JPH03278554A - チップトレーの構造 - Google Patents
チップトレーの構造Info
- Publication number
- JPH03278554A JPH03278554A JP7922690A JP7922690A JPH03278554A JP H03278554 A JPH03278554 A JP H03278554A JP 7922690 A JP7922690 A JP 7922690A JP 7922690 A JP7922690 A JP 7922690A JP H03278554 A JPH03278554 A JP H03278554A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- recess
- chip tray
- collet
- semiconductor element
- grooves
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 12
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 abstract description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体素子を収納するチップトレーの構造に関
する。
する。
従来、この種のチップトレー１の構造は、第４図から第
６図に示す平面図および断面図のようにチップトレー１
上に複数個設けられた凹部２に収納されている半導体素
子３を平コレット７等で真空吸着できる構造となってい
る。
６図に示す平面図および断面図のようにチップトレー１
上に複数個設けられた凹部２に収納されている半導体素
子３を平コレット７等で真空吸着できる構造となってい
る。
上述した従来のチップトレー１の構造は、半導体素子３
の表面にシリコン屑等が付着した場合、マウント工程に
於いて、樹脂又は金属性の平コレット７で真空吸着した
後、約４０〜１００ｇ程度の荷重にてマウントするため
シリコン屑等により半導体素子３の微細パターンに傷が
付きパターン断線等および樹脂または金属製の平コレッ
ト面にシリコン屑等が付着し連続不良を発生させる欠点
があった。
の表面にシリコン屑等が付着した場合、マウント工程に
於いて、樹脂又は金属性の平コレット７で真空吸着した
後、約４０〜１００ｇ程度の荷重にてマウントするため
シリコン屑等により半導体素子３の微細パターンに傷が
付きパターン断線等および樹脂または金属製の平コレッ
ト面にシリコン屑等が付着し連続不良を発生させる欠点
があった。
上述した従来のチップトレーの構造に対し、本発明はチ
ップトレー凹部の隣接部にＲまたは角錐コレットの先端
部の逃げを目的とする溝を設けたという相違点を有する
。
ップトレー凹部の隣接部にＲまたは角錐コレットの先端
部の逃げを目的とする溝を設けたという相違点を有する
。
本発明のチップトレー１の構造は第１図から第４図の平
面図および断面図に示すように所定の大きさの半導体素
子３を位置決め収納できる凹部２および凹部２と隣接す
る部分に溝４を有している〔実施例〕 次に本発明について図面を参照して説明する。
面図および断面図に示すように所定の大きさの半導体素
子３を位置決め収納できる凹部２および凹部２と隣接す
る部分に溝４を有している〔実施例〕 次に本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の一実施例を示す平面図である。
本実施例はチップトレー１の凹部２の一方向に溝４を設
けた構造である。第２図は第２の実施例の平面図で、凹
部２の２方向に溝４を設けたものである。第３図は第１
図の半導体素子３をＲ又は角錐コレット５にてφ０，５
〜φ２．５ ｍｍの真空吸着穴６で真空吸着したときの
Ａ−Ａから見た拡大断面図で、Ｒまたは角錐コレット５
の先端部の逃げを凹部２の約２／３の深さの溝４にて出
来る構造を示している。第４図は第３図を上から見た平
面図を示したものである。
けた構造である。第２図は第２の実施例の平面図で、凹
部２の２方向に溝４を設けたものである。第３図は第１
図の半導体素子３をＲ又は角錐コレット５にてφ０，５
〜φ２．５ ｍｍの真空吸着穴６で真空吸着したときの
Ａ−Ａから見た拡大断面図で、Ｒまたは角錐コレット５
の先端部の逃げを凹部２の約２／３の深さの溝４にて出
来る構造を示している。第４図は第３図を上から見た平
面図を示したものである。
以上説明したように本発明はチップトレーの凹部２と隣
接する部分に溝４を設けることによりマウント工程に於
いて半導体素子３の吸着およびマウントを面接触しない
Ｒ又は角錐コレットが使用できるようになるためシリコ
ン屑等によるパターン傷等を防止でき、さらに組立歩留
および信頼性向上の効果がある。
接する部分に溝４を設けることによりマウント工程に於
いて半導体素子３の吸着およびマウントを面接触しない
Ｒ又は角錐コレットが使用できるようになるためシリコ
ン屑等によるパターン傷等を防止でき、さらに組立歩留
および信頼性向上の効果がある。
第１図および第２図は本発明の平面図、第３図および第
４図はＡ−Ａ線断面図および平面図の拡大図、第５図は
従来技術の平面図、第６図は第５図のＢ−Ｂ線断面図で
ある。 １・・・・・・チップトレー ２・・・・・・凹部、３
・・・・・・半導体素子、４・・・・・・溝、５・・・
・・・Ｒ又は角錐コレット、６・・・・・・真空吸着穴
、７・・・・・・平コレット。
４図はＡ−Ａ線断面図および平面図の拡大図、第５図は
従来技術の平面図、第６図は第５図のＢ−Ｂ線断面図で
ある。 １・・・・・・チップトレー ２・・・・・・凹部、３
・・・・・・半導体素子、４・・・・・・溝、５・・・
・・・Ｒ又は角錐コレット、６・・・・・・真空吸着穴
、７・・・・・・平コレット。
Claims (2)
- （１）半導体素子を収納する凹部に於いて、前記凹部に
隣接する部分に溝を設けたことを特徴とするチップトレ
ーの構造。 - （２）隣り合う凹部に隣接する溝はたがいに連続的に接
続して形成されていることを特徴とする特許請求の範囲
第（１）項記載のチツプトレーの構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7922690A JPH03278554A (ja) | 1990-03-28 | 1990-03-28 | チップトレーの構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7922690A JPH03278554A (ja) | 1990-03-28 | 1990-03-28 | チップトレーの構造 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03278554A true JPH03278554A (ja) | 1991-12-10 |
Family
ID=13683991
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7922690A Pending JPH03278554A (ja) | 1990-03-28 | 1990-03-28 | チップトレーの構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03278554A (ja) |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6465645B1 (en) | 2001-04-17 | 2002-10-15 | Ciba Specialty Chemicals Corporation | Long chain hindered amines and compositions stabilized therewith |
| US6540795B2 (en) | 2001-04-02 | 2003-04-01 | Ciba Specialty Chemicals Corporation | Candle wax stabilized with oxazolidines |
| US6544305B2 (en) | 2001-04-02 | 2003-04-08 | Ciba Specialty Chemicals Corporation | Candle wax stabilized with piperazinones |
| US6544304B2 (en) | 2001-04-02 | 2003-04-08 | Ciba Specialty Chemicals Corporation | Candle wax stabilized with morpholinones |
| US6547840B2 (en) | 2001-04-02 | 2003-04-15 | Ciba Specialty Chemicals Corporation | Candle wax stabilized with imidazolidines |
| US6547841B2 (en) | 2001-04-02 | 2003-04-15 | Ciba Specialty Chemicals Corporation | Transition-metal-catalyzed process for the preparation of sterically hindered N-substituted alkoxy amines |
| US6562083B2 (en) | 2001-04-02 | 2003-05-13 | Ciba Specialty Chemicals Corporation | Candle wax stabilized with s-triazines/hals |
| US6562085B1 (en) | 2001-06-06 | 2003-05-13 | Ciba Specialty Chemicals Corporation | Candle wax compositions stabilized with UV absorber-metal combinations |
| US6562084B2 (en) | 2001-04-02 | 2003-05-13 | Ciba Specialty Chemicals Corporation | Candle wax stabilized with piperazindiones |
| US6579328B2 (en) | 2000-05-01 | 2003-06-17 | Ciba Specialty Chemicals Corporation | Transition-metal-catalyzed process for the preparation of sterically hindered N-substituted aryloxyamines |
| US6846929B2 (en) | 2001-04-02 | 2005-01-25 | Ciba Specialty Chemicals Corporation | Benzotriazole/hals molecular combinations and compositions stabilized therewith |
| US6905525B2 (en) | 2001-04-02 | 2005-06-14 | Ciba Specialty Chemicals Corporation | Candle wax stabilized with piperazinones |
-
1990
- 1990-03-28 JP JP7922690A patent/JPH03278554A/ja active Pending
Cited By (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6579328B2 (en) | 2000-05-01 | 2003-06-17 | Ciba Specialty Chemicals Corporation | Transition-metal-catalyzed process for the preparation of sterically hindered N-substituted aryloxyamines |
| US6562084B2 (en) | 2001-04-02 | 2003-05-13 | Ciba Specialty Chemicals Corporation | Candle wax stabilized with piperazindiones |
| US6846929B2 (en) | 2001-04-02 | 2005-01-25 | Ciba Specialty Chemicals Corporation | Benzotriazole/hals molecular combinations and compositions stabilized therewith |
| US6544304B2 (en) | 2001-04-02 | 2003-04-08 | Ciba Specialty Chemicals Corporation | Candle wax stabilized with morpholinones |
| US6547840B2 (en) | 2001-04-02 | 2003-04-15 | Ciba Specialty Chemicals Corporation | Candle wax stabilized with imidazolidines |
| US6540795B2 (en) | 2001-04-02 | 2003-04-01 | Ciba Specialty Chemicals Corporation | Candle wax stabilized with oxazolidines |
| US6562083B2 (en) | 2001-04-02 | 2003-05-13 | Ciba Specialty Chemicals Corporation | Candle wax stabilized with s-triazines/hals |
| US6544305B2 (en) | 2001-04-02 | 2003-04-08 | Ciba Specialty Chemicals Corporation | Candle wax stabilized with piperazinones |
| US6905525B2 (en) | 2001-04-02 | 2005-06-14 | Ciba Specialty Chemicals Corporation | Candle wax stabilized with piperazinones |
| US6547841B2 (en) | 2001-04-02 | 2003-04-15 | Ciba Specialty Chemicals Corporation | Transition-metal-catalyzed process for the preparation of sterically hindered N-substituted alkoxy amines |
| US6699298B2 (en) | 2001-04-17 | 2004-03-02 | Ciba Specialty Chemicals Corporation | Long chain hindered amines and compositions stabilized therewith |
| US6465645B1 (en) | 2001-04-17 | 2002-10-15 | Ciba Specialty Chemicals Corporation | Long chain hindered amines and compositions stabilized therewith |
| US6755875B2 (en) | 2001-04-17 | 2004-06-29 | Ciba Specialty Chemicals Corporation | Long chain hindered amines and compositions stabilized therewith |
| US6875870B2 (en) | 2001-04-17 | 2005-04-05 | Ciba Specialty Chemicals Corporation | Long chain hindered amines and compositions stabilized therewith |
| US6740132B2 (en) | 2001-06-06 | 2004-05-25 | Ciba Specialty Chemicals Corporation | Candle wax compositions stabilized with UV absorber-metal combinations |
| US6667403B2 (en) | 2001-06-06 | 2003-12-23 | Ciba Specialty Chemicals Corporation | Candle wax compositions stabilized with UV absorber-metal combinations |
| US6562085B1 (en) | 2001-06-06 | 2003-05-13 | Ciba Specialty Chemicals Corporation | Candle wax compositions stabilized with UV absorber-metal combinations |
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