KR970013088A - 폴리싱 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 폴리싱 장치는 반도체 웨이퍼와 같은 대상물을 평탄하게 경면 연마한다. 이 폴리싱 장치는 연마될 대상물을 저장하는 저장카세트와, 연마포가 부착된 적어도 하나의 턴테이블과, 대상물을 지지하며 연마포에 대하여 대상물을 가압하는 상부링을 각각 구비하는 적어도 2개의 폴리싱유닛과, 대상물이 상부링으로부터 제거된 상태에서 폴리싱 유닛중 하나에 의해 연마된 대상물을 세척하는 클리닝유닛을 포함한다. 폴리싱 장치는 2개의 저장카세트, 폴리싱유닛 및 크리닝 유닛사이에서 대상물을 전달하는 전달로봇을 더욱 포함한다.

Description

폴리싱 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
도 1은 본 발명의 제 1실시예에 따른 폴리싱장치의 개략평면도.
도 2는 도 1에 도시된 폴리싱장치의 사시도.
도 3은 본 발명의 제 1실시예에 따른 폴리싱 장치내의 폴리싱 유닛의 종단면도.
도 4a 및 4b는 도 1에 도시된 폴리싱 장치의 다른 작동 모드를 설명한 개략평면도.
도 5는 본 발명의 제 2실시예에 따른 폴리싱 장치의 개략 평면도이다.

Claims (17)

  1. 폴리싱장치에 있어서:
    연마될 대상물을 저장하는 저장수단과;
    연마포가 부착된 턴테이블과, 대상물을 지지하며 상기 연마포에 대해 상기 대상물을 가압하는 상부링을 각각 구비한 적어도 2개의 폴리싱유닛 포함하는 폴리싱수단과;
    상기 상부링으로부터 제거된 상태에서, 상기 폴리싱유닛중 하나에 의해 연마된 상기 대상물을 세척하는 크리닝수단과; 및2개의 상기 저장수단, 상기 폴리싱수단 및 상기 세척수단사이에서 상기 대상물을 전달하는 전달수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 폴리싱장치.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 대상물이 상기 폴리싱유닛중 하나에 의해 연마되기 전 또는 연마된 후 상기 대상물을 리버싱하는 리버싱수단을 더욱 포함하는 것을 특징으로 하는 폴리싱장치.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 저장수단은 적어도 하나의 저장 카세트를 포함하는 것을 특징으로 하는 폴리싱장치.
  4. 제 2항에 있어서, 상기 크리닝수단은 적어도 2개의 클리닝유닛을 포함하며, 상기 리버싱수단은 적어도 2개의 리버싱유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 폴리싱장치.
  5. 제 4항에 있어서, 상기 폴리싱유닛은 연마될 또는 연마된 상기 대상물을 위치시키는 푸셔를 포함하며, 상기 클리닝수단은 상기 푸셔에 제공된 린싱용액 공급장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 폴리싱장치.
  6. 제 4항에 있어서, 상기 폴리싱유닛은 상기 저장수단과 서로 대향하는 관계로 이격 위치하며, 상기 클리닝유닛의 적어도 하나는 상기 폴리싱유닛과 상기 저장수단사이로 연장하는 전달라인의 각 측면에 배치되는 것을 특징으로 하는 폴리싱장치.
  7. 제 4항에 있어서, 상기 폴리싱유닛은 상기 저장수단과 서로 대향하는 관계로 이격 위치하며, 상기 리버싱유닛의 적어도 하나는 상기 폴리싱유닛과 상기 저장수단사이로 연장하는 전달라인의 각 측면에 배치되는 것을 특징으로 하는 폴리싱장치.
  8. 제 1항에 있어서, 상기 전달수단은 건조한 대상물을 취급하는 휭거와, 습한 대상물을 취급하는 휭거를 갖는 것을 특징으로 하는 폴리싱장치.
  9. 제 4항에 있어서, 상기 일 리버싱유닛은 건조 대상물을 취급하고, 상기 다른 리버싱유닛은 습한 대상물을 취급하는 것을 특징으로 하는 폴리싱장치.
  10. 폴리싱장치에 있어서:
    연마될 대상물을 저장하는 적어도 하나의 저장카세트와;
    연마포가 부착된 턴테이블과, 대상물을 지지하며 상기 연마포에 대해 상기 대상물을 가압하는 상부링을 각각 구비하는 적어도 2개의 폴리싱유닛;
    상기 폴리싱유닛의 하나에 의해 연마된 상기 대상물을 세척하는 적어도 하나의 클리닝유닛과; 및 상기 2개의 저장카세트, 상기 폴리싱유닛 및 상기 클리닝유닛사이에서 상기 대상물을 전달하는 전달장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 폴리싱장치.
  11. 폴리싱장치에 있어서:
    연마될 대상물을 저장하는 저장수단과;
    연마포가 부착된 턴테이블과, 대상물을 지지하며 상기 연마포에 대해 상기 대상물을 가압하는 상부링을 각각 구비한 적어도 2개의 폴리싱유닛;
    상기 상부링으로부터 제거된 상태에서, 연마된 상기 대상물을 세척하는 2개의 클리닝유닛을 포함하며, 일 대상물이 상기 폴리싱유닛의 하나에 의해 연마되고, 상기 클리닝유닛에 의해 세척되며, 다른 대상물이 상기 다른 폴리싱유닛에 의해 연마되고, 상기 다른 클리닝유닛에 의해 세척되는 방식으로 병렬공정이 수행되는 것을 특징으로 하는 폴리싱장치.
  12. 제 11항에 있어서, 상기 병렬공정이 수행될 때, 상기 폴리싱유닛의 연마상태 및 상기 클리닝유닛의 세척상태는 동일한 것을 특징으로 하는 폴리싱장치.
  13. 제 11항에 있어서, 상기 병렬공정에 의해 연마되고 세척된 상기 대상물의 제 2차 세척을 수행하는 2개의 클리닝유닛을 더욱 포함하는 것을 특징으로 하는 폴리싱장치.
  14. 폴리싱장치에 있어서:
    연마될 대상물을 저장하는 저장수단과;
    연마포가 부착된 턴테이블과, 대상물을 지지하며 상기 연마포에 대해 상기 대상물을 가압하는 상부링을 각각 구비하는 2개의 폴리싱유닛;
    상기 상부링으로부터 제거된 상태에서, 연마된 상기 대상물을 세척하는 2개의 클리닝유닛을 포함하며, 대상물의 제 1차연마가 상기 일 폴리싱유닛에 의해 수행되고, 상기 제 1차 연마후상기 대상물은 상기 일 클리닝유닛에 의해 세척되며, 상기 대상물의 제 2차 연마가 상기 다른 폴리싱유닛에 의해 수행되고, 상기 제 2차 연마후상기 대상물은 상기 다른 클리닝유닛에 의해 세척되는 방식으로 직렬공정이 수행되는 것을 특징으로 하는 폴리싱장치.
  15. 제 14항에 있어서, 상기 제 1차 연마 및 상기 제 2차 연마상태는 서로 다른 것을 특징으로 하는 폴리싱장치.
  16. 제 14항에 있어서, 상기 직렬공정에 의해 연마되고 세척된상기 대상물의 제 2차 세척을 수행하는 클리닝유닛을 더욱 포함하는 것을 특징으로 하는 폴리싱장치.
  17. 폴리싱장치에 있어서:
    연마될 대상물을 저장하는 저장수단과;
    연마포가 부착된 턴테이블과, 대상물을 지지하며 상기 연마포에 대해 상기 대상물을 가압하는 상부링을 각각 구비하는 2개의 폴리싱유닛; 및 상기 상부링으로부터 제거된 상태에서, 연마된 상기 대상물을 세척하는 2개의 클리닝유닛을 포함하며, 병렬공정 및 직렬공정이 선택될 수 있으며, 상기 병렬공정은 일 대상물이 상기 일 폴리싱유닛에 의해 연마되고, 상기 일 클리닝유닛에 의해 세척되며, 다른 대상물은 상기 다른 폴리싱유닛에 의해 연마되고, 상기 다른 클리닝유닛에 의해 세척되도록 수행되며, 상기 직렬공정은 일 대상물의 제 1차 연마가 상기 일 폴리싱유닛에 의해 연마되고, 상기 대상물은 상기 제 1차 연마후 상기 일 클리닝유닛에 의해 세척되며, 상기 대상물의 제 2차 연마는 상기 다른 폴리싱유닛에 의해 수행되고, 상기 대상물은 상기 제 2차 연마후 상기 다른 클리닝유닛에 의해 세척되는 방식으로 수행되는 것을 특징으로 하는 폴리싱장치.
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