JP2000206186A

JP2000206186A - トレイ移送装置

Info

Publication number: JP2000206186A
Application number: JP427799A
Authority: JP
Inventors: Yoshiyuki Masuo; 芳幸増尾
Original assignee: Advantest Corp
Current assignee: Advantest Corp
Priority date: 1999-01-11
Filing date: 1999-01-11
Publication date: 2000-07-28
Anticipated expiration: 2019-01-11
Also published as: JP4164182B2

Abstract

(57)【要約】【課題】試験装置の小型化を図るとともに、トレイの汎
用性を高めカテゴリ数を増加させる。【解決手段】供給用トレイ２０２が独立して上下方向に
収納される第１のトレイ収納部２１２と、収納用トレイ
２０４が独立して上下方向に収納される第２のトレイ収
納部２１４と、これらトレイ収納部２１２，２１４の間
に昇降可能に設けられ、トレイ収納部２１２，２１４と
の間でトレイ２０２，２０４の受け渡しを行うエレベー
タ２０６と、これらの並設方向に移動可能とされてエレ
ベータ２０６との間でトレイ２０２，２０４の受け渡し
を行うトランアーム２０８と、ローダ部３００またはア
ンローダ部４００に対して昇降可能とされ、トランアー
ム２０８との間でトレイ２０２，２０４の受け渡しを行
うセットプレート２１０とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、たとえばメモリモ
ジュールなどの電子部品基板を試験するための電子部品
基板の試験装置およびトレイの移送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】メモリモジュールなどの電子部品基板の
製造過程においては、最終的に製造されたメモリモジュ
ールを試験する試験装置が必要となる。このような試験
装置の一種として、常温よりも高いまたは低い温度条件
で、メモリモジュールを試験するための装置が知られて
いる。メモリモジュールの特性として、高温または低温
でも良好に動作することが保証されるからである。

【０００３】従来のメモリモジュール用試験装置にて高
温試験または低温試験を行う場合には、試験前のメモリ
モジュールを試験装置内の予熱部または冷却部で加熱ま
たは冷却し、加熱または冷却されたメモリモジュールを
ピック・アンド・プレース機構を用いて測定部まで搬送
し、メモリモジュールに加えられた予熱により高温試験
または低温試験を行っている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、メモリモジ
ュールのような大きな電子部品基板を試験装置に搬入ま
たは搬出する場合、たとえば図５に示すようなトレイ２
０２，２０４が用いられる。この種のトレイでは、電子
部品基板１０を直立させて並べるため、複数のトレイを
積み重ねることができない。

【０００５】このため、試験装置の搬入部及び搬出部に
は、図７に示すように、トレイ２０２，２０４を一枚づ
つ収納する引き出し状のトレイ収納部２１２，２１４が
設けられ、目的とするトレイがデバイス搬入ステージ２
１６またはデバイス搬出ステージ２１８の高さに至るま
でトレイ収納部自体を昇降させることで、こうしたトレ
イの出し入れ操作を行っていた。

【０００６】しかしながら、トレイ収納部自体を昇降さ
せる方式では、各トレイ収納部２１２，２１４の上にそ
の昇降軌跡ぶんのデッドスペース（同図にＤＳで示
す。）が必要となり、試験装置自体が大型になるといっ
た問題があった。また、トレイ収納部自体を昇降させる
方式では、試験前の電子部品基板１０を収納したトレイ
２０２（以下、供給用トレイ）のトレイ収納部２１２
と、試験を終えた電子部品基板１０を収納したトレイ２
０４（以下、収納用トレイ）のトレイ収納部２１４とが
独立した構造となり、たとえば空になった供給用トレイ
２０２を収納用トレイ２０４として利用することができ
ない。

【０００７】本発明は、このような従来技術の問題点に
鑑みてなされたものであり、試験装置の小型化を図ると
ともにトレイの汎用性を高めカテゴリ数を増加させるこ
とを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】（１）上記目的を達成す
るために、第１の観点による本発明のトレイ移送装置
は、トレイが独立して上下方向に収納される少なくとも
一対のトレイ収納部と、前記一対のトレイ収納部の間に
昇降可能に設けられ、前記トレイ収納部との間でトレイ
の受け渡しを行う第１の昇降手段と、を備えたことを特
徴とする。

【０００９】この場合、前記トレイ収納部および前記第
１の昇降手段の上部に設けられ、これらの並設方向に移
動可能とされて、前記第１の昇降手段との間で前記トレ
イの受け渡しを行う水平搬送手段をさらに備えることが
より好ましい。

【００１０】また、目的とするポジションに対して昇降
可能とされ、前記水平搬送装置との間で前記トレイの受
け渡しを行う第２の昇降手段をさらに備えることがより
好ましい。

【００１１】上記発明においては特に限定されないが、
たとえば、前記トレイ収納部の一方が、試験前の電子部
品基板が搭載されたトレイであり、他方が試験後の電子
部品基板が搭載されたトレイである。

【００１２】（２）上記目的を達成するために、第２の
観点による本発明のトレイ移送装置は、第１のトレイが
独立して上下方向に収納される第１のトレイ収納部と、
第２のトレイが独立して上下方向に収納される第２のト
レイ収納部と、前記第１のトレイ収納部と前記第２のト
レイ収納部との間に昇降可能に設けられ、前記第１のト
レイ収納部および前記第２のトレイ収納部との間で第１
のトレイまたは第２のトレイの受け渡しを行う第１の昇
降手段と、前記第１のトレイ収納部、前記第２のトレイ
収納部および前記第１の昇降手段の上部に設けられ、こ
れらの並設方向に移動可能とされて、前記第１の昇降手
段との間で前記第１のトレイまたは前記第２のトレイの
受け渡しを行う水平搬送手段と、目的とするポジション
に対して昇降可能とされ、前記水平搬送装置との間で前
記第１のトレイまたは前記第２のトレイの受け渡しを行
う第２の昇降手段と、を備えたことを特徴とする。

【００１３】本発明においては特に限定されないが、た
とえば、前記トレイ収納部の一方が、試験前の電子部品
基板が搭載されたトレイであり、他方が試験後の電子部
品基板が搭載されたトレイである。

【００１４】また、前記第１のトレイ収納部の少なくと
も一部に、試験後の電子部品基板が搭載されたトレイが
収納されることがより好ましい。この場合、前記試験後
の電子部品基板が、再試験をすべきカテゴリであること
がより好ましい。

【００１５】さらに、前記第２のトレイ収納部の少なく
とも一部に、試験前の電子部品基板を受け渡した空のト
レイが収納されることがより好ましい。

【００１６】また、前記第１のトレイと前記第２のトレ
イは、同じ種類のトレイであることがより好ましい。

【００１７】

【作用】本発明のトレイ移送装置では、トレイ収納部自
体を昇降させるのではなく、第１の昇降手段、水平搬送
手段および第２の昇降手段によりトレイを移送するの
で、トレイ収納部の上部にデッドスペースが生じるとい
った問題がなくなり、少なくとも高さ方向に装置全体を
小型化することができる。

【００１８】また、第１の昇降手段をトレイ収納部の間
に設けることで、両方のトレイ収納部にアクセスするこ
とができ、トレイの移送が効率化されるとともに、トレ
イの移送シーケンスの自由度が増す。しかも、何れのト
レイ収納部に対してもトレイを収納することができ、ま
た何れのトレイ収納部に収納されたトレイをも取り出す
ことができるので、装置自体を変えることなく分類数の
増加に対して柔軟に対処することができる。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づいて説明する。図１は本発明のトレイ移送装置が適
用される電子部品基板の試験装置の一例を示す図であっ
て（Ａ）は平面図、（Ｂ）はＢ−Ｂ線に沿う断面図であ
る。図２（Ａ）は本発明のトレイ移送装置の実施形態を
示す斜視図、図２（Ｂ）は本実施形態のトレイ収納部と
エレベータの部分を示す斜視図、図３乃至図４は本実施
形態におけるトレイの取り廻し方法を説明するための概
念図、図５は本実施形態で用いられるトレイの一例を示
す斜視図である。

【００２０】以下の実施形態では、被試験物として図５
に示すメモリモジュール１０を例に挙げる。こうしたメ
モリモジュール１０は、ハンドラ１に対して、その端子
１２を下にした直立姿勢で、同図に示すトレイ２０２，
２０４に搭載されて搬入され、また同じ荷姿で搬出され
る。同図に示す２０５はメモリモジュール１０を直立姿
勢に保つための凸部である。

【００２１】なお、試験前のメモリモジュール１０を搭
載するための供給用トレイ２０２と、試験を終えたメモ
リモジュール１０を搭載するための収納用トレイ２０４
は同一形状であっても異なる形状であっても良いが、少
なくとも供給用トレイ２０２は、搭載されたメモリモジ
ュール１０の位置決め機能を備えるものが望ましい。供
給用トレイ２０２に搭載されたメモリモジュール１０
は、これからハンドラ１内へ搬入されて複数のピックア
ップ装置によって載せ替え等の操作が行われるからであ
る。

【００２２】本実施形態のトレイ移送装置は、図１に示
すハンドラ１のメモリモジュール格納部２００に設けら
れるものであり、一対のトレイ収納部２１２，２１４を
有している。

【００２３】図１および図２に示すように、一方のトレ
イ収納部２１２には、主としてこれから試験が行われる
メモリモジュール１０が搭載された供給用トレイ２０２
が、積み重ねることなく、互いに独立して上下方向に保
持収納されている。これに対して他方のトレイ収納部２
１４には、試験を終えたメモリモジュール１０が適宜に
分類された収納用トレイ２０４が、同じく積み重ねるこ
となく互いに独立して上下方向に保持収納されている。
すなわち、トレイ２０２，２０４はこれらトレイ収納部
２１２，２１４にたとえば引き出し棚状に収納される。

【００２４】なお、これらトレイ収納部２１２，２１４
に収納可能なトレイ枚数は特に限定されず、試験装置の
大きさと分類能力等の関係で適宜決定することができ
る。図３乃至図４では、各トレイ収納部２１２，２１４
に最大７枚づつのトレイ２０２，２０４を収納できるよ
うになっている。

【００２５】また詳細は後述するが、トレイ収納部２１
２，２１４は互いに同じ構造とされているので、供給用
トレイ２０２、収納用トレイ２０４の何れをも互いに収
納することができる。つまり、試験結果の分類が、良品
と不良品の別の外に、良品の中でも動作速度が高速のも
の、中速のもの、低速のもの、あるいは不良の中でも再
試験が必要なもの等々、多分類が必要とされる場合は、
２つのトレイ収納部２１２，２１４を総合的に使用する
ことで対処することができる。

【００２６】一対のトレイ収納部２１２，２１４の間に
は、エレベータ２０６（本発明の第１の昇降手段に相当
する）が昇降可能に設けられている。このエレベータ２
０６は、図２（Ａ）に示すように、たとえばボールネジ
駆動装置２０６ａによって、少なくとも各トレイ収納部
２１２，２１４の最下段から最上段までの間を上下方向
に移動制御される。

【００２７】このエレベータ２０６は、各トレイ収納部
２１２，２１４との間でトレイ２０２，２０４の受け渡
しを行う。こうした動作は、たとえば図２（Ｂ）に示す
ように、トレイ２０２，２０４またはこれを載置するプ
レートに、流体圧シリンダ２０６ｂのロッドなどを引っ
かけ、流体圧シリンダ２０６ｂを進退駆動することで、
トレイ２０２，２０４の出し入れ操作が実行される。

【００２８】これらトレイ収納部２１２，２１４および
エレベータ２０６の直上には、トランアーム２０８（本
発明の水平搬送手段に相当する。）が、図２に示す±Ｘ
軸方向に移動自在に設けられている。このトランアーム
２０８は、たとえばボールネジ駆動装置２０８ａによっ
て±Ｘ軸方向の所望の位置に移動制御される。トランア
ーム２０８は、エレベータ２０６に載置されたトレイ２
０２，２０４を受け取って後述するセットプレート２１
０（本発明の第２の昇降手段に相当する。）に受け渡し
たり、逆にセットプレート２１０に載置されたトレイ２
０２，２０４を受け取ってエレベータ２０６に受け渡
す。この際に、トレイ２０２，２０４を保持および解放
するためにフック機構２０８ｂ（図３（Ａ）参照）が開
閉可能に設けられている。

【００２９】なお、本実施形態ではトランアーム２０８
の可動方向を±Ｘ軸方向にのみ設定しているが、±Ｚ軸
方向に対しても昇降可能として、トレイ２０２，２０４
の受け渡しの際に±Ｚ軸方向に昇降させても良い。ま
た、±Ｙ軸方向に対しても可動とし、後述するセットプ
レート２１０の設定範囲に自由度を持たせても良い。

【００３０】本実施形態のトレイ移送装置では、トラン
アーム２０８の直上に３つのセットプレート２１０が設
けられている。これらセットプレート２１０は、たとえ
ばボールネジ駆動装置２１０ａによって、それぞれ独立
して±Ｚ軸方向に昇降可能とされ、少なくともトランア
ーム２０８よりも低い位置とトランアーム２０８よりも
高い位置との間を昇降することができる。ここでいう下
限位置が、トレイ２０２，２０４の受け渡しの際の位置
であり、上限位置がトレイ２０２，２０４のセット位置
（つまり、メモリモジュール１０を出し入れする位置）
である。

【００３１】なお、本例では３つのセットプレート２１
０が設けられ、図２の左の一つがハンドラ１でいうロー
ダ部３００のセットプレート２１０とされ、右の二つが
ハンドラ１でいうアンローダ４００のセットプレート２
１０，２１０とされている。ただし、本発明はこれに何
ら限定されず、２つであってもまた４つ以上であっても
良い。

【００３２】次に動作を説明する。図３乃至図４では、
試験前のメモリモジュール１０が満載された供給用トレ
イ２０２をトレイ収納部２１２の全ての段に収納し、こ
れをハンドラ１のローダ部３００にセットする動作と、
ハンドラ１のアンローダ部４００で試験済みメモリモジ
ュール１０が満載となった収納用トレイ２０４をトレイ
収納部２１４に移送する動作とを連続して説明する。

【００３３】たとえばトレイ収納部２１２の最上段から
供給用トレイ２０２を取り出すとすると、図３（Ａ）に
示すようにまずエレベータ２０６をトレイ収納部２１２
の最上段の高さ位置まで移動させ、図２（Ｂ）に示す流
体圧シリンダ２０６ａにてトレイ収納部２１２の最上段
の供給用トレイ２０２をエレベータ２０６に押し出す。
これと相前後して、トランアーム２０８をエレベータ２
０６の直上に移動させておく。

【００３４】次に、供給用トレイ２０２が載置されたエ
レベータをトランアーム２０８との受け渡し位置まで上
昇させ、トランアーム２０８のフック機構２０８ｂを閉
じることにより供給用トレイ２０２を受け取ってこれを
保持する。そして、目的のポジションであるローダ部３
００の下部へトランアーム２０８を移動させる。この移
動の前に、ローダ部３００のセットプレート２１０を下
限位置まで下降させておく。

【００３５】この状態を図３（Ｂ）に示すが、ここでセ
ットプレート２１０を僅かに上昇させ（あるいはトラン
アーム２０８に±Ｚ軸方向の昇降機能が付加されている
ときはトランアーム２０８側を僅かに下降させ）、トラ
ンアーム２０８のフック機構２０８ｂを開いて供給用ト
レイ２０２をセットプレート２１０上に受け渡す。そし
て、トランアーム２０８をその位置から待避させたの
ち、図３（Ｃ）に示すようにセットプレート２１０を上
限位置まで上昇させて供給用トレイ２０２をローダ部３
００にセットする。以上で、試験前のメモリモジュール
１０が満載された供給用トレイ２０２をローダ部３００
にセットする動作が完了する。

【００３６】図３（Ｃ）において、ローダ部３００の下
部に位置していたトランアーム２０８は、試験を終えた
メモリモジュール１０が満載された収納用トレイ２０４
を受け取るため、アンローダ部４００の右側まで移動す
る。この移動の前に、アンローダ部４００の右側のセッ
トプレート２１０は下限位置まで下降させておく。そし
て、セットプレート２１０を僅かに上昇させ（あるいは
トランアーム２０８に±Ｚ軸方向の昇降機能が付加され
ているときはトランアーム２０８側を僅かに下降さ
せ）、トランアーム２０８のフック機構２０８ｂを閉じ
て収納用トレイ２０４をトランアーム２０８へ受け渡し
保持する。

【００３７】次に図４（Ａ）に示すように、上昇位置で
待機しているエレベータ２０６の上部までトランアーム
２０８を移動させ、ここでトランアーム２０８のフック
機構２０８ｂを開いて収納用トレイ２０４をエレベータ
２０６上に受け渡す。そして、図４（Ｂ）に示すよう
に、トレイ収納部２１４の所定の空き段（本例では上か
ら３段目）までエレベータ２０６を下降させたのち、図
２（Ｂ）に示す流体圧シリンダ２０６ｂを用いて収納用
トレイ２０４をトレイ収納部２１４へ引き込む。以上
で、試験済みメモリモジュール１０が満載された収納用
トレイ２０４をアンローダ部４００からトレイ収納部２
１４へ移送する動作が完了する。

【００３８】このように、本実施形態のトレイ移送装置
を用いると、トレイ収納部２１２，２１４そのものを昇
降させる必要がないので、これらトレイ収納部２１２，
２１４の上部に昇降軌跡のためのスペースを設ける必要
もない。したがって、試験装置そのものが少なくとも高
さ方向に小型化される。

【００３９】ちなみに、上述したトレイ移送装置にてロ
ーダ部３００の窓部３０６にセットされた供給用トレイ
２０２に満載された試験前のメモリモジュール１０は、
図１に示すＸＹ搬送装置３０３にてメモリモジュールの
試験用トレイ２０に移載されたのち、試験用トレイ２０
に搭載された状態でチャンバ１００内に搬送される。こ
のチャンバ１００においては、ソークチャンバ（恒温
槽）１０１にてメモリモジュール１０は試験を行うべき
温度（高温または低温）まで加熱または冷却され、測定
部１０２にてテストヘッドに押し付けられる。このテス
トヘッドへの押し付けは、試験用トレイ２０に搭載され
た状態で行われ、幾つかのメモリモジュール２０が同時
に押し付けられる。

【００４０】次いで、試験用トレイ２０はアンソークチ
ャンバ１０３に搬送され、試験を終えたメモリモジュー
ル１０を室温近傍まで戻す。これは主として低温印加を
行った場合の結露防止を目的として行われる。

【００４１】室温まで戻されたメモリモジュール１０が
満載された試験用トレイ２０は、アンローダ部４００へ
搬送され、ここでＸＹ搬送装置４０３を用いて試験済み
メモリモジュール１０を収納用トレイ２０４へ移載す
る。このとき、各メモリモジュール１０はそれぞれの試
験結果に応じた収納用トレイ２０４へ移載される。図１
に示す例では、たとえばアンローダ部４００の窓部４０
６ａ，４０６ｂにセットされた２枚の収納用トレイ２０
４，２０４に「合格」のメモリモジュール１０を移載
し、「不合格」や「再試験」となったメモリモジュール
１０はバッファステージ４０５へ順次移載される。そし
て、バッファステージ４０５が満杯になったら、「不合
格」用の収納用トレイ２０４や「再試験」用の収納用ト
レイ２０４をアンローダ部４００の窓部４０６ａまたは
４０６ｂへセットし、当該バッファステージ４０５に載
置されたメモリモジュール１０をそれぞれの分類通りに
移載する。以上の手順で、メモリモジュール１０の試験
および試験結果による分類が行われる。

【００４２】なお、図３乃至図４に示されたトレイの取
り廻しシーケンスは、本発明のトレイ移送装置の単なる
一例に過ぎず、本発明のトレイ移送装置によれば、エレ
ベータ２０６が一対のトレイ収納部２１２，２１４に収
納されたトレイ２０２，２０４の何れにもアクセスでき
る構造であるため、ローダ部３００およびアンローダ部
４００とトレイ収納部２１２，２１４との間で、何れの
トレイ２０２，２０４も出し入れすることができる。

【００４３】たとえば、供給用トレイ２０２と収納用ト
レイ２０４が同じトレイである場合には、メモリモジュ
ール１０が満載された供給用トレイ２０２を図３（Ａ）
乃至（Ｃ）に示す手順でローダ部３００へ移送し、その
後このローダ部３００の供給用トレイ２０２が空になっ
たら、これを直接的または間接的にトランアーム２０８
にてアンローダ部４００へ移送し、収納用トレイ２０４
として用いることもできる。

【００４４】また、アンローダ部４００でメモリモジュ
ール１０が満載となった収納用トレイは、通常はトレイ
収納部２１４の方へ収納されるが、トレイ収納部２１２
の方の空の段をも用いることで、分類数の増加に対して
も柔軟に対処することができる。

【００４５】すなわち、供給用トレイ２０２と収納用ト
レイ２０４とをそれぞれ独立して使用すると、供給用ト
レイ数をＡ、収納用トレイ数をＢ、分類数をｎとしたと
きに、収納用トレイ２０４がＢ＝Ａ＋（ｎ−１）以上な
いと連続して動作させることができないが、これらのト
レイ２０２，２０４を共用化することで、ｎ＝Ｂ＋１ま
で連続的に分類動作を行うことができるようになる。

【００４６】他の実施形態本発明はさらに改変することができる。図６は本発明の
トレイ移送装置の他の実施形態を組み込んだハンドラを
示す（Ａ）概略平面図、（Ｂ）概略断面図（Ｂ−Ｂ線相
当図）であり、まずメモリモジュール格納部２００の構
造が相違している。

【００４７】すなわち、供給用トレイ２０２を収納する
トレイ収納部２１２と、収納用トレイ２０４を収納する
トレイ収納部２１４は設けられているが、第１昇降手段
であるエレベータ２０６Ａ，２０６Ｂは、これらの間で
はなく、それぞれ単独に設けられている。また、ローダ
部３００への供給トレイ２０２のセット位置は一カ所の
みであり（窓部３０６にて示す。）、これに隣接する位
置には供給用トレイ２０２ｚが手動で出し入れされるよ
うになっている。

【００４８】そして、エレベータ２０６Ａを用いてトレ
イ収納部２１２からメモリモジュール１０が満載された
供給用トレイ２０２を取り出し、エレベータ２０６Ａを
そのまま上昇させることでローダ部３００の窓部３０６
にセットするとともに、全てのメモリモジュール１０を
試験用トレイ２０に移し終えたら、エレベータ２０６Ａ
をそのまま下降させて空となった供給用トレイ２０２を
トレイ収納部２１２へ戻す。

【００４９】以上の動作によって試験前のメモリモジュ
ール１０はハンドラ１内へ投入されるが、トレイ収納部
２１２から供給用トレイ２０２を取り出したり、逆にト
レイ収納部２１２へ空トレイ２０２を収納している間
に、ＸＹ搬送装置３０３および試験用トレイ２０が待機
状態になることも考えられる。そこで、こうした空き時
間が生じたときは、手動により設置した供給用トレイ２
０２ｚからＸＹ搬送装置３０３を用いて試験用トレイ２
０へメモリモジュール１０を移し替える。これによりハ
ンドラ１のスループットの低下が抑制できる。

【００５０】一方、アンローダ部４００においては、ト
レイ収納部２１４から空の収納用トレイ２０４を一方の
窓部（本例では右側の窓部４０６ｂ）にのみセットし、
他方の窓部４０６ａに相当する位置には手動により空の
収納用トレイ２０４ｚを設置しておく。また、この近傍
に、空の供給用トレイ２０２を、一つ（２０２ｆ）は不
合格のメモリモジュール用として、一つ（２０２ｒ）は
再試験のメモリモジュール用として手動で設置してお
く。

【００５１】そして、試験を終了してアンローダ部４０
０へ搬送されてきた試験用トレイ２０から、ＸＹ搬送装
置４０３を用いて、合格のメモリモジュール１０は主と
して右側の窓部４０６ｂにセットされた収納用トレイ２
０４に移し替え、この収納用トレイ２０４が満杯になっ
たらエレベータ２０６Ｂをそのまま下降させて、トレイ
収納部２１４へ収納し、次の空の収納用トレイ２０４を
窓部４０６ｂへセットする。この間においては、合格の
メモリモジュール１０は左側に手動で設置した収納用ト
レイ２０４へ移し替える。

【００５２】また、不合格のメモリモジュール１０は、
手動で設置された左側の供給用トレイ２０２ｆへ移し替
えられ、再試験のメモリモジュール１０は同じく右側の
供給用トレイ２０２ｒへ移し替えられる。そして、これ
らの供給用トレイ２０２ｆ，２０２ｒが満杯になった
ら、手動で空の供給用トレイ２０２ｆ，２０２ｒと交換
する。このとき、再試験を行うメモリモジュール１０が
満載された供給用トレイ２０２ｒは、そのままトレイ収
納部２１２またはローダ部３００の窓部３０６の右隣の
位置にセットされる。

【００５３】このように構成された本実施形態のハンド
ラ１によれば、スループットは劣るものの、トランアー
ム２０８やセットプレート２１０などが不要となり、そ
のぶんだけ装置自体が小型になるとともにコストダウン
を図ることができる。

【００５４】なお、以上説明した実施形態は、本発明の
理解を容易にするために記載されたものであって、本発
明を限定するために記載されたものではない。したがっ
て、上記の実施形態に開示された各要素は、本発明の技
術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨
である。

【００５５】たとえば、上述した実施形態では試験対象
としてメモリモジュール１０を例に挙げたが、本発明の
トレイ移送装置はメモリモジュールにのみ限定される意
味ではなく、トレイを積み重ねてトレイ収納部へ収納で
きないような電子部品であれば全て含まれる趣旨であ
る。

【００５６】

【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、ト
レイ収納部の上部にデッドスペースが生じるといった問
題がなくなり、少なくとも高さ方向に装置全体を小型化
することができる。また、両方のトレイ収納部にアクセ
スすることができるので、トレイの移送が効率化される
とともに、トレイの移送シーケンスの自由度が増す。し
かも、何れのトレイ収納部に対してもトレイを収納する
ことができ、また何れのトレイ収納部に収納されたトレ
イをも取り出すことができるので、装置自体を変えるこ
となく分類数の増加に対して柔軟に対処することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のトレイ移送装置が適用される電子部品
基板の試験装置の一例を示す概略平面図および概略断面
図図である。

【図２】（Ａ）は本発明のトレイ移送装置の実施形態を
示す斜視図、（Ｂ）はトレイ収納部とエレベータの部分
を示す斜視図である。

【図３】トレイの取り廻し方法を説明するための概略断
面図である。

【図４】図３の続きを示す概略断面図である。

【図５】本発明のトレイ移送装置で用いられるトレイの
一例を示す斜視図である。

【図６】本発明の他の実施形態を示す概略平面図および
概略断面図である。

【図７】従来のトレイ移送装置を示す斜視図である。

【符号の説明】１…ハンドラ（電子部品基板の試験装置）１００…チャンバ２００…メモリモジュール格納部２０２…供給用トレイ（トレイ）２０４…収納用トレイ（トレイ）２０６…エレベータ（第１の昇降手段）２０８…トランアーム（水平搬送手段）２１０…セットプレート（第２の昇降手段）２１２，２１４…トレイ収納部３００…ローダ部４００…アンローダ部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】トレイが独立して上下方向に収納される少
なくとも一対のトレイ収納部と、前記一対のトレイ収納部の間に昇降可能に設けられ、前
記トレイ収納部との間でトレイの受け渡しを行う第１の
昇降手段と、を備えたことを特徴とするトレイ移送装
置。
【請求項２】前記トレイ収納部および前記第１の昇降手
段の上部に設けられ、これらの並設方向に移動可能とさ
れて、前記第１の昇降手段との間で前記トレイの受け渡
しを行う水平搬送手段をさらに備えたことを特徴とする
請求項１記載のトレイ移送装置。
【請求項３】目的とするポジションに対して昇降可能と
され、前記水平搬送装置との間で前記トレイの受け渡し
を行う第２の昇降手段をさらに備えたことを特徴とする
請求項２記載のトレイ移送装置。
【請求項４】第１のトレイが独立して上下方向に収納さ
れる第１のトレイ収納部と、第２のトレイが独立して上下方向に収納される第２のト
レイ収納部と、前記第１のトレイ収納部と前記第２のトレイ収納部との
間に昇降可能に設けられ、前記第１のトレイ収納部およ
び前記第２のトレイ収納部との間で第１のトレイまたは
第２のトレイの受け渡しを行う第１の昇降手段と、前記第１のトレイ収納部、前記第２のトレイ収納部およ
び前記第１の昇降手段の上部に設けられ、これらの並設
方向に移動可能とされて、前記第１の昇降手段との間で
前記第１のトレイまたは前記第２のトレイの受け渡しを
行う水平搬送手段と、目的とするポジションに対して昇降可能とされ、前記水
平搬送装置との間で前記第１のトレイまたは前記第２の
トレイの受け渡しを行う第２の昇降手段と、を備えたこ
とを特徴とするトレイ移送装置。
【請求項５】前記トレイ収納部の一方が、試験前の電子
部品基板が搭載されたトレイであり、他方が試験後の電
子部品基板が搭載されたトレイであることを特徴とする
請求項１〜４の何れかに記載のトレイ移送装置。
【請求項６】前記第１のトレイ収納部の少なくとも一部
に、試験後の電子部品基板が搭載されたトレイが収納さ
れることを特徴とする請求項４または５記載のトレイ移
送装置。
【請求項７】前記試験後の電子部品基板が、再試験をす
べきカテゴリであることを特徴とする請求項６記載のト
レイ移送装置。
【請求項８】前記第２のトレイ収納部の少なくとも一部
に、試験前の電子部品基板を受け渡した空のトレイが収
納されることを特徴とする請求項４または５記載のトレ
イ移送装置。
【請求項９】前記第１のトレイと前記第２のトレイは、
同じ種類のトレイであることを特徴とする請求項４〜８
の何れかに記載のトレイ移送装置。