JPS6331038U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6331038U JPS6331038U JP12177986U JP12177986U JPS6331038U JP S6331038 U JPS6331038 U JP S6331038U JP 12177986 U JP12177986 U JP 12177986U JP 12177986 U JP12177986 U JP 12177986U JP S6331038 U JPS6331038 U JP S6331038U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- view
- stocker
- mounting surface
- wafers
- mounting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 2
Landscapes
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Delivering By Means Of Belts And Rollers (AREA)
- Pile Receivers (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
Description
第１図ないし第１２図は本考案の一実施例を示
す図であつて、第１図はその正面図、第２図はそ
の平面図、第３図ないし第５図はストツカーを示
す図であつて、第３図はその正面図、第４図は第
３図中矢印方向の矢視図、第５図は第３図中矢
印方向の矢視図、第６図ないし第８図はウエー
ハーガイド部材を示す図であつて、第６図はその
平面図、第７図は第６図中−線に沿う矢視断
面図、第８図はその正面図、第９図ないし第１０
図は突き出し装置を示す図であつて、第９図はそ
の正面図、第１０図はその側面図、第１１図は第
２図中矢印部分の拡大図、第１２図は第１図
中矢印部分の拡大図、第１３図は突き出し装
置の他の一例を示す斜視図、第１４図および第１
５図は従来のストツカーを示す図であつて、第１
４図はその斜視図、第１５図はウエーハーを挿入
する方法を示す断面図である。 ２１……収納装置、５１……ストツカー、８１
……溝側面（載置面）、１３１……移送装置。
す図であつて、第１図はその正面図、第２図はそ
の平面図、第３図ないし第５図はストツカーを示
す図であつて、第３図はその正面図、第４図は第
３図中矢印方向の矢視図、第５図は第３図中矢
印方向の矢視図、第６図ないし第８図はウエー
ハーガイド部材を示す図であつて、第６図はその
平面図、第７図は第６図中−線に沿う矢視断
面図、第８図はその正面図、第９図ないし第１０
図は突き出し装置を示す図であつて、第９図はそ
の正面図、第１０図はその側面図、第１１図は第
２図中矢印部分の拡大図、第１２図は第１図
中矢印部分の拡大図、第１３図は突き出し装
置の他の一例を示す斜視図、第１４図および第１
５図は従来のストツカーを示す図であつて、第１
４図はその斜視図、第１５図はウエーハーを挿入
する方法を示す断面図である。 ２１……収納装置、５１……ストツカー、８１
……溝側面（載置面）、１３１……移送装置。
Claims (1)
- ウエーハを載置する載置面が多数設けられ、こ
れらの多数の載置面が上下方向に近接して配設さ
れたストツカーと、前記ストツカーの載置面の一
方の側からウエーハを挿入する移送装置とを備え
た収納装置において、前記載置面の一方の側の端
部が他方の側の端部より高位置になるように前記
載置面を傾斜して設けたことを特徴とする収納装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12177986U JPS6331038U (ja) | 1986-08-08 | 1986-08-08 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12177986U JPS6331038U (ja) | 1986-08-08 | 1986-08-08 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6331038U true JPS6331038U (ja) | 1988-02-29 |
Family
ID=31011362
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12177986U Pending JPS6331038U (ja) | 1986-08-08 | 1986-08-08 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6331038U (ja) |
-
1986
- 1986-08-08 JP JP12177986U patent/JPS6331038U/ja active Pending
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