KR0125857Y1 - 마스크 세척장비의 마스크 파지장치 - Google Patents

Abstract

본 고안은 마스크 세척장비의 마스크 파지장치에 관한 것으로, 종래의 마스크 세척장비의 아암이 정사각형 마스크만 파지하여 작업할 수 있도록 되어 있어 다른 형태로 된 마스크의 세척을 수작업을 할 수밖에 없는 단점을 개선하기 위한 것이다. 본 고안은 이송용 아암에 형성된 파지홈에 삽입 지지되는 한 쌍의 모서리부와 작업용 아암에 형성된 파지공에 삽입 지지되는 모서리부가 형성되고 마스크의 외주 형상과 일치하는 마스크 장착홈이 형성된 마스크 고정용 지지대를 구비하여 일반적인 마스크의 형태와 다른 형태를 가진 퍼킨 엘머용 마스크와 같은 마스크의 세척을 수작업이 아닌 세척장비에 의한 자동 작업으로 할 수 있도록 한 것이다.

Description

마스크 세척장비의 마스크 파지장치

제1도는 일반적인 마스크 세척장비의 이송용 아암을 보인 도면으로서,

(a)는 이송용 아암의 단면도.

(b)는 이송용 아암이 마스크를 파지한 상태를 보인 측면도.

제2도는 일반적인 마스크 세척장비의 작업용 아암을 보인 도면으로서,

(a)는 작업용 아암의 단면도.

(b)는 작업용 아암의 마스크를 파지한 상태를 보인 측면도.

제3도는 일반적인 정사가경 마스크를 보인 도면으로서,

(a)는 평면도.

(b)는 단면도.

제4도는 퍼킨 엘머용 마스크를 보인 평면도.

제5도는 일반적인 마스크 세척장비의 아암들이 퍼킨 엘머용 마스크를 지지한 상태를 보인 도면으로서,

(a)는 이송용 아암이 퍼킨 엘머용 마스크를 파지한 상태를 보인 측면도.

(b)는 작업용 아암이 퍼킨 엘머용 마스크를 파지한 상태를 보인 단면도.

제6도는 본 고안의 마스크 고정용 지지대를 보인 평면도.

제7도는 본 고안의 마스크 고정용 지지대가 아암에 파지된 상태를 보인 도면으로서,

(a)는 이송용 아암에 파지된 상태를 보인 측면도.

(b)는 작업용 아암에 파지된 상태를 보인 측면도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 이송용 아암 2 : 파지홈

4 : 마스크 5 : 작업용 아암

6 : 파지공 10 : 마스크 고정용 지지대

11 : 마스크 장착홈 F,G,H : 모서리부

본 고안은 포토 노광공정에서 사용되는 마스크를 세척하는 장비에 관한 것으로, 특히 마스크의 크기 및 형태에 관계 없이 마스크를 파지하여 세척 작업을 수행하기에 적합한 마스크 세척장비의 마스크 파지장치에 관한 것이다.

일반적으로 마스크를 세척하기 위해서는 마스크를 세척장비에 로딩을 하고 이 로딩된 마스크를 황상 유닛, QDR 유닛, 스크러버(Scrubber) 및 SC-1 유닛 등의 각각의 유닛으로 정해진 순서에 따라 이송하여 세척 작업으로 자동적으로 행하게 된다. 이때 각각의 유닛들 사이에서의 마스크의 이송은 이송용 아암을 이용하여 행하고, 각 유닛내에서의 작업용 아암에 마스크를 파지하여 행하게 된다.

제1도 및 제2도에 도시된 바와 같이 상기한 바와 같은 종래 기술에 의한 일반적인 마스크 세척장비의 마스크 파지장치는 마스크(4)를 각 작업 유닛 사이에서 이송시키는 이송용 아암(1)과 각 유닛으로 이송된 마스크(4)를 파지하여 작업을 수행하는 작업용 아암(5)에 각각 설치되어 있다.

먼저 이송용 아암(1)의 구조를 살펴보면, 정사각형인 마스크(4)의 서로 대향하는 모서리부를 양 쪽에서 파지하도록 서로 마주보는 파지홈(2)들이 형성된 구조이다. 그리고 이 파지홈(2)의 파지면(3)들은 직각으로 형성된 정사각형 마스크(4)의 모서리부를 파지하도록 서로 직각으로 만나게 형성되어 있다. 따라서 파지면(3)들이 서로 만나게 되는 접촉선(도시되지 않음)에 마스크(4)의 모서리부가 위치되어져서 아암(1)에 마스크(4)가 파지된다. 이때 파지홈(2) 입구의 폭(A)은 약 2cm이다.

그리고 작업용 아암(5)의 구조를 살펴보면 막대 형상이며, 상면에 마스크(4)가 끼워져 파지되는 장방형의 파지공(6)이 형성되어 있다. 이 파지공(6)의 크기는 일반적으로 길이(B)가 10cm이고 깊이(C)가 3cm이다. 이러한 작업용 아암(5)에 마스크(4)가 파지되는 형태는 상기 파지공(6)에 마스크(4)의 한 쪽 모서리부가 끼워져 파지되도록 되어 있다.

그러나 상기한 바와 같은 종래의 아암(1,5)들은 다음과 같은 문제점을 가지고 있다.

먼저 일반적으로 사용되는 마스크의 크기를 알아보면 정사각형 마스크(4)는 제3도에 도시한 바와 같이 정사각형의 판상으로 가로, 세로의 길이가 같고, 퍼킨 엘머(Perkin Elmer)용 마스크(7)의 경우는 상기 정사각형 마스크(4)의 네 모서리부를 직경(D')이 7.25인치가 되도록 원형으로 잘라낸 형태이다.

상기와 같은 규격을 가지는 마스크를 세척하는 경우에 있어서 종래 기술에 의한 세척장비는 정사각형 마스크(4)만을 파지하기에 적합한 아암(1,5)들을 가지고 있다. 따라서 일반적인 마스크(4)와 형태가 다른 퍼킨 엘머용 마스크(7)와 같은 마스크를 세척하기 위해 마스크를 지지하는 경우에는 부적합한 점이 있었다.

즉 이송용 아암(1)의 경우에 있어서는 마스크 파지부의 형태가 정사각형 마스크(4)의 모서리부를 파지하기에 적합한 형태로 되어 있어 제5도의 (a)에 도시한 바와 같이 퍼킨 엘머용 마스크(7)와 같이 정사각형 모서리부 부분을 원형으로 잘라낸 형태의 마스크를 파지하지 못하게 된다.

또한 작업용 아암(5)의 경우에 있어서는 파지공(6)에 정사각형의 마스크(4)가 끼워졌을 때 파지공(6)에 끼워진 마스크(4)의 길이(D)는 5cm로서 마스크가 파지공(6)의 아래로 2cm정도 돌출되나, 퍼킨 엘머용 마스크(7)가 끼워졌을 때 파지공(6)에 끼워진 마스크(7)의 길이(E)는 2cm로서 마스크(7)가 파지공(6)내에만 끼워지고 아래로 연장 돌출되지 않아 마스크(7)가 안정되게 파지되지 않고 좌우로 흔들리게 되는 문제점이 있다.

따라서 정사각형의 구조가 아닌 퍼킨 엘머용 마스크(7)는 현재 사용중인 일반적인 마스크 세척장비로서는 세척이 불가능하여 수작업으로 세척을 행하여야 한다.

그러나 수작업을 세척을 하는 경우 이물이 완전히 제거되지 못하고 마스크(7)에 남아 있어 이러한 마스크(7)를 이용하여 형성된 웨이퍼의 패턴에는 상기 제거되지 않은 이물에 의한 패턴간의 쇼트가 발생될 우려가 있고, 세척이 잘 되지 않아 여러 번의 재 세척 작업을 함으로 인해 마스크(7)의 수명이 짧아지는 문제점이 있었다.

본 고안의 목적은 상기한 바와 같은 종래 기술에 의한 마스크 세척장비의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 일반적인 정사각형 마스크와 다른 형태의 마스크를 파지하여 세척할 수 있는 마스크 파지장치를 제공하여 모든 형태의 마스크의 세척을 자동적으로 수행할 수 있는 마스크 세척장비의 마스크 파지장치를 제공함에 있다.

상기와 같은 본 고안의 목적은 이송용 아암에 형성된 파지홈에 삽입 지지되는 한 쌍의 모서리부와 작업용 아암에 형성된 파지공에 삽입 지지되는 모서리부가 형성되고 마스크의 외주 형상과 일치하는 마스크 장착홈이 형성된 마스크 고정용 지지대를 구비하여서 됨을 특징으로 하는 마스크 세척장비의 마스크 파지장치에 의하여달성된다.

상기 마스크 고정용 지지대에 형성된 마스크 장착홈이 퍼킨 엘머용 마스크의 외주형상과 일치하는 형상으로 형성된 것임을 특징으로 하고, 그리고 상기 마스크 고정용 지지대가 호아산, SC-1에 의해 손상되지 않는 재료로 형성됨을 특징으로 한다.

이하, 첨부된 도면에 도시된 본 고안의 일 실시예를 참고하여 마스크 세척장비의 마스크 파지장치를 상세히 설명한다.

여기서 종래 기술의 것과 구성 및 기능이 같은 것은 동일 부호로 표시한다.

제6도 및 제7도에 도시한 바와 같이 본 고안에 의한 마스크 파지장치는 마스크 고정용 지지대(10)가 이송용 아암(1)에 형성된 파지홈(2) 및 작업용 아암(5)에 형성된 파지공(6)에 파지되도록 설계된다.

상기 마스크 고정용 지지대(10)는 일반적인 정사각형의 마스크(4)와 크기가 같으며 모서리부(F,G,H)를 가지는 정방형의 판에 퍼킨 엘머용 마스크(7)가 장착될 수 있도록 퍼킨 엘머용 마스크(7)의 외주 형상과 일치하는 마스크 장착홈(11)이 형성되어 있다.

상기 모서리부(F,G,H)중 양측 모서리부(G,H)는 이송용 아암(1)의 파지홈(2)에 삽입 지지되는 부분이며, 하부 모서리부(F)는 작업용 아암(5)의 파지공(6)에 삽입 지지되는 부분이다.

이러한 마스크 장착홈(11)은 퍼킨 엘머용 마스크(7) 뿐만 아니라 이와 다른 여러가지 형태의 마스크가 장착될 수 있도록 다양한 형태로 형성될 수 있다.

상기 마스크 고정용 지지대(10)는 황산, SC-1 등에 의해 손상되지 않는 재료로 만들어지며, 일반적으로 아암(5)과 동일한 재질로 만들어질 수 있다.

이러한 마스크 고정용 지지대(10)는 상기 정사각형 마스크(4)의 크기와 동일한 크기로 형성되어 있으므로 이송용 아암(1)의 파지홈(2)에 정확하게 양측 모서리부(G,H)가 파지되어 상기 정사각형 마스크(4)가 이송용 아암(1)에 파지되는 것과 동일하게 파지된다.

그리고 작업용 아암(5)의 파지공(6)에 마스크 고정용 지지대(10)의 하부 모서리부(F)가 끼워지면 상기 정사각형 마스크(4)가 파지공(6)에 끼워졌을 때와 같은 형태로 파지공(6)에 끼워진다.

또한 이송용 아암(1)의 경우에 있어서는 이송용 아암(1)이 마스크(4,7)들을 파지하게 될 때 아암(1)의 크기 및 파지 면적은 세척 작업와 아무런 관련이 없다. 다라서 일반적인 정사각형의 마스크(4) 뿐만 아니라 모서리부 부분이 원형으로 된 퍼킨 엘머용 마스크(7)도 파지할 수 있도록 이송용 아암(1)의 파지홈(2) 입구의 폭(A)을 9cm이상으로 만든, 상기와 다른 실시예인 이송용 아암(1)을 사용하여 퍼킨 엘머용 마스크(7)를 자동적으로 이송하도록 할 수 있다.

상기와 같은 구조를 가지는 마스크 파지장치는 다음과 같이 사용된다.

먼저, 퍼킨 엘머용 마스크(7)에 있어서는 ㅍ의외주형이 형성된 마스크 장착홈(11)을 가지는 지지대(10)에 퍼킨 엘머용 마스크(7)를 장착한다. 그리고 마스크(7)가 장착된 지지대(10)를 마스크 세척장비에 로딩하여 일반적인 세척 작업 과정을 거치면서 세척을 실시한다.

또한 또 다른 형태의 마스크에 있어서는 그 또 다른 형태의 마스크를 장착하기 위한 마스크 장착홈이 형성되어 있는 지지대에 마스크를 장착시켜 세척장비에 로딩하여 작업을 수행한다.

상기한 바와 같은 구조를 가지고 사용되는 마스크 파지장치의 효과를 설명하면 다음과 같다.

즉 지지대의 크기는 일반적인 정사각형 마스크의 크기와 같으므로 종래의 일반적인 세척장비의 이송용 아암 및 작업용 아암으로도 퍼킨 엘머용 마스크 및 또 다른 형태의 마스크를 파지하여 세척 작업을 자동으로 수행할 수 있으므로 수작업에 의한 세척보다 세척상태가 양호하게 되어 웨이퍼의 패턴 형성이 정확하게되고, 또한 세척이 양호하게 되므로 재 세척을 해야하는 회수가 줄게 되어 마스크의수명이 늘어나게 되는 이점이 있다.

Claims (3)

1. 이송용 아암에 형성된 파지홈에 삽입 지지되는 한 쌍의 모서리부와 작업용 아암에 형성된 파지공에 삽입 지지되는 모서리부가 형성되고 마스크의 외주 형성과 일치하는 마스크 장착홈이 형성된 마스크 고정용 지지대를 구비하여서 됨을 특징으로 하는 마스크 세척장비의 마스크 파지장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 마스크 고정용 지지대에 형성된 마스크 장착홈이 퍼킨 엘머용 마스크의 외주 형상과 일치하는 형상으로 형성된 것임을 특징으로 하는 마스크 세척장비의 마스크 파지장치.
3. 제2항에 있어서, 상기 마스크 고정용 지지대가 황산, SC-1에 의해 손상되지 않는 재료로 형성됨을 특징으로 하는 마스크 세척장비의 마스크 파지장치.