JP3232071B2 - ハンドラーのマルチスタッカ - Google Patents

ハンドラーのマルチスタッカ

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JP3232071B2 JP31544999A JP31544999A JP3232071B2 JP 3232071 B2 JP3232071 B2 JP 3232071B2 JP 31544999 A JP31544999 A JP 31544999A JP 31544999 A JP31544999 A JP 31544999A JP 3232071 B2 JP3232071 B2 JP 3232071B2
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    • G01R31/26—Testing of individual semiconductor devices
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G57/00—Stacking of articles
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    • B65G57/03—Stacking of articles by adding to the top of the stack from above
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術の分野】本発明は、素子をテストト
レイに積載しそのテストトレイを移送させてテスターで
性能をテストした後、分類積載するためのハンドラーの
マルチスタッカに係るもので、詳しくは、テストトレイ
に積載した素子をテストサイトのテスト部に電気的に接
触させてテストした後、テストの結果に従い等級別に分
類し、該分類された素子をそれぞれの等級別にテストト
レイに保持してアンローディングさせるハンドラーのマ
ルチスタッカに関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、製造工程において生産の完了し
た素子は、水平又は垂直式ハンドラーのエレベーターに
より順次移送されてテストによる性能テストの結果に従
い、良品と不良品とに区分され、その分類した素子のう
ち良品は出荷され、不良品は廃棄される。
【０００３】このように性能をテストするための素子
は、テストトレイに保持されてテスト部に移送されてか
ら、テストサイトでテスタと電気的に接触してその性能
がテストされる。
【０００４】このとき、前記テストされた素子は、その
性能試験に従う結果により等級別に分類され、その分類
した素子は再び分類されてアンローディングされるが、
前記アンローディング過程で使用されるものがマルチス
タッカである。
【０００５】図６は、従来のハンドラーのマルチスタッ
カの構造を示す斜視図で、図７は、図６の側面図であ
る。ハンドラーフレーム１０の上部に複数のマウントブ
ラケット１０８が固定され、縦方向に長く形成された長
孔１０６が中央部に形成されたアンローディングベース
プレート１０４がマウントブラケット１０８によりハン
ドラーフレーム１０に垂直に設置され、そのアンローデ
ィングベースプレート１０４の長孔１０６にはテストト
レイが載せられるトレイプレート１１０の一端が挿入さ
れ、その上に所定の間隔だけ離れた位置に複数のトレイ
プレート１１０が連続して挿設されている。
【０００６】トレイプレート１１０は、テストトレイが
正確に上部面に位置するように複数のピン１１８を備
え、その一側部にはテストトレイが動かずに安着される
ようにトレイガイド１１６が形成される。
【０００７】又、アンローディングベースプレート１０
４の長孔１０６に一端部が挿合されたトレイプレート１
１０の最下部には、ベルトにより上下に移動可能にベル
トブラケット１２０が設置されている。そして、前記ベ
ルトブラケット１２０の上部には、そのベルトブラケッ
ト１２０と対応してプーリブラケット１２２がアンロー
ディングベースプレート１０４に設置され、そのプーリ
ブラケット１２２にはモータ（図示せず）で駆動するプ
ーリ１２４が結合されたシャフト１２６が設置される。
従って、前記モータが回転するに従いシャフト１２６に
結合されたプーリ１２４が回転し、プーリ１２４に巻き
取られたベルト（図示せず）が回転するに従い他側に結
合されたベルトブラケット１２０が上下に昇降移動し
て、前記トレイプレート１１０が上下に昇降するように
なる。
【０００８】一方、ストッパーベース１２８がアンロー
ディングベースプレート１０４の外側に設置されたプー
リブラケット１２２の下部に設置され、上下に動作する
シリンダ１３２がそのストッパーベース１２８の右側部
に固定され、フ状ストッパー１３０の右側端が前記スト
ッパーベース１２８に固定されたシリンダ１３２の下端
と連結され、その左側端部には前記モーター（図示せ
ず）から伝達された駆動力を用いて回転するベルト（図
示せず）により複数のトレイプレート１１０が上昇下降
の動作をする。このとき、前記フ状のストッパー１３０
は、トレイプレート１１０の上昇の際に、その上昇高さ
を制御可能にその左側終端部にポー（ＰＡＷ）が形成さ
れ、前記シリンダ１３２の上下動作により回動できるよ
うに中間部がヒンジで固定される。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかし、このように構
成されたマルチスタッカは、それぞれのトレイプレート
が一定した間隔で複数個設置されているため、空間を多
く占め、シリンダによりその位置が制御されるため、装
置が複雑になるという問題点があった。
【００１０】又、このような構造は、素子をテストした
後の分類積載が容易でないし、場所の狭小性のため、素
子の等級区分が多様でないという問題点があった。
【００１１】本発明の目的は、その構造を改善してマル
チスタッカの構造を単純化し、装置を小型化して多様な
等級に分類された素子を保持したテストトレイが積載さ
れるようにすると共に、正確且つ迅速な積載をすること
ができるハンドラーのマルチスタッカを提供するにあ
る。
【００１２】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るため本発明は、ハンドラーのフレームの上部にサイド
プレートと結合されて垂直になるように設置されたスタ
ッカフレームと、等級別に分類された素子を保持したテ
ストトレイが前記スタッカフレームの内側に分類されて
積載されるトレイ積載部と、前記トレイ積載部に積載さ
れるテストトレイが載せられるトレイプレートを位置付
けると同時に、離脱しないように４カ所の角部にそれぞ
れ設置されたガイドと、前記ガイドの内側に沿って上下
に昇降しトレイプレートを分類して等級別に分類された
素子を保持したテストトレイをアンローディングするト
レイ昇降装置とで構成することを特徴とする。
【００１３】前記スタッカフレームは、その下部にサポ
ートプレートが設置され、前記サポートプレートの下部
内側に左右に移動可能にストッパーが設置されることを
特徴とする。前記ストッパーは、その上部に設置された
リニアシリンダにより左右に動くことを特徴とする。前
記ストッパーの前部には、トレイプレートを固定させる
係止突起が形成されることを特徴とする。前記トレイ積
載部は、素子が等級別に分類されて保持されたテストト
レイが分類積載できるように複数のトレイプレートが載
せられて設置されることを特徴とする。前記ガイドは、
テストトレイの供給及び取り入れが容易であるように、
その下部に設置されたリニアシリンダにより左右に動く
ことを特徴とする。
【００１４】前記トレイ昇降装置は、複数のトレイプレ
ートが載せられる昇降板と、一側部にラックが固定さ
れ、前記昇降板の下部に垂直するように設置されるＬＭ
レールと、前記ＬＭレールに沿って上下にスライディン
グ可能に設置されたＬＭブロックと、前記ＬＭブロック
の一側部に固定されハンドラーフレームの下部に固定さ
れるブラケットと、前記ＬＭレールのラックと噛み合っ
て前記昇降板を昇降させるためのピニオンギヤが具備さ
れたモーターと、上端部がハンドラーフレームに固定さ
れ、前記ピニオンギヤを回転させるモータが水平するよ
うに挿設されるブラケットと、で構成されることを特徴
とする。
【００１５】前記昇降板の下部にはＬＭレールの上端部
を連結し昇降板の歪め防止と振動を減衰するためのサポ
ートプレートが設置されることを特徴とする。前記ＬＭ
レールの下端部には前記ＬＭレールの衝撃と振動を減衰
するための左右一対のサポートプレートが設置されるこ
とを特徴とする。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て説明する。図１は、本発明に係るハンドラーのマルチ
スタッカを示す全体斜視図で、図２は、本発明に係るマ
ルチスタッカを示す分解斜視図で、図３は、ハンドラー
のマルチスタッカを昇降駆動するための昇降装置を示す
斜視図で、図４は、図３の側面図で、図５は、本発明に
係るマルチスタッカの構造を示す側面図である。
【００１７】本発明のハンドラーのマルチスタッカは、
ハンドラーフレーム１０の上部にサイドプレート１４と
結合されて垂直になるように設置されたスタッカフレー
ム１２と、等級別に分類された素子を保持したテストト
レイが前記スタッカフレーム１２の内側に分類されて積
載されるトレイ積載部９８と、前記トレイ積載部９８に
積載されるテストトレイが載せられるトレイプレート２
２を位置付けると同時に、離脱しないように４カ所の角
部にそれぞれ設置されるガイド１６と、前記ガイド１６
の内側に沿って上下に昇降してトレイプレート２２を分
類して等級別に分類された素子を保持したテストトレイ
をアンローディングするトレイ昇降装置９６とで構成さ
れている。
【００１８】前記スタッカフレーム１２は、その下部に
サポートプレート３１が設置され、前記サポートプレー
ト３１の下部内側に左右に移動可能にストッパー４２が
設置され、前記ストッパー４２は、その上部に設置され
たリニアシリンダにより左右に動く。
【００１９】前記ストッパー４２の前部にはトレイプレ
ート２２を固定させる係止突起４３が形成される。前記
ガイド１６は、その下部に設置されたリニアシリンダ４
４により左右に動く。前記トレイ積載部９８は、素子が
等級別に分類されて保持されたテストトレイが分類積載
できるように複数のトレイプレート２２が積層して設置
される。
【００２０】前記トレイ昇降装置９６は、複数のトレイ
プレート２２が積層される昇降板２４と、一側部にラッ
ク２８が固定され、前記昇降板２４の下部に垂直に設置
されるＬＭレール２６と、前記ＬＭレール２６に沿って
上下にスライディング可能に設置されたＬＭブロック３
４と、前記ＬＭブロック３４の一側部に固定されハンド
ラーフレーム１０の下部に固定されるブラケット３２
と、前記ＬＭレール２６のラック２８と噛み合って前記
昇降板２４を昇降させるためのピニオンギヤ３６が具備
されたモーター３８と、上端部がハンドラーフレーム１
０に固定され、前記ピニオンギヤ３６を回転させるモー
ター３８が水平に挿設されるブラケット４０とで構成さ
れている。
【００２１】前記昇降板２４の下部にはＬＭレール２６
の上端部を連結し昇降板２４の歪み防止と振動を減衰す
るためのサポートプレート３０が設置される。前記ＬＭ
レール２６の下端部には前記ＬＭレール２６の衝撃と振
動を減衰するための左右一対のサポートプレート３３が
設置される。
【００２２】このように構成された本発明に係るマルチ
スタッカを詳しく説明する。ハンドラーのベース１００
が四角状の枠で形成され、その上部にハンドラーフレー
ム１０が載せられて固定される。ハンドラーフレーム１
０の右側上部には、テスト済みの素子が等級別に分類さ
れて保持されたそれぞれのテストトレイがアンローディ
ングされて分類積載されるマルチスタッカ１０２が設置
される。
【００２３】前記マルチスタッカ１０２は四面が開口さ
れたボックス状の構造で形成したスタッカフレーム１２
が設置され、その左右側には一対のサポートプレート３
１が設置され、上昇する複数のトレイプレート２２を左
右で固定するためのストッパー４２が前記サポートプレ
ート３１の下部に設置されている。
【００２４】又、前記ストッパー４２にはその前部に係
止突起４３が形成され、その上部にはリニアシリンダ４
４が設置されていてストッパー４２を左右に動かす。一
方、サポートプレート３１の下部にはサイドプレート１
４が左右で相対して設置され、その内部には両側面部に
係止突起４５が形成された複数のトレイプレート２２が
積載されるトレイ積載部９８が設置されている。
【００２５】前記トレイ積載部９８は、前記スタッカフ
レーム１２の内側にそれぞれ４カ所の角部に位置してガ
イド１６が固定され、センサ２０がセンサブラケット１
８により固定されて前記ガイド１６の一側に固定され、
複数のトレイプレート２２が前記ガイド１６のその内側
面に沿って上下に移動可能に連続して積載され、その下
部にはトレイ昇降装置９６が設置されて複数のトレイプ
レート２２を支持すると同時に、昇降動作をして等級別
に分類された素子が保持されたテストトレイをトレイプ
レート２２のそれぞれの間に分類積載することができる
ようになる。そして、トレイプレート装着及び脱着が容
易であって、テストトレイ積載分類等級の数を多様に変
化させることができる。
【００２６】前記トレイ昇降装置９６は、複数のトレイ
プレート２２を支持すると同時に、上下に昇降する昇降
板２４の下部に垂直するようにＬＭレール２６が固定さ
れ、その上端部にはサポートプレート３０が設置され
て、昇降板２４とＬＭレール２６を連結固定し昇降板２
４の歪みと振動を減衰させる。
【００２７】ＬＭレール２６の一側部には複数のギヤが
形成されたラック２８が固定され、その他側には前記Ｌ
Ｍレール２６が上下にスライディング移動しながら昇降
するようにＬＭブロック３４が設置され、そのＬＭブロ
ック３４はハンドラーフレーム１０に固定される。ＬＭ
レール２６の下端部には左右で結合可能な一対のサポー
トプレート３３が設置されて、ＬＭレール２６の振動及
び衝撃を減衰させる。
【００２８】このとき、モータ３８がハンドラーフレー
ム１０に固定されたブラケット４０に設置され、モータ
３８の駆動力を伝達受けて回転するピニオンギヤ３６が
前記ラック２８と噛み合うように設置され、ピニオンギ
ヤ３６の回転によりラック２８は上昇下降運動を反復す
る。
【００２９】以上説明したように本発明に係るハンドラ
ーのマルチスタッカの動作を説明すると、テストサイト
でテストされた素子が良品及び不良品に分類され、その
素子が再びそれぞれの等級別に分類されて保持されたテ
ストトレイがアンローディングされると、前記モータ３
８が駆動して端部に設置されたピニオンギヤ３６を回転
させ、前記ピニオンギヤ３６はラック２８と噛み合って
回転しながら前記ラック２８を上方向に直線移動させ
る。
【００３０】このとき、前記ラック２８が固定されたＬ
Ｍレール２６がＬＭブロック３４により案内されて昇降
し、同時にＬＭレール２６の上端部に固定されてＬＭレ
ール２６のように昇降する昇降板２４に積載された複数
のトレイプレート２２がスタッカフレーム１２の内側に
上昇する。
【００３１】前記上昇したトレイプレート２２はサポー
トプレート３１に設置されたストッパー４２により係止
突起４３が係止溝４５に挿入して固定される。ストッパ
ー４２はその上部面に設置されたリニアシリンダ４４に
より左右で前後進されるので、トレイプレート２２が昇
降板２４に載せられた状態に昇降すると、リニアシリン
ダ４４が動作してストッパー４２を前進させ、このと
き、ストッパー４２の係止突起４３がトレイプレート２
２の係止溝４５と結合されて、複数の等級別トレイプレ
ート２２中で積載しようとするトレイプレート２２の上
部トレイプレート２２を固定し、その下部の他のトレイ
プレート２２は再び昇降板２４に沿って所定量だけ下降
され、トランスファアーム（図示せず）により移動され
るテストトレイがその上部に安着すると同時に、昇降板
２４が再び上昇して固定されたトレイプレート２２と当
接すると、ストッパー４２が後進してトレイプレート２
２を解除するので、昇降板２４が下降するときにテスト
トレイと同時に下降が行われる。
【００３２】例えば、テストトレイが２等級の素子を保
持していると、最上部に位置したトレイプレート２２が
ストッパーにより固定され、２番目に位置したトレイプ
レート２２にテストトレイが安着されて下降するのであ
る。そして、継続してこのような動作を反復することに
より、素子が等級別に保持されたテストトレイを分類し
てアンローディングさせることができる。
【００３３】以上、本発明に係るマルチスタッカは、装
置が簡単で、且つ多様な種類に分類された等級別素子を
易しく積載することができるという長所があり、迅速且
つ正確に位置をセッティングすることができる。
【００３４】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、従来のマ
ルチスタッカと比べ装置が簡単であって、軽量化が図ら
れ、場所を大きく占めないため、装置の小型化が可能で
あり、テストトレイがトレイプレートに上方から下方へ
連続して安着されるので、正確な位置にセッティングさ
れて離脱される憂いがないという効果がある。
【００３５】又、ベルトにより駆動されたのをラックと
ピニオンにより駆動させるので、装置の耐久性が向上さ
れ、昇温が減少するという効果がある。更に、モーター
の駆動力がピニオンによりラックに直接に作用するの
で、作業時間が短縮され、作業効率が向上されて生産性
が増加するという効果がある。
【００３６】そして、従来のマルチスタッカと比べ、積
載部等級分類のためのトレイプレートの追加装着及び脱
着が容易であって、多様に等級量が変化するという効果
がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るハンドラーのマルチスタッカを示
した全体斜視図である。
【図２】本発明のマルチスタッカを示す分解斜視図であ
る。
【図３】ハンドラーのマルチスタッカを昇降駆動するた
めの昇降装置を示す斜視図である。
【図４】図３の側面図である。
【図５】本発明に係るマルチスタッカの構造を示す側面
図である。
【図６】従来のハンドラーのマルチスタッカを示す斜視
図である。
【図７】図６の側面図である。
【符号の説明】
１０：ハンドラーフレーム １２：スタッカフレーム １４：サイドプレート １６：ガイド １８：センサブラケット ２０：センサ ２２：トレイプレート ２４：昇降板 ２６：ＬＭレール ２８：ラック ３０，３１：サポートプレート ３２，４０：ブラケット ３４：ＬＭブロック ３６：ピニオンギヤ ３８：モーター ４２：ストッパー ４４：シリンダ
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平６−27194（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−321183（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−174785（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01R 31/26 H01L 21/66

Claims (4)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ハンドラーフレームの上部にサイドプレ
    ートと垂直に結合され、その内側にリニアシリンダによ
    り左右に移動可能なストッパーが設置されたサポートプ
    レートを有するスタッカフレームと、 等級別に分類された素子を保持したテストトレイが前記
    スタッカフレームの内側に分類されて積載されるトレイ
    積載部と、 前記トレイ積載部に積載されるテストトレイが載せられ
    るトレイプレートを位置付けると同時に、離脱しないよ
    うに４カ所の角部にそれぞれ設置されたリニアシリンダ
    により左右に移動可能に構成されたガイドと、 前記ガイドの内側に沿って上下に昇降してトレイプレー
    トを分類して等級別に分類された素子を保持したテスト
    トレイをアンローディングするトレイ昇降装置とで構成
    され、 前記トレイ昇降装置は、複数のトレイプレートが載せら
    れる昇降板と、その一側部にラックが固定され前記昇降
    板の下部に垂直に設置されたＬＭレールと、前記ＬＭレ
    ールに沿って上下にスライディング可能に設置されたＬ
    Ｍブロックと、前記ＬＭブロックの一側部に固定されハ
    ンドラーフレームの下部に固定されたブラケットと、前
    記ラックと噛み合い昇降板を昇降させるためのピニオン
    ギヤが具備されたモーターと、前記モーターを設置する
    ためのブラケットとを備えた ことを特徴とするハンドラ
    ーのマルチスタッカ。
  2. 【請求項２】 前記ストッパーは、その前部にトレイプ
    レートを固定することができる係止突起が形成されてい
    ることを特徴とする請求項１に記載のハンドラーのマル
    チスタッカ。
  3. 【請求項３】 前記トレイ昇降装置の前記昇降板の下部
    には、ＬＭレールの上端部を連結し昇降板の歪み防止と
    振動を減衰するためのサポートプレートが設置されてい
    ることを特徴とする請求項１に記載のハンドラーのマル
    チスタッカ。
  4. 【請求項４】 前記トレイ昇降装置の前記ＬＭレールの
    下端部には、前記ＬＭレールの衝撃と振動を減衰するた
    めの左右一対のサポートプレートが設置されていること
    を特徴とする請求項１に記載のハンドラーのマルチスタ
    ッカ。
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