KR19990031417U - 반도체 웨이퍼 이송용 로봇암 - Google Patents

Abstract

본 고안은 반도체 웨이퍼 이송용 로봇암에 관한 것으로, 종래 기술은 카세트에 로봇암을 삽입할 때 웨이퍼에 로봇암이 접촉하게 되어 웨이퍼에 스크래치가 종종 발생하게 되는데, 이와 같은 경우 공정 불량을 유발하는 바, 이에 본 고안은 웨이퍼를 파지하기 위한 소정 면적의 웨이퍼 안착홈이 구비된 몸체와, 그 몸체의 양측에 설치되어 구동시 웨이퍼와의 접촉 유무를 감지하기 위한 접착감지센서로 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 이송용 로봇암을 제공함으로서, 웨이퍼와 웨이퍼 사이에 로봇암을 삽입할 때, 접촉감지센서의 감지에 따라 상기 로봇암이 허용된 일정 공간 내에서 구동하게 되므로 웨이퍼와의 접촉을 방지하여 스크래치를 방지할 수 있다.

Description

반도체 웨이퍼 이송용 로봇암

본 고안은 반도체 웨이퍼 이송용 로봇암에 관한 것으로, 특히 카세트에 적재된 웨이퍼와 웨이퍼 사이의 간격을 정확히 판단하여 로딩 및 언로딩함으로써 로봇암에 의한 웨이퍼의 스크래치를 방지할 수 있는 웨이퍼 이송용 로봇암에 관한 것이다.

일반적으로 로봇암은 카세트에 수납된 다수개의 웨이퍼를 순차적으로 공정장치 측으로 이동하거나, 공정장치에서 공정이 완료된 웨이퍼를 다시 카세트에 적재하여 다음 공정으로 이동하기 위한 장치로써, 이러한 로봇암은 구동장치의 구동에 의해 상기 웨이퍼를 고정한 상태에서 이동시키는 것이다.

이와 같은 종래 로봇암이 도 1에 도시되어 있는 바, 이에 대해 설명하면 다음과 같다.

도 1은 종래 기술에 의한 웨이퍼 이송용 로봇암을 보인 사시도로서, 이에 도시된 바와 같이, 종래 로봇암은 로봇(미도시)에 연결 설치되는 로봇암 몸체(1)의 일측에 웨이퍼(W)의 직경과 대응되도록 소정 깊이의 안착홈(2)을 형성한다.

이와 같은 로봇암은 도 2에 도시된 바와 같이, 다수개의 웨이퍼들이 수납된 카세트(미도시)에서 이송할 웨이퍼(W)의 저면에 삽입되어 소정 깊이 형성된 안착홈(2)에 웨이퍼(W)를 안착한 상태에서 공정장치로 이동하는 것이다.

그러나, 상기와 같은 종래 기술은 도 3에 도시된 바와 같이, 카세트에 로봇암을 삽입할 때 웨이퍼(W)에 로봇암(2)이 접촉하게 되어 웨이퍼(W)에 스크래치가 종종 발생하게 되는데, 이와 같은 경우 공정 불량을 유발하는 문제점이 있었다.

따라서, 본 고안은 상술한 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 카세트에 적재되어 있는 웨이퍼와 웨이퍼 사이의 간격을 정확히 파악하여 로봇암에 의한 웨이퍼의 스크래치를 방지할 수 있는 웨이퍼 이송용 로봇암을 제공하는데 그 목적이 있다.

도 1은 종래 기술에 의한 반도체 웨이퍼 이송용 로봇암을 보인 사시도,

도 2는 종래 기술에 의한 로봇암이 웨이퍼를 파지하는 동작을 보인 단면도,

도 3은 종래 기술의 문제점을 보인 단면도.

도 4는 본 고안에 의한 반도체 웨이퍼 이송용 로봇암을 보인 사시도,

도 2는 본 고안에 의한 로봇암을 보인 정면도.

도 3은 본 고안에 의한 로봇암을 보인 측면도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

10 : 로봇암 몸체11 : 웨이퍼 안착홈

12a,12b : 접촉감지센서

상기와 같은 본 고안의 목적을 달성하기 위하여, 웨이퍼를 파지하기 위한 소정 면적의 웨이퍼 안착홈과, 그 웨이퍼 안착홈의 일측에 설치되어 구동시 웨이퍼와의 접촉 유무를 감지하기 위한 접촉감지센서로 구성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송용 로봇암이 제공된다.

이하, 본 고안에 의한 웨이퍼 이송용 로봇암의 실시예를 첨부된 도면에 의거하여 설명하면 다음과 같다.

도 2 및 도 3은 각각 본 고안에 의한 웨이퍼 이송용 로봇암을 보인 정면도 및 측면도로서, 이에 도시된 바와 같이, 본 고안의 로봇암은 구동장치와 연결된 로봇몸체(미도시)에 연결 설치되며, 상기 로봇암은 웨이퍼를 파지하기 위한 소정 면적의 웨이퍼 안착홈(11)이 형성된 로봇암 몸체(10)와, 그 몸체(10)의 양측에 연결 설치되어 카세트에 적재된 다수개의 웨이퍼들 사이의 간격을 감지하여 로봇암의 구동시 웨이퍼(W)와의 접촉 유무를 감지하기 위한 접촉감지센서(12a)(12b)로 구성된다.

그리고 상기와 같이 접촉감지센서(12a)(12b)는 상기 몸체(10)의 양측에 형성하는 데, 일측 센서(12a)는 카세트의 상측에 수납된 웨이퍼(W)와의 접촉유무를 감지하도록 상측으로 소정량 돌출 형성하고, 타측 센서(12b)는 카세트의 하측에 수납된 웨이퍼(W)와의 접촉유무를 감지하도록 하측으로 돌출 형성한다.

상기와 같이 구성된 본 고안에 의한 반도체 웨이퍼 이송용 로봇암의 작용을 설명하면 다음과 같다.

카세트에 적재된 다수개의 웨이퍼(W)들 사이에 로봇암(10)을 수직 구동하여 삽입한 상태에서, 접촉감지센서(12a)(12b)에서 발광하는 빛이 웨이퍼(W)의 주변부에 부딪히지 않으면 주변부로부터 반사/산란되어 상기 접촉감지센서(12a)(12b)의 수광되지 않으므로 상기 로봇암(10)은 웨이퍼(W) 사이에서 일정거리를 유지하고 있는 상태이므로 로봇암(10)이 웨이퍼(W)와 접촉될 우려가 없다.

따라서, 상기 로봇암(10)과 그 로봇암(10)의 상하측(도면상으로)에 적재된 웨이퍼(W)와의 간격이 일정 거리(t)를 유지하면 안정적으로 동작이 이루어지게 된다.

그러나, 상기 로봇암(10)과 그 로봇암(10)의 상하측에 적재된 어느 한쪽의 웨이퍼와의 간격이 일정거리(t)이하가 되면, 접촉감지센서(12a)(12b)에서 발광된 빛이 웨이퍼의 주변부에서 부딪히게 되고, 그 부딪힌 빛이 다시 반사되어 상기 접촉감지센서(12a)(12b)에서 수광되어 경고음(ALARM)이 발생하게 된다.

이와 같이 경고음이 울리면, 로봇암(10)을 웨이퍼(W)와 일정 거리를 유지하도록 재장착하며, 그 후 접촉감지센서(12a)(12b)에 이상이 없으면 작동을 하게 됨으로써 웨이퍼(W)에 로봇암(10)이 접촉되어 스크래치가 일어나는 것을 미연에 방지할 수가 있다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 고안은 웨이퍼 이송용 로봇암에 접촉감지센서를 부착하여 웨이퍼와 웨이퍼 사이에 로봇암을 삽입할 때, 상기 로봇암이 허용된 일정 공간 내에서 구동하게 되므로 웨이퍼와의 접촉을 방지하여 스크래치를 방지할 수 있다.

Claims (1)

1. 웨이퍼를 파지하기 위한 소정 면적의 웨이퍼 안착홈이 구비된 몸체와, 그 몸체의 양측에 설치되어 구동시 웨이퍼와의 접촉 유무를 감지하기 위한 접착감지센서로 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 이송용 로봇암.