KR19980015192U

KR19980015192U - 웨이퍼 이송장치의 블레이드

Info

Publication number: KR19980015192U
Application number: KR2019960028402U
Authority: KR
Inventors: 지대범
Original assignee: 문정환; 엘지반도체 주식회사
Priority date: 1996-09-06
Filing date: 1996-09-06
Publication date: 1998-06-25

Abstract

본 고안은 웨이퍼 이송장치의 블레이드에 관한 것으로, 종래에는 웨이퍼 이송시 블레이드의 안착부에 흡착된 웨이퍼가 회전하여 위치 틀어짐이 발생하는 문제점이 있었다. 본 고안 웨이퍼 이송장치의 블레이드는 블레이드의 상면에 형성된 안착부의 일측면에 회전방지부를 형성하여, 플랫존이 있는 웨이퍼의 이송시 상기 회전방지부에 의해 웨이퍼의 미세회전이 방지되도록 함으로서, 웨이퍼의 위치 틀어짐이 방지되고 정확한 이송이 가능한 효과가 있다.

Description

웨이퍼 이송장치의 블레이드

제 1 도는 종래 웨이퍼 이송장치의 블레이드 구조를 보인 평면도.

제 2 도는 종래 웨이퍼 이송장치의 블레이드에 웨이퍼가 흡착된 상태를 보인 것으로,

(a)는 플랫존이 없는 웨이퍼.

(b)는 플랫존이 있는 웨이퍼.

제 3 도는 본 고안 웨이퍼 이송장치의 블레이드 구조를 보인 평면도.

제 4 도는 본 고안 웨이퍼 이송장치의 블레이드에 웨이퍼가 흡착된 상태를 보인 것으로,

(a)는 플랫존이 없는 웨이퍼.

(b)는 플랫존이 있는 웨이퍼.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*

12 : 안착부13 : 회전방지부

W : 웨이퍼P : 플랫존

본 고안은 웨이퍼 이송장치의 블레이드에 관한 것으로, 특히 플랫존(FLAT ZONE)이 있는 웨이퍼의 이송시 웨이퍼의 위치 틀어짐이 발생하는 것을 방지하도록 하는데 적합한 웨이퍼 이송장치의 블레이드에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 웨이퍼 제조장치 중 화학기상증착장치(CVD) 등에서 웨이퍼를 챔버(CHAMBER)의 내부로 이송하기 위해서는 이송장치(TRANSFER)를 이용하게 되고, 그 이송장치의 단부에는 웨이퍼를 흡착하여 이동하는 블레이드(BLADE)가 설치되어 있는데, 이와 같은 일반적인 웨이퍼 이송장치의 블레이드가 제 1 도에 도시되어 있는 바, 이를 간단히 설명하면 다음과 같다.

제 1 도는 종래 웨이퍼 이송장치의 블레이드 구조를 보인 종단면도로서, 도시된 바와 같이, 블레이드(1)의 상면에 웨이퍼(W)를 흡착하기 안착시키기 위한 안착부(2)가 형성되어 있고, 그 블레이드(1)의 상면 전단부에는 내측이 프론트 슈(FRONT SHOE)(3)가 설치되어 있다.

즉, 원형의 웨이퍼(W)를 흡착할 수 있도록 블레이드(1)의 상면에 웨이퍼(W)와 동일한 크기의 원형 안착부(2)가 형성되어 있는 것이다.

이와 같은 블레이드(1)를 이용하여 웨이퍼(W)를 이동시키는 동작을 설명하면 다음과 같다.

카세트(미도시)에 수납되어 있는 웨이퍼(W) 중 1 개를 장비의 내측으로 이동하여 플랫존을 얼라인 한다. 이와 같은 얼라인 된 웨이퍼(W)는 블레이드(1)의 안착부(2)에 웨이퍼(W)가 안착되도록 흡착한 상태에서 공정챔버(미도시)의 내부에 위치한 테이블(미도시)로 웨이퍼를 이동시킨다.

상기와 같은 종래의 웨이퍼(W) 이송장치는 제 2 도의 (a)와 같이 플랫존이 없는 웨이퍼와 (b)와 같은 플랫존(P)이 있는 웨이퍼를 혼용으로 사용하는데는 편리한 점이 있었다. 그러나, 플랫존(P)의 위치가 정확히 맞추어진 상태로 이송해야 하는 경우에는 원형의 안착부(2)에서 웨이퍼(W)의 미세회전이 발생하여 위치 틀어짐이 발생하는 문제점이 있었다.

상기와 같은 문제점을 감안하여 안출한 본 고안의 목적은 웨이퍼 이송시 위치 틀어짐이 발생하지 않도록 하는데 적합한 웨이퍼 이송장치의 블레이드를 제공함에 있다.

상기와 같은 본 고안의 목적을 달성하기 위하여 상면에 원형의 안착부가 형성되어 있는 웨이퍼 이송장치의 블레이드에 있어서, 상기 안착부의 일측면에 웨이퍼의 회전을 방지하기 위한 회전방지부를 형성한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송장치의 블레이드가 제공된다.

상기와 같이 구성되는 본 고안 웨이퍼 이송장치의 블레이드를 첨부된 도면의 실시예를 참고하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.

제 3 도는 본 고안 웨이퍼 이송장치의 블레이드 구조를 보인 평면도로서, 도시된 바와 같이, 본 고안은 블레이드(11)의 상면에 웨이퍼(W)를 안착시키기 위한 원형의 안착부(12)가 형성되어 있고, 그 안착부(12)의 일측면에는 웨이퍼(W)의 이동시 미세회전을 방지하기 위한 회전방지부(13)가 형성되어 있다.

상기 회전방지부(13)는 웨이퍼(W)의 플랫존(P)과 동일형상으로 하는 것이 바람직하다.

도면중 미설명부호 14는 프론트 슈이다.

상기와 같이 구성되는 블레이드를 이용하여 화학기상증착장치에서 웨이퍼를 이송하는 동작을 설명하면 다음과 같다.

먼저, 1개의 웨이퍼(W)를 카세트(미도시)에서 인출하여 장비의 내측으로 이동하여 플랫존(P)을 얼라인 한다. 이와 같이 얼라인 된 웨이퍼(W)는 블레이드(11)의 안착부(12)에 웨이퍼(W)가 안착되도록 흡착한 상태에서 공정 챔버(미도시)의 내부로 이동하게 되는데, 이때 제 4 도의 (b)와 같이 안착부(12)의 일측에 형성된 회전방지부(13)에 위해 웨이퍼(W)의 미세회전이 방지된 상태로 정확하게 웨이퍼(W)를 이송시키게 되는 것이다.

또한, 종래와 마찬가지로 1개의 블레이드(11)를 이용하여 제 4 도의 (a)와 같이 플랫존이 없는 웨이퍼(W)와 (b)와 같이 플랫존(P)이 있는 웨이퍼(W)를 이송하는데 호환성있게 사용할 수 있다.

이상에서 상세히 설명한 바와 같이, 본 고안 웨이퍼 이송장치의 블레이드는 블레이드의 상면에 형성된 안착부의 일측면에 회전방지부를 형성하여, 플랫존이 있는 웨이퍼의 이송시 상기 회전방지부에 의해 웨이퍼의 미세회전이 방지되도록 함으로서, 웨이퍼의 위치 틀어짐이 방지되고 정확한 이송이 가능한 효과가 있다.

Claims

상면에 원형의 안착부가 형성되어 있는 웨이퍼 이송장치의 블레이드에 있어서, 상기 안착부의 일측면에 웨이퍼의 회전을 방지하기 위한 회전방지부를 형성한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송장치의 블레이드.
제 1 항에 있어서, 상기 회전방지부는 웨이퍼의 플랫존과 동일형상인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송장치의 블레이드.