JPS6135782U - シリコン・ウエハ−挾持用ロボツトのハンド部 - Google Patents
シリコン・ウエハ−挾持用ロボツトのハンド部Info
- Publication number
- JPS6135782U JPS6135782U JP11925084U JP11925084U JPS6135782U JP S6135782 U JPS6135782 U JP S6135782U JP 11925084 U JP11925084 U JP 11925084U JP 11925084 U JP11925084 U JP 11925084U JP S6135782 U JPS6135782 U JP S6135782U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- silicon wafer
- hand part
- wafer holding
- holding robot
- robot
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は、本考案の平面図、第２図は使用状態を示す平
面図、第３図は、本考案に関するシリコン・ウエハーの
平面図である。 １・・・シリコン・ウエハー、１ａ・・・円孤部、１ｂ
・・・直線部、２・・・ハンド部、３・・・爪、３ａの
円孤状の爪、３ｂ・・・直線状の爪。
面図、第３図は、本考案に関するシリコン・ウエハーの
平面図である。 １・・・シリコン・ウエハー、１ａ・・・円孤部、１ｂ
・・・直線部、２・・・ハンド部、３・・・爪、３ａの
円孤状の爪、３ｂ・・・直線状の爪。
Claims (1)
- ハンド部に円孤状の爪と直線状の爪を具備することを特
徴とするシリコン・ウエハー扶持用ロボットのハンド部
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11925084U JPS6135782U (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | シリコン・ウエハ−挾持用ロボツトのハンド部 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11925084U JPS6135782U (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | シリコン・ウエハ−挾持用ロボツトのハンド部 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6135782U true JPS6135782U (ja) | 1986-03-05 |
Family
ID=30678131
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11925084U Pending JPS6135782U (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | シリコン・ウエハ−挾持用ロボツトのハンド部 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6135782U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR19980085881A (ko) * | 1997-05-30 | 1998-12-05 | 윤종용 | 반도체장치 제조용 로봇암의 웨이퍼 안착부 |
-
1984
- 1984-07-31 JP JP11925084U patent/JPS6135782U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR19980085881A (ko) * | 1997-05-30 | 1998-12-05 | 윤종용 | 반도체장치 제조용 로봇암의 웨이퍼 안착부 |
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