CN106019654B - 探针单元、阵列基板的检测设备及检测方法 - Google Patents

探针单元、阵列基板的检测设备及检测方法 Download PDF

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Abstract

本发明提供了一种探针单元、阵列基板的检测设备及检测方法,涉及显示技术领域,能够解决现有的阵列基板的检测设备适用范围窄的问题,降低检测成本。其中所述探针单元包括M个探针,用于输出不同检测信号的N个检测信号端,及多个控制开关,所述多个控制开关分成M组,每组包括N个控制开关,M组控制开关一一对应地控制所述M个探针,每组的N个控制开关均与对应的探针电连接,且每组的N个控制开关一一对应地与所述N个检测信号端电连接;其中,M≥2,且N≥2。上述探针单元用于对阵列基板进行检测。

Description

探针单元、阵列基板的检测设备及检测方法
技术领域
本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种探针单元、阵列基板的检测设备及检测方法。
背景技术
在薄膜晶体管液晶显示器(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display,以下简称TFT-LCD)的制备工艺中,在阵列基板的制备完成后,为了保证产品的质量,需要采用阵列基板的检测设备对阵列基板上的线路和像素进行检测,确定线路是否存在短路、断路以及是否存在不良像素等问题,以筛选出不合格的产品。
如图1和图2所示,阵列基板的检测设备中一般包括探针单元1和用于产生驱动信号的信号发生器,其中,探针单元1包括多个探针11和与多个探针11一一对应的电连接的多个检测信号端12。检测时,将探针单元1中探针11与待测阵列基板中信号线GO、GE、COM、DO、DE的引出端21对应的电连接,利用信号发生器产生对各信号线进行检测所需要的检测信号,检测信号依次通过检测信号端12、探针11和信号线的引出端21加载在信号线上,从而实现对信号线的检测。
但是,上述检测方式存在如下问题:从图1中可以看出,阵列基板上的信号线的类型是不同的,包括奇数行栅线GO、偶数行栅线GE、公共电极线COM、奇数行数据线DO、偶数行数据线DE等,对不同类型的信号线进行检测需要不同的检测信号,探针单元中的探针11需要按照信号线的位置顺序输出相应的检测信号,但是不同型号的阵列基板上的信号线的位置有所不同,这就造成一种阵列基板的检测设备只能适用于一种型号的阵列基板的检测,阵列基板的检测设备的适用范围很窄,同时检测不同型号的阵列基板需要配备不同的阵列基板的检测设备,这无疑造成了检测成本的增加。
发明内容
本发明提供一种探针单元、阵列基板的检测设备及检测方法,以解决现有的阵列基板的检测设备适用范围窄的问题,降低检测成本。
为达到上述目的,本发明采用如下技术方案:
本发明的第一方面提供了一种探针单元,包括M个探针,及用于输出不同检测信号的N个检测信号端,所述探针单元还包括多个控制开关,所述多个控制开关分成M组,每组包括N个控制开关,M组控制开关一一对应地控制所述M个探针,每组的N个控制开关均与对应的探针电连接,且每组的N个控制开关一一对应的与所述N个检测信号端电连接;其中,M≥2,且N≥2。
在本发明所提供的探针单元中,增设了多个控制开关,多个控制开关分成M组,每组包括N个控制开关,M组控制开关一一对应地控制探针单元中的M个探针,每组的N个控制开关均与对应的探针电连接,且每组的N个控制开关一一对应的与N个检测信号端电连接,从而通过控制开关的打开和关闭,每个探针均能够输出N个检测信号。当采用上述探针单元检测阵列基板时,能够根据阵列基板上信号线的顺序,确定与信号线对应的探针需要输出哪种检测信号,进而控制该探针与相应检测信号端通道上的控制开关打开,即可使该探针输出所需要的检测信号,因此本发明所提供的探针单元能够适用于不同型号的阵列基板的检测,适用范围相对于现有技术中的探针单元更广,从而也就无需为每种型号的阵列基板均相应的搭配探针单元,降低了检测成本。
本发明的第二方面提供了一种阵列基板的检测设备,所述阵列基板的检测设备包括:如本发明的第一方面所述的探针单元;信号发生器,所述信号发生器与所述探针单元电连接。
上述阵列基板的检测设备的有益效果与本发明的第一方面所提供的探针单元的有益效果相同,此处不再赘述。
本发明的第三方面提供了一种阵列基板的检测方法,所述阵列基板的检测方法应用于如本发明的第二方面所述的阵列基板的检测设备,所述阵列基板的检测方法包括:将所述阵列基板的检测设备的探针单元与待测阵列基板电连接;根据所述待测阵列基板上各信号线的顺序,确定与各信号线电连接的各探针需要输出的检测信号;根据各探针需要输出的检测信号,控制各探针与相应检测信号端通道上的控制开关打开,且控制其余控制开关关闭。
上述阵列基板的检测方法的有益效果与本发明的第一方面所提供的探针单元的有益效果相同,此处不再赘述。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其它的附图。
图1为现有的探针单元中探针与待测阵列基板上信号线的引出端的连接关系示意图;
图2为现有的探针单元中探针与检测信号端的连接关系示意图;
图3为本发明实施例一所提供的探针单元的结构示意图;
图4a为本发明实施例一所提供的探针单元的控制开关的结构示意图一;
图4b为本发明实施例一所提供的探针单元的控制开关的结构示意图二;
图5为本发明实施例一所提供的探针单元的载体盒的立体结构示意图;
图6为本发明实施例一所提供的探针单元的载体盒的顶部载板的平面示意图;
图7a为本发明实施例一所提供的探针单元中探针、控制开关和检测信号端的连接结构示意图一;
图7b为本发明实施例一所提供的探针单元中探针、控制开关和检测信号端的连接结构示意图二;
图8为本发明实施例一所提供的探针单元中设置多个支架的结构示意图;
图9为本发明实施例一所提供的探针单元中的备用探针、控制开关和检测信号端的连接结构示意图。
附图标记说明:
1-探针单元; 11-探针;
12-检测信号端; 13-控制开关;
131-基体; 131a-承载构件;
131b-导电弹片; 132-施力构件;
133-导电构件; 2-待测阵列基板;
21-引出端; 3-载体盒;
31-顶部载板; 32-底部载板;
4-导线槽; 5-支架;
6-备用探针。
具体实施方式
为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂,下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其它实施例,均属于本发明保护的范围。
需要说明的是,以下各实施例结合的附图中所示出的探针、检测信号端、控制开关、信号线的引出端、待测阵列基板、支架、以及备用探针的具体数量仅仅为示意说明,并不代表各自的实际数量。
实施例一
如图3所示,本实施例提供了一种探针单元1,该探针单元1包括M个探针11,用于输出不同检测信号的N个检测信号端12和多个控制开关13,其中,M个探针11与待测阵列基板2中的信号线的引出端21对应的电连接,利用信号发生器(图中未示出)产生各信号线进行检测所需要的检测信号,检测信号依次通过检测信号端12、探针11和信号线的引出端21加载到信号线上。
探针单元1中探针11、检测信号端12和控制开关13之间的连接关系为:如图3所示,将多个控制开关13分成M组,每组包括N个控制开关13,M组控制开关一一对应地控制M个探针11,每组的N个控制开关13均与对应的探针11电连接,且每组的N个控制开关13一一对应地与N个检测信号端12电连接;其中,M≥2,且N≥2。
在本实施例所提供的探针单元1中,由于在探针11与检测信号端12连接的通道上增设控制开关13,并且探针11、检测信号端12和控制开关13之间采用上述连接关系,因此每个探针11均与全部的N个检测信号端12相连,且每个探针11与各检测信号端12的各条通道上均有一控制开关13进行通道开启或关闭的控制,也就是说,通过控制开关13的打开和关闭,每个探针11均能够输出N种检测信号。当采用上述探针单元1检测阵列基板时,能够根据阵列基板上信号线的顺序,确定与信号线对应的探针需要输出哪种检测信号,进而控制该探针与相应检测信号端通道上的控制开关13打开,即可使该探针输出所需要的检测信号,因此本发明所提供的探针单元1能够适用于不同型号的阵列基板的检测,适用范围相对于现有技术中的探针单元更广,从而也就无需为每种型号的阵列基板均相应的搭配探针单元,降低了检测成本。
从另一方面来说,在现有技术中,由于不同型号阵列基板上信号线的排布顺序不同,一种型号的阵列基板通常只能采用一种探针单元进行检测,而为了减小检测成本,在一定程度上,会对阵列基板上信号线的排布顺序造成限制。采用本实施例所提供的上述方案,实现了不同型号的阵列基板仅用一种探针单元就可进行检测,因此消除了对阵列基板上信号线的排布顺序的限制,从而使得阵列基板的设计更加灵活多变。
本实施例中,控制开关13的实现结构可以有多种,下面示例性地给出一种结构。如图4a和4b所示,控制开关13包括基体131、施力构件132和导电构件133,其中,基体131包括承载构件131a和导电弹片131b,承载构件131a上设置有安装孔,导电弹片131b一端安装在承载构件131a的下表面上,另一端经过所述安装孔的下方;施力构件132安装于安装孔内,并且能够相对于承载构件131a沿安装孔的轴向移动;导电构件133设置在基体131和施力构件132的下方。将导电弹片131b与探针11电连接,导电构件133与检测信号端12电连接;或者,将导电弹片131b与检测信号端12电连接,导电构件133与探针11电连接。如图4a所示,当施力构件132朝向导电构件133移动时,施力构件132的端部抵顶导电弹片131b,使导电弹片131b与导电构件133电接触;如图4b所示,当施力构件132背向导电构件133移动时,导电弹片131b回弹,导电弹片131b与导电构件133分离。
利用上述结构,通过施力构件132相对于导电构件133进行上下移动,实现控制开关13的关闭或打开,从而实现探针11与检测信号端12连接通道的断开或连接。
优选的,承载构件131a的安装孔的孔壁上设置有螺纹纹路,施力构件132外壁也设置有螺纹纹路,施力构件132与承载构件131a的安装孔进行螺纹连接。采用螺纹连接的方式,可以通过旋拧施力构件132来实现施力构件132相对于导电构件133的向上或向下运动,实施起来更加方便、省力。
如图5所示,可将多个控制开关13设置在一个载体盒3上,载体盒3包括顶部载板31和与顶部载板31相对的底部载板32,其中,顶部载板31用于安装基体131中的承载构件131a,承载构件131a可通过嵌入的方式嵌在顶部载板31中,也可安装在顶部载板31朝向底部载板32的下表面;底部载板32用于安装导电构件133,同样的,导电构件133可通过嵌入的方式嵌在底部载板32中,也可安装在底部载板32朝向顶部载板31的上表面。
采用上述结构,一方面,载体盒3为多个控制开关13提供了安装的载体,对多个控制开关13的位置进行了固定;另一方面,在后续对控制开关13修理维护时,直接将载体盒3取出即可,从而使修理维护工作更加方便、易操作。
需要说明的是,顶部载板31和底部载板32的垂直距离不宜过大,应满足:施力构件132朝向导电构件133进行移动时,当移动到一定位置后,施力构件132端部抵顶的导电弹片131b可以与导电构件133实现电接触。
导电弹片131b与探针11可通过导线电连接,导电构件133与检测信号端12可通过导线电连接;或者,将导电弹片131b与检测信号端12通过导线电连接,导电构件133与探针11通过导线电连接。基于上述电连接的方式,如图6所示,为了使导线的放置更加规整有序,还可在顶部载板31和底部载板32上还分别设置导线槽4,顶部载板31的导线槽用于放置与导电弹片131b电连接的导线,底部载板32的导线槽用于放置与导电构件133电连接的导线。
为了使探针单元内部的结构更加简洁和规整有序,控制开关13在载体盒3上优选的可呈矩阵式排列,下面示例性的给出两种排列方案。
方案一:如图7a所示,多个控制开关13呈M行、N列排列,第一个探针与第一行的N个控制开关电连接,第一行的N个控制开关一一对应地与N个检测信号端电连接;第二个探针与第二行的N个控制开关电连接,第二行的N个控制开关一一对应地与N个检测信号端电连接;……;以此类推。
当第一个探针需要输出第一个检测信号端输出的检测信号时,将第一行第一列位置上的控制开关打开,第一行其他位置上的控制开关关闭,使第一个探针仅与第一个检测信号端电连接;当第一个探针需要输出第二个检测信号端输出的检测信号时,将第一行第二列位置上的控制开关打开,第一行其他位置上的控制开关关闭,使第一个探针仅与第二个检测信号端电连接;……;以此类推,可以实现每个探针按照需要输出不同的检测信号。
方案二:如图7b所示,多个控制开关13呈N行、M列排列,第一个探针与第一列的N个控制开关电连接,第一列的N个控制开关一一对应地与N个检测信号端电连接;第二个探针与第二列的N个控制开关电连接,第二列的N个控制开关一一对应地与N个检测信号端电连接;……;以此类推。
当第一个探针需要输出第一个检测信号端输出的检测信号时,将第一列第一行位置上的控制开关打开,第一列其他位置上的控制开关关闭,使第一个探针仅与第一个检测信号端电连接;当第一个探针需要输出第二个检测信号端输出的检测信号时,将第一列第二行位置上的控制开关打开,第一列其他位置上的控制开关关闭,使第一个探针仅与第二个检测信号端电连接;……;以此类推,可以实现每个探针按照需要输出不同的检测信号。
在实际应用中,不同型号的阵列基板上的信号线的类型是不同的,对不同类型的信号线进行检测需要不同的检测信号;而基于方案一和方案二,使每个探针可输出任意一个检测信号端所对应的检测信号,从而实现了利用一种探针单元检测多个型号阵列基板的有益效果。
此外,本发明多个控制开关13的排列方式不仅限于方案一和方案二中的排列方式,可根据实际需要进行排列。
基于上述实施例所提供的探针单元1,如图8所示,还可将探针单元1中的多个探针11设置于多个支架5上,支架5的数量小于或等于M,即每个支架上的探针数量大于等于1。设置多个支架5,可使多个支架5分别对应不同型号或相同型号的阵列基板,从而可实现同时对多个阵列基板进行检测工作,提高了检测效率。
优选的,如图9所示,邻近每个探针均设置有至少一个备用探针6,每个探针所对应的N个控制开关控制该探针的每个备用探针,且每个探针所对应的N个控制开关均与该探针的每个备用探针电连接。这样,在检测过程中,若有探针发生损坏,其备用探针可代替该损坏的探针继续完成检测工作,保障了检测工作的顺利进行。
在上述实施例提供的探针单元1中,可将检测信号端12设置于一信号电路板(图中未示出)上,该信号电路板与用于生成检测信号的信号发生器电连接,从而使信号发生器所生成的检测信号传输至信号电路板上,并进一步从检测信号端12输出。
实施例二
基于实施例一,本实施例提供了一种阵列基板的检测设备,包括实施例一所提供的探针单元1,以及信号发生器,信号发生器与探针单元1电连接,信号发生器产生对各信号线进行检测所需要的检测信号,检测信号依次通过探针单元1中的检测信号端12、探针11和待测阵列基板2中信号线的引出端21加载在待测阵列基板2中的信号线上,从而实现对信号线的检测。采用该阵列基板的检测设备,可解决现有的阵列基板的检测设备适用范围窄的问题,降低检测成本。
实施例三
本实施例提供了一种阵列基板的检测方法,该检测方法包括以下步骤:
将阵列基板的检测设备的探针单元1与待测阵列基板2电连接;
根据待测阵列基板2上各信号线的顺序,确定与各信号线电连接的各探针需要输出的检测信号;
根据各探针需要输出的检测信号,控制各探针与相应检测信号端通道上的控制开关打开,且控制其余控制开关关闭。
将该实施例中阵列基板的检测方法应用于上述实施例所提供的阵列基板的检测设备,通过阵列基板的检测设备中控制开关13的打开或关闭,实现探针11与检测信号端12连接通道的切换,即使一种探针单元适用于不同型号的阵列基板的检测,适用范围相对于现有技术中的探针单元更广,从而也就无需为每种型号的阵列基板均相应的搭配探针单元,降低了检测成本。
以上所述仅为本发明的具体实施方式,但本发明的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内,可轻易想到的变化或替换,都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此,本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (11)

1.一种探针单元,用于阵列基板的检测设备中,包括M个探针,及用于输出不同检测信号的N个检测信号端,其特征在于,所述探针单元还包括多个控制开关,所述多个控制开关分成M组,每组包括N个控制开关,M组控制开关一一对应地控制所述M个探针,每组的N个控制开关均与对应的探针电连接,且每组的N个控制开关一一对应地与所述N个检测信号端电连接;其中,M≥2,且N≥2。
2.根据权利要求1所述的探针单元,其特征在于,所述控制开关包括:
基体,所述基体包括承载构件和导电弹片,所述承载构件上设置有安装孔,所述导电弹片的一端安装在所述承载构件的下表面上,另一端经过所述安装孔的下方;
安装于所述安装孔内的施力构件,所述施力构件能够相对于所述承载构件沿所述安装孔的轴向移动;
设置于所述基体和所述施力构件的下方导电构件;
所述导电弹片与所述探针电连接,且所述导电构件与所述检测信号端电连接;或者,所述导电弹片与所述检测信号端电连接,且所述导电构件与所述探针电连接;
当所述施力构件朝向所述导电构件移动时,所述施力构件的端部抵顶所述导电弹片,使所述导电弹片与所述导电构件电接触;当所述施力构件背向所述导电构件移动时,所述导电弹片回弹,所述导电弹片与所述导电构件分离。
3.根据权利要求2所述的探针单元,其特征在于,所述施力构件与所述安装孔螺纹连接。
4.根据权利要求2所述的探针单元,其特征在于,所述多个控制开关设置于一载体盒上,所述载体盒包括:
顶部载板,所述承载构件安装于所述顶部载板上;
与所述顶部载板相对的底部载板,所述导电构件安装于所述底部载板上。
5.根据权利要求4所述的探针单元,其特征在于,所述导电弹片与所述探针通过导线电连接,所述导电构件与所述检测信号端通过导线电连接;或者,所述导电弹片与所述检测信号端通过导线电连接,所述导电构件与所述探针通过导线电连接;
所述顶部载板和所述底部载板上分别设置有导线槽,所述顶部载板的导线槽放置与所述导电弹片电连接的导线,所述底部载板的导线槽放置与所述导电构件电连接的导线。
6.根据权利要求5所述的探针单元,其特征在于,所述多个控制开关在所述载体盒上呈矩阵式排列;其中,
所述多个控制开关呈M行、N列排列;或者,所述多个控制开关呈N行、M列排列。
7.根据权利要求1所述的探针单元,其特征在于,邻近每个所述探针均设置有至少一个备用探针,每个探针所对应的N个控制开关控制该探针的每个备用探针,且每个探针所对应的N个控制开关均与该探针的每个备用探针电连接。
8.根据权利要求1所述的探针单元,其特征在于,所述N个检测信号端设置于一信号电路板上,所述信号电路板与用于生成所述检测信号的信号发生器电连接。
9.根据权利要求1所述的探针单元,其特征在于,所述M个探针设置于多个支架上,所述支架的数量小于或等于M。
10.一种阵列基板的检测设备,其特征在于,所述阵列基板的检测设备包括:
如权利要求1~9任一项所述的探针单元;
信号发生器,所述信号发生器与所述探针单元电连接。
11.一种阵列基板的检测方法,其特征在于,所述阵列基板的检测方法应用于如权利要求10所述的阵列基板的检测设备,所述阵列基板的检测方法包括:
将所述阵列基板的检测设备的探针单元与待测阵列基板电连接;
根据所述待测阵列基板上各信号线的顺序,确定与各信号线电连接的各探针需要输出的检测信号;
根据各探针需要输出的检测信号,控制各探针与相应检测信号端通道上的控制开关打开,且控制其余控制开关关闭。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN106646228A (zh) * 2016-11-29 2017-05-10 张宁 一种电机电路控制器检测仪
CN110523644A (zh) * 2019-08-13 2019-12-03 江苏伊施德创新科技有限公司 用于电子元器件的检测设备
JP7346259B2 (ja) * 2019-11-18 2023-09-19 株式会社日本マイクロニクス 測定システム

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10185956A (ja) * 1996-12-25 1998-07-14 Micronics Japan Co Ltd プローブユニット
CN102681227A (zh) * 2012-05-30 2012-09-19 深圳市华星光电技术有限公司 液晶显示面板的检测方法
CN102681279A (zh) * 2012-05-30 2012-09-19 深圳市华星光电技术有限公司 平板显示装置的阵列制程用的基板、制作方法及相应的液晶显示面板
CN103698915A (zh) * 2013-12-20 2014-04-02 合肥京东方光电科技有限公司 一种阵列基板

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10185956A (ja) * 1996-12-25 1998-07-14 Micronics Japan Co Ltd プローブユニット
CN102681227A (zh) * 2012-05-30 2012-09-19 深圳市华星光电技术有限公司 液晶显示面板的检测方法
CN102681279A (zh) * 2012-05-30 2012-09-19 深圳市华星光电技术有限公司 平板显示装置的阵列制程用的基板、制作方法及相应的液晶显示面板
CN103698915A (zh) * 2013-12-20 2014-04-02 合肥京东方光电科技有限公司 一种阵列基板

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