信号210は、信号入力ライン85A〜85Zの
それぞれに直接接続される。応答装置80A〜80Zのそれぞ
れの信号出力ライン240A〜240Zは、論理ゲート250のそ
れぞれの入力に接続され、該論理ゲート250の出力は、
制御出力信号としてライン220に接続される。望ましい
実施態様の場合、ゲート250は、ANDゲートとなる。
【0042】動作時には、チューナブルレーザ源20と波
長計30との間に制御ループを確立し、これによりチュー
ナブルレーザ20の出力20Aが波長計30の入力30Aに接続さ
れるようにすることにより、光学部品テスタ10の線形波
長動作が達成される。制御ユニット60がチューナブルレ
ーザ源20に所定波長での発光を要求すると、波長計30は
制御ユニット60に送られる信号の実際に発光された波長
を測定する。次いで、制御ユニット60が、実際に発光さ
れた波長が要求された波長に等しくなるまでチューナブ
ルレーザ源20の調整を行って、要求された波長に関する
設定を増大させることになる。該制御ユニット60は、メ
モリ130に予め格納されているチューナブルレーザ源20
及び波長計30の設定値を該メモリ130から読み出すこと
が可能である。
【0043】望ましい一実施態様では、レーザ源20の調
整は、波長モータにより実施される粗波長移動と、例え
ば、キャビティ長の変更(例えば圧電調整)による波長
微調整とによって実施される。
【0044】高速刺激及び/又は応答波長掃引は、線形
波長モードまたは定速度モードで、光学部品テスタ10で
実施することが可能である。線形波長モードの場合に
は、チューナブルレーザ源20の線形波長調整、即ち(好
適には複数の(例えば時間及び/又は波長に関して)等
距離の波長値にわたる)所定の変位範囲内での第1の波
長から第2の波長への線形移行を保証するために、波長
計30を用いることが可能である。
【0045】また、定速度モードの場合には、チューナ
ブルレーザ源20を(好適には複数の波長値にわたり)第
1の波長から第2の波長へと移行させ、波長計30を用い
て、各測定ポイントで波長が測定される。線形波長モー
ドとは対照的に、定速度モードでは、応答装置80A〜80Z
からの測定データが、各測定ポイント毎に波長計30によ
り測定されるそれぞれの波長値と組み合わせられる点
で、通常は連続的な後処理が必要になる。
【0046】定速度モードの場合と同様に線形波長モー
ドの場合も、(例えば移行中にモータ位置または圧電位
置を修正するための)波長(事前)較正データを利用す
ることにより、測定速度を大幅に改善することが可能で
あり、該較正データは、好適には、メモリ130又は信号
プロセッサ170の随意選択によるメモリ中に格納されて
いるデータとして取り出すことが可能である。
【0047】高速波長測定または掃引を可能にするた
め、チューナブルレーザ源20は、波長の微調整が可能な
モードホップのない(mode hop free)チューナブルレー
ザを備えていることが望ましく、波長計30には、検知要
素として高速波長計を備えていることが望ましい。
【0048】応答装置80A〜80Zのそれぞれには、ソフト
ウェア及びハードウェアによるトリガ信号で制御するこ
とが可能な光スペクトルアナライザ等のパワーメータ及
び/又は波長選択パワーメータを備えることが可能であ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による光学部品テスタの概要を示すブロ
ック図である。
【図2】トリガ装置200の実施態様を示すブロック図で
ある。
【符号の説明】
10 光学部品テスタ 20 チューナブルレーザ源 20A フィードバックビーム 20B 第1の出力ビーム 30 波長計 30A 波長計の入力 40 減衰器 40A 減衰器の入力 60 制御ユニット 80 応答装置 130 メモリ 150 マイクロコントローラ 170 信号プロセッサ 200 トリガ装置

Claims (13)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】光学部品(100)の波長依存特性を決定する
    ための光学部品テスタ(10)であって、 前記光学部品(100)に刺激信号を加えるためのチューナ
    ブルレーザ源(20)と、 前記刺激信号に関する前記光学部品(100)の応答を受信
    するための1つ又は2つ以上の応答装置(80A〜80Z)とを
    機能ユニット(20〜40,80)として備え、 前記機能ユニット(20〜40,80)に接続されて該機能ユニ
    ットの機能を制御する制御ユニット(60)を備えており、 前記機能ユニット(20〜40,80)に接続されると共に該テ
    スタ(10)におけるタイミングクリティカル操作の処理を
    責務とする信号プロセッサ(170)を前記制御ユニット(6
    0)が備えていることを特徴とする、光学部品テスタ。
  2. 【請求項2】前記制御ユニット(60)が、前記機能ユニッ
    ト(20〜40,80)間の通信を提供し、及び前記機能ユニッ
    ト(20〜40,80)間の対話のための情報を提供する、前項
    1に記載の光学部品テスタ(10)。
  3. 【請求項3】前記制御ユニット(60)が、前記信号プロセ
    ッサ(170)に接続されたマイクロコントローラ(150)を備
    えている、前項1または前項2に記載の光学部品テスタ
    (10)。
  4. 【請求項4】前記制御ユニット(60)が、前記機能ユニッ
    ト(20〜40,80)を起動させるためのトリガ信号を送出す
    るトリガ装置(200)を備えている、前項1ないし前項3
    の何れか一項に記載の光学部品テスタ(10)。
  5. 【請求項5】前記トリガ装置(200)が、前記信号プロセ
    ッサ(170)及び/又は前記機能ユニット(20〜40,80)に接
    続されて、それらから制御入力信号を受信し、それらへ
    制御出力信号を送出する、前項4に記載の光学部品テス
    タ(10)。
  6. 【請求項6】前記機能ユニット(20〜40,80)として波長
    計(30)及び/又は減衰器(40)を備えている、前項1ない
    し前項5の何れか一項に記載の光学部品テスタ(10)。
  7. 【請求項7】前記チューナブルレーザ源(20)の出力(20
    A)が、前記波長計(30)の入力(30A)及び/又は前記減衰
    器(40)の入力(40A)に直接接続され、前記減衰器(40)の
    出力(40B)が、前記光学部品(100)に刺激信号を加えるた
    めの該光学部品テスタ(10)の外部出力を提供する、前項
    6に記載の光学部品テスタ(10)。
  8. 【請求項8】前記チューナブルレーザ源(20)が、レーザ
    ビームを放出するための半導体及び/又はファイバ増幅
    器を備えた光共振器と、レーザビームを受光すると共に
    波長分離を施したレーザビームを反射する波長依存性ミ
    ラーと、該波長分離を施されたレーザビームを、増幅器
    に送られるフィードバックビーム(20A)とチューナブル
    レーザ源(20)の光共振器から接続される第1の出力ビー
    ム(20B)とに分割するビームスプリッタとを備えてい
    る、前項6または前項7に記載の光学部品テスタ(10)。
  9. 【請求項9】前記第1の光ビームの波長を測定するため
    の前記波長計(30)が、 前記第1の光ビーム内またはその一部内に配置された第
    1の光学部品であって、第1の光学パワーを有する第2
    の光ビームを生成し、これにより該第2の光ビームの第
    1の光学パワーが前記第1の光ビームの波長によって決
    まるようにする、第1の光学部品と、 前記第2の光ビームの前記第1の光学パワーを検出する
    第1のパワー検出器と、 測定すべき前記第1の光ビームの波長に対する、前記第
    1の光学部品により生成された前記第2の光ビームの前
    記第1の光学パワーの依存性に基づいて、前記検出され
    た第1の光学パワーに波長を割り当てる、第1の波長割
    当手段と、 前記第1の光ビーム内またはその一部内に配置された第
    2の光学部品であって、第2の光学パワーを有する第3
    の光ビームを生成し、これにより該第3の光ビームの第
    2の光学パワーが前記第1の光ビームの波長によって決
    まるようにする、第2の光学部品と、 前記第3の光ビームの前記第2の光学パワーを検出する
    第2のパワー検出器と、 測定すべき前記第1の光ビームの波長に対する、前記第
    2の光学部品により生成された前記第3の光ビームの前
    記第2の光学パワーの依存性に基づいて、前記検出され
    た第2の光学パワーに波長を割り当てる、第2の波長割
    当手段とを備えており、 前記第1及び第2の光学部品により生成される前記光学
    パワーが波長の増大と共に周期的に発振し、前記第3の
    光ビームが前記第2の光ビームに対して遅延する、前項
    6ないし前項8の何れか一項に記載の光学部品テスタ(1
    0)。
  10. 【請求項10】前記制御ユニット(60)が、較正データ、
    事前較正データ、及び/又は設定データが格納されたメ
    モリ(130)に接続されている、前項1ないし前項9の何
    れか一項に記載の光学部品テスタ(10)。
  11. 【請求項11】光学部品(100)の波長依存特性を決定す
    るための方法であって、 前記光学部品(100)に刺激信号を加え、 該刺激信号に対する光学部品(100)の応答を受信し、 テスタ(10)内における操作をタイミングクリティカル操
    作と非タイミングクリティカル操作とに分割することに
    より前記刺激信号の供給及び該刺激信号に対する応答の
    受信を制御する、という各ステップを有する、光学部品
    (100)の波長依存特性の決定方法。
  12. 【請求項12】前項10に記載の光学部品テスタ(10)によ
    り光学部品(100)の波長依存特性を決定するための方法
    であって、前記信号プロセッサ(170)に関する較正及び
    /又は事前較正データが該信号プロセッサ(170)のメモ
    リ装置にロードされている、光学部品(100)の波長依存
    特性の決定方法。
  13. 【請求項13】前項6ないし前項10の何れか一項に記載
    の光学部品テスタ(10)により光学部品(100)の波長依存
    特性を決定するための方法であって、刺激及び/又は応
    答波長掃引が、 波長計(30)を用いてチューナブルレーザ源(20)の線形波
    長調整を確実なものにすることにより線形波長モードで
    実施され、又は、 チューナブルレーザ源(20)を第1の波長から第2の波長
    に移行させることにより定速度モードで実施され、その
    結果として波長計(30)が各測定ポイントで波長を測定す
    ることになる、光学部品(100)の波長依存特性の決定方
    法。
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