JPS6139545A - ウエ−ハ用キヤリヤ− - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 上の　　！ この発明は半導体ウェーハ用キ１？リヤーの改良に関す
るものである。

」Ｌ悲１【 第２図は従来の典型的なウェーハ用キャリヤー１を示す
ものであり、多数の半導体つ工−ハＷをほぼＩ直かつ等
間隔に並べて載置するようになっている。キャリヤー１
の全体がＰＦＡで作られている。

キャリヤー１にはガイド部２とサポート部３が設けられ
ている。

ガイド部２はウェーハＷの側部をガイドするために多数
の溝を等間隔に有する。このようなガイド部２はキャリ
ヤー１の両側に対をなして平行かつ垂直に固定されてい
る。

また、サポート部３はウェーハＷの底部をサポートする
ために設けられたものであり、多数の溝を等間隔に有す
る。サポート部３はキャリヤー１の底部に平行かつ斜め
に固定されている。

しかも、従来のキャリヤー１においては、サポート部３
とガイド部２とが連続して一体的に形成されている。

、　が　　じょうとする口　、 多数の半導体ウェーハＷを処理する際には、周知なよう
に、超音波洗浄工程と回転乾燥工程とが重要なものであ
る。

ところが、前述のような従来のウェーハ用キャリヤー１
にあっては、次に述べるような理由にＪ：す、超音波洗
浄工程におけるキ１！リヤーと回転乾燥工程におけるキ
ャリヤーとを別にし、そのため、超音波洗浄が終った後
、多数のウェーハを別のウェーハ用キャリヤーに移し変
えなければならなかった。

（１）、ＰＦＡ（４フツ化エチレンパーフロロアルキ共
重合樹脂）はゴミが付着し易く、しかも取り難い。

（２）従来のようにキャリヤーがＰＦＡで作られている
と、超音波洗浄の際にキャリヤーが超音波を吸収して減
食してしまい、洗浄効果が低下する。特にキャリヤーの
上部の方は洗浄効果が著しく低下する。

（３）ＰＦＡ製のキャリヤーであると、剛性が低く、回
転乾燥用に使用できない。

１１匹１江 この発明は前述のような従来のつＩ−ハ用キャリヤーに
おける欠点を解消して、洗浄効果が大きく、しかも処理
工程を簡略にできるウェーハ用キャリヤーを提供するこ
とを目的とするものである。

、＋７）ＬＥ この発明の要旨とするところは、多数の半導体ウェーハ
をほぼ垂直かつ等間隔に並べて載置するためのウェーハ
用キャリヤーにおいて、ウェーハの側部をガイドするた
めに多数の溝を等間隔に有する１対の細長い石英製のガ
イド部をキャリヤーの両側に平行かつ垂直に固定し、ウ
ェーハの底部をサポートするために多数の溝を等間隔に
有する１対の精長い石英製のサポート部を互いに離すと
ともにキャリヤーの底部に平行かつ斜めに固定し、さら
にガイド部とサポート部を離し、しかもガイド部とサポ
ート部の表面にＰＦＡをコーティングしたことを特徴と
するウェーハ用キャリヤーにある。

を　゛　るた　の二 この発明によるウェーハ用キャリヤー１０は、ウェーハ
Ｗの側部をガイドづるために多数の溝を等間隔に有する
１対の細長い石英製のガイド部１１と、ウェーハＷの底
部をサポートするために多数の溝を等間隔に有する１対
の細長い石英製のサポート部１２とを有す１対のガイド
部１１はキャリヤー１０の両側に平行かつ垂直に固定さ
れている。１対のサポート部１２は互いに離れていて、
キャリヤー１０の底部に平行かつ斜めに固定されている
。

更に、ガイド部１１とサポート部１２は互いに離れてお
り、そこに洗浄液が通過するための空間１３が形成され
ている。

また、１対のサポート部１２も互いに離れており、キャ
リヤー１０の真下にも、洗浄液が通過するための空間１
４が形成されている。

更に、ガイド部１１とサポート部１３の表面にＰＦＡが
コーティングしである。

ｌ ウェーハ用キャリヤー１０に多数のウェーハＷを載置し
て、超音波洗浄を行った後、そのままの状態で回転乾燥
を行う。つまり、超音波洗浄を行った後、多数のウェー
ハＷを他のつｌ−ハ用キャリヤーに移し変えずにそのま
ま同じキャリヤーで回転乾燥を行うのである。

丈１１１ 第１図と第３図に示すように、この発明によるウェーハ
用キャリヤー１０はその両側に１対の細長い石英製のガ
イド部１１と、その底部に１対の細長い石英製のサポー
ト部１２とを有する。

各ガイド部１１の内側には多数の溝が等間隔に形成して
あり、それによりウェーハＷの側部をガイドするように
なっている。ガイド部１１は互いに平行であり、垂直に
配置されている。

両ガイド部１１の少し上方にはそれぞれ補強プレート１
５が設けである。この補強プレート１５とガイド部１３
とは離れている。

サポート部１２はウェーハＷの底部をサポートするため
に用いられるものであり、その内側に多数の溝が等間隔
に形成しである。１対のリポ−ｌ一部１２が互：い・に
平行にカ１つ斜めに配冒しである。１対のサポート部１
２は互いに離れており、それによりキャリヤー１０の底
部に洗浄液通過用の空回１４を形成しているカ ーまた、ガイド部１１とサポート部１２との間も＋・分
に離れており、そこに洗浄液通過用の空間１３が形成さ
れている。

ガイド部１１とサポート部１２はその表面に−ｆ、Ｐ　
Ｆ　Ａがコーティングしてあり、ショックアブソーバ−
の機能を果たすようになっている。ＰＦＡとしてはテフ
ロンが最適である。

１対の端板１６．１７がそれぞれ石英で作られていて、
全体がほぼ凹形状に形成されている。ガイド部１１とサ
ポート部１２の両端がそれらの端板１６．１７に溶接し
て固定されている。各端板１６．１７の底部には２本の
脚１６ａ１１７ａが設けである。さらに各端板１６．１
７の内側コーナーにはほぼ三角形の補強部１６ｂ、１７
ｂが設けである。

また、脚１・６ａ　、１７ａの間に補強棒１８が設けで
ある。

なお、ガイド部１１、サポート部１２、及び端板１６．
１７は全体を透明石英で作るのが好ましく、そのうちガ
イド部１１とサポート部１２の表面にのみＰＦＡのコー
ティングをＷｌｔのが望ましいのである。

１１へ１１ この発明によれば、ウェーハ用キャリヤーのほぼ全体が
石英（好ましくは透明石英）で作られているため、超音
波洗浄の際に超音波を吸収減衰させる現象が発生せず、
従って、従来のＰＦＡｉｉのキャリヤーに比較して洗浄
効果が格段に向上する。とくに、キャリヤーの上方部分
での洗浄効果が顕著である。

しかも、キャリヤーのほぼ全体が石英で形成されている
ため、キャリヤー全体の剛性が大きく、超音波洗浄の際
はもちろん回転乾燥の際にも十分な剛性を保つことかで
き、従つて、超音波洗浄と回転乾燥とについてまったく
同一のウェーハ用キャリヤーを使用することができる。

その結果、超音波洗浄の後、多数のウェーハを別のキャ
リヤーに移すことなく、そのまま同じウェーハ用キャリ
ヤーで回転乾燥を行うことができる。丈なわら、多数の
ウェーハを移し替えるという最も困難な一つの工程を完
全に省略することができるのである。これにより処理時
間の短縮を計れるばかりでなく、移し替えの際にウェー
ハに傷をつけることがなくなり、経済的効果は極めて大
である。

また、ガイド部１１とサポート部１２とが完全に離れて
いて、そこに空間１３が形成されており、しかも１対の
サポート部１２の間にも空間１４が存在しているので、
洗浄液が容易に流れることができ、そのため洗浄効果が
一段と高まるという大きな実用上の効果が得られる。

さらには、ウェーハＷの接触するガイド部１１とサポー
ト部１２に、ＰＦＡのコーティングが施しであるので、
超音波洗浄の際にそれらのＰＦＡのコーティング部分が
ショックアブソーバ−の機能を果たす。そのためウェー
ハが石英に直接触れてウェーハに微細なりラックを発生
させることを完全に回避することが、できる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明によるウェーハ用キャリヤーを示す斜
視図、第２図は従来のウェーハ用キャリヤーを示す斜視
図、第３図は第１図のウェーハ用キャリヤーの垂直断面
図である。 １０・・・ウェーハ用キャリヤー １１・・・ガイド部 １２・・・ザボート部 １６．１７・・・端板 第３図

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）多数の半導体ウェーハをほぼ垂直かつ等間隔に並
   べて載置するためのウェーハ用キャリヤーにおいて、ウ
   ェーハの側部をガイドするために多数の溝を等間隔に有
   する１対の細長い石英製のガイド部をキャリヤーの両側
   に平行かつ垂直に固定し、ウェーハの底部をサポートす
   るために多数の溝を等間隔に有する１対の細長い石英製
   のサポート部を互いに離すとともにキャリヤーの底部に
   平行かつ斜めに固定し、さらにガイド部とサポート部を
   離し、しかもガイド部とサポート部の表面にＰＦＡをコ
   ーティングしたことを特徴とするウェーハ用キャリヤー
   。
2. （２）１対の端板がそれぞれ石英製でほぼ凹形状に形成
   されていて、ガイド部とサポート部の両端が端板に溶接
   されている特許請求の範囲１項記載のウェーハ用キャリ
   ヤー。
3. （３）各端板の底部に２本の脚を設け、各端板の内側コ
   ーナーにほぼ三角形の補強部を設けた特許請求の範囲第
   ２項に記載のウェーハ用キャリヤー。
4. （４）ガイド部、サポート部および端板が透明石英で作
   られている特許請求の範囲第１、２又は３項に記載のウ
   ェーハ用キャリヤー。