JPH04284648A - ウエーハ支持用ドライチャックラバー - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ウエーハを真空チャッ
クにより吸引支持して処理する際に両者の間に介在させ
るウエーハ支持用ドライチャックラバーに関する。

【０００２】半導体装置製造のウエーハプロセスでは、
処理時のウエーハ支持に真空チャックを用いることが多
い。そして上記ドライチャックラバーは、後述する所要
の際に用いられるが、その使用に伴って増大するウエー
ハ取外所要時間を短縮可能にさせることが望まれている
。

【０００３】

【従来の技術】図３は真空チャックによるウエーハの吸
引支持を説明するための平面図と側面図であり、平面図
（ａ）　は真空チャック１の吸引面を、側面図（ｂ）　
はウエーハ２を直接吸引支持する形態を、側面図（ｃ）
　はドライチャックラバー３を介在させてウエーハ２を
吸引支持する形態を示す。

【０００４】真空チャック１は、吸引面に開口する溝で
構成される真空引きライン１ａを有し、その真空引きに
よりウエーハ２を吸引支持する。図３（ｂ）　のように
ウエーハ２を直接吸引支持した場合は、真空チャック１
とウエーハ２の両者が剛体で完全な面接触となり得ない
ことから、相互間の熱伝達はあまり良くない。このため
、ウエーハ２が処理により加熱される際には、ウエーハ
２は熱放散の悪さによりパターン崩れを起こす恐れがあ
る。

【０００５】このパターン崩れを防止するにはウエーハ
２の熱放散を高めれば良い。そこで図３（ｃ）　のよう
にドライチャックラバー３を介在させる。ドライチャッ
クラバー３は、柔軟性を有するゴムにより厚さ約　０．
５ｍｍのシート状をなし、実質的にウエーハ２と真空チ
ャック１との間の密着性を良くさせてウエーハ２の熱放
散を高め、上記パターン崩れを防止する。ゴムには熱伝
導が良くなるように金属粉を分散させてある。

【０００６】図４はドライチャックラバー従来例の平面
図（ａ）　と側断面図（ｂ）　である。この従来例とな
るドライチャックラバー３は、ゴム３ａの両面が平坦で
真空チャック１の真空引きライン１ａに位置を整合させ
て複数の真空引き孔３ｂが設けられている。この孔３ｂ
はウエーハ２の真空引きを可能にさせるものである。

【０００７】ところで、このドライチャックラバー３を
用いて図３（ｃ）　のようにした場合には、ウエーハ２
は、ドライチャックラバー３と粘着状態になり処理後の
取外しの際に単独で取り出すことが困難となる。このた
め、ウエーハ２の取外しは、真空チャック１とドライチ
ャックラバー３の間に横方向から厚さ　０．３ｍｍ程度
の金属箆を差し込んでウエーハ２をドライチャックラバ
ー３と共に取り外し、その後ドライチャックラバー３を
湾曲させながらウエーハ２から剥がす方法を採用してい
る。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記金
属箆の差込みは、真空チャック１の吸引面全面がドライ
チャックラバー３と粘着状態にあるため滑らかに行うこ
とが困難で、上下左右に大きく揺すりながら進めること
になり長時間を必要とする。このことは当該処理に係わ
る作業能率を低下させる原因となっている。また、金属
箆の大きな揺すりはウエーハ２の破損を招いて製造歩留
りを低下させている。

【０００９】そこで本発明は、上述したドライチャック
ラバーに関し、ウエーハを載せたまま真空チャックから
取り外す金属箆の差込みを滑らかに行うことが可能なド
ライチャックラバーの提供を目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のドライチャックラバーは、柔軟性を有する
ゴムによりシート状をなし、ウエーハを吸引する真空チ
ャックと該ウエーハとの間に介在させるドライチャック
ラバーであって、該ゴムと該真空チャックの吸引面との
間に、該ゴムと該真空チャックの吸引面とが部分的に接
触しないようにする分離手段を、該真空チャック側の面
に分散させて有することを特徴としている。

【００１１】そして、前記分離手段は、溝、金属膜、前
記ゴムの表面を荒らした粗面、または、前記ゴムと一体
の突起であることが望ましい。

【００１２】

【作用】従来例のドライチャックラバーでは、真空チャ
ックの吸引面全面にゴムが接触するため、件の金属箆の
差込みを滑らかに行うことが困難であった。

【００１３】これに対して本発明のドライチャックラバ
ーでは、上記分離手段の存在により真空チャックの吸引
面に対するゴムの接触部分が分散的となるので、上記金
属箆の差込みを滑らかに行うことが可能となる。

【００１４】そしてこの分離手段は、ドライチャックラ
バーのゴムを真空チャックの吸引面に対し部分的に接触
させないようにするものであることから、上記溝、金属
膜、上記ゴムの表面を荒らした粗面、または、上記ゴム
と一体の突起によって実現される。特に、金属膜の場合
はウエーハの熱放散を助長する効果もある。

【００１５】

【実施例】以下本発明によるドライチャックラバーの実
施例について図１及び図２を用いて説明する。図１は第
１実施例の平面図（ａ）　と側断面図（ｂ）　、図２は
第２〜第５実施例の図１（ｂ）　に対応させた側断面図
（ａ）　〜（ｄ）　であり、全図を通し同一符号は同一
対象物を示す。

【００１６】図１において、この第１実施例となるドラ
イチャックラバー３Ａは、図３（ｃ）　の形態において
ドライチャックラバー３の代わりとするものであり、従
来例のドライチャックラバー３に溝４を付加したもので
ある。 なお、平面図（ａ）　は真空チャック１側から見た図で
ある。

【００１７】溝４は、先に述べた分離手段の第１の例で
あり、ゴム３ａの真空チャック側となる面３ｃに分散し
て設けられ、真空引き孔３ｂを避けた配置となっている
。従って、このドライチャックラバー３Ａは、従来例の
ドライチャックラバー３と同様にウエーハ２を吸引支持
させることができ、然も、溝４部分が真空チャック１の
吸引面に対し部分的に不接触となるため、その吸引面に
対するゴム３ａの接触部分が分散的となる。

【００１８】このことから、ウエーハ２を載せたまま真
空チャック１から取り外すための金属箆の差込みは、金
属箆を大きく揺することなく滑らかに且つ短時間で行う
ことができて、然もウエーハ２を破損させることがない
。このことは、当該処理に係わる作業能率を向上させる
と共に、製造歩留りの向上にも効果を奏する。

【００１９】次に、第２実施例を示す図２（ａ）　にお
いて、このドライチャックラバー３Ｂは、第１実施例と
同様に図３（ｃ）　の形態においてドライチャックラバ
ー３の代わりとするものであり、第１実施例の溝４を金
属膜５に変えたものである。

【００２０】金属膜５は、先に述べた分離手段の第２の
例であり、厚さ　１．０μｍ　程度のアルミニウム膜か
らなり、配置が溝４と同じであり、表面が面３ｃと一致
するように表面を露出させて埋め込まれている。

【００２１】従って、このドライチャックラバー３Ｂは
、従来例のドライチャックラバー３と同様にウエーハ２
を吸引支持させることができ、然も、金属膜５が真空チ
ャック１の吸引面とゴム３ａとの間に介在するため、そ
の吸引面に対するゴム３ａの接触部分が分散的となる。 このことから、第１実施例のドライチャックラバー３Ａ
で述べたのと同様の効果を奏し、更に、第１実施例と比
べて金属膜５がウエーハ２の熱放散を助長する効果もあ
る。金属膜５は柔らかければアルミニウム以外の金属で
あっても良い。

【００２２】次に、第３実施例を示す図２（ｂ）　にお
いて、このドライチャックラバー３Ｃは、第１実施例と
同様に図３（ｃ）　の形態においてドライチャックラバ
ー３の代わりとするものであり、従来例のドライチャッ
クラバー３に第２実施例の金属膜５と同様な金属膜６を
付加したものである。

【００２３】金属膜６は、先に述べた分離手段の第３の
例であり、厚さ　０．５μｍ　程度のアルミニウム膜か
らなり、配置が１実施例の溝４と同じであり面３ｃ上に
厚さ分だけ突出するように設けられている。

【００２４】従って、このドライチャックラバー３Ｃは
、真空チャック１上に載せた際は金属膜６のみが当接す
るが、真空チャック１の真空引きによりゴム３ａが変形
するので、従来例のドライチャックラバー３と同様にウ
エーハ２を吸引支持させることができ、然も、金属膜６
が真空チャック１の吸引面とゴム３ａとの間に介在し、
且つ金属膜６の両脇部分が真空チャック１の吸引面に対
し部分的に不接触となるため、その吸引面に対するゴム
３ａの接触部分が分散的となる。このことから、第１実
施例のドライチャックラバー３Ａで述べたのと同様の効
果を奏し、更に、第２実施例の場合よりは劣るが第１実
施例と比べて金属膜６がウエーハ２の熱放散を助長する
効果もある。金属膜６は柔らかければアルミニウム以外
の金属であっても良い。

【００２５】次に、第４実施例を示す図２（ｃ）　にお
いて、このドライチャックラバー３Ｄは、第１実施例と
同様に図３（ｃ）　の形態においてドライチャックラバ
ー３の代わりとするものであり、第３実施例の金属膜６
を除きその領域がゴム３ａの表面を凹凸に荒らした粗面
７となるようにしたものである。

【００２６】粗面７は、先に述べた分離手段の第４の例
であり、粗さの凹凸が０．１ｍｍ程度である。従って、
このドライチャックラバー３Ｄは、粗面７の配置から従
来例のドライチャックラバー３と同様にウエーハ２を吸
引支持させることができ、然も、粗面７の凹部が真空チ
ャック１の吸引面に対し部分的に不接触となるため、そ
の吸引面に対するゴム３ａの接触部分が分散的となる。 このことから、第１実施例のドライチャックラバー３Ａ
で述べたのと同様の効果を奏する。

【００２７】次に、第５実施例を示す図２（ｄ）　にお
いて、このドライチャックラバー３Ｅは、第１実施例と
同様に図３（ｃ）　の形態においてドライチャックラバ
ー３の代わりとするものであり、第３実施例の金属膜６
を突起８に変えたものである。

【００２８】突起８は、先に述べた分離手段の第５の例
であり、幅が金属膜６より小さく金属膜６の幅の中央部
に配置されて、高さが　０．１ｍｍ程度であり、ゴム３
ａと一体になっている。

【００２９】従って、このドライチャックラバー３Ｅは
、真空チャック１上に載せた際は突起８のみが当接する
が、真空チャック１の真空引きによりゴム３ａが変形す
るので、従来例のドライチャックラバー３と同様にウエ
ーハ２を吸引支持させることができ、然も、突起８の両
脇部分が真空チャック１の吸引面に対し部分的に不接触
となるため、その吸引面に対するゴム３ａの接触部分が
分散的となる。このことから、第１実施例のドライチャ
ックラバー３Ａで述べたのと同様の効果を奏する。

【００３０】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、ウ
エーハを真空チャックにより吸引支持して処理する際に
両者の間に介在させるウエーハ支持用ドライチャックラ
バーに関し、ウエーハを載せたまま真空チャックから取
り外す金属箆の差込みを滑らかに行うことが可能なドラ
イチャックラバーが提供されて、その取外しを短時間で
然もウエーハを破損させることなく行うことができるよ
うになり、当該処理に係わる作業能率と製造歩留りの向
上を可能にさせる効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】　　第１実施例の平面図と側断面図である。

【図２】　　第２〜第５実施例の側断面図である。

【図３】　　真空チャックによるウエーハの吸引支持を
説明するための平面図と側面図である。

【図４】　　従来例の平面図と側断面図である。

【符号の説明】

１　　真空チャック １ａ　　真空引きライン ２　　ウエーハ ３，３Ａ〜３Ｅ　　ドライチャックラバー３ａ　　ゴム ３ｂ　　真空引き孔 ３ｃ　　真空チャック側となる面 ４　　溝 ５，６　　金属膜 ７　　粗面 ８　　突起

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　柔軟性を有するゴム（３ａ）によりシ
   ート状をなし、ウエーハ（２）　を吸引する真空チャッ
   ク（１）　と該ウエーハ（２）　との間に介在させるド
   ライチャックラバーであって、該ゴム（３ａ）と該真空
   チャック（１）　の吸引面との間に介在して、該ゴム（
   ３ａ）を該真空チャック（１）　の吸引面とが部分的に
   接触しないようにする分離手段を、該真空チャック側の
   面（３ｃ）に分散させて有することを特徴とするウエー
   ハ支持用ドライチャックラバー。
2. 【請求項２】　　前記分離手段は、溝（４）　であるこ
   とを特徴とする請求項１記載のウエーハ支持用ドライチ
   ャックラバー。
3. 【請求項３】　　前記分離手段は、金属膜（５，６）　
   であることを特徴とする請求項１記載のウエーハ支持用
   ドライチャックラバー。
4. 【請求項４】　　前記分離手段は、前記ゴムの表面を荒
   らした粗面（７）　であることを特徴とする請求項１記
   載のウエーハ支持用ドライチャックラバー。
5. 【請求項５】　　前記分離手段は、前記ゴムと一体の突
   起（８）　であることを特徴とする請求項１記載のウエ
   ーハ支持用ドライチャックラバー。