JP6144531B2 - 基板処理装置及び処理基板の製造方法 - Google Patents
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Description
11A 第1ローラ
11B 第2ローラ
11s 傾斜部
20 押付側保持具
23A 第3ローラ
26 押付装置
31 ガイドピン
33 保持位置センサ
34 洗浄位置センサ
61 解除制御部
62 接近制御部
63 記憶部
64 接触制御部
70 ロボットハンド
100 基板処理装置
120 洗浄機
W 基板
Claims (2)
- 基板の処理が行われる処理位置で前記基板を保持する第1のローラ及び第2のローラを有し、前記第1のローラ及び前記第2のローラが前記基板を保持する第1の保持位置と、前記第1のローラ及び前記第2のローラが前記基板から離れた第1の解除位置と、の間を移動可能な第1の基板保持装置と;
第3のローラを有し、前記第3のローラが前記第1のローラ及び前記第2のローラと協働して前記処理位置で前記基板を保持する第2の保持位置と、前記第3のローラが前記基板から離れた第2の解除位置と、の間を移動可能な第2の基板保持装置であって、前記第2の保持位置にあるときに前記基板に向けて前記第3のローラを押し付ける押し付け装置をさらに有する第2の基板保持装置と;
前記第1の基板保持装置が前記第1の解除位置に移動したときに前記基板の平面における位置を所定の位置に維持すると共に、前記第2の基板保持装置が前記第2の解除位置に移動したときに前記基板の平面における位置を所定の位置に維持する基板平面位置維持部と;
前記第1の基板保持装置及び前記第2の基板保持装置によって保持されている前記基板の保持を解除する際に、前記第2の基板保持装置の前記第2の解除位置に向けての移動を開始させた後に、前記第1の基板保持装置の前記第1の解除位置に向けての移動を開始させるように前記第1の基板保持装置及び前記第2の基板保持装置を制御する制御部と;
前記第3のローラが前記基板を保持した位置から離れたことを検知する検知器とを備え;
前記制御部は、前記検知器が前記離れたことを検知したときに前記第1の基板保持装置の前記第1の解除位置に向けての移動を開始させる;
基板処理装置。 - 第1のローラ及び第2のローラと第3のローラとで基板を保持する工程であって、第3のローラを前記基板に押し付けながら前記基板の処理が行われる処理位置で前記基板を保持する基板保持工程と;
前記基板保持工程中に前記基板の処理を行う基板処理工程と;
前記第1のローラ及び前記第2のローラが前記処理位置で前記基板を保持している第1の保持位置から、前記第1のローラ及び前記第2のローラが前記基板から離れた第1の解除位置に向けて、前記第1のローラ及び前記第2のローラの移動を開始させる固定側解除開始工程と;
前記第3のローラが前記処理位置で前記基板を保持している第2の保持位置から、前記第3のローラが前記基板から離れた第2の解除位置に向けて、前記第3のローラの移動を開始させる押し付け側解除開始工程と;
前記第3のローラが前記基板を保持した位置から離れたことを検知する離れ検知工程とを備え;
前記押し付け側解除開始工程の後、前記第3のローラが前記基板を保持した位置から離れたことを検知したときに、前記固定側解除開始工程を行う;
処理基板の製造方法。
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