JPS60110464U - 基板収容装置 - Google Patents

基板収容装置

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JPS60110464U
JPS60110464U JP20394783U JP20394783U JPS60110464U JP S60110464 U JPS60110464 U JP S60110464U JP 20394783 U JP20394783 U JP 20394783U JP 20394783 U JP20394783 U JP 20394783U JP S60110464 U JPS60110464 U JP S60110464U
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JP
Japan
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storage device
grooves
auxiliary storage
substrates
substrate
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JP20394783U
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JPH031478Y2 (ja
Inventor
小尾　泉
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ホ−ヤ株式会社
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の基板収容装置を示す斜視図、第２図は本
考案による実施例の基板収容装置を示す斜視図、第３図
は本例の補助収容具を示し、同図ａは平面図、同図すは
Ｘ−Ｘ断面図及び同図ＣはＹ−Ｙ断面図、並びに第４図
は本例の横断面図である。 １・・・基板、２・・・収容箱の枠体、３・・・収容箱
の凸部、４・・・収容箱の凹部、５・・・収容箱の溝、
６・・・基板の下方端面、７，７′・・・枠体の端面保
持部、８・・・枠体の開口部、１０・・・収容箱、１１
・・・基板収容装置、１２・・・補助収容具、１３・・
・補助収容具の枠体、１４・・・補助収容具の凸部、１
５・・・補助収容具の凹部、１６・・・補助収容具の溝
、１７・・・補助収容具の開口側部。 第１図 第３図　。

Claims (4)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. （１）複数の基板と、上下面を開口にした枠体であって
    、上方から下方に向かって配列した、一対の内側面に互
    いに対向する複数の溝を具備した補助収容具と、前記補
    助収容具の複数の溝と同様に配列した複数の溝と前記基
    板の下方端面を当接して保持する端面保持部とを具備し
    た収容箱とからなり、前記基板は、前記補助収容具の複
    数の溝を通して前記収容箱の複数の溝に収容されると共
    に、前記複数の基板の上方部分が前記補助収容具に収容
    されていることを特徴とする基板収容装置。
  2. （２）実用新案登録請求の範囲第１項記載において、前
    記補助収容具の複数の溝を設けた両側面の中間部から下
    方端面までにそれぞれ開口側部を設けていることを特徴
    とする基板収容装置。
  3. （３）　　実用新案登録請求の範囲第１項又は第２項記
    載において、前記複数の基板の上方部分が前記補助収容
    具の複数の溝に収容されていることを特徴とする基板収
    容装置。
  4. （４）実用新案登録請求の範囲第２項記載において、前
    記複数の基板の上方部分は前記補助収容具の開口側部に
    対面する空間内に収容されていることを特徴とする基板
    収容装置。
JP20394783U 1983-12-28 1983-12-28 基板収容装置 Granted JPS60110464U (ja)

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JP20394783U JPS60110464U (ja) 1983-12-28 1983-12-28 基板収容装置

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JP20394783U JPS60110464U (ja) 1983-12-28 1983-12-28 基板収容装置

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Publication Number Publication Date
JPS60110464U true JPS60110464U (ja) 1985-07-26
JPH031478Y2 JPH031478Y2 (ja) 1991-01-17

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ID=30766351

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JP20394783U Granted JPS60110464U (ja) 1983-12-28 1983-12-28 基板収容装置

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JP (1) JPS60110464U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6439375A (en) * 1987-08-03 1989-02-09 Canon Kk Method for forming deposited film

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6439375A (en) * 1987-08-03 1989-02-09 Canon Kk Method for forming deposited film

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JPH031478Y2 (ja) 1991-01-17

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