JPS6090830U - 半導体製造用ガラスマスク保管ボツクス - Google Patents

半導体製造用ガラスマスク保管ボツクス

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JPS6090830U
JPS6090830U JP18403283U JP18403283U JPS6090830U JP S6090830 U JPS6090830 U JP S6090830U JP 18403283 U JP18403283 U JP 18403283U JP 18403283 U JP18403283 U JP 18403283U JP S6090830 U JPS6090830 U JP S6090830U
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JP
Japan
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storage box
glass mask
semiconductor manufacturing
mask storage
glass
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Pending
Application number
JP18403283U
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English (en)
Inventor
敬一 中山
Original Assignee
セイコーエプソン株式会社
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、従来の半導体製造用ガラスマスク保管ボック
スの上面図である。 １０１・・・・・・アクリル樹脂、１０２・・・・・・
ガラスマスクの側辺の接触溝。 第２図は、第１図の断面図である。 ２０１・・・・・・保管ボックスの底面、−２０２・・
・・・・ガラスマスクの側辺の接触溝。 第３図は、本考案の半導体製造用ガラスマスク保管ボッ
クスの一実施例を示す上面図である。 ３０１・・・・・・アクリル樹脂、３０２・・・・・・
テフロン、３０３・・・・・・ガラスマスクの側辺の接
触溝。 第４図は、第３図の断面図である。 ４０１・・・・・・ガラスマスクの側辺の接触溝、４０
２・・・・・・ガラスマスクの底辺の支持部、４０３・
・・・・・保管ボックスの底面。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 半導体製造用ガラスマスク保管ボックスにおいて、前記
    保管ボックス内のガラスマスクが接触する部分に潤滑性
    に富む材料を使用し、前記保管ボックスと前記ガラスマ
    スクの接触部分を少なくし、前記保管ボックスの底面と
    前記ガラスマスクの底辺の間に空間を有することを特徴
    とする半導体製造用ガラスマスク保管ボックス。
JP18403283U 1983-11-28 1983-11-28 半導体製造用ガラスマスク保管ボツクス Pending JPS6090830U (ja)

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JP18403283U JPS6090830U (ja) 1983-11-28 1983-11-28 半導体製造用ガラスマスク保管ボツクス

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JPS6090830U true JPS6090830U (ja) 1985-06-21

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ID=30398144

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