JPH09165104A - ハンドラ装置のストッカ部 - Google Patents
ハンドラ装置のストッカ部Info
- Publication number
- JPH09165104A JPH09165104A JP7330714A JP33071495A JPH09165104A JP H09165104 A JPH09165104 A JP H09165104A JP 7330714 A JP7330714 A JP 7330714A JP 33071495 A JP33071495 A JP 33071495A JP H09165104 A JPH09165104 A JP H09165104A
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- JP
- Japan
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- tray
- stocker
- linear guide
- rack gear
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ストッカとＩＣ受け取り位置との間でトレイ
を搬送させる時間が短かく、構造が簡単で、経済的なス
トッカ部を提供する。 【解決手段】 複数のトレイ２を多段に配したストッカ
１４はリフタ１３で昇降される。そのリフタにより所定
の高さに調整されたトレイ２は第１，第２スライドアー
ム３３，３３′により挟持される。第１，第２スライド
アームはリニアガイド３１に案内されて互いに離れる方
向または近付く方向に駆動機構により駆動されて、トレ
イを挟持または解放させる。トレイを挟持した第１，第
２スライドアームはエアシリンダ６によりストッカ１４
とＩＣ受け取り位置との間を搬送される。ストッカ１４
に収納されるトレイと別のトレイ２′がＩＣ受け取り位
置のトレイ２の下側に重なるように位置決めプレート２
４に係合され、セットプレート２２またはリフタ１９に
より昇降自在に支持される。
を搬送させる時間が短かく、構造が簡単で、経済的なス
トッカ部を提供する。 【解決手段】 複数のトレイ２を多段に配したストッカ
１４はリフタ１３で昇降される。そのリフタにより所定
の高さに調整されたトレイ２は第１，第２スライドアー
ム３３，３３′により挟持される。第１，第２スライド
アームはリニアガイド３１に案内されて互いに離れる方
向または近付く方向に駆動機構により駆動されて、トレ
イを挟持または解放させる。トレイを挟持した第１，第
２スライドアームはエアシリンダ６によりストッカ１４
とＩＣ受け取り位置との間を搬送される。ストッカ１４
に収納されるトレイと別のトレイ２′がＩＣ受け取り位
置のトレイ２の下側に重なるように位置決めプレート２
４に係合され、セットプレート２２またはリフタ１９に
より昇降自在に支持される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明はＩＣテスタにより
試験したＩＣを試験結果（カテゴリ）別に分類するハン
ドラ装置のストッカ部の構造に関する。
試験したＩＣを試験結果（カテゴリ）別に分類するハン
ドラ装置のストッカ部の構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】ハンドラ装置においては、試験結果によ
る分類数は近年ますます増加しており、分類数だけのＩ
Ｃ収納用トレイを平面的に配置すると、大きなフロアス
ペースが必要で、ハンドラ装置の外形が大きくなってし
まう。そこで、トレイを多段に重ねて収納する図４に示
すストッカ部が用いられていた。
る分類数は近年ますます増加しており、分類数だけのＩ
Ｃ収納用トレイを平面的に配置すると、大きなフロアス
ペースが必要で、ハンドラ装置の外形が大きくなってし
まう。そこで、トレイを多段に重ねて収納する図４に示
すストッカ部が用いられていた。
【０００３】図４の例では５枚のトレイ２を収納できる
ようになっており、１枚ずつ位置決め用のチェンジ・キ
ット３に乗せられてラック４に収納される。各ラック４
にはラック４をレール５ｃに沿って横（図では左方向）
に引き出すためにリニヤガイド（リニヤベアリング）５
ａ，５ｂが取付けられている。各段のラック４を横にス
ライドさせるためにエアシリンダ６が最上段のラックの
高さ位置付近に固定されている。各段のラック４及びレ
ール５ｃはフレーム７に収納保持される。
ようになっており、１枚ずつ位置決め用のチェンジ・キ
ット３に乗せられてラック４に収納される。各ラック４
にはラック４をレール５ｃに沿って横（図では左方向）
に引き出すためにリニヤガイド（リニヤベアリング）５
ａ，５ｂが取付けられている。各段のラック４を横にス
ライドさせるためにエアシリンダ６が最上段のラックの
高さ位置付近に固定されている。各段のラック４及びレ
ール５ｃはフレーム７に収納保持される。
【０００４】トレイ２をＩＣ受け取り位置に搬送するた
め任意の段のラック４をレール５ｃに沿ってスライドさ
せるには、その段のラックがエアシリンダ６の駆動位置
に合うように、５段全部のラック４，レール５ｃ，フレ
ーム７より成るストッカ１４を昇降台８でもち上げる。
昇降台８はギヤ９に固定されており、そのギヤ９はモー
タ１０により駆動される。これらの昇降台８、ギヤ９、
モータ１０等によりリフタ１３が構成される。
め任意の段のラック４をレール５ｃに沿ってスライドさ
せるには、その段のラックがエアシリンダ６の駆動位置
に合うように、５段全部のラック４，レール５ｃ，フレ
ーム７より成るストッカ１４を昇降台８でもち上げる。
昇降台８はギヤ９に固定されており、そのギヤ９はモー
タ１０により駆動される。これらの昇降台８、ギヤ９、
モータ１０等によりリフタ１３が構成される。
【０００５】なお、ツマミ１１によりストッカ１４を手
前に引き出してトレイ２を横から取り出すことができ
る。さて、エアシリンダ６により横に引き出された１つ
のトレイ２はリフタ１９（昇降台１５、ギヤ１６、モー
タ１７等により構成される）により上昇され、トレイキ
ャッチ２１Ｒにより保持されて、ＩＣ受け取り位置の下
側に配されているセットプレート２２Ｒまで搬送されセ
ットプレートに載せられる。次にトレイキャッチ２１Ｒ
は他の場所に逃がされ、セットプレート２２Ｒはトレイ
２を載せたまま位置決めプレート２４に下からトレイを
押し付けて位置決めする。セットプレート２２Ｒを上下
させるのにエアシリンダ２７Ｒを用いる。位置決めされ
たトレイ内の所定位置にＩＣがアームにより配される。
前に引き出してトレイ２を横から取り出すことができ
る。さて、エアシリンダ６により横に引き出された１つ
のトレイ２はリフタ１９（昇降台１５、ギヤ１６、モー
タ１７等により構成される）により上昇され、トレイキ
ャッチ２１Ｒにより保持されて、ＩＣ受け取り位置の下
側に配されているセットプレート２２Ｒまで搬送されセ
ットプレートに載せられる。次にトレイキャッチ２１Ｒ
は他の場所に逃がされ、セットプレート２２Ｒはトレイ
２を載せたまま位置決めプレート２４に下からトレイを
押し付けて位置決めする。セットプレート２２Ｒを上下
させるのにエアシリンダ２７Ｒを用いる。位置決めされ
たトレイ内の所定位置にＩＣがアームにより配される。
【０００６】位置決めプレート２４におけるＩＣ受け取
り位置は左右２箇所あり、左側を使う場合には、トレイ
キャッチ２１Ｌ、セットプレート２２Ｌ、エアシリンダ
２７Ｌを用いる。リフタ１９で上昇されたトレイをトレ
イキャッチ２１Ｌの位置まで搬送するのにエアシリンダ
（またはボールねじとモータ）２６を用いる。
り位置は左右２箇所あり、左側を使う場合には、トレイ
キャッチ２１Ｌ、セットプレート２２Ｌ、エアシリンダ
２７Ｌを用いる。リフタ１９で上昇されたトレイをトレ
イキャッチ２１Ｌの位置まで搬送するのにエアシリンダ
（またはボールねじとモータ）２６を用いる。
【０００７】
（１）トレイ２をストッカ１４からＩＣ受け取り位置ま
で搬送させる場合には下記の動作が必要となる。 リフタ１３によりトレイをストッカ１４ごと上昇さ
せ、目的のトレイを載せたラック４をエアシリンダ６の
高さまで上昇させる。 トレイをラックごとエアシリンダ６により横に引き出
す。 リフタ１９によりトレイをトレイキャッチ２１の位置
へ上昇させる。 左側のＩＣ受け取り位置を使用する場合にはエアシリ
ンダ２６でトレイを左側に搬送する。 トレイキャッチ２１によりトレイを保持してセットプ
レート２２に載せる。 トレイキャッチ２１を逃がす。 エアシリンダ２７によりセットプレート２２を上昇さ
せトレイを位置決めプレート２４に押し付けて係合させ
る。
で搬送させる場合には下記の動作が必要となる。 リフタ１３によりトレイをストッカ１４ごと上昇さ
せ、目的のトレイを載せたラック４をエアシリンダ６の
高さまで上昇させる。 トレイをラックごとエアシリンダ６により横に引き出
す。 リフタ１９によりトレイをトレイキャッチ２１の位置
へ上昇させる。 左側のＩＣ受け取り位置を使用する場合にはエアシリ
ンダ２６でトレイを左側に搬送する。 トレイキャッチ２１によりトレイを保持してセットプ
レート２２に載せる。 トレイキャッチ２１を逃がす。 エアシリンダ２７によりセットプレート２２を上昇さ
せトレイを位置決めプレート２４に押し付けて係合させ
る。
【０００８】このように多くの動作を必要とするため時
間がかかる。位置決めされたトレイをストッカ１４に戻
す場合も同様である。このためハンドラ装置のスループ
ット（処理能力）を低下させる原因となっていた。 （２）トレイ２をＩＣ受け取り位置に搬送するため
に、各段のラック４ごとにリニアガイド５ａ，５ｂとレ
ール５を設ける必要がある。オペレータがトレイをス
トッカ１４にセットする／取り出す場合、オペレータが
ツマミ１１によりストッカ全体を前に引き出して、横か
らセットする／取り出す必要がある。
間がかかる。位置決めされたトレイをストッカ１４に戻
す場合も同様である。このためハンドラ装置のスループ
ット（処理能力）を低下させる原因となっていた。 （２）トレイ２をＩＣ受け取り位置に搬送するため
に、各段のラック４ごとにリニアガイド５ａ，５ｂとレ
ール５を設ける必要がある。オペレータがトレイをス
トッカ１４にセットする／取り出す場合、オペレータが
ツマミ１１によりストッカ全体を前に引き出して、横か
らセットする／取り出す必要がある。
【０００９】このため構造が複雑となり、コスト高とな
る欠点があった。この発明の目的は、これら従来の問題
を解決して、トレイのストッカとＩＣ受け取り位置との
間の搬送時間を短かくし、構造が簡単で、安価なストッ
カ部を提供しようとするものである。
る欠点があった。この発明の目的は、これら従来の問題
を解決して、トレイのストッカとＩＣ受け取り位置との
間の搬送時間を短かくし、構造が簡単で、安価なストッ
カ部を提供しようとするものである。
【００１０】
（１）請求項１のハンドラ装置のストッカ部には、複数
のトレイを多段に重ね収納するストッカと、そのストッ
カを昇降させるリフタと、そのリフタにより所定の高さ
に調整されたトレイを挟持する第１，第２スライドアー
ムと、それら第１，第２スライドアームを案内する、ほ
ぼ水平に配されたリニアガイドと、第１，第２スライド
アームをリニアガイドに沿って互いに離れる方向または
近付く方向に駆動して、トレイを挟持または解放させる
駆動機構と、トレイを挟持した第１，第２スライドアー
ムを、リニアガイドに沿って、ストッカとＩＣ受け取り
位置との間を搬送するシリンダとが設けられる。
のトレイを多段に重ね収納するストッカと、そのストッ
カを昇降させるリフタと、そのリフタにより所定の高さ
に調整されたトレイを挟持する第１，第２スライドアー
ムと、それら第１，第２スライドアームを案内する、ほ
ぼ水平に配されたリニアガイドと、第１，第２スライド
アームをリニアガイドに沿って互いに離れる方向または
近付く方向に駆動して、トレイを挟持または解放させる
駆動機構と、トレイを挟持した第１，第２スライドアー
ムを、リニアガイドに沿って、ストッカとＩＣ受け取り
位置との間を搬送するシリンダとが設けられる。
【００１１】（２）請求項２の発明では、前記（１）に
おいて、リニアガイドとほぼ同じ高さまたはやや低い位
置に水平に配され、ストッカに収納されない第２のトレ
イを、ストッカよりＩＣ受け取り位置に搬送されたトレ
イの下側に重なるように位置決めする位置決めプレート
と、その位置決めプレートの下側に配され、第２のトレ
イを昇降させ、位置決めプレートに係合させるセットプ
レートまたは第２のリフタとが設けられる。
おいて、リニアガイドとほぼ同じ高さまたはやや低い位
置に水平に配され、ストッカに収納されない第２のトレ
イを、ストッカよりＩＣ受け取り位置に搬送されたトレ
イの下側に重なるように位置決めする位置決めプレート
と、その位置決めプレートの下側に配され、第２のトレ
イを昇降させ、位置決めプレートに係合させるセットプ
レートまたは第２のリフタとが設けられる。
【００１２】（３）請求項３の発明は、前記（１）にお
いて、駆動機構が、シリンダによりリニアガイドに沿っ
て搬送される中央ブロックと、リニアガイドに沿って第
１スライドアームに固定された第１ラックギヤと、その
第１ラックギヤと噛合して、中央ブロックに回動自在に
取付けられたピニオンギヤと、そのピニオンギヤと噛合
し、そのピニオンギヤを挟んで第１ラックギヤと対向し
て平行に配され、第２スライドアームに固定された第２
ラックギヤと、ストッカの近傍に取付けられ、第１及び
第２ラックギヤ同士がリニアガイドに沿って互いに離れ
るように一方のラックギヤを駆動する第２のシリンダ
と、第１スライドアームと、第２ラックギヤ（または第
２スライドアーム）との間に取付けられ、両者が互いに
近付くように偏倚するコイルばねとにより構成される。
いて、駆動機構が、シリンダによりリニアガイドに沿っ
て搬送される中央ブロックと、リニアガイドに沿って第
１スライドアームに固定された第１ラックギヤと、その
第１ラックギヤと噛合して、中央ブロックに回動自在に
取付けられたピニオンギヤと、そのピニオンギヤと噛合
し、そのピニオンギヤを挟んで第１ラックギヤと対向し
て平行に配され、第２スライドアームに固定された第２
ラックギヤと、ストッカの近傍に取付けられ、第１及び
第２ラックギヤ同士がリニアガイドに沿って互いに離れ
るように一方のラックギヤを駆動する第２のシリンダ
と、第１スライドアームと、第２ラックギヤ（または第
２スライドアーム）との間に取付けられ、両者が互いに
近付くように偏倚するコイルばねとにより構成される。
【００１３】
【発明の実施の形態】図１の実施例を参照して発明の実
施の形態を説明する。なお、図１には、図４と対応する
部分に同じ符号を付けている。以下従来と異なる点をあ
げて説明する。 図４でリニアガイド５ａ，５ｂ及びレール５ｃを各
段に設けていたが、この発明ではこれを廃止し、位置決
めプレート２４より高い位置に１本のリニアガイド３１
を設けている。
施の形態を説明する。なお、図１には、図４と対応する
部分に同じ符号を付けている。以下従来と異なる点をあ
げて説明する。 図４でリニアガイド５ａ，５ｂ及びレール５ｃを各
段に設けていたが、この発明ではこれを廃止し、位置決
めプレート２４より高い位置に１本のリニアガイド３１
を設けている。
【００１４】 位置決めプレート２４に位置決めされ
たトレイの上に重なる位置にストッカ１４のトレイを搬
送し、その位置でＩＣを受け取る。 ストッカ１４より引き出したトレイ２を元に戻し
て、位置決めプレート２４にセットされたトレイ２´に
ＩＣを収納できるようにしている。 従来のトレイキャッチ２１の代りに一対のスライド
アーム３３，３３´を設けている。
たトレイの上に重なる位置にストッカ１４のトレイを搬
送し、その位置でＩＣを受け取る。 ストッカ１４より引き出したトレイ２を元に戻し
て、位置決めプレート２４にセットされたトレイ２´に
ＩＣを収納できるようにしている。 従来のトレイキャッチ２１の代りに一対のスライド
アーム３３，３３´を設けている。
【００１５】 従来トレイを横に搬送するのにエアシ
リンダ６とエアシリンダ（またはボールねじとモータ）
２６を用いていたのを共用化してエアシリンダ６のみと
している。 従来ツマミ１１により５段より成るストッカ１４を
前に引き出して任意のトレイを横から取り出す（または
セットする）構造であったのを止め、トレイをオペレー
タが取出し／セットできる高さの範囲Ｈになるように、
ストッカ１４をリフタ１３により下げられるようにして
いる。下げた位置でオペレータは図１において右側また
は前方からトレイの取出し／セットが行える。
リンダ６とエアシリンダ（またはボールねじとモータ）
２６を用いていたのを共用化してエアシリンダ６のみと
している。 従来ツマミ１１により５段より成るストッカ１４を
前に引き出して任意のトレイを横から取り出す（または
セットする）構造であったのを止め、トレイをオペレー
タが取出し／セットできる高さの範囲Ｈになるように、
ストッカ１４をリフタ１３により下げられるようにして
いる。下げた位置でオペレータは図１において右側また
は前方からトレイの取出し／セットが行える。
【００１６】 位置決めプレート２４にセットするト
レイ２´はセットプレート２２で支持されエアシリンダ
２７により上昇／下降されるが、セットプレート２２及
びエアシリンダ２７の代わりにリフタ１９を用いること
もできる。なおトレイ２′はストッカ１４に収納さるト
レイ２とは別に取出し／セットできるようされている。
レイ２´はセットプレート２２で支持されエアシリンダ
２７により上昇／下降されるが、セットプレート２２及
びエアシリンダ２７の代わりにリフタ１９を用いること
もできる。なおトレイ２′はストッカ１４に収納さるト
レイ２とは別に取出し／セットできるようされている。
【００１７】トレイ２及びチェンジキット３を載せる各
段のラック４は上下方向に延長されたガイドシャフト７
ｂに案内され、ストッカ１４全体がリフタ１３により昇
降される点は従来とほぼ同じである。次にチェンジ・キ
ット３及びストッカ１４のトレイ２をＩＣ受け取り位置
まで移送するのに使用される一対のスライドアーム３
３，３３´とリニアガイド３１について図２，図３を参
照して説明する。
段のラック４は上下方向に延長されたガイドシャフト７
ｂに案内され、ストッカ１４全体がリフタ１３により昇
降される点は従来とほぼ同じである。次にチェンジ・キ
ット３及びストッカ１４のトレイ２をＩＣ受け取り位置
まで移送するのに使用される一対のスライドアーム３
３，３３´とリニアガイド３１について図２，図３を参
照して説明する。
【００１８】チェンジ・キット３にはトレイ２を位置決
めする５本のピン３ａが設けられる。またスライドアー
ム３３，３３´の引っ掛けピン３３ａを引っ掛けるため
の孔３ｂが図２において左周辺に２個、右周辺に１個設
けられている。スライドアーム３３，３３′の基部はリ
ニアガイド３１に沿って配され、その基部にラックギヤ
４０または４０′の一端部がリニアガイド３１に沿って
固定される。ラックギヤ４０，４０′は中央ブロック４
２に回動自在に取付けられたピニオンギヤ４４と噛合す
るようにされている。ラックギヤ４０の延長端（右端）
はエアシリンダ４６に押され左方向に移動できるように
されている。スライドアーム３３の基部とラックギヤ４
０′の延長端（左端）との間にコイルばね４８がピン４
９，５０によって取付けられ、そのコイルの縮もうとす
る応力によってスライドアーム３３，３３′は互いに近
付くように引き寄せられる。オペレータがその引っ掛け
ピン３３ａにチェンジ・キット３の孔３ｂを嵌合させた
後、チェンジ・キット３はスライドアーム３３，３３′
により挟持される。
めする５本のピン３ａが設けられる。またスライドアー
ム３３，３３´の引っ掛けピン３３ａを引っ掛けるため
の孔３ｂが図２において左周辺に２個、右周辺に１個設
けられている。スライドアーム３３，３３′の基部はリ
ニアガイド３１に沿って配され、その基部にラックギヤ
４０または４０′の一端部がリニアガイド３１に沿って
固定される。ラックギヤ４０，４０′は中央ブロック４
２に回動自在に取付けられたピニオンギヤ４４と噛合す
るようにされている。ラックギヤ４０の延長端（右端）
はエアシリンダ４６に押され左方向に移動できるように
されている。スライドアーム３３の基部とラックギヤ４
０′の延長端（左端）との間にコイルばね４８がピン４
９，５０によって取付けられ、そのコイルの縮もうとす
る応力によってスライドアーム３３，３３′は互いに近
付くように引き寄せられる。オペレータがその引っ掛け
ピン３３ａにチェンジ・キット３の孔３ｂを嵌合させた
後、チェンジ・キット３はスライドアーム３３，３３′
により挟持される。
【００１９】エアシリンダ４６の可動棒４６ａの先端
で、ラックギヤ４０を左側に移動させると、ラックギヤ
４０の固定されているスライドアーム３３も左側に移動
する。これによりピニオンギヤ４４は時計方向に回動さ
れ、ラックギヤ４０′は右側に移動され、ラックギヤ４
０′の固定されているスライドアーム３３′も右側に移
動される。上述のエアシリンダ４６によるラックギヤ４
０を左側に移動させる動作はコイルばね４８の偏倚力に
抗して行われる。これらの一連の動作によって、スライ
ドアーム３３，３３′は互いに開くように、つまり離れ
るように移動される。これに対して両者を閉じる動作は
前述のようにコイルばね４８の偏倚力により行われる。
で、ラックギヤ４０を左側に移動させると、ラックギヤ
４０の固定されているスライドアーム３３も左側に移動
する。これによりピニオンギヤ４４は時計方向に回動さ
れ、ラックギヤ４０′は右側に移動され、ラックギヤ４
０′の固定されているスライドアーム３３′も右側に移
動される。上述のエアシリンダ４６によるラックギヤ４
０を左側に移動させる動作はコイルばね４８の偏倚力に
抗して行われる。これらの一連の動作によって、スライ
ドアーム３３，３３′は互いに開くように、つまり離れ
るように移動される。これに対して両者を閉じる動作は
前述のようにコイルばね４８の偏倚力により行われる。
【００２０】スライドアーム３３，３３′を開く動作
は、ストッカ１４においてトレイ２の取付け／取外す際
に行われるので、エアシリンダ４６はストッカ１４側に
固定されている。ラックギヤ４０，４０′、ピニオンギ
ヤ４４、エアシリンダ４６、コイルバネ４８等により駆
動機構５６が構成される。チェンジ・キット３を介して
スライドアーム３３，３３′に挟持されたトレイはエア
シリンダ６によって左側のＩＣ受け取り位置に移動され
る。即ち、エアシリンダ６は中央ブロック４２をリニア
ガイド３１に沿って左側に移動させたり、右側に戻した
りする。これによりスライドアーム３３，３３′もトレ
イを挟持した状態でリニアガイド３１に沿って中央ブロ
ック４２と共に左右に移動される。
は、ストッカ１４においてトレイ２の取付け／取外す際
に行われるので、エアシリンダ４６はストッカ１４側に
固定されている。ラックギヤ４０，４０′、ピニオンギ
ヤ４４、エアシリンダ４６、コイルバネ４８等により駆
動機構５６が構成される。チェンジ・キット３を介して
スライドアーム３３，３３′に挟持されたトレイはエア
シリンダ６によって左側のＩＣ受け取り位置に移動され
る。即ち、エアシリンダ６は中央ブロック４２をリニア
ガイド３１に沿って左側に移動させたり、右側に戻した
りする。これによりスライドアーム３３，３３′もトレ
イを挟持した状態でリニアガイド３１に沿って中央ブロ
ック４２と共に左右に移動される。
【００２１】
（１）この発明の装置においてトレイ２をストッカ１４
からＩＣ受け取り位置まで搬送させる場合の動作は、 リフタ１３により該当トレイを載せたラック４をリ
ニアガイド３１の高さ位置に上下動させる。 スライドアーム３３，３３′によりトレイ２（チェ
ンジ・キット３）を挟持する。 トレイ２（チェンジ・キット３）をエアシリンダ６
によりリニアガイド３１に沿って左側のＩＣ受け取り位
置に移動させる。 の３つになる。トレイをストッカに戻す場合も同様であ
る。従って、この発明のストッカ部の構造は従来の構造
に比べて少ない種類の動作で行うことができ、所要時間
も少なくて済む。よってハンドラ装置のスループットを
向上させることができる。
からＩＣ受け取り位置まで搬送させる場合の動作は、 リフタ１３により該当トレイを載せたラック４をリ
ニアガイド３１の高さ位置に上下動させる。 スライドアーム３３，３３′によりトレイ２（チェ
ンジ・キット３）を挟持する。 トレイ２（チェンジ・キット３）をエアシリンダ６
によりリニアガイド３１に沿って左側のＩＣ受け取り位
置に移動させる。 の３つになる。トレイをストッカに戻す場合も同様であ
る。従って、この発明のストッカ部の構造は従来の構造
に比べて少ない種類の動作で行うことができ、所要時間
も少なくて済む。よってハンドラ装置のスループットを
向上させることができる。
【００２２】（２）この発明ではストッカ１４に収容
されたトレイ２をＩＣ受け取り位置に搬送するために、
１本の共通のリニアガイド３１を設けるようにしている
（従来は各段ごとにリニアガイド５ａ，５ｂとレール５
ｃを設けていた）。 オペレータがトレイをストッカ１４にセットする／取
り出す場合、オペレータは該当するトレイの高さが出し
入れする高さ範囲Ｈ内に位置するように、必要に応じボ
タン操作によりストッカ１４全体をガイドシャフト７ｂ
に沿って上下動させる。これによりトレイをストッカの
前方または右側より出し入れできる。従って、従来のよ
うにストッカ１４全体を前方に引き出す機構が不要とな
り、またリニアガイド機構が簡単となるので、コストを
低減することができると共に、ストッカ全体を引き出す
などのオペレータの仕事を不要にする利点もある。
されたトレイ２をＩＣ受け取り位置に搬送するために、
１本の共通のリニアガイド３１を設けるようにしている
（従来は各段ごとにリニアガイド５ａ，５ｂとレール５
ｃを設けていた）。 オペレータがトレイをストッカ１４にセットする／取
り出す場合、オペレータは該当するトレイの高さが出し
入れする高さ範囲Ｈ内に位置するように、必要に応じボ
タン操作によりストッカ１４全体をガイドシャフト７ｂ
に沿って上下動させる。これによりトレイをストッカの
前方または右側より出し入れできる。従って、従来のよ
うにストッカ１４全体を前方に引き出す機構が不要とな
り、またリニアガイド機構が簡単となるので、コストを
低減することができると共に、ストッカ全体を引き出す
などのオペレータの仕事を不要にする利点もある。
【００２３】（３）この発明では、ストッカ１４よりＩ
Ｃ受け取り位置に搬送されたトレイ２の下側にストッカ
１４に収納されない別のトレイ２′を配する構造である
ため、このトレイ２をＩＣ受け取り位置からストッカ１
４の方向に逃がせるかまたは収納させた状態で、下のト
レイ２′にＩＣを収納することもできるので、ハンドラ
装置のスループットをいっそう向上できる効果もある。
Ｃ受け取り位置に搬送されたトレイ２の下側にストッカ
１４に収納されない別のトレイ２′を配する構造である
ため、このトレイ２をＩＣ受け取り位置からストッカ１
４の方向に逃がせるかまたは収納させた状態で、下のト
レイ２′にＩＣを収納することもできるので、ハンドラ
装置のスループットをいっそう向上できる効果もある。
【図１】この発明の実施例を示す原理的な正面図。
【図２】図１のストッカ部の原理的な平面図。
【図３】図２のスライドアーム３３，３３′の基部とそ
の周辺を拡大して示した平面図。
の周辺を拡大して示した平面図。
【図４】従来のストッカ部の原理的な正面図。
Claims (3)
- 【請求項１】 複数のトレイを多段に重ねて収納するス
トッカと、 そのストッカを昇降させるリフタと、 そのリフタにより所定の高さに調整されたトレイを挟持
する第１，第２スライドアームと、 それら第１，第２スライドアームを案内する、ほぼ水平
に配されたリニアガイドと、 前記第１，第２スライドアームを前記リニアガイドに沿
って互いに離れる方向または近付く方向に駆動して、前
記トレイを挟持または解放させる駆動機構と、 前記トレイを挟持した第１，第２スライドアームを、前
記リニアガイドに沿って、前記ストッカとＩＣ受け取り
位置との間を搬送するシリンダと、を具備することを特
徴とするハンドラ装置のストッカ部。 - 【請求項２】 請求項１において、前記リニアガイドと
ほぼ同じ高さまたはやや低い位置に水平に配され、前記
ストッカに収納されない第２のトレイを、前記ストッカ
よりＩＣ受け取り位置に搬送されたトレイの下側に重な
るように位置決めする位置決めプレートと、 その位置決めプレートの下側に配され、前記第２のトレ
イを昇降させ、前記位置決めプレートに係合させるセッ
トプレートまたは第２のリフタと、が設けられているこ
とを特徴とするハンドラ装置のストッカ部。 - 【請求項３】 請求項１において、前記駆動機構が、 前記シリンダにより前記リニアガイドに沿って搬送され
る中央ブロックと、 前記リニアガイドに沿って前記第１スライドアームに固
定された第１ラックギヤと、 その第１ラックギヤと噛合して、前記中央ブロックに回
動自在に取付けられたピニオンギヤと、 そのピニオンギヤと噛合し、そのピニオンギヤを挟んで
前記第１ラックギヤと対向して平行に配され、前記第２
スライドアームに固定された第２ラックギヤと、 前記ストッカの近傍に取付けられ、前記第１及び第２ラ
ックギヤ同士が前記リニアガイドに沿って互いに離れる
ように一方のラックギヤを駆動する第２のシリンダと、 前記第１スライドアームと、前記第２ラックギヤ（また
は第２スライドアーム）との間に取付けられ、両者が互
いに近付くように偏倚するコイルばねと、を具備するこ
とを特徴とするハンドラ装置のストッカ部。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33071495A JP3739844B2 (ja) | 1995-12-19 | 1995-12-19 | ハンドラ装置のストッカ部 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33071495A JP3739844B2 (ja) | 1995-12-19 | 1995-12-19 | ハンドラ装置のストッカ部 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09165104A true JPH09165104A (ja) | 1997-06-24 |
| JP3739844B2 JP3739844B2 (ja) | 2006-01-25 |
Family
ID=18235750
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33071495A Expired - Fee Related JP3739844B2 (ja) | 1995-12-19 | 1995-12-19 | ハンドラ装置のストッカ部 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3739844B2 (ja) |
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000306978A (ja) * | 1999-02-15 | 2000-11-02 | Kokusai Electric Co Ltd | 基板処理装置、基板搬送装置、および基板処理方法 |
| JP2001356144A (ja) * | 2000-06-13 | 2001-12-26 | Advantest Corp | 電子部品試験装置 |
| JP2002168907A (ja) * | 2000-11-29 | 2002-06-14 | Advantest Corp | 電子部品用トレイ保持装置および電子部品試験装置 |
| JP2002214288A (ja) * | 2000-12-20 | 2002-07-31 | Hanmi Co Ltd | 半導体パッケージ装置切断用ハンドラ・システム |
| JP2011226905A (ja) * | 2010-04-20 | 2011-11-10 | Shibuya Kogyo Co Ltd | 物品分類装置 |
| KR200460147Y1 (ko) * | 2007-08-24 | 2012-05-04 | 세크론 주식회사 | 테스트 핸들러에서 사용되는 스토커 |
| KR20140133976A (ko) * | 2013-05-10 | 2014-11-21 | (주)테크윙 | 반도체소자 테스트용 핸들러의 트레이 적재장치 |
| KR20140136076A (ko) * | 2013-05-16 | 2014-11-28 | (주)테크윙 | 반도체소자 테스트용 핸들러의 트레이 적재장치 |
| KR20180002001A (ko) * | 2016-06-28 | 2018-01-05 | 테크-샘 아게 | 개선된 고밀도 테크-셀 캐리어 |
| KR20180002004A (ko) * | 2016-06-28 | 2018-01-05 | 테크-샘 아게 | 기판 캐리어 수송, 분류 및 로딩/언로딩 |
| CN110104417A (zh) * | 2019-04-12 | 2019-08-09 | 宁波敏实汽车零部件技术研发有限公司 | 一种汽车座椅垫片的自动伺服送料机构 |
| CN114291472A (zh) * | 2021-12-31 | 2022-04-08 | 西安航天动力研究所 | 一种自动上下料的多层转运装置 |
| CN110104417B (zh) * | 2019-04-12 | 2024-06-04 | 宁波敏实汽车零部件技术研发有限公司 | 一种汽车座椅垫片的自动伺服送料机构 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63188574U (ja) * | 1987-05-27 | 1988-12-02 | ||
| JPH0238740U (ja) * | 1988-09-07 | 1990-03-15 | ||
| JPH0717602A (ja) * | 1993-07-01 | 1995-01-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | チップ供給装置 |
-
1995
- 1995-12-19 JP JP33071495A patent/JP3739844B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63188574U (ja) * | 1987-05-27 | 1988-12-02 | ||
| JPH0238740U (ja) * | 1988-09-07 | 1990-03-15 | ||
| JPH0717602A (ja) * | 1993-07-01 | 1995-01-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | チップ供給装置 |
Cited By (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000306978A (ja) * | 1999-02-15 | 2000-11-02 | Kokusai Electric Co Ltd | 基板処理装置、基板搬送装置、および基板処理方法 |
| JP2001356144A (ja) * | 2000-06-13 | 2001-12-26 | Advantest Corp | 電子部品試験装置 |
| JP2002168907A (ja) * | 2000-11-29 | 2002-06-14 | Advantest Corp | 電子部品用トレイ保持装置および電子部品試験装置 |
| JP4601154B2 (ja) * | 2000-11-29 | 2010-12-22 | 株式会社アドバンテスト | 電子部品用トレイ保持装置および電子部品試験装置 |
| JP2002214288A (ja) * | 2000-12-20 | 2002-07-31 | Hanmi Co Ltd | 半導体パッケージ装置切断用ハンドラ・システム |
| KR200460147Y1 (ko) * | 2007-08-24 | 2012-05-04 | 세크론 주식회사 | 테스트 핸들러에서 사용되는 스토커 |
| JP2011226905A (ja) * | 2010-04-20 | 2011-11-10 | Shibuya Kogyo Co Ltd | 物品分類装置 |
| KR20140133976A (ko) * | 2013-05-10 | 2014-11-21 | (주)테크윙 | 반도체소자 테스트용 핸들러의 트레이 적재장치 |
| KR20140136076A (ko) * | 2013-05-16 | 2014-11-28 | (주)테크윙 | 반도체소자 테스트용 핸들러의 트레이 적재장치 |
| KR20180002001A (ko) * | 2016-06-28 | 2018-01-05 | 테크-샘 아게 | 개선된 고밀도 테크-셀 캐리어 |
| KR20180002004A (ko) * | 2016-06-28 | 2018-01-05 | 테크-샘 아게 | 기판 캐리어 수송, 분류 및 로딩/언로딩 |
| CN110104417A (zh) * | 2019-04-12 | 2019-08-09 | 宁波敏实汽车零部件技术研发有限公司 | 一种汽车座椅垫片的自动伺服送料机构 |
| CN110104417B (zh) * | 2019-04-12 | 2024-06-04 | 宁波敏实汽车零部件技术研发有限公司 | 一种汽车座椅垫片的自动伺服送料机构 |
| CN114291472A (zh) * | 2021-12-31 | 2022-04-08 | 西安航天动力研究所 | 一种自动上下料的多层转运装置 |
| CN114291472B (zh) * | 2021-12-31 | 2023-12-26 | 西安航天动力研究所 | 一种自动上下料的多层转运装置 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3739844B2 (ja) | 2006-01-25 |
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