KR19980085881A - 반도체장치 제조용 로봇암의 웨이퍼 안착부 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체장치 제조용 로봇암의 웨이퍼 안착부에 관한 것이다.

본 발명은, 반도체장치 제조용 로봇암의 웨이퍼 안착부에 있어서, 상기 웨이퍼의 플랫존의 측면이 면접되는 상기 안착부의 일측은 상기 웨이퍼의 플랫존의 형상으로 형성시킴을 특징으로 한다.

따라서, 공정수행시 발생되는 불량을 방지하여 생산성이 향상되고, 또한 웨이퍼에 가해지는 손상 등을 방지함으로써 제품의 신뢰도가 향상되는 효과가 있다.

Description

반도체장치 제조용 로봇암의 웨이퍼 안착부

본 발명은 반도체장치 제조용 로봇암의 웨이퍼 안착부에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 안착부의 일측을 웨이퍼(Wafer)의 플랫존(Flat Zone)의 형상으로 형성시킨 반도체장치 제조용 로봇암의 웨이퍼 안착부에 관한 것이다.

일반적으로 반도체장치는 성막공정, 사진식각공정, 불순물주입공정 및 금속공정 등의 수행으로 제조되고, 이러한 상기 다양한 공정들의 수행에서는 웨이퍼를 각 단위공정으로 이송시키는 이송공정이 항상 수행되어야 한다.

그리고 상기 이송공정은 주로 로봇암(Robot Arm)을 이용하여 자동으로 수행되고, 상기 로봇암을 이용한 이송공정에서는 도1에 도시된 바와 같이 로봇암(도시되지 않음)의 구성부분인 안착부(10)에 상기 웨이퍼를 안착시킨 후, 상기 로봇암의 구동으로서 상기 웨이퍼를 이송시킨다.

여기서 종래의 안착부(10)는 상기 웨이퍼의 양측부, 즉 상기 웨이퍼의 플랫존 부분을 포함한 양측부의 주연부분이 안착되도록 형성된다.

그러나 종래의 안착부(10)는 도1에 도시된 바와 같이 상기 웨이퍼의 플랫존이 안착되는 부분인 슈(Shoe)부분(A)을 원형 즉, 호상으로 형성하였다.

이에 따라 상기 웨이퍼의 플랫존이 호상으로 형성되어 있는 안착부(10)에 안착됨으로써 상기 웨이퍼를 안착부에 안착시킨 후, 로봇암의 구동시 상기 안착부(10)에 안착되어 있는 웨이퍼가 틀어지는 현상이 빈번하게 발생하였다.

즉, 직선부분을 포함하는 상기 웨이퍼의 플랫존이 호상으로 형성된 안착부(10)에 안착되기 때문이다.

이러한 웨이퍼의 틀어짐 현상은 공정수행시 불량을 야기시켰고, 또한 상기 웨이퍼에 손상을 가하기도 하였다.

따라서 종래의 로봇암의 웨이퍼 안착부를 이용한 웨이퍼의 이송공정수행시 상기 웨이퍼의 틀어짐 현상으로 인해 생산성이 저하되었고, 또한 제품의 신뢰도가 저하되는 문제점들이 있었다.

본 발명의 목적은, 웨이퍼의 틀림현상을 방지하여 생산성을 향상시키고, 또한 제품의 신뢰도를 향상시키기 위한 반도체장치 제조용 로봇암의 웨이퍼 안착부를 제공하는 데 있다.

도1은 종래의 반도체장치 제조용 로봇암의 웨이퍼 안착부를 나타내는 사시도이다.

도2는 본 발명에 따른 반도체장치 제조용 로봇암의 웨이퍼 안착부의 실시예를 나타내는 사시도이다.

※도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

10, 20 : 안착부

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체장치 제조용 로봇암의 웨이퍼 안착부는, 반도체장치 제조용 로봇암의 웨이퍼 안착부에 있어서, 상기 웨이퍼의 플랫존의 측면이 면접되는 상기 안착부의 일측은 상기 웨이퍼의 플랫존의 형상으로 형성시킴을 특징으로 한다.

상기 안착부는 상기 웨이퍼의 직경과 동일한 길이로 형성되는 것이 바람직하다.

이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도2는 본 발명에 따른 반도체장치 제조용 로봇암의 웨이퍼 안착부의 실시예를 나타내는 사시도이다.

먼저, 로봇암(도시되지 않음)의 구성부분인 안착부(20)가 구비되고, 상기 안착부는 웨이퍼의 직경과 동일한 길이로 형성시킨다.

그리고 상기 안착부(20)를 이용한 웨이퍼의 이송시 상기 웨이퍼를 안착부(20)에 안착시킨 후, 상기 로봇암의 구동으로서 상기 웨이퍼를 이송시킨다.

여기서 본 발명의 안착부(20)는 상기 웨이퍼의 플랫존이 안착되는 일측인 슈부분(B)을 상기 웨이퍼의 플랫존의 형상으로 형성시킨다.

즉, 상기 웨이퍼의 플랫존이 안착되는 상기 안착부(20)의 일측은 상기 플랫존의 형상인 직선부분을 포함하는 호상으로 형성시키고, 타측은 원형의 형상인 호상으로 형성시킨다.

다시 말해 상기 안착부(10)의 일측에 상기 웨이퍼의 플랫존의 측면이 면접하도록 안착시킨다.

이에 따라 본 발명의 안착부(20)를 이용한 이송공정의 수행시 상기 안착부(20)에 안착되는 웨이퍼는 상기 로봇암의 구동시 틀어지는 현상이 억제된다.

즉, 상기 웨이퍼의 플랫존이 안착되는 안착부(20)의 일측이 상기 웨이퍼의 플랫존의 형상으로 형성되어 상기 웨이퍼가 안전하게 안착되기 때문이다.

이에 따라 상기 웨이퍼의 틀어짐 현상이 억제되어 이로 인해 공정수행시 발생되는 불량을 방지할 수 있고, 또한 웨이퍼에 가해지는 손상 등을 방지할 수 있다.

따라서, 본 발명에 의하면 공정수행시 발생되는 불량을 방지하여 생산성이 향상되고, 또한 웨이퍼에 가해지는 손상 등을 방지함으로써 제품의 신뢰도가 향상되는 효과가 있다.

이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.

Claims (2)

1. 반도체장치 제조용 로봇암의 웨이퍼 안착부에 있어서,

   상기 웨이퍼의 플랫존의 측면이 면접되는 상기 안착부의 일측은 상기 웨이퍼의 플랫존의 형상으로 형성시킴을 특징으로 하는 반도체장치 제조용 로봇암의 웨이퍼 안착부.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 안착부는 상기 웨이퍼의 직경과 동일한 길이로 형성됨을 특징으로 하는 상기 반도체장치 제조용 로봇암의 웨이퍼 안착부.